传感器原理及工程应用(第三版)第2章传感器概述

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单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,第,2,章 传 感 器 概 述,第,2,章 传 感 器 概 述,2.1,传感器的组成和分类,2.2,传感器的基本特性,2.1,传感器的组成和分类,传感器,是能感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用输出信号的器件或装置。,传感器,又称为,敏感元件,、,检测器,、,转换器,等。,例,1,:在电子技术领域,常把能感受信号的电子元件称为敏感元件,如热敏元件、磁敏元件、光敏元件及气敏元件等。,例,2,:,在超声波技术中则强调的是能量的转换,如压电式换能器等。,变换器,换能器,转换器,变送器,发送器,检测器,传感器的其他名称,电压,电流,脉冲,频率,传感器输出信号,通常是电量,它便于传输、转换、处理、显示等。电量有很多形式,如电压、电流、电容、电阻等,输出信号的形式由传感器的原理确定。,电容,电阻,通常,传感器由敏感元件和转换元件组成(如图,2 - 1,所示)。,信号调制器以及所需的电源都应作为传感器组成的一部分。随着半导体器件与集成技术在传感器中的应用,传感器的信号调理转换电路与敏感元件一起集成在同一芯片上,安装在传感器的壳体里。,敏感元件:是指传感器中能直接感受或响应被测量的部分,,完成非电量到电量间预变换的器件,转换器:是指传感器中能将敏感元件感受或响应的被测量,转换成适于传输或测量的电信号部分(能将非电量变换为,电量的器件)。,辅助的电源:转换器、信号调制器的工作电源,传感器,非电量 非电量 电量,敏感元件,转换器,信号调节与,转换电路,辅助电源,图,2-1,传感器组成方框图,传感器的工作原理有各种各样,它与许多学科有关,其种类十分繁多,分类方法也很多, 但目前一般采用两种分类方法:,按被测参数分类,,如温度、压力、位移、速度等,;,按传感器的工作原理分类,, 如应变式、电容式、压电式、磁电式等。,1,、,按被测参数分类,温度、热量、,比热、压力、,压差、流速、,风速、真空度,热工量,位移、尺寸、形状、力、应力、力矩、振动、加速度、噪声、旋转力、旋转角、质量、重量、,机械量,气体(液体、固体),分析、化学成分、,浓度、盐度、粘度、,密度、比重、,pH,值,化学量,心音、血压、,体温、气流量、,心电流、眼压、,脑电波、心磁波,生物量,医学量,电流、电压、,电位、功率、,电荷、阻抗、,电阻、电容、,电感、电磁波,电气,2,、按工作原理分类,能量控制型,电阻、电感、电压,磁致伸缩效应,应变电阻效应,霍尔效应,磁阻效应,电离效应,热阻效应,约瑟夫逊效应,光电效应,能量转换型,压电效应,热电动势效应,磁致伸缩效应,光电滞后效应,热电效应,热磁效应,光电动势效应,热电磁效应,光电放射效应,2.2,传感器的基本特性,2.2.1,传感器的静态特性,传感器的静态特性:,指被测量的值处于稳定状态时的输出与输入的关系。这时传感器的输入量与输出量之间在数值上一般具有一定的对应关系,关系式中不含有时间变量。对静态特性而言,,传感器的输入量,x,与输出量,y,之间的关系通常可用一个如下的多项式表示:,y,=,a,0,+,a,1,x,+,a,2,x,2,+,a,n,x,n,(2-1),式中:,a,0,输入量,x,为零时的输出量; ,a,1,,,a,2,,,,,a,n,非线性项系数。,传感器的静态特性可以用一组性能指标来描述,,如,灵敏度,、,迟滞,、,线性度,、,重复性,和,漂,移,等。,1.,灵敏度,灵敏度是传感器静态特性的一个重要指标。其定义是输出量增量,y,与引起输出量增,量,y,的相应输入量增量,x,之比。用,S,表示灵敏度,即,它表示单位输入量的变化所引起传感器输出量的变化,很显然, 灵敏度,S,值越大, 表示,传感器越灵敏。,(,2-2,),图,2-2,传感器的灵敏度,2.,线性度,线性度,指传感器的输出与输入之间数量关系的线性程度。,输出与输入关系可分,为,线性特性和非线性特性,。从传感器的性能看,,希望具有线性关系,, 即理想输入输出关系。但实际遇到的传感器大多为非线性。 ,在实际使用中,为了标定和数据处理的方便,希望得到线性关系,因此,引入各种非线性补偿环节,,如采用非线性补偿电路或计算机软件进行线性化处理,从而,使传感器的输出与输入关系为线性或接近线性,。,传感器的线性度,是指在全量程范围内实际特性曲线与拟合直线之间的最大偏差值,L,max,与满量程输出值,Y,FS,之比。线性度也称为,非线性误差,,,用,L,表示,,即,式中:,L,max,最大非线性绝对误差; ,Y,FS,满量程输出值。,(2-3),如果传感器非线性的方次不高, 输入量变化范围较小时,可用一条直线(切线或割线)近似地代表实际曲线的一段,使传感器输入输出特性线性化,所采用,的直线称为拟合直线。,拟合直线方程:,式中: :输出量的估计值;,a,0,:,零位时的输出量;,a,1,:,拟合直线的斜率,即线性灵敏度。,图,2-3,几种直线拟合方法,(a),理论拟合;,(b),过零旋转拟合;,(c),端点连线拟合;,(d),端点平移拟合,端点连线拟合法:端点是指量程上、下极限值对应的点,通常取零位作输出直线的起点,满量程输出值作为直线的终点,两个端点连线就是拟合直线。,端点连线拟合法特点:简单方便,不足是 较大,拟合精度较低。,适用场合:静态特性曲线非线性较小的传感器。,端点平移拟合法:在端点连线拟合法的基础上,将端点直线平移,移动间距为 的一半,使静态标定曲线分布在拟合线的两侧。,端点平移拟合法特点:简单方便,非线性度误差减小了一半,提高了拟合的精度。,图,2-4,线性度,3.,迟滞,传感器在输入量由小到大(正行程)及输入量由大到小(反行程)变化期间其输入输出特性曲线不重合的现象称为迟滞,(,如图,2-5,所示,),。也就是说,,对于同一大小的输入信号,传感器的,正反行程输出信号大小不相等,,这个差值称为,迟滞差值,。 传感器在全量程范围内,最大的迟滞差值,H,max,与满量程输出值,Y,FS,之比称为,迟滞误差,,用,H,表示,即,(,2-4,),迟滞误差,产生的主要原因是由于传感器敏感元件材料的物理性质和机械另部件的缺陷所造成的,例如弹性敏感元件弹性滞后、 运动部件摩擦、 传动机构的间隙、紧固件松动等。,迟滞误差又称为回差或变差。,图,2-5,迟滞特性,4.,重复性,重复性,是指传感器在输入量按同一方向作全量程连续多次变化时,所得特性曲线不一致的程度(见图,2-6,)。,重复性误差属于随机误差,,常用标准差,计算,也可,用正反行程中最大重复差值,R,max,计算,即,(,2-5,),或,(,2-6,),重复性误差,标准偏差,根据贝塞尔公式:,式中:,y:,多次重复测量的测得的值;,y,:,测得值的算术平均值;,n,:,重复测量的次数。,图,2-6,重复性,5.,漂移,传感器的漂移,是指在输入量不变的情况下,传感器输出量随着时间变化,此现象称为,漂移,。产生漂移的原因有两个方面: 一是传感器自身结构参数;二是周围环境(如温度、湿度等)。 最常见的漂移是温度漂移,即周围环境温度变化而引起输出的变化。,温度漂移通常用传感器工作环境温度偏离标准环境温度(一般为,20,)时的输出值的变化量与温度变化量之比,(,),来表示, 即,式中:,t,工作环境温度,t,偏离标准环境温度,t,20,之差,即,t,=,t-t,20,;,y,t,传感器在环境温度,t,时的输出; ,y,20,传感器在环境温度,t,20,时的输出。,(2-7),2.2.2,传感器的动态特性,传感器的动态特性,是指输入量随时间变化时传感器的响应特性。 由于传感器的惯性和滞后,当被测量随时间变化时,传感器的输出往往来不及达到平衡状态,处于动态过渡过程之中,所以传感器的输出量也是时间的函数,其间的关系要用动态特性来表示。,一个动态特性好的传感器,其输出将再现输入量的变化规律,即具有相同的时间函数。实际的传感器,输出信号将不会与输入信号具有相同的时间函数,这种输出与输入间的差异就是,所谓的动态误差。,将一支热电偶从温度为,t,0,环境中迅速插入一个温度为,t,1,的恒温水槽中(插入时间忽略不计),这时热电偶测量的介质温度从,t,0,突然上升到,t,1,,,而热电偶反映出来的温度从,t,0,变化到,t,1,需要经历一段时间,即有一段过渡过程,如图,2-,7,所示。热电偶反映出来的温度与其介质温度的差值就称为动态误差。,图,2-7,动态测温,造成热电偶输出波形失真和产生动态误差的,原因,,,是温度传感器有热惯性,(由传感器的比热容和质量大小决定),和传热热阻,,使得在动态测温时传感器输出总是滞后于被测介质的温度变化。如带有套管热电偶其热惯性要比裸热电偶大得多。 这种热惯性是热电偶固有的,它决定了热电偶测量快速变化的温度时会产生动态误差。 影响动态特性的“,固有因素”任何传感器都有, 只不过它们的表现形式和作用程度不同而已。,1.,传感器的基本动态特性方程,传感器的种类和形式很多,但它们的动态特性一般都可以用下述的微分方程来描述:,(,2-8,),式中,,a,0,、,a,1,、,a,n,b,0,、,b,1,、,.,b,m,是与传感器的结构特性有关,的常系数。,1,),零阶系统,在方程式(,2-8,)中的系数除了,a,0,、,b,0,之外,其它的系数均为零,则微分方,程就变成简单的代数方程, 即,a,0,y,(,t,)=,b,0,x,(,t,),通常将该代数方程写成,y,(,t,)=,kx,(,t,),式中,,k,=,b,0,/,a,0,为传感器的静态灵敏度或放大系数。传感器的动态特性用方程式,(,2-9,)来描述的就称为零阶系统。,(,2-9,),零阶系统具有理想的动态特性,无论被测量,x(t),如何随时间变化,零阶系统的输出都不会失真,其输出在时间上也无任何滞后, 所以,零阶系统又称为比例系统,。 ,在工程中应用:电位器式的电阻传感器、变面积式的电容传感器及利用静态式压力传感,器测量液位均可看作零阶系统。,2,),一阶系统,若在方程式(,2-8,)中的系数除了,a,0,、,a,1,与,b,0,之外,其它的系数均为零,,则微分方程为,上式通常改写成为,(2-10),式中:,传感器的时间常数,,=,a,1,/,a,0,; ,k,传感器的静态灵敏度或放大系数,,k,=,b,0,/,a,0,。 ,时间常数,具有时间的量纲,它反映传感器的惯性的大小, 静态灵敏度则说明其静态特性。用方程式(,2-10,)描述其动态特性的传感器就称为一阶系统,,一阶系统又称为惯性系统,。 ,如前面提到的不带套管热电偶测温系统、电路中常用的,阻容滤波器等均可看作为一阶系统。,3,),二阶系统,二阶系统的微分方程为,二阶系统的微分方程通常改写为,式中:,k,传感器的静态灵敏度或放大系数,,k=b,0,/,a,0,; ,传感器的阻尼系数,,n,传感器的固有频率,,(2-11),根据二阶微分方程特征方程根的性质不同, 二阶系统又可分为:,二阶惯性系统,:其特点是特征方程的根为两个负实根, 它相当于两个一阶系统串联。 ,二阶振荡系统,:,其特点是特征方程的根为一对带负实部的共轭复根。 ,带有套管的热电偶、 电磁式的动圈仪表及,RLC,振荡电路等均可看作为二阶系统。,2.,传感器的动态响应特性,传感器的动态特性不仅与传感器的“固有因素”有关,还与传感器输入量的变化形式有关。也就是说,同一个传感器在不同形式的输入信号作用下, 输出量的变化是不同的, 通常选用几种典型的输入信号作为标准输入信号, 研究传感器的响应特性。 ,1,),瞬态响应特性,传感器的瞬态响应是时间响应。在研究传感器的动态特性时,有时需要从时域中对传感器的响应和过渡过程进行分析, 这种分析方法称为时域分析法。传感器在进行时域分析时,用得比较多的标准输入信号有阶跃信号和脉冲信号,,传感器的输出瞬态响应分别称为阶跃响应和,脉冲响应,。,(1),一阶传感器的单位阶跃响应,一阶传感器的微分方程为,设传感器的静态灵敏度,k,=1,,,写出它的传递函数为,对初始状态为零的传感器,若输入一个单位阶跃信号,即,t,0,t,0,输入信号,x,(,t,),的拉氏变换为,一阶传感器的单位阶跃响应拉氏变换式为,(2-13),对式,(2-13),进行拉氏反变换, 可得一阶传感器的单位阶跃响应信号为,(2-14),若输入阶跃信号为,在,t=0,时传感器处于稳态,一阶传感器的阶跃响应为,相应的响应曲线如图,2-8,所示。由图可见,传感器存在惯性, 它的输出不能立即复现输入信号,而是从零开始,按指数规律上升, 最终达到稳态值。理论上传感器的响应只在,t,趋于无穷大时才达到稳态值,但通常认为,t,=,(,3,4,),时,如当,t,=4,时其输出就可达到稳态值的,98.2%,,可以认为已达到稳态。所以, 一阶传感器的时间常数,越小,响应越快,响应曲线越接近于输入阶跃曲线,即动态误差小。因此,,值是一阶传感器重要的性能参数,。 ,图,2-8,一阶传感器单位阶跃响应,例,2-1,用热电阻温度计测量一个容器中的水温,将该温度计从,20,的室温突然放入,85,的水中,为一阶系统,即:,已知热电阻温度计的时间常数,6s,求经过,10s,后温度计的测得数据及相对误差。,解:,1,)温度计实际测得的温度为:,例,2-1,用热电阻温度计测量一个容器中的水温,将该温度计从,20,的室温突然放入,85,的水中,为一阶系统,即:,已知热电阻温度计的时间常数,6s,求经过,10s,后温度计的测得数据及,相对误差,。,解:,1,)温度计实际测得的温度为:,(2,) 二阶传感器的单位阶跃响应,二阶传感器的微分方程为,设传感器的静态灵敏度,k,=1,,,其二阶传感器的传递函数为,(2-15),传感器输出的拉氏变换为,(2-16),图,2-9,二阶传感器单位阶跃响应,=0,时,特征根为一对虚根,阶跃,响应是一个等幅振荡过程,又称为,无阻尼状态,1,时, 特征根为两个不同的负,实根, 阶跃响应是一个不振荡的,衰减过程, 又称为过阻尼状态,=1,时,特征根为两个相同的负实,根,阶跃响应也是一个不振荡的衰,减过程,但是它是一个由不振荡衰减,到振荡衰减的临界过程,又称为临界,阻尼状态,二阶传感器对阶跃信号的响应在,很大程度上取决于阻尼比,和固有角频率,n,0,1,时, 特征根为一对共轭复根,阶跃响应是一个衰减振荡过程,在这一过程中,值不同,衰减快慢也不同,这种衰减振荡状态又称为欠阻尼状态。,阻尼比,直接影响超调量和振荡次数,为了获得满意的瞬态响应特性,实际使用中常按稍欠阻尼调整,对于二阶传感器取,=0.6,0.7,之间,则最大超调量不超过,10%,,趋于稳态的调整时间也最短,约为(,3,4,),/(,),。,固有频率,n,由传感器的结构参数决定,固有频率,n,也即等幅振荡的频率,,n,越高,传感器的响应也越快。,(3),传感器的时域动态性能指标 时域动态性能指标叙述如下:,时间常数,:,一阶传感器输出上升到稳态值的,63.2%,所需的时间,称为时间常数,。 , 延迟时间,t,d,:,传感器输出达到稳态值的,50%,所需的时间。,上升时间,t,r,:,传感器输出达到稳态值的,90%,所需的时间,。, 峰值时间,t,p,:,二阶传感器输出响应曲线达到第一个峰值所需的时间。, 超调量,:,二阶传感器输出超过稳态值的最大值。 , 衰减比,d,:,衰减振荡的二阶传感器输出响应曲线第一个峰值与第二个峰值之比。,图,2-10,一阶传感器的时域动态性能指标,延迟时间,时间常数,上升时间,图,2-11,二阶传感器的时域动态性能指标,峰值时间,超调量,2,) 频率响应特性,传感器对不同频率成分的正弦输入信号的响应特性,称为,频率响应特性,。一个传感器输入端有正弦信号作用时,其输出响应仍然是同频率的正弦信号, 只是与输入端正弦信号的幅值和相位不同。频率响应法是从传感器的频率特性出发研究传感器的输出与输入的幅值比和两者相位差的变化。 ,(1,) 一阶传感器的频率响应,将一阶传感器传递函数式(,2-12,)中的,s,用,j,代替后,即可得如下的频,率特性表达式:,(2-17),幅频特性,:,(2-18),相频特性:,(2-,19),从式(,2-18,)、(,2-19,)和图,2-12,可看出,时间常数,越小,频率,响应特性越好。当,1,时,,A,(,),1,,,(,),0,,,表明传感器输出与输入成线性关系,且相位差也很小,输出,y,(,t,),比较,真实地反映了输入,x,(,t,),的变化规律。因此减小,可改善传感器的频率特性。,除了用时间常数,表示一阶传感器的动态特性外, 在频率响应中也用截止频率来描述传感器的动态特性。所谓截止频率,是指幅值比下降到零频率幅值比的 倍时所对应的频率,截止频率反映传感器的响应速度,截止频率越高,传感器的响应越快。 对一阶传感器,其截止频率为,1,/,。,图,2-12,为一阶传感器的频率响应特性曲线。,图,2-12,一阶传感器频率响应特性,(a),幅频特性;,(b),相频特性,从图,2-12,可以看出,只有当 ,0,时,A(,)=1,(,)=0,。由此可得,用一阶传感器测量时产生的幅值误差和相位误差为,(2,) 二阶传感器的频率响应,由二阶传感器的传递函数式(,2-15,)可写出二阶传感器的频率特性表达式, 即,(2-20),其幅频特性、 相频特性分别为,(2-21),(2-22),相位角负值表示相位滞后。由式(,2-21,)及式(,2-22,)可画出二阶传感器,的幅频特性曲线和相频特性曲线,如图,2-13,所示。,图,2-13,二阶传感器频率响应特性曲线,(a),幅频特性;,(b),相频特性,从图,2-13,看出当,/,0,=0,时,A(,)=1,(,)=0,。由此可得,用二阶传感器测量时产生的幅值误差和相位误差,从式(,2-21,)、(,2-22,)和图,2-13,可见,传感器的频率响应特性好坏主要取决于传感器的固有频率,n,和阻尼比,。 当,时,,A,(,),1,,,(,),很小, 此时,传感器的输出,y,(,t,),再现了输入,x,(,t,),的波形,通常固有频率,n,至少应为,被测信号频率,的(,3,5,)倍, 即,n,(,3,5,),。,为了减小动态误差和扩大频率响应范围,一般是提高传感器固有频率,n,,,而固有频率,n,与传感器运动部件质量,m,和弹性敏感元件的刚度,k,有关, 即,n,=,(,k/m,),1/2,。,增大刚度,k,和减小质量,m,都可提高固有频率,但刚度,k,增加,会使传感器灵敏度降低。 所以在实际中,,应综合各种因素来确定传感器的各个特征参数。,(3,),频率响应特性指标 频率响应特性指标叙述如下,:,通频带,0.707,:,传感器在对数幅频特性曲线上幅值衰减,3 dB,时所对应的频率范围,如图,2-14,所示。 ,工作频带,0.95,(或,0.90,):,当传感器的幅值误差为,5%,(或,10%,)时其增益保持在一定值内的频率范围。 ,时间常数,:,用时间常数,来表征一阶传感器的动态特性。,越小,频带越宽。 ,固有频率,n,:,二阶传感器的固有频率,n,表征其动态特性。 ,相位误差,:在工作频带范围内,传感器的实际输出与所希望的无失真输出间的相位差值,即为相位误差。 ,跟随角,0.707,:,当,=,0.707,时,对应于相频特性上的相角,,即为跟随角。,图,2-14,传感器的频域动态性能指标,例,2.1,用二阶传感器来测量,f=400Hz,正弦变化的力,已知该传感器的固有频率为,800Hz,,,阻尼度,0.4,,,求幅值误差和相位误差。,解:,/,n,=(2,f)/ (2,f,n,)= f/ f,n,=400/800=0.5,基本参数指标,环境参数指标,可靠性指标,其它指标,1,量程指标:,量程范围、过载能力等,2,灵敏度指标:,灵敏度、满量程输出、分辩力、输入输出阻抗等,3,精度方面的指标:,精度(误差)、重复性、线性、回差、灵敏度误差、阈值、稳定性、漂移、静态总误差等,4,动态性能指标:,固有频率、阻尼系数、频响范围、频率特性、时间常数、上升时间、响应时间、过冲量、衰减率、稳定误差、临界速度、临界频率,1,温度指标:,工作温度范围、温度误差、温度漂移、灵敏度温度系数、热滞后等,2,抗冲振指标:,各向冲振容许频率、振幅值、加速度、冲振引起的误差等,3,其他环境参数:,抗干扰、抗介质腐蚀、抗电磁场干扰能力等,工作寿命、平均无故障时间、保险期、疲劳性能、绝缘电阻、耐压、反抗飞狐性能等,1,使用方面:,供电方式(直流、交流、频率、波形等)、电压幅度与稳定度、功耗、各项分布参数等,2,结构方面:,外形尺寸、重量、外壳、材质、结构特点等,3,安装连接方面:,安装方式、馈线、电缆等,传感器的性能指标一览,2-4,1),计算非线性误差,最大非线性绝对误差,传感器满量程输出值,2,)计算迟滞误差:,全量程内最大的迟滞差值,传感器满量程输出值,3,)计算重复性误差,传感器满量程输出值,正反量程内,最大,的重复差值,2-5,由方程式,知该系统为一阶系统。,已知热电阻温度计的时间常数,0,120s,求经过,350s,后温度计的动态误差。,解:,1,)温度计实际测得的温度为:,动态误差即相对误差:,2-6 1,) 由一阶传感器测量时产生的幅值误差公式,即,解得:,=0.000523,秒,2,)测量,50HZ,正弦信号求幅值误差和相位误差,2-7,2-8,
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