pvd制程介绍-0621

濺射出的靶材粒子濺射出的靶材粒子氣體離子氣體離子電子電子靶材工件 氬氣在電場作用下被離化同時被加速氬氣在電場作用下被離化同時被加速,向加有負電壓的靶面飛去向加有負電壓的靶面飛去,轰击轰击靶材靶材表面，表面，引起引起靶材靶材表面各种粒子，如原子、分子或团表面各种粒子，如原子、分子或团束逸出束逸出即產生即產生溅射。溅出的中性原子溅射。溅出的中性原子與真空與真空腔內同時被離化的氣體粒子反應而腔內同時被離化的氣體粒子反應而沉积到工沉积到工件件表面表面上，上，於是於是形成形成了一定厚度的了一定厚度的膜层。膜层。以以TiNTiN為例為例,過程如下過程如下:eAr+Ar能量離子化Argon氣體團氣體團Ar+e Ar+2e PowerAr+Ti Ti(Atom)+Ar+靶材被濺射出的靶材粒子氣體離子Ar+接地a)電場及磁場的布置電場及磁場的布置b)電子的運動軌跡電子的運動軌跡c)平面磁控電極表面電子的運動平面磁控電極表面電子的運動d)Z方向的收聚力方向的收聚力e)靶工作的圖片靶工作的圖片Ar+N2 2N+Ar+Ti+N TiN基底材料基底材料上挂清洗烘烤鍍膜下挂入庫全檢來料抽檢涂抗指紋油固化終檢2.PVD工藝流程色差儀色差儀客客戶戶承承認認的的限限度度樣樣板板測測試試條件條件:11*11格(厚度50um,每格1*1mm2);6*6格(50um厚度120um,每格2*2mm2);划痕長度不小于20mm;2.判定級別判定級別:0級-無任何剝落1級-剝落面積5%2級-5%剝落面積15%;3級-15%剝落面積35%;4級-35%剝落面積65%;1 1.高金屬質感和艷麗飽滿的色彩效果高金屬質感和艷麗飽滿的色彩效果2.2.優異的功能性優異的功能性(與基材的良好結合高的硬度和耐磨性等與基材的良好結合高的硬度和耐磨性等)3.3.底材選擇的多樣化底材選擇的多樣化(如不鏽鋼鈦合金甚至鋁合金如不鏽鋼鈦合金甚至鋁合金)4.4.制程的良好的穩定性和再現性制程的良好的穩定性和再現性5.5.適應現代環保潮流適應現代環保潮流