表面轮廓仪WykoNT1100操作说明书

光电子微纳制造工艺平台应用培训讲义-WYKO NT1100光学轮廓仪NT1100可对表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维测量，测量范围可从亚纳米级 粗糙度到毫米级的台阶高度。NT1100给MEMS、厚膜、光学元件、陶瓷和先进材料的研发和生产提供了一个精确的、价格合理的计量方案。一、检测原理：该设备是一台利用干涉相位差与检偏器方位角成线性关系的微分干涉显微镜应用相移干涉技术，实现对表面轮廓的高精度测量。在一般场合下测量精度Z向可优于1nm.基于此原理，对试样的要求：1该设备所测量的试样,要求表面一定要光滑，粗糙度很低.2并且横向（即X-Y面）,几何尺寸必须大于13微米以上的区域，信息才能够被设备识别 3测试金属样品，会带来波长量级的测试误差二、操作步骤：1. 开机顺序（1）将气浮隔震台的气路打开。（2）打开光学轮廓仪的电源开关（在设备后面的右下方）（3）打开光学轮廓仪前面的显示屏。（4）打开电脑主机，打开软件，进入软件界面如图1 所示图12. 调节设备Z轴，在设备的前部显示屏中出现清晰的试样图像为止。再微调Z轴使之出现衍射波纹。3点击软件工具栏的二I图标，出现图2的界面。图24此型号光学轮廓仪可以测量两种类型的试样，分别为镜面光洁度的试样采用PSI模式测量，而具有台阶深度在 10微米及以上的试样采用 VSI模式测量。本次就以 VSI模式测量为 例介绍具体的操作步骤。5. 首先将设备的配件调制VSI模式。6. 在软件界面中选中Measurement Options,将 Measurement Type 设为 VSI(Infinite Scan)如图3所示。回二 I JMiiJI ul I 制 创 wlcl | |r| 创 J 剛 el Tlaiij图37. 选中界面 VSI Options,出现图4的界面，调节 Backscan和Length的数值。即为台阶的高 度和深度。图48点击软件工具栏的 图标，在电脑中显示衍射波纹，同时进一步调节Z轴的调节器,调节直至图象上红颜色部位刚刚消失为止。9点击软件工具栏的丄一图标，得出图5所示的图象。图510.将图形调水平步骤，在图5界面中单击右键出现一个下拉菜单，在菜单中选击An alysisOptions选项，如图6所示。|v rn jllfllMli- “I毋. re W eXAwJ凹囲 叫邮jo| Jw巴 沅创*1匹匚曲jMew囂弋surface DataDate t? 24 20CTTune 11 ?+28Sc-l-up tnrnreittrrs-:Size聒藝*卄Sim|nlii：ifE I 63 vunProciMl (lplin: TeniLs Rciiqoved TiHFdiuLgNtneSurlsce Stalistin:Ra 2J 40 imiRq 9 2!)ejihRz 3 04 milRi 571 muF 电兰鼻1MupJWWT些tH初：.iP rficexxf! d OjjjEnorn1片 .0910.74DSD0 7DTth R豹闻0 6DTOilPlarwFir)0 50Sphere dndTiD401.5GOivaWe i TtCfMw-and Tl03DIl ni-DrlMMl Cirg| MaAnj I0.00 IQ40.B 吓1 011如图7所示出现如下界面选中Masking选项，得到图8的界面0S1 oeo 0 700和o.so0.400 300 20Q 10ODOmmumProceiiird OpllkinfiTsmsRemwai | Ftacrijj Mfc.n(j |D-iia Peihae | Gener-al厂 Use Anfitpsh Masi. Eft Andris MmkEdri Ttfiu MaikcRriodc AfT4* Seane4inn厂 Pmck： Sapiwufi-j-1 *亠0 74 -octo-0 5D-d DO-1 50-2 DO-2 50-2.970.00102030.40.5 D.B 0.7080910 1.1 1.210所示的界面。0.00.1020.30.405 O.E 0.70.6 D9 1.01.11.2图812. 选中Use Terms Mask选项，点击 Edit Terms Mask图标，得到图 9所示的界面。Q910旳D700旳0.30Q20D10QtXJ图913. 在界面中选择比较平整的部位，再将其他部位去除。得到图um0 8Q0700 6G0 500.M020010ooaODoQ0.60710OJO0 7006000CO0.300 30100.00 .0OSa .9怜g I I H 岀 I图11图1015.点击ok就可以得到如图11所示界面。16此时点击-日图标对表面形貌进行分析，如图12所示。-D.50091-D.50mmmmmmIn*# EribrePBSsEntreMds jHtir|Termt上rm 血I輻DataC Orital,Ma r&co99 91 鼻91 M PF M VI Liiui耳 ilMiiHi4101 um1厲止 IIMII *Title.Y Profile图1217点击也图标可以获得图13所示的3D图形。um0 00-0 50-1.00-2 00-2 50065-3.05图1318. PSI模式的测量步骤与 VSI模式基本相同，在此不在熬述。