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XPS能谱数据处理能谱数据转化成ASC码文件后可以用EXCEL、ORIGIN等软件进行处理。这篇文章的目的是向大家介绍用ORIGIN软件如何处理能谱数据,以及它的优势所在。下面将分三部分介绍如何用ORIGIN软件处理能谱数据:1、多元素谱图数据处理 2、剖面分析数据处理 3、复杂谱图的解叠一、多元素谱图的处理: 1、将ASC码文件用NOTEPAD打开:元素名称X轴起始点采集的数据点总数X轴步长Y轴数值2、复制Y轴数值。打开ORIGIN,将Y轴数据粘贴到B(Y):3、如图:点击工具栏plot,选择line4、出现下图:点击B(Y),再点击Y,使B(Y)成为Y轴数据。然后在“set X values”中输入起始值和步长。5、点击OK,得到下图:6、利用ORIGIN提供的工具可以方便的进行平滑、位移。A. 位移:1)如图:选择analysistranslatevertical或horizontal可以进行水平或垂直方向的位移。我们以水平位移为例进行讲解。2)在图中双击峰顶,如图示(小窗口给出的是此点的X,Y值) 3)然后在图中单击其他位置找到合适的X值(小窗口给出的是红十字的X,Y值) 4)双击红十字的位置,峰顶就会位移到此处:位移可以反复多次的进行,垂直方向的位移和水平方向的一样。B、平滑1)如图选择:2)出现下面的小窗口3)点击settings出现下面的界面(如果想用平滑后的代替原始的,选择”replace original”,如果想重新做图选”add to worksheet”,下面的数值不用改变)4)点击operation,选择savizky-golay进行平滑。得到下图: 二、剖面分析数据处理:1、用写字板打开ASC码文件,选取所需要的元素Y轴数据起始值及步长元素名称剖面分析中的CYCLE 数 2、打开ORIGIN软件,如图示:选择columnadd new columns 如果你的数据有九个cycle那么你要在下面的窗口选择8。然后在B(Y).J(Y)中依次输入不同cycle的Y轴数值点击图中下方工具栏的waterfallwaterfall然后在下图中先输入X轴起始值及步长,再将Y值输入(点击B(Y),然后按住SHIFT键不放,再点击最后一个Y值选项:如E(Y),松开SHIFT 键,点击ADD 键。点击OK得到下图:颜色代表字母,对应于cycle数前后翻转工具,用上法作图,得到的谱图需翻转选项X OFFSET 决定视角,Y OFFSET 决定两条谱线间距谱图修改工具栏应用修改工具得:(X OFFSET 设为0,Y OFFSET 设为100)注意谱线对应的CYCLE数如果想要得到其中某一个cycle的谱图,只要调出原来的worksheet(数据表),再次点击waterfall。输入X轴数据,然后只选一组Y轴数据(和多元素分析一样),就可以了。注:不同样品同种元素比较也可以用此种方法三、谱图解叠:和多元素分析步骤一样,经过平滑、位移,得到下图:(注:画图时,先输入X轴步长等,再输入Y轴数据)1、 去本底:选择toolsbaseline2、 出现下面的窗口,选择baseline,将number of points后的参数改小一些,比如2,点击create baseline4、出现下图:选择小窗口中的modify:5、拖动每一点到合适的位置(点住鼠标左键不放一直拖到合适的位置):如图6、然后选择substract得到7、分别点击X轴、Y轴将坐标更换为原来顺序和数值:8、如图:选择analysisFit multi-peaksgaussian9、出现下面的窗口:按需要拟合的子峰个数输入10、点击ok,得到:11、点击OK默认选择,根据谱图的形状双击选择子峰位置(红十字代表峰顶):如图12、刚才设置为两个子峰,所以双击两个位置,这时电脑自动计算出相关数据:如果想要看拟合后的曲线,需激活(调出)谱图窗口。然后,选择analysisnon liner curve fit 如图:13、得到:14、上图不合理,两子峰半峰宽相差太大,需要加入新的子峰进行调整。点击下图中more按钮15、出现下图:更改为2增加一个子峰,依次类推点击此按钮出现此图界面16、选择basic modestart fitting回到原界面,点击1 lter和10 lter 直到出现新的子峰峰位置、半峰宽和面积17、上图明显也不合理,调节小窗口中各个子峰的数值 18、然后点击下图中done按钮,再次选择analysisnon-linear curve fit,反复修改直到得到满意的谱图多元素分析注意事项:l 不能一味的平滑,有时不平滑反而能更准确的反映样品的性质l 位移要有理有据,不能按自己的需要移动。解谱注意事项: 各个子峰的半峰宽要尽量接近 如果所解谱图不是1S,就会出现裂分峰(比如:2p2/3和2p2/5)此时,一定要根据谱图手册,按裂分峰间距解谱 对于裂分峰峰面积不能随意拟合,要按谱图手册的比例进行。注意:以上方法得出的数据,仅供参考。
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