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泓域咨询/山东DUV光刻胶项目商业计划书山东DUV光刻胶项目商业计划书xxx有限责任公司报告说明在整个芯片制造过程中可能需要进行数十次的光刻,光刻工艺的成本约为整个芯片制造工艺的30%,耗时约占整个芯片生产环节的40%-50%。光刻工艺的精密度决定了集成电路的关键尺寸,奠定了器件微缩的基础,即得到更短的沟道长度和实现更低的工作电压。根据谨慎财务估算,项目总投资27426.97万元,其中:建设投资21648.68万元,占项目总投资的78.93%;建设期利息633.37万元,占项目总投资的2.31%;流动资金5144.92万元,占项目总投资的18.76%。项目正常运营每年营业收入59300.00万元,综合总成本费用49077.26万元,净利润7461.82万元,财务内部收益率20.69%,财务净现值11016.52万元,全部投资回收期5.97年。本期项目具有较强的财务盈利能力,其财务净现值良好,投资回收期合理。综上所述,本项目能够充分利用现有设施,属于投资合理、见效快、回报高项目;拟建项目交通条件好;供电供水条件好,因而其建设条件有明显优势。项目符合国家产业发展的战略思想,有利于行业结构调整。本报告为模板参考范文,不作为投资建议,仅供参考。报告产业背景、市场分析、技术方案、风险评估等内容基于公开信息;项目建设方案、投资估算、经济效益分析等内容基于行业研究模型。本报告可用于学习交流或模板参考应用。目录第一章 项目总论9一、 项目提出的理由9二、 项目概述10三、 项目总投资及资金构成12四、 资金筹措方案13五、 项目预期经济效益规划目标13六、 项目建设进度规划14七、 研究结论14八、 主要经济指标一览表14主要经济指标一览表14第二章 建设单位基本情况16一、 公司基本信息16二、 公司简介16三、 公司竞争优势17四、 公司主要财务数据19公司合并资产负债表主要数据19公司合并利润表主要数据19五、 核心人员介绍20六、 经营宗旨21七、 公司发展规划22第三章 项目背景分析27一、 光刻工艺的影响因素27二、 芯片短缺,上游原材料供应偏紧,国产材料导入进度加快28三、 负性光刻胶最传统的光刻胶29四、 扩大内需战略基点,主动融入新发展格局30第四章 行业发展分析33一、 大陆晶圆代工厂成熟制程快速扩建,国产光刻胶企业迎来重大机遇33二、 半导体工业发展的基石光刻技术34第五章 创新发展38一、 企业技术研发分析38二、 项目技术工艺分析40三、 质量管理42四、 创新发展总结43第六章 运营模式分析44一、 公司经营宗旨44二、 公司的目标、主要职责44三、 各部门职责及权限45四、 财务会计制度48第七章 SWOT分析52一、 优势分析(S)52二、 劣势分析(W)54三、 机会分析(O)54四、 威胁分析(T)56第八章 法人治理结构59一、 股东权利及义务59二、 董事61三、 高级管理人员65四、 监事68第九章 发展规划70一、 公司发展规划70二、 保障措施74第十章 产品方案与建设规划77一、 建设规模及主要建设内容77二、 产品规划方案及生产纲领77产品规划方案一览表77第十一章 进度计划方案80一、 项目进度安排80项目实施进度计划一览表80二、 项目实施保障措施81第十二章 项目风险防范分析82一、 项目风险分析82二、 公司竞争劣势85第十三章 建筑工程说明86一、 项目工程设计总体要求86二、 建设方案86三、 建筑工程建设指标89建筑工程投资一览表90第十四章 投资计划92一、 编制说明92二、 建设投资92建筑工程投资一览表93主要设备购置一览表94建设投资估算表95三、 建设期利息96建设期利息估算表96固定资产投资估算表97四、 流动资金98流动资金估算表99五、 项目总投资100总投资及构成一览表100六、 资金筹措与投资计划101项目投资计划与资金筹措一览表101第十五章 经济效益分析103一、 经济评价财务测算103营业收入、税金及附加和增值税估算表103综合总成本费用估算表104固定资产折旧费估算表105无形资产和其他资产摊销估算表106利润及利润分配表108二、 项目盈利能力分析108项目投资现金流量表110三、 偿债能力分析111借款还本付息计划表112第十六章 项目综合评价114第十七章 补充表格116营业收入、税金及附加和增值税估算表116综合总成本费用估算表116固定资产折旧费估算表117无形资产和其他资产摊销估算表118利润及利润分配表119项目投资现金流量表120借款还本付息计划表121建设投资估算表122建设投资估算表122建设期利息估算表123固定资产投资估算表124流动资金估算表125总投资及构成一览表126项目投资计划与资金筹措一览表127第一章 项目总论一、 项目提出的理由从全部半导体晶圆代工总产能角度来看,根据ICInsights数据,截至2020年年底,在全部折算为8英寸片的数据口径下,中国大陆的晶圆代工月产能达到330万片/月,产能总量与日本相当,其中相对高端的12英寸片月产能占比达到63.6%。2017至2020年间,全球投产的晶圆厂约为62座,其中26座设于中国大陆。而根据BCG的统计数据,截至2020年9月全球在建晶圆代工产能达到540万片/月,其中中国大陆的在建产能占比最高,达42%。根据BCG的预测,2020至2030年期间,全球晶圆代工产能复合增长率约为4.6%,其中中国大陆的晶圆代工产能增速最快,预计2030年中国大陆的晶圆代工产能的全球占比将达到24%,位居全球第一。同时在这十年期间,中国大陆的新增产能占比约为30%。而根据SIA的预测,2019至2030期间,中国大陆的晶圆代工产能复合增速达到10.7%,2019至2025年期间CAGR高达14.3%,到2030年中国大陆的晶圆代工产能的全球占比将由2019年的16%提升至29%。不论是从哪一种预测口径来看,中国大陆的晶圆代工产能增速都领先于其他国家或地区,到2030年中国大陆的晶圆代工产能占比将达到全球第一的位置,中国大陆半导体产业未来的高速发展可以预期。同时,在新增产能的制程结构方面,由于先进制程技术禁运以及高技术壁垒等原因,中短期内中国大陆的新增晶圆代工产能绝大部分仍将为成熟制程产能。二、 项目概述(一)项目基本情况1、项目名称:山东DUV光刻胶项目2、承办单位名称:xxx有限责任公司3、项目性质:扩建4、项目建设地点:xx园区5、项目联系人:肖xx(二)主办单位基本情况公司秉承“诚实、信用、谨慎、有效”的信托理念,将“诚信为本、合规经营”作为企业的核心理念,不断提升公司资产管理能力和风险控制能力。面对宏观经济增速放缓、结构调整的新常态,公司在企业法人治理机构、企业文化、质量管理体系等方面着力探索,提升企业综合实力,配合产业供给侧结构改革。同时,公司注重履行社会责任所带来的发展机遇,积极践行“责任、人本、和谐、感恩”的核心价值观。多年来,公司一直坚持坚持以诚信经营来赢得信任。公司注重发挥员工民主管理、民主参与、民主监督的作用,建立了工会组织,并通过明确职工代表大会各项职权、组织制度、工作制度,进一步规范厂务公开的内容、程序、形式,企业民主管理水平进一步提升。围绕公司战略和高质量发展,以提高全员思想政治素质、业务素质和履职能力为核心,坚持战略导向、问题导向和需求导向,持续深化教育培训改革,精准实施培训,努力实现员工成长与公司发展的良性互动。公司依据公司法等法律法规、规范性文件及公司章程的有关规定,制定并由股东大会审议通过了董事会议事规则,董事会议事规则对董事会的职权、召集、提案、出席、议事、表决、决议及会议记录等进行了规范。 (三)项目建设选址及用地规模本期项目选址位于xx园区,占地面积约72.00亩。项目拟定建设区域地理位置优越,交通便利,规划电力、给排水、通讯等公用设施条件完备,非常适宜本期项目建设。锚定二三五年远景目标,经过五年不懈奋斗,主要领域现代化进程走在全国前列,新时代现代化强省建设取得突破性进展。综合实力走在前列,全省生产总值迈上新台阶,山东半岛城市群在黄河流域生态保护和高质量发展中的龙头作用凸显,成为国内大循环的战略节点、国内国际双循环的战略枢纽,成为国家新的经济增长极;发展质效走在前列,新技术、新产业、新业态、新模式“四新”经济占比大幅提升,新动能成为引领经济发展主引擎,现代产业体系初步形成,产业链产品链迈向中高端;科技创新走在前列,自主创新体系更加完善,科技战略支撑和引领作用持续增强,高水平创新型省份基本建成;改革开放走在前列,重点领域关键环节改革取得更大突破,市场化法治化国际化营商环境持续优化,更高水平开放型经济新体制基本形成;生态建设走在前列,生产生活方式绿色转型成效显著,主要污染物排放总量大幅减少,生态系统稳定性明显增强,生态环境持续改善;治理效能走在前列,平安山东、法治山东、诚信山东建设深入推进,防范化解重大风险体制机制不断健全,发展安全保障更加有力,治理体系和治理能力现代化水平持续提升;民生改善走在前列,实现更加充分更高质量就业,居民收入增长和经济增长基本同步,基本公共服务均等化水平大幅提高,人民生活品质明显改善。重点在以下领域聚焦突破、塑成优势。(四)产品规划方案根据项目建设规划,达产年产品规划设计方案为:xx吨DUV光刻胶/年。三、 项目总投资及资金构成本期项目总投资包括建设投资、建设期利息和流动资金。根据谨慎财务估算,项目总投资27426.97万元,其中:建设投资21648.68万元,占项目总投资的78.93%;建设期利息633.37万元,占项目总投资的2.31%;流动资金5144.92万元,占项目总投资的18.76%。四、 资金筹措方案(一)项目资本金筹措方案项目总投资27426.97万元,根据资金筹措方案,xxx有限责任公司计划自筹资金(资本金)14500.85万元。(二)申请银行借款方案根据谨慎财务测算,本期工程项目申请银行借款总额12926.12万元。五、 项目预期经济效益规划目标1、项目达产年预期营业收入(SP):59300.00万元。2、年综合总成本费用(TC):49077.26万元。3、项目达产年净利润(NP):7461.82万元。4、财务内部收益率(FIRR):20.69%。5、全部投资回收期(Pt):5.97年(含建设期24个月)。6、达产年盈亏平衡点(BEP):26431.75万元(产值)。六、 项目建设进度规划项目计划从可行性研究报告的编制到工程竣工验收、投产运营共需24个月的时间。七、 研究结论综上所述,该项目属于国家鼓励支持的项目,项目的经济和社会效益客观,项目的投产将改善优化当地产业结构,实现高质量发展的目标。八、 主要经济指标一览表主要经济指标一览表序号项目单位指标备注1占地面积48000.00约72.00亩1.1总建筑面积83131.781.2基底面积29280.001.3投资强度万元/亩295.612总投资万元27426.972.1建设投资万元21648.682.1.1工程费用万元18641.962.1.2其他费用万元2441.692.1.3预备费万元565.032.2建设期利息万元633.372.3流动资金万元5144.923资金筹措万元27426.973.1自筹资金万元14500.853.2银行贷款万元12926.124营业收入万元59300.00正常运营年份5总成本费用万元49077.266利润总额万元9949.107净利润万元7461.828所得税万元2487.289增值税万元2280.3110税金及附加万元273.6411纳税总额万元5041.2312工业增加值万元17116.3413盈亏平衡点万元26431.75产值14回收期年5.9715内部收益率20.69%所得税后16财务净现值万元11016.52所得税后第二章 建设单位基本情况一、 公司基本信息1、公司名称:xxx有限责任公司2、法定代表人:肖xx3、注册资本:870万元4、统一社会信用代码:xxxxxxxxxxxxx5、登记机关:xxx市场监督管理局6、成立日期:2014-7-127、营业期限:2014-7-12至无固定期限8、注册地址:xx市xx区xx9、经营范围:从事DUV光刻胶相关业务(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)二、 公司简介公司注重发挥员工民主管理、民主参与、民主监督的作用,建立了工会组织,并通过明确职工代表大会各项职权、组织制度、工作制度,进一步规范厂务公开的内容、程序、形式,企业民主管理水平进一步提升。围绕公司战略和高质量发展,以提高全员思想政治素质、业务素质和履职能力为核心,坚持战略导向、问题导向和需求导向,持续深化教育培训改革,精准实施培训,努力实现员工成长与公司发展的良性互动。公司依据公司法等法律法规、规范性文件及公司章程的有关规定,制定并由股东大会审议通过了董事会议事规则,董事会议事规则对董事会的职权、召集、提案、出席、议事、表决、决议及会议记录等进行了规范。 三、 公司竞争优势(一)工艺技术优势公司一直注重技术进步和工艺创新,通过引入国际先进的设备,不断加大自主技术研发和工艺改进力度,形成较强的工艺技术优势。公司根据客户受托产品的品种和特点,制定相应的工艺技术参数,以满足客户需求,已经积累了丰富的工艺技术。经过多年的技术改造和工艺研发,公司已经建立了丰富完整的产品生产线,配备了行业先进的设备,形成了门类齐全、品种丰富的工艺,可为客户提供一体化综合服务。(二)节能环保和清洁生产优势公司围绕清洁生产、绿色环保的生产理念,依托科技创新,注重从产品结构和工艺技术的优化来减少三废排放,实现污染的源头和过程控制,通过引进智能化设备和采用自动化管理系统保障清洁生产,提高三废末端治理水平,保障环境绩效。经过持续加大环保投入,公司已在节能减排和清洁生产方面形成了较为明显的竞争优势。(三)智能生产优势近年来,公司着重打造 “智慧工厂”,通过建立生产信息化管理系统和自动输送系统,将企业的决策管理层、生产执行层和设备运作层进行有机整合,搭建完整的现代化生产平台,智能系统的建设有利于公司的订单管理和工艺流程的优化,在确保满足客户的各类功能性需求的同时缩短了产品交付期,提高了公司的竞争力,增强了对客户的服务能力。(四)区位优势公司地处产业集聚区,在集中供气、供电、供热、供水以及废水集中处理方面积累了丰富的经验,能源配套优势明显。产业集群效应和配套资源优势使公司在市场拓展、技术创新以及环保治理等方面具有独特的竞争优势。(五)经营管理优势公司拥有一支敬业务实的经营管理团队,主要高级管理人员长期专注于印染行业,对行业具有深刻的洞察和理解,对行业的发展动态有着较为准确的把握,对产品趋势具有良好的市场前瞻能力。公司通过自主培养和外部引进等方式,建立了一支团结进取的核心管理团队,形成了稳定高效的核心管理架构。公司管理团队对公司的品牌建设、营销网络管理、人才管理等均有深入的理解,能够及时根据客户需求和市场变化对公司战略和业务进行调整,为公司稳健、快速发展提供了有力保障。四、 公司主要财务数据公司合并资产负债表主要数据项目2020年12月2019年12月2018年12月资产总额10025.968020.777519.47负债总额5468.374374.704101.28股东权益合计4557.593646.073418.19公司合并利润表主要数据项目2020年度2019年度2018年度营业收入30853.1724682.5423139.88营业利润7475.605980.485606.70利润总额6142.534914.024606.90净利润4606.903593.383316.97归属于母公司所有者的净利润4606.903593.383316.97五、 核心人员介绍1、肖xx,中国国籍,1976年出生,本科学历。2003年5月至2011年9月任xxx有限责任公司执行董事、总经理;2003年11月至2011年3月任xxx有限责任公司执行董事、总经理;2004年4月至2011年9月任xxx有限责任公司执行董事、总经理。2018年3月起至今任公司董事长、总经理。2、卢xx,中国国籍,无永久境外居留权,1971年出生,本科学历,中级会计师职称。2002年6月至2011年4月任xxx有限责任公司董事。2003年11月至2011年3月任xxx有限责任公司财务经理。2017年3月至今任公司董事、副总经理、财务总监。3、沈xx,中国国籍,1977年出生,本科学历。2018年9月至今历任公司办公室主任,2017年8月至今任公司监事。4、彭xx,中国国籍,无永久境外居留权,1961年出生,本科学历,高级工程师。2002年11月至今任xxx总经理。2017年8月至今任公司独立董事。5、李xx,中国国籍,无永久境外居留权,1958年出生,本科学历,高级经济师职称。1994年6月至2002年6月任xxx有限公司董事长;2002年6月至2011年4月任xxx有限责任公司董事长;2016年11月至今任xxx有限公司董事、经理;2019年3月至今任公司董事。6、邵xx,中国国籍,无永久境外居留权,1970年出生,硕士研究生学历。2012年4月至今任xxx有限公司监事。2018年8月至今任公司独立董事。7、何xx,1974年出生,研究生学历。2002年6月至2006年8月就职于xxx有限责任公司;2006年8月至2011年3月,任xxx有限责任公司销售部副经理。2011年3月至今历任公司监事、销售部副部长、部长;2019年8月至今任公司监事会主席。8、邹xx,中国国籍,1978年出生,本科学历,中国注册会计师。2015年9月至今任xxx有限公司董事、2015年9月至今任xxx有限公司董事。2019年1月至今任公司独立董事。六、 经营宗旨自主创新,诚实守信,让世界分享中国创造的魅力。七、 公司发展规划(一)公司未来发展战略公司秉承“不断超越、追求完美、诚信为本、创新为魂”的经营理念,贯彻“安全、现代、可靠、稳定”的核心价值观,为客户提供高性能、高品质、高技术含量的产品和服务,致力于发展成为行业内领先的供应商。未来公司将通过持续的研发投入和市场营销网络的建设进一步巩固公司在相关领域的领先地位,扩大市场份额;另一方面公司将紧密契合市场需求和技术发展方向进一步拓展公司产品类别,加大研发推广力度,进一步提升公司综合实力以及市场地位。(二)扩产计划经过多年的发展,公司在相关领域领域积累了丰富的生产经验和技术优势,随着公司业务规模逐年增长,产能瓶颈日益显现。因此,产能提升计划是实现公司整体发展战略的重要环节。公司将以全球行业持续发展及逐渐向中国转移为依托,提高公司生产能力和生产效率,满足不断增长的客户需求,巩固并扩大公司在行业中的竞争优势,提高市场占有率和公司影响力。在产品拓展方面,公司计划在扩宽现有产品应用领域的同时,不断丰富产品类型,持续提升产品质量和附加值,保持公司产品在行业中的竞争地位。(三)技术研发计划公司未来将继续加大技术开发和自主创新力度,在现有技术研发资源的基础上完善技术中心功能,规范技术研究和产品开发流程,引进先进的设计、测试等软硬件设备,提高公司技术成果转化能力和产品开发效率,提升公司新产品开发能力和技术竞争实力,为公司的持续稳定发展提供源源不断的技术动力。公司将本着中长期规划和近期目标相结合、前瞻性技术研究和产品应用开发相结合的原则,以研发中心为平台,以市场为导向,进行技术开发和产品创新,健全和完善技术创新机制,从人、财、物和管理机制等方面确保公司的持续创新能力,努力实现公司新技术、新产品、新工艺的持续开发。(四)技术研发计划公司将以新建研发中心为契机,在对现有产品的技术和工艺进行持续改进、提高公司的研发设计能力、满足客户对产品差异化需求的同时,顺应行业技术发展,不断研发新工艺、新技术,不断提升产品自动化程度,在充分满足下游领域对产品质量要求不断提高的同时,强化公司自主创新能力,巩固公司技术的行业先进地位,强化公司的综合竞争实力。积极实施知识产权保护自主创新、自主知识产权和自主品牌是公司今后持续发展的关键。自主知识产权是自主创新的保障,公司未来三年将重点关注专利的保护,依靠自主创新技术和自主知识产权,提高盈利水平。公司计划在未来三年内大量引进或培养技术研发、技术管理等专业人才,以培养技术骨干为重点建设内容,建立一支高、中、初级专业技术人才合理搭配的人才队伍,满足公司快速发展对人才的需要。公司将采用各种形式吸引优秀的科技人员。包括:提高技术人才的待遇;通过与高校、科研机构联合,实行对口培训等形式,强化技术人员知识更新;积极拓宽人才引进渠道,实行就地取才、内部挖掘和面向社会广揽人才相结合。确保公司产品的高技术含量,充分满足客户的需求,使公司在激烈的市场竞争中立于不败之地。公司将加强与高等院校、研发机构的合作与交流,整合产、学、研资源优势,通过自主研发与合作开发并举的方式,持续提升公司技术研发水平,提升公司对重大项目的攻克能力,提高自身研发技术水平,进一步强化公司在行业内的影响力。(五)市场开发规划公司根据自身技术特点与销售经验,制定了如下市场开发规划:首先,公司将以现有客户为基础,在努力提升产品质量的同时,以客户需求为导向,在各个方面深入了解客户需求,以求充分满足客户的差异化需求,从而不断增加现有客户订单;其次,公司将在稳定与现有客户合作关系的同时,凭借公司成熟的业务能力及优质的产品质量逐步向新的客户群体拓展,挖掘新的销售市场;最后,公司将不断完善营销网络建设,提升公司售后服务能力,从而提升公司整体服务水平,实现整体业务的协同及平衡发展。(六)人才发展规划人才是公司发展的核心资源,为了实现公司总体战略目标,公司将健全人力资源管理体系,制定科学的人力资源开发计划,进一步建立完善的培训、薪酬、绩效和激励机制,最大限度的发挥人才潜力,为公司的可持续发展提供人才保障。公司将立足于未来发展需要,进一步加快人才引进。通过专业化的人力资源服务和评估机制,满足公司的发展需要。一方面,公司将根据不同部门职能,有针对性的招聘专业化人才:管理方面,公司将建立规范化的内部控制体系,根据需要招聘行业内专业的管理人才,提升公司整体管理水平;技术方面,公司将引进行业内优秀人才,提升公司的技术创新能力,增加公司核心技术储备,并加速成果转化,确保公司技术水平的领先地位。另一方面,公司将建立人才梯队,以培养管理和技术骨干为重点,有计划地吸纳各类专业人才进入公司,形成高、中、初级人才的塔式人才结构,为公司的长远发展储备力量。培训是企业人力资源整合的重要途径,未来公司将强化现有培训体系的建设,建立和完善培训制度,针对不同岗位的员工制定科学的培训计划,并根据公司的发展要求及员工的发展意愿,制定员工的职业生涯规划。公司将采用内部交流课程、外聘专家授课及先进企业考察等多种培训方式提高员工技能。人才培训的强化将大幅提升员工的整体素质,使员工队伍进一步适应公司的快速发展步伐。公司将制定具有市场竞争力的薪酬结构,制定和实施有利于人才成长和潜力挖掘的激励政策。根据员工的服务年限及贡献,逐步提高员工待遇,激发员工的创造性和主动性,为员工提供广阔的发展空间,全力打造团结协作、拼搏进取、敬业爱岗、开拓创新的员工队伍,从而有效提高公司凝聚力和市场竞争力。第三章 项目背景分析一、 光刻工艺的影响因素在现代半导体光刻工艺中,光源从紫外宽谱(300-450nm)向特定波长光源发展,从436nm的汞灯g线可见光发展到365nm的汞灯i线中的紫外光,再发展到248nm的氟化氪(KrF)及193nm的氟化氩(ArF)准分子激光。在KrF和ArF准分子激光光源后,还曾有对于以氟气分子(F2)为激光媒介的准分子激光器作为光源的探究,该光源的波长为157nm,但由于浸没式193nm光刻技术研发的成功,157nm光刻技术很快就被抛弃。在通过浸没式光刻和多重曝光技术将193nm光刻推向极致后,13.5nm极紫外(EUV)光刻技术的到来又进一步使得更高的分辨率成为可能。另外除可见光及紫外光以外,电子束、X射线、离子束等也都可作为曝光光源进行使用,目前利用X射线和离子束作为曝光光源的技术还处于研究阶段,未能得到商用。电子束光刻虽然能够得到极高的分辨率,但是该技术由于自身工艺的限制等原因无法高效地进行大规模量产,因而通常被用来制作光刻工艺中所需的掩膜版。在传统的干法光刻工艺中,光在光刻镜头与光刻胶之间的传播介质是空气,因此最大的数值孔径为1.0,也就是光线和光轴的最大张角为90,分辨率在NA=1.0时就达到了极限。而浸没式光刻(也称为湿法光刻)其光刻镜头和光刻胶之间被填充了水(折射率大于空气),因此光能够以更大角度在光刻胶中成像,也就是等效于更加大的数值孔径,由此进一步提高了光刻工艺的分辨率。其实浸没式成像技术最早于19世纪就被提出来了,其目的是提高光学显微镜的分辨率。而这项技术真正大规模应用到现代光刻工艺中是在2007-2009年间,随着荷兰ASML公司推出数值孔径为1.35NA的XT1900i系列光刻机,193nm浸没式光刻才真正地接替193nm干法光刻。随后,再叠加一些辅助的光刻技术,比如分辨率增强技术(RET)、偏振照明、自定义照明、双/多重曝光(多重图案化技术)、自对准空间频率倍增、单方向布线设计等技术,一同推动193nm浸没式光刻技术一直延续到了10nm、7nm的半导体工艺节点。二、 芯片短缺,上游原材料供应偏紧,国产材料导入进度加快自2020年开始,由于新冠疫情在全球蔓延,部分工厂曾暂时关闭相关产能,导致了半导体产业链供应端的短缺。而伴随着疫情常态化运行,全球工业、汽车、消费电子等需求开始复苏,同时叠加多种崭新芯片应用需求的兴起,全球市场对于半导体芯片的需求量大幅增加,全球半导体芯片开始出现供不应求的局面。近期,多家半导体企业纷纷上调产品价格,芯片涨价情况不断向上游延伸,中游的封测和晶圆厂商以及上游的半导体材料厂商也都不同程度地上调了产品价格。此外,由于疫情、地震等不可抗力原因,国外某些厂商的光刻胶等关键半导体材料也出现了供应问题,加剧了半导体材料的短缺问题。这导致了国内的晶圆代工厂商开始积极寻找其他产品供应商,同时也明显加快了对上游原材料产品的验证速度。在这一背景下,以北京科华为代表的国产光刻胶产品也在近期相继实现了在某些制程工艺的成功导入。三、 负性光刻胶最传统的光刻胶光刻胶在经过曝光后,被曝光区域变得可溶于显影剂的为正性光刻胶,反之被曝光区域变得不溶于显影剂的则被称为负性光刻胶。早期的光刻胶材料,如犹太沥青、重铬明胶及其他重铬酸盐胶,都是负性光刻胶。在早期的接触式光刻时代,负性光刻胶因其较高的化学稳定性和较好的成像能力,广泛应用于集成电路板和微电子器件的制造领域。最早的用于电子工业上的光刻胶是由Eastman-Kodak公司于1954年生产出来的聚乙烯醇肉桂酸酯系负性光刻胶,而负性光刻胶中应用最为广泛的则是环化橡胶-双叠氮系负性光刻胶。环化橡胶-双叠氮系负性光刻胶由Kodak公司于1958年研发成功,其感光范围为280460nm。该类光刻胶在硅片上具有良好的粘附性,同时具有感光速度快、感光范围宽、抗湿法刻蚀能力强等优点。该类光刻胶以环化橡胶为成膜树脂,以芳香族双叠氮化合物作为交联剂,在紫外光照射下,交联剂发生光化学反应产生自由基使得不同成膜聚合物分子间发生交联,从而变为具有不溶性的聚合物,展现出负性光刻胶的特质。虽然称负性光刻胶的曝光区具有“不溶性”、非曝光区具有“可溶性”,但是实际上通过曝光引起的化学交联作用不足以完全抑制曝光区光刻胶与溶剂之间的相互作用,曝光区光刻胶在显影过程中会发生溶胀现象。由于溶胀现象的产生,导致光刻胶对于衬底的附着力降低,同时也会使得曝光区光刻胶的图案变形。在微米级别的光刻工艺中,溶胀现象所导致的图案变形问题可以通过选择合适的显影液或其他手段来进行控制,对于整体微观图案的尺寸影响程度不大。然而随着光刻工艺分辨率需求的不断提升,特征尺寸在不断缩小,负性光刻胶的溶胀问题的负面影响更加凸显,导致其难以应用于分辨率在2m以下的光刻工艺中。四、 扩大内需战略基点,主动融入新发展格局把实施扩大内需战略同深化供给侧结构性改革有机结合起来,以创新驱动、高质量供给引领和创造新需求,促进消费与投资协调互动、供给与需求动态平衡、国内市场与国际市场相互贯通。(一)推动消费扩容提质大力培育新一代消费热点,加快实物消费、服务消费提质升级,适当增加公共消费,促进消费向绿色、健康、安全发展。推动线上线下消费有机融合、双向提速,鼓励发展新零售、首店经济、宅经济等新业态新模式,培育新型消费示范城市和企业。支持济南、青岛打造国际消费中心城市。推动汽车等消费品由购买管理向使用管理转变,促进住房消费健康发展。大力发展县域消费集聚区,加快电商、快递进农村。改善消费环境,深入开展“放心消费在山东”。发展免税经济。健全鼓励消费的政策体系,创新消费金融,落实带薪休假制度。(二)扩大精准有效投资优化投资结构,保持投资合理增长。聚焦提升“十强”现代优势产业集群核心竞争力,建设一批增强基础能力、保障链条安全的示范性重大工程。推动企业设备更新和技术改造,扩大战略性新兴产业投资。推进新型基础设施、新型城镇化、交通水利能源等重大工程建设,补齐基础设施、市政工程、农业农村、公共安全、生态环保、公共卫生、物资储备、防灾减灾、民生保障等领域短板。深化“要素跟着项目走”,强化资金、土地、能耗等要素统筹和精准对接。更好发挥政府债券投资作用,大力激发民间投资活力,鼓励民营资本参与公用事业和重大基础设施建设。(三)畅通国内国际双循环实施质量强省和品牌战略,加强标准、计量、专利等体系和能力建设,大力创新全国行业标准,积极参与国家标准、国际规则制定,提升鲁企产品和服务质量,扩大中高端供给,促进供需高效适配。打通各类要素循环堵点,促进生产、分配、流通、消费各环节有效衔接,降低各类交易成本。加快构建全链条现代流通体系,培育具有核心竞争力的现代流通企业。优化国内国际市场布局、商品结构、贸易方式,实施贸易投资融合工程。促进内外贸质量标准、认证认可相衔接,推进同线同标同质。构建内外互联大通道,加强综合枢纽和多式联运中心建设,大力发展航空、高铁快运及电商快递班列,建设济南、青岛、临沂中欧班列集结中心,推动沿黄城市共建海铁联运中转基地。第四章 行业发展分析一、 大陆晶圆代工厂成熟制程快速扩建,国产光刻胶企业迎来重大机遇半导体工业沿摩尔定律向前发展,光刻技术是基石。摩尔定律的延续离不开光刻技术的进步,目前全球最为顶尖且实现量产的光刻工艺为台积电的5nm制程工艺(2020年),3nm制程工艺预计将于2022年正式投产。而大陆方面,最为领先的晶圆代工企业中芯国际已于2021年实现7nm制程工艺的突破,但仍与世界顶尖水平存在着约2代技术的差距,对应的技术研发周期约为3-4年。半导体光刻胶为晶圆制造核心材料,大陆产品仍存较大技术差距。在所有的晶圆制造材料中,半导体光刻胶凭借其复杂且精准的成分组成要求而具有最高的价值含量。半导体光刻胶产品由低端到高端可分为g线、i线、KrF、ArF和EUV光刻胶,最高端的EUV光刻胶基本被日本和美国企业所垄断。大陆方面目前仅实现了KrF光刻胶的量产,ArF光刻胶产品仍处于下游客户验证阶段并未形成实际性的量产产能,而最高端的EUV光刻胶的技术储备近乎空白。行业政策与“大基金”加持,助力光刻胶突破“卡脖子”技术壁垒。“十四五”规划提出了“强化国家战略科技力量”的方针,重点强调要从“卡脖子”问题清单和国家重大需求中找出科学问题。集成电路的产业发展一直是我国的“卡脖子”问题之一,其中半导体光刻胶等产品领域存在有明显的“受制于人”的问题,而突破这些“卡脖子”技术壁垒必将成为践行“强化国家战略科技力量”这一宏观战略的重点之一。自2014年6月国务院发布国家集成电路产业发展推进纲要以来,国家不断地通过政策、科研专项基金、产业基金等多种形式为国内光刻胶企业的发展提供支持。大陆晶圆代工产能增速全球第一,聚焦成熟制程利好国产化推进。根据SIA和BCG预测,2021-2030年期间中国大陆的晶圆代工产能增速在全球范围内将排名第一。伴随着大陆晶圆代工产能的快速扩张,特别是28nm及以上成熟制程晶圆代工产能快速扩张,大陆市场对于光刻胶等半导体材料的需求将与日俱增。而中美贸易摩擦对于半导体材料的限制或禁运,将加快国内已实现量产突破的产品向国内晶圆代工厂商的导入进度。同时,半导体光刻胶企业在获得持续订单后有望形成正反馈循环,依靠可持续性的资金流入,推动现有半导体光刻胶产品的产能扩增及新一代半导体光刻胶产品的研发。二、 半导体工业发展的基石光刻技术1904年英国物理学家弗莱明发明了二级检波管(弗莱明管),1907年美国发明家弗雷斯特发明了第一只真空三极管,而世界上第一台通用电子计算机ENIAC则于1946年由约翰冯诺依曼等人在美国发明完成。ENIAC由17,468个电子管和7,200根晶体二极管构成,重量高达30英吨,占地达170平方米。1947年12月,美国贝尔实验室正式成功演示了第一个基于锗半导体的具有放大功能的点接触式晶体管,并于1954年开发出了第一台晶体管化计算机TRADIC。TRADIC由700个晶体管和10,000个锗二极管构成。 现如今已经来到21世纪20年代,在ENIAC和TRADIC发布大半个世纪后,华为公司于2020年10月22日发布了截至当时全球最为先进的芯片产品之一基于5nm工艺制程的手机SoC芯片麒麟9000。麒麟9000集成了多达15,300,000,000个晶体管,将手机所需的CPU、GPU、NPU、ISP、安全系统和5G通信基带等计算单元都集成于一体。与ENIAC和TRADIC相比,麒麟9000的电子元器件数量增加了约100万倍,但整体的器件体积和质量却有了极大程度的缩小,搭载有麒麟9000芯片的华为Mate40Pro手机的重量仅为212克。从ENIAC和TRADIC到麒麟9000,这反映了全球科技的高速发展,而更确切地说这代表着全球半导体集成电路(IC)工艺的飞跃。19世纪50年代末,仙童(Fairchild)半导体公司发明了基于掩膜版的曝光和刻蚀技术,极大地推动了半导体技术革命,该技术也一直沿用至今。1965年,时任仙童半导体公司研究开发实验室主任的戈登摩尔(GordonMoore)在电子学(Electronics)上发表了题为让集成电路填满更多的元件(CrammingMoreComponentsOntoIntergratedCircuits)的文章,并首次提出了被后世奉为“计算机第一定律”的经验性规律摩尔定律:当价格不变时,集成电路上可以容纳的元器件的数目,每隔18-24个月便会增加一倍,性能也将提升一倍。在过去的数十年间,整个半导体工业都始终遵循着摩尔定律向前不断发展。基于现有的晶圆制造工艺规划情况,摩尔定律在未来至少5-10年内仍将保持着“生命力”。半导体工业能够沿着摩尔定律向前发展离不开光刻工艺的不断进步,在光刻领域,对于摩尔定律其实还存在另外一种解读:每18-24个月,利用光刻工艺在集成电路板上所能形成的最小图案的特征尺寸将缩小30%。光刻工艺是半导体制造中通过化学或物理方法进行图案转移的技术。现代光刻工艺通过光学成像系统将掩膜版上的电路设计图样,使用特定波长的光投影到涂覆有光刻胶的硅片上,使其感光并发生化学性质及溶解性的转变,而后再通过显影、刻蚀、去胶等步骤将原掩膜版上的图案信息转移到带有电介质或者金属层的硅片上。在整个芯片制造过程中可能需要进行数十次的光刻,光刻工艺的成本约为整个芯片制造工艺的30%,耗时约占整个芯片生产环节的40%-50%。光刻工艺的精密度决定了集成电路的关键尺寸,奠定了器件微缩的基础,即得到更短的沟道长度和实现更低的工作电压。第五章 创新发展一、 企业技术研发分析(一)核心技术取得专利情况或其他技术保护措施公司针对核心技术申请了专利保护,公司针对知识产权保护,制定了完善的知识产权管理制度并建立了完善的标准化的控制程序,对公司知识产权的管理、获取、维护、运用、风险管理、争议处理等均进行规范化、流程化进行管理,并获得知识产权管理体系认证证书。此外,公司制定了保密管理制度,与核心技术人员签订了保密与竞业禁止协议,约定了技术保密的相关事项,以保证公司的技术机密不被泄露。公司自设立以来即高度重视研发工作,将技术创新作为公司发展的核心竞争力,每年投入大量的资源开展新产品、新工艺、新技术的研发工作。(二)公司技术研发组织架构研发创新部主要负责公司技术研发、技术支持、知识产权管理、技术信息调查与收集以及对外技术交流和合作等相关工作。公司总经理李民全面主持研发创新部工作,与核心技术人员一起负责公司新产品、新技术的研发,包括市场调研、可行性论证、成本分析、技术设计、设备设置、工艺编制、以及新产品开发实施过程中的监督、控制,跟踪和掌握国际、国内同类技术发展趋势,组织部门内部技术论证会等,其他研发人员协助核心技术人员完成新产品的技术开发工作。(三)产品研发流程公司拥有自己的研发队伍,搭建了企业自主创新的硬件平台,建立了专业试验链,可根据市场和客户的需求和反馈,利用积累的材料配方研究、老化机理研究、材料老化性能测试、设备设置及工艺编制等方面的研究数据,改进原产品,并进行新产品、新设备、新工艺的研发。(四)创新机制公司自成立以来始终高度重视产品技术开发和技术应用工作,坚持自主研发为主。在自主研发方面,公司拥有一支应用创新经验丰富、敏捷高效的研发团队,以前沿科研课题、创新应用成果作为自主研发和应用的技术源头,以工业智能制造和产品迭代升级为驱动力,在公司拥有多年跨领域薄膜研发成果积累的基础上,进行配方、设备、工艺的优化和升级,形成具有市场竞争力且切实可行的产业化的自主核心技术。公司针对研发人才的挖掘和培养形成了相应的人力资源管理体系。从有针对性的校园招聘挖掘优秀人才、配备优质齐全的研发设备、设定有吸引力的薪酬体系到建立持续有效的培训机制等多方位、多角度保障公司创新体系保持活力、蓬勃发展。公司对发现技术问题并提出解决方案、重大工艺创新、新产品开发等突出工作的研发人员根据相关规定进行奖励。(五)公司技术保密措施公司的产品科技含量高,并在核心技术上拥有自主知识产权。为了切实保障和维护公司在新设备、新技术、新工艺等方面的科技成果,防止核心技术失密和核心技术人员流失,公司主要采取了以下措施:1、公司制定了保密管理制度,并与核心技术人员签订了保密及竞业禁止协议,约定了技术保密及竞业禁止的相关事项;2、公司具有完善的激励机制,保障了核心技术人员的稳定性及研发积极性;3、公司对相关核心技术和产品通过申请专利权等方式进行了知识产权保护;4、公司持续推进知识产权管理制度化贯标并已获得专业认证机构的认证,进一步完善了公司知识产权管理体系,合法有效的保护公司知识产权。二、 项目技术工艺分析(一)技术来源及先进性说明本期项目的技术来源为公司的自有技术,该技术达到国内先进水平。(二)项目技术优势分析1、技术含量和自动化水平较高,处于国内先进水平,在产品质量水平上相对其它生产技术性能费用比优越,结构合理、占地面积小、功能齐全、运行费用低、使用寿命长;在工艺水平上该技术能够保证产品质量高稳定性、提高资源利用率和节能降耗水平;根据初步测算,利用该技术生产,可提高原料利用率和用电效率,在装备水平上,该技术使用的设备自动控制程度和性能可靠性相对较高。2、技术设备投资和产品生产成本低,具有较强的经济合理性;本期工程项目采用本技术方案建设其主要设备多数可按通用标准在国内采购。3、节能设施先进并可进行多规格产品转换,项目运行成本较低,应变市场能力很强。(三)工业化技术方案可靠性分析1、这条生产线充分考虑和核算了生产线整体同各单机间的物料平衡协同关系,并考虑和计算了各单机的正常加工、进料出料、输送、故障停机及排除所需要时间和各单机间的合理缓冲。2、产品生产线能够运行连续稳定、达到设计生产能力要求,并确保能够生产出质量合格的产品。三、 质量管理(一)质量控制体系与标准公司设立了质量管理部,全面负责公司质量管理体系和质量管理规程的建立、维护、审核和完善工作,并按照质量管理体系的要求,制定了完善的质量控制实施细则,明确了各部门、各生产环节质量管理的职责,保证公司质量控制体系的正常运行。(二)质量控制措施为保证公司质量目标的实现,提高产品质量水平,公司采取了一系列质量控制措施。主要措施如下:1、建立和完善质量管理组织体系,设立了质量管理部,各生产车间建立了质量小组,配备了专职的质量管理员,保证质量管理工作的正常进行; 2、按照质量管理体系的要求,制定了严格的质量控制制度,建立了完善的各项质量控制细则,规范了公司的质量管理行为; 3、加强产品质量标准体系建设,严格执行国家和行业相关标准,保持公司产品质量在行业中的优势地位; 4、完善产品质量检测手段,建立了原材料和产品检测中心,配备了先进的检测设备、仪器,为保证产品的质量提供了坚实的基础。四、 创新发展总结公司通过移动互联网、物联网等技术与设备结合,以智能产品和智能工厂为重点深入推进智能制造。1、持续推进4.0产品工程。4.0产品以“模块化平台+智能化产品”为核心,深度融合传感、互联等技术,均可实现“自诊断、自调整、自适应”,在性能、可靠性、智能化、环保方面更上新台阶。公司计划通过自主研发和技术引入,全面实现原有产品的换代升级,充分发挥智能化技术优势,不断创造全新的市场需求。 2、加快推进智能工厂建设。该项目的建设,将完全按照智能制造示范车间的标准进行建设,力争成为国内领先的产业制造基地。产品实现多种不同规格的标准生产,努力成为行业智能工厂新标杆。第六章 运营模式分析一、 公司经营宗旨自主创新,诚实守信,让世界分享中国创造的魅力。二、 公司的目标、主要职责(一)目标近期目标:深化企业改革,加快结构调整,优化资源配置,加强企业管理,建立现代企业制度;精干主业,分离辅业,增强企业市场竞争力,加快发展;提高企业经济效益,完善管理制度及运营网络。远期目标:探索模式创新、制度创新、管理创新的产业发展新思路。坚持发展自主品牌,提升企业核心竞争力。此外,面向国际、国内两个市场,优化资源配置,实施多元化战略,向产业集团化发展,力争利用3-5年的时间把公司建设成具有先进管理水平和较强市场竞争实力的大型企业集团。(二)主要职责1、执行国家法律、法规和产业政策,在国家宏观调控和行业监管下,以市场需求为导向,依法自主经营。2、根据国家和地方产业政策、DUV光刻胶行业发展规划和市场需求,制定并组织实施公司的发展战略、中长期发展规划、年度计划和重大经营决策。3、根据国家法律、法规和DUV光刻胶行业有关政策,优化配置经营要素,组织实施重大投资活动,对投入产出效果负责,增强市场竞争力,促进区域内DUV光刻胶行业持续、快速、健康发展。4、深化企业改革,加快结构调整,转换企业经营机制,建立现代企业制度,强化内部管理,促进企业可持续发展。5、指导和加强企业思想政治工作和精神文明建设,统一管理公司的名称、商标、商誉等无形资产,搞好公司企业文化建设。6、在保证股东企业合法权益和自身发展需要的前提下,公司可依照公司法等有关规定,集中资产收益,用于再投入和结构调整。三、 各部门职责及权限(一)销售部职责说明1、协助总经理制定和分解年度销售目标和销售成本控制指标,并负责具体落实。2、依据公司年度销售指标,明确营销策略,制定营销计划和拓展销售网络,并对任务进行分解,策划组织实施销售工作,确保实现预期目标。3、负责收集市场信息,分析市场动向、销售动态、市场竞争发展状况等,并定期将信息报送商务发展部。4、负责按产品销售合同规定收款和催收,并将相关收款情况报送商务发展部。5、定期不定期走访客户,整理和归纳客户资料,掌握客户情况,进行有效的客户管理。6、制定并组织填写各类销售统计报表,并将相关数据及时报送商务发展部总经理。7、负责市场物资信息的收集和调查预测,建立起牢固可靠的物资供应网络,不断开辟和优化物资供应渠道。8、负责收集产品供应商信息,并对供应商进行质量、技术和供就能力进行评估,根据公司需求计划,编制与之相配套的采购计划,并进行采购谈判和产品采购,保证产品供应及时,确保产品价格合理、质量符合要求。9、建立发运流程,设计最佳运输路线、运输工具,选择合格的运输商,严格按公司下达的发运成本预算进行有效管理,定期分析费用开支,查找超支、节支原因并实施控制。10、负责对部门员工进行业务素质、产品知识培训和考核等工作,不断培养、挖掘、引进销售人才,建设高素质的销售队伍。(二)战略发展部主要职责1、围绕公司的经营目标,拟定项目发实施方案。2、负责市场信息的收集、整理和分析,定期编制信息分析报告,及时报送公司领导和相关部门;并对各部门信息的及时性和有效性进行考核。3、负责对产品供应商质量管理、技术、供应能力和财务评估情况进行汇总,编制供应商评估报告,拟定供应商合作方案和合作协议,组织签订供应商合作协议。4、负责对公司采购的产品进行询价,拟定产品采购方案,制定市场标准价格;拟定采购合同并报总经理审批后,组织签订合同。
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