薄化工艺介绍及不良案例分析.ppt

玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析 1 / 玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析 玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析 2 / 内 容 1.化学薄化设备介绍 2.化学薄化工艺介绍 3.主要不良案例分析 玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析 3 / 一、化学薄化设备介绍 设备组成： Loader单元 预清洗单元 蚀刻单元 清洗单元 干燥单元 Unloader单元 洗气装置 供酸装置 温度控制器 HF酸浓度计 玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析 4 / 化学薄化设备实图 玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析 5 / 二、化学薄化工艺介绍 1.反应时间与玻璃质量损失的关系（注：图表中所研究玻璃为石英玻璃） 图 1.反应时间与玻璃质量损失之间的关系 玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析 6 / 2.反应速率与反应温度的关系 图 2.玻璃在 HF酸中反应速率与反应温度之间的关系 玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析 7 / 3.反应速率与 HF酸浓度的关系 图 3.玻璃在 HF酸中反应速率与 HF酸浓度之间的关系 玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析 8 / 25 时不同浓度 HF酸中各组分的浓度 (mol/l) HFt Composition H+ HF2- (HF)2 F- HF 1.4 0.0282 0.0181 0.4686 0.0101 0.4166 2.79 0.0396 0.0289 1.0491 0.0108 0.6233 5.58 0.0558 0.0446 2.2803 0.0113 0.919 8.4 0.0684 0.0569 3.563 0.0115 1.1488 11.23 0.079 0.0673 4.8704 0.0117 1.3431 22.5 0.1115 0.0996 10.1739 0.0119 1.9412 说明反应速率与 (HF)2的浓度有很大的相关性，是 HF酸溶液中的最主要活性成分， 因为以氢键形式存在的 H F键比 HF分子中的 H F键更脆弱，与 SiO2反应时更容 易断裂。 玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析 9 / 三、主要薄化不良案例分析 1.不可擦拭脏污 脏污区域 正常区域 可判定不可擦拭脏污在蚀刻过程中产生 玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析 10 / 结论：薄化前的玻璃表面品质直接决定薄化后玻璃表面品质 为什么局部蚀刻速率不一致 为什么不是所有玻璃表面都是玻 璃成分 为什么胶类物质未被清除 为什么局部表面不平整 为什么产生不可擦拭脏污 因为玻璃表面不是所有区域都是玻璃成分 因为玻璃被蚀刻时局部蚀刻速率不一致 因为玻璃薄化时局部表面不平整 清除不彻底、脏污漏擦拭 薄化前玻璃表面有胶类物质未被清除 玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析 11 / 测量系统 环境 材料 工艺方法 设备 人 检查方法 检查工具 温度 照度 湿度 胶的黏度 无尘布去污性能 X3 无尘布更换频度 X2 擦拭方法 X1 工作技能 识别脏污 能力 清洁度 工具 产生脏污 接触位置 酒精浓度 X4 接触次数 玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析 12 / 2.薄化表面不匀 薄化表面不匀产生原因： 1.Conveyer故障 处理故障必须先停止蚀刻液供应，必将造成玻璃表面药液残留，继续与玻璃进行 蚀刻速率不一致的反应。形成水波纹状表面不匀 2.瀑布流分叉（瀑布流蚀刻方式） 瀑布流平台由于蚀刻后反应物堆积造成分叉，玻璃传送至分叉位置时蚀刻速率降 低造成局部不平整。 3.Nozzle堵塞（喷淋式蚀刻方式） Nozzle堵塞造成玻璃局部蚀刻液更新不及时，间接降低药液浓度，从而降低蚀刻 速率，形成表面不匀。 玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析 13 / 薄化表面不匀对显示的影响 光线透过玻璃表面，在表面不匀处形成折射，造成光的垂直分量减弱，与周围 正常相比产生亮度的差异。 玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析 14 / 薄化表面不匀改善方向（以瀑布流蚀刻方式为例） 1.对循环药液储罐增加过滤装置，防止蚀刻产物堆积在瀑布流平台，造成瀑布 流分叉。 2.增加瀑布流平台的保养频度，及时清理瀑布流平台的堆积产物。 3.调整蚀刻液配方，使部分蚀刻产物溶于蚀刻液中，减少堆积和堵塞。 玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析 15 / 强力推荐 !大量电子行业电子企业 /工厂方面 (涵盖 LCD/LCM/TFT/TP/3D/POL实战技 术）。包括多家著名电子企业的内部管理制 度 ,表格 ,流程 ,成本 ,绩效考核 ,供应链 ,质量管 理 ,电子行业技术资料等等 . 数万个文件 , 一 网打尽 !售价： 150元 qq:785302948 欢迎登录我的博客下载资料 112768.html