机械加工车间与生产过程管理ppt课件

车间与生产过程管理,第一部分：制造干部的职责 一、车间管理在企业中的使命 二、制造干部在车间管理中的地位与作用 三、制造干部的工作方向及工作领域 第二部分：制造现场流程管理 一、制程管理新观念 二、制程管理的目的（功能） 三、制程管理的范围 四、掌握制程重点之方式及其工具 五、制程管理程序（流程） 六、制程管理重点项目及管理技巧 第三部分：现场生产过程控制 一、影响生产顺畅因素 二、生产管制（现场）重要管制要领 三、现场员工生产管制十大理念 四、生产现场生产管制流程 五、生产前之生产管制措施（准备项目） 六、现场生产管制的八大重点及技巧,制造干部的职责,一、车间管理在企业中的使命： 1.充份利用4M资源，达到物美价廉目的 2.维护车间生产顺畅，顺利达到顾客交期要求 3.监控重要制程，发挥制程百分之百效率与效益 4.以人为本的调度与运用，提高生产机动性及弹性化， 满足市场需要 5.掌握缺陷与异常、及时对策与处理、维护车间平顺,二、制造干部在车间管理中的地位与作用： （一）地位： 1.四好角:好邻居，好媳妇，好太太，好母亲 2.全方位角色:带人要带心 （二）作用： 1.管理功能：Q,C,D,M,S 2.九大支掌功能：例行工作，计划，培育，成长，沟通协调，指挥调度，管制，成绩，执行,三、制造干部的工作方向及工作领域： （一）工作方向： A.重点：时间四限法不重要但紧急的授权（节约空间， 发现人材，培育人才） B.成绩：可见管理 + 报表责任 C.进度：状况管理 结果管理 D.异常：S.O.S制 + 资料异常反应系统 E.管制点：Neck + 压缩工程 Neck:做不出来的/压缩：怎么做都做得出来的 F.向上（善）管理：充电 + 培育 + 工作改善,（二）工作领域： 1.有形与无形领域： （1）3M 有形 （2）管理功能 + 方法 + 领导 无形 2.全方位领域： 上 左 右 下,制造现场制（流）程管理,一、制程管理新观念： 1.制程管理以维护生产顺畅为目标 2.制程管理不等于制程能力 3.制程管理乃管理制造过程的种种工作 4.制程管理以管理4M为架构之相关工作 5.制程管理乃现场管理的焦点方向,二、制程管理的目的（功能）： 1.使生产顺畅 2.使生产成本降低 3.使生产效率提高 4.做出适当的品质 5.活用生产资源 6.提高生产活动之弹性 7.减少生产资源之浪费,三、制程管理的范围： 1.物料供需管理 2.人员管理 3.机具设备管理 4.方法管理,四、掌握制程重点之方式及其工具： 1.病历表 2.巡视点检表 3.失败成本分析表 4.职掌中之重点方向 5.部门缺陷、瓶颈表,五、制程管理程序（流程）： 主管拟订项目 订定基准 执行者 执行 实绩管理 检讨评价 PDCA,编辑本段生产过程和工艺过程 生产过程是指从原材料（或半成品）制成产品的全部过程。对机器生产而言包括原材料的运输和保存，生产的准备，毛坯的制造，零件的加工和热处理，产品的装配、及调试，油漆和包装等内容。生产过程的内容十分广泛，现代企业用系统工程学的原理和方法组织生产和指导生产，将生产过程看成是一个具有输入和输出的生产系统。能使企业的管理科学化，使企业更具应变力和竞争力。 在生产过程中，直接改变原材料（或毛坯）形状、尺寸和性能，使之变为成品的过程，称为工艺过程。它是生产过程的主要部分。例如毛坯的铸造、锻造和焊接；改变材料性能的热处理1；零件的机械加工等，都属于工艺过程。工艺过程又是由一个或若干个顺序排列的工序组成的。 工序是工艺过程的基本组成单位。所谓工序是指在一个工作地点，对一个或一组工件所连续完成的那部分工艺过程。构成一个工序的主要特点是不改变加工对象、设备和操作者，而且工序的内容是连续完成的。例如图32-1中cc1的零件，其工艺过程可以分为以下两个工序： 工序1：在车床上车外圆、车端面、镗孔和内孔倒角； 工序2：在钻床上钻6个小孔。 在同一道工序中，工件可能要经过几次安装。工件在一次装夹中所完成的那部分工序，称为安装。在工序1中，有两次安装。第一次安装：用三爪卡盘夹住 外圆，车端面C，镗内孔，内孔倒角，车外圆。第二次安装：调头用三爪盘夹住外圆，车端面A和B，内孔倒角。 编辑本段生产类型 生产类型通常分为三类。 1单件生产 单个地生产某个零件，很少重复地生产。 2成批生产 成批地制造相同的零件的生产。 3大量生产 当产品的制造数量很大，大多数工作地点经常是重复进行一种零件的某一工序的生产。 拟定零件的工艺过程时，由于零件的生产类型不同，所采用的加方法、机床设备、工夹量具、毛坯及对工人的技术要求等，都有很大的不同。 编辑本段加工余量 加工余量概述 为了加工出合格的零件，必须从毛坯上切去的那层金属的厚度，称为加工余量。加工余量又可分为工序余量和总余量。某工序中需要切除的那层金属厚度，称为该工序的加工余量。从毛坯到成品总共需要切除的余量，称为总余量，等于相应表面各工序余量之和。 机床 在工件上留加工余量的目的是为了切除上一道工序所留下来的加工误差和表面缺陷，如铸件表面冷硬层、气孔、夹砂层，锻件表面的氧化皮、脱碳层、表面裂纹，切削加工后的内应力层和表面粗糙度等。从而提高工件的精度和表面粗糙度。 加工余量的大小对加工质量和生产效率均有较大影响。加工余量过大，不仅增加了机械加工的劳动量，降低了生产率，而且增加了材料、工具和电力消耗，提高了加工成本。若加工余量过小，则既不能消除上道工序的各种缺陷和误差，又不能补偿本工序加工时的装夹误差，造成废品。其选取原则是在保证质量的前提下，使余量尽可能小。一般说来，越是精加工，工序余量越小。 机械加工余量标准 1主题内容与适用范围 本标准规定了磨削加工的加工余量。 本标准适用于磨削各类材料时的加工余量。 机械零件是由若干个表面组成的，研究零件表面的相对关系，必须确定一个基准，基准是零件上用来确定其它点、线、面的位置所依据的点、线、面。根据基准的不同功能，基准可分为设计基准和工艺基准两类。 1设计基准 在零件图上用以确定其它点、线、面位置的基准，称为设计基准。如图32-2所cc2示的轴套零件，各外圆和内孔的设计基准是零件的轴心线，端面A是端面B、C的设计基准，内孔的轴线是外圆径向跳动的基准。 2工艺基准 零件在加工和装配过程中所使用的基准，称为工艺基准。工艺基准按用途不同又分为装配基准、测量基准及定位基准。 （1）装配基准 装配时用以确定零件在部件或产品中的位置的基准，称为装配基准。 （2）测量基准 用以检验已加工表面的尺寸及位置的基准，称为测量基准。如图32-2中的零件，内孔轴线是检验外圆径向跳动的测量基准；表面A是检验长度L尺寸l和的测量基准。 （3）定位基准 加工时工件定位所用的基准，称为定位基准。作为定位基准的表面（或线、点），在第一道工序中只能选择未加工的毛坯表面，这种定位表面称粗基准.在以后的各个工序中就可采用已加工表面作为定位基准，这种定位表面称精基准。 编辑本段拟定工艺路线的一般原则 机械加工工艺规程的制定，大体可分为两个步骤。首先是拟定零件加工的工艺路线，然后再确定每一道工序的工序尺寸、所用设备和工艺装备以及切削规范、工时定额等。这两个步骤是互相联系的，应进行综合分析。 工艺路线的拟定是制定工艺过程的总体布局，主要任务是选择各个表面的加工方法，确定各个表面的加工顺序，以及整个工艺过程中工序数目的多少等。 拟定工艺路线的一般原则 1、先加工基准面 零件在加工过程中，作为定位基准的表面应首先加工出来，以便尽快为后续工序的加工提供精基准。称为“基准先行”。 2、划分加工阶段 加工质量要求高的表面，都划分加工阶段，一般可分为粗加工、半精加工和精加工三个阶段。主要是为了保证加工质量；有利于合理使用设备；便于安排热处理工序；以及便于时发现毛坯缺陷等。 3、先面后孔 1 对于箱体、支架和连杆等零件应先加工平面后加工孔。这样就可以以平面定位加工孔，保证平面和孔的位置精度，而且对平面上的孔的加工带来方便。 4、光整加工 光整加工后的工件独特作用也证实了二者的有机结合，具有肯定的临床疗效。 编辑本段东西方医学交融（df高血压958心脏病983u6糖尿病87fr） 不管是中医学还是西医学，从二者现有的思维方式的发展趋势来看，均是走向现代系统论思维，中医药学理论与现代科学体系（45传染病q566丙肝964jo乙肝28jgsx甲肝gh）之间具有系统同型性，属于本质相同而描述表达方式不同的两种科学形式。可望在现代系统论思维上实现交融或统一，成为中西医在新的发展水平上实现交融或统一的支撑点，希冀籍此能给（df高血压958心脏病983u6糖尿病87fr）中医学以至生命科学带来良好的发展机遇，进而对医学理论带来新的革命。 编辑本段现代中医史（df4肺炎88gdg青霉素d25f肝炎df6）轴心时代中、西医学的峰巅之作。雅斯贝而斯曾说：“如果历史有一个轴心，那么我们就必须将这轴心作为一系列对全部人类都有意义的事件，发生于公元前800至200年间的这种精神历程似乎构成了这样一个轴心。,专业精品课件,本文档下载后可以修改编辑，欢迎下载收藏。,六、制程管理重点项目及管理技巧： （一）半制品及工程间库存管理： A.半制品库存的形成： 工序1# 半制品库存 工序2# 半制品库存 工序3# 半制品库存 B.半制品库存与工序间之前置时间（L.T）关系： 库存天数=L.T（LEAD TIME）,C. L.T的决定因素： 1.机具功能状况：停、修机率 4.人工技能依赖度 2.品质稳定性：不合格频率 5.外包与内制关系 3.产能NECK点 D.各制程投入数与库存关系： 横向MRP之计算式,E.半制品库存（档）表编制 甲、表例： 订单别： 半制品管制表 品种别： 规格： 批号：,乙、管制重点： 1.控制投入数及成品数（良+次+回收） 2.控制不良品处理速度 3.控制不良品回收程度 4.控制报废率 5.控制转入数 6.控制STK数 7.计划完成日/截止实绩完成日 8.本表可为单位内工程别/制造部门用，也可以ORD No做为控制 多批少量用 F、库存基准： （一）库存基准=大批正常品种 （二）库存基准=多批少量用,（二）镆治工具管理要点及做法： A.管理要点： 1.需求预测与计划 2.镆具别L.T管理 3.镆具库存管理 4.镆治具需求及使用月报 5.整备点检 6.稼动实绩管理 7.需求管理,B.镆治工具产能管理： 产能管制表 M/C名：,C.镆治工具寿命管理： Model寿命管理表 品种名：,D.镆治工具品种产能管理： 产能管理表 品种名：,（三）生产进度、数量管理技巧： A.生产进度管理： 1.瓶颈管理：质与量的固定NECK 2.过程管理：变化的工程 质、量、技术 3.阶段管制 4.批量管理：Lot No. & ORD No. 5.真入帐假入库 B.生产数量管理： 1.三量管理 2.投入数管理 3.师公制 4.成品数控制：生产计划=,（四）过程管理关键点及其管理方法： A.必要性： 欲使生产管理顺畅，现场干部必须针对制程中相关关键点，作稼动时间内之全程监控。一旦问题发生，随时掌握（控），并施以对策改正，务必使其问题对生产活动完成之时间影响降至最低，故掌控关键点之状况、随时处理改正，此种管理方法，即是过程管理。,B.过程管理关键点之选定原则： 1.品质随时有变异之工程 2.工程条件随时有变异者 3.来料品质差异大 4.来料品质变动频繁 5.品质关键工程 6.自动控制品质功能者 7.自动控制操作功能者 8.来料多源 9.高度依赖人工判断品质者 10.neck产能工程 11.生产效率低落之工程或部门 12.机故频率高之工程,C.掌控制程关键状况之工具： 1.SOS制 2.可见管理 3.功德箱 4.聚宝盒 5.流程管理工具 6.自控凤鸣器 D.处理方向： 1.核心仲裁制：紧急核示、统合核示 2.自主裁决制：先斩后奏 3.资料核阅责任制：自主处理 4.紧急统合会（紧急检讨会）：寻求多部门协助 5.通报制：主管、生管或相关权责单位,（五）有效的生产工作分配及人员管理： A.生产工作分配重点及技巧： 1.顺序分配 2.品种组群 3.机具性能 4.品质区隔 5.特种订单分配,B.生产（作业）人员管理： 1.人力规划 2.人员检讨 3.工程/个人属性 4.编制/在籍管理 5.技术储存,（六）搬运管理之做法及重点： A.重点做法： 1.动线 2.物不落地 3.定容定量 4.批量同步储运 5.纵式储存 6.4通储位 7.吊车取货 8.主副信道 9.运搬车选择 B.活性系数分析改善 C.布置运搬分析改善,（七）不良品管理要点及做法： 1.三分政策 2.师公制 3.现象三步曲 4.处理5顺序 5.再处理标准化 6.处理文件化 7.不良处理资料利用 8.投入前置时间处理限制制 9.批别内部品质失败成本统计制 10.特采品保现场职责规范,（八）制程品质管理技巧： 1.S.O.S制 5.首件自主品检 2.可见管理 6.制他性自主品管 3.品质病历制 7.批量管理 4.定时品质维护制 8.责任品检,（九）正确生产绩效控制方式、做法： A.控制方式种类及做法： 正面：1.操作率 负面：1.不良率 2.作业率 2.不合格率 3.生产力 3.报废率 4.劳动生产力 4.重工率 5.产能达标率 5.次品率 6.除外工时 6.故障率 7.生产计划达标率 7.停机率 8.良品率 9.成品率,B.员工绩效管理的种类： 1.生产绩效 3.品质绩效 2.生产综合绩效 4.管理绩效,（十）加强工程切换快速方法： 1.备机切换 2.分摊切换 3.专柜切换 4.条件限制切换：专机、专Mold、专品种 5.条件履历切换：镆组化 6.休机切换 7.前置时间调整切换 8.（进料）规格匹配切换,（十一）减少设备故障率之管理方法： A.管理的六大领域： 1.新机采购作业 2.设备组装作业 3.环境要素 4.操作标准与执行 5.维修与保养作业 6.教育训练及资格登录,B.必要管理措施： 1.一、二、三级保养制度实施 2.上项之定期稽核、追踪、奖惩 3.操作者资格登录 4.M/C别、部位别定检计划与实施 5.权责区分及评核 6.明订保养周期 7.停机记录为保养计划依据,（十二）巡视管理的具体有效方式： A.巡视四要领：歪打正着，由远而近，由慢而快，由面到点 B.巡视项目的选定原则： 1.上级任务、命令、指责 2.公司政策 3.职责缺失 4.失败成绩 5.目标重点 6.开会决论 7.协商结论 8.上下之承诺,C.巡视计划之内容： 1.期限别 2.项目 3.类别：上级、开会、成绩、任务 4.点检周期 5.点检者：授权时 6.基准 7.巡视时间 8.巡视结果（评价）,D.巡视管理工具： 1.巡视计划看板：主管用 2.巡视计划者 3.巡视点检者 4.巡视汇总分析表,现场生产过程控制,一、影响生产顺畅因素： 1.材料 2.物料 3.品质 4.人力 5.机器 6.技术 7.标(基)准 8.工(治)具 9.容器 10.运(搬)输 11.储(存)放 12.切换 13.排程 14.批量 15.制造程序 16.场(地)所 17.环境 18.安全 19.组织功能之衔接,20.订单状态、量、种、时、变 查检表 层别 管制 基准 方法 管理,二、生产管制（现场）重要管制要项： 1.计划基础管制：负荷，L.T.，计划数，制造程序，产能，物需 2.能力管制：人力，机具，物料，技术，调度（整合） 3.制品管制：良品，数量，不良品，半制品，库存，料赈 4.工程管制：瓶颈，压缩，条件，技术，变异，标准 5.实绩管制：数量，进度，修正，调整，弥补，调度 6.现场管理：统合，协商，支持，调整，修正，对策，跟催，补救 7.出货管制：L/C，船期，才积，文件，C/MARK，备料， 包装,三、现场员工生产管制十大理念： 1.按生产计划（指示）做 2.按生产计划完成 3.不多做，不少做，不提前，不延后 4.有计划的做，有计划的管制 5.事前充分准备，事中随时监控，事后即刻检讨及补救 6.进行中的管制结果的管制 7.个别的管制为重点，整体的管制为优先 8.管制要有工具、基准及制度 9.机动调度与支持，济弱救贫 10.及时控制，及时调整才是管制的行为,四、生产现场生产管制流程： 1.文件准备 10.热机时间管制 2.工作分配 11.首件管理 3.备（配）机 12.三架管理 4.备料 13.阶段管制 5.标识管理 14.调度管理 6.勤怠管理 15.异常管理 7.人力度 16.紧急支持管理 8.上机管理 17.弥补计划措施 9.开机时间管制 18.归位及再计划,五、生产前之生产管制措施（准备项目）： 1.排程表 2.4点SETS 3.病历表 4.物（原）料点检表 5.收台认确表 6.治工，镆（仪）具点检表 7.工程条件点检表 8.转移及记录（报）表 9.点收作业,六、现场生产管制的八大重点及技巧： 1.不良管理 2.重工管理 3.备料管理 4.换线作业管理 5.外包管理 6.生产技术管理 7.制程品质管理 8.稼动率管理,车间管理四大系统,品质管理,生产控制与管理,工作调度（适人适所）,多变竞争时代生管人员的角色？ 多变竞争时代生管人员的使命？ 多变竞争时代生管人员的定位？,管理技巧要翻新 组织功能取代个人权威管理 管理上重工作关系管理，而非工作管理 死的制度，活的运用 授权管理 有适应急变的能力 能全方位随时掌握现场 计划重于管制 能运用识人、识源的最佳组合，发挥效率及效益 只有符合顾客的满意，绝无管理上的藉口 综合绩效为主，个别绩效为辅 有义务创造利润，无权力增加成本,失败成本计算案例 某日甲主管的部门发生下列事情： 1 上班时发现材料未领，停机待料30分钟，5人待机中 2 机器故障，延误修机时间20分钟，3人待机中 3 因图面资料看错，致做错A品种30PCS，全作废处理 4 未维持地上干净，只等请一作业员扫地15分钟 5 未发现前工程不良，导致本工程因此做50个不良品而报废 6 两女员工因工作中吵架，耽误工作15分钟 7 本日发生报废50PCS，不良重工100PCS，共花费80分钟 8 因品质不良，被品管停线追查，计80分钟，10人待工中 9 机器故障工时，共计90分钟，6人待机中 10 上班未准时开机，共损失200分钟，20人待机中 假设：（1578.36） 1. 该部门平均1分钟生产10个 2. 每个利润:$0.5/件 3. 平均每个产品需0.1分钟 4. 平均每员工工资:$142/时 5. 本工程总产品成本:$50/件 6. 本工程产品售价(值):$50.50/件,附件一：,镆治具寿命管理表例 某编号镆具开镆时之条件设定如下: 1. 2002年元月底开镆完成,预定使用6年 2. CAVITY数:10个 3. 假设每月产量为100,000个 4. 每天作业8hrs 5. 根据过去实绩,本镆可生产66,250,000个 6. 2002年4月止,已生产560,000个 问此镆寿命何时用完,并开镆完成?(5.47年-2007.6),附件二:,劳动生产力计算案例 某部门生产时,因品种之作业难易相当明显,故产出量因而大不相同.假设A品种每个 生产工时为30分;B品种为70分:C品种为20分;D品种为40分;经检讨,D品种为本公司 最稳定、量最大，预期未来市场需求稳定。故决定以D品种为本公司标准品种。某 日，该部门之产量，经多次切换品种，将其产量及工时分述如下： A品种： 81，000分 2，700个 B品种： 84，000分 1，200个 C品种： 6，400分 3，200个 D品种： 116，000分 2，900个 请计算出该部门当天之劳动生产力（003）,附件三:,不管是中医学还是西医学，从二者现有的思维方式的发展趋势来看，均是走向现代系统论思维，中医药学理论与现代科学体系之间具有系统同型性，属于本质相同而描述表达方式不同的两种科学形式。可望在现代系统论思维上实现交融或统一，（df高血压958心脏病983u6糖尿病87fr）成为中西医在新的发展水平上实现交融或统一的支撑点，希冀籍此能给中医学以至生命科学带来良好的发展机遇，进而对医学理论带来新的革命。 编辑本段现代中医史（4f肿瘤fbb癌症yuw3胃癌d65io肠癌.f2tr肺癌65ff） 替了事实认识，决定最终结果劳而无功”，因此，中、西医学应并存共荣而不必强求统一。 （df4肺炎88gdg青霉素d25f肝炎df6） 尽管目前中、西医学还不可能融合成为一种统一的医学模式，但可以独立发展，并存共荣，整合互补。（45传染病q566丙肝964jo乙肝28jgsx甲肝gh）缘于现代信息论、（df肺25s血液f369血小板t5172红血球gdf55m白血球fd2）系统论和控制论的影响，西医学的发展趋势若仅仅是单纯地重视分析而忽略了整体结构和整体功能，无疑将渐行渐窄。而中医讲究“感悟”，（4f肿瘤fbb癌症yuw3胃癌d65io肠癌.f2tr肺癌65ff） 未免夹带有很多主观因素，难以客观地定量，定性。若中医的诊察疾病能参考现代医学的微观分析，将辨证与辨病相结合，实现宏观与微观的统一，使中医诊断客观化，即把分析与综合相结合的方法引入中医理、法、方、药的研究，使二者有机结合，互相借鉴、补充，避免各自的片面性、局限性，这将有利于中西医学的优势互补，（df高血压958心脏病983u6糖尿病87fr） “和而不同”，多元发展。近年来，中医药在防治非典、禽流感和艾滋病方面发挥的独特作用也证实了二者的有机结合，具有肯定的临床疗效。 编辑本段东西方医学交融（df高血压958心脏病983u6糖尿病87fr） 不管是中医学还是西医学，从二者现有的思维方式的发展趋势来看，均是走向现代系统论思维，中医药学理论与现代科学体系（45传染病q566丙肝964jo乙肝28jgsx甲肝gh）之间具有系统同型性，属于本质相同而描述表达方式不同的两种科学形式。可望在现代系统论思维上实现交融或统一，成为中西医在新的发展水平上实现交融或统一的支撑点，希冀籍此能给（df高血压958心脏病983u6糖尿病87fr）中医学以至生命科学带来良好的发展机遇，进而对医学理论带来新的革命。 编辑本段现代中医史（df4肺炎88gdg青霉素d25f肝炎df6）轴心时代中、西医学的峰巅之作机械加工是一种用加工机械对工件的外形尺寸或性能进行改变的过程。按被加工的工件处于的温度状态分为冷加工和热加工。一般 在常温下加工，并且不引起工件的化学或物相变化称冷加工。一般在高于或低于常温状态的加工会引起工件的化学或物相变化 称热加工。冷加工按加工方式的差别可分为切削加工和压力加工。热加工常见有热处理煅造铸造和焊接。 另外装配时常常要用到冷热处理。例如：轴承在装配时往往将内圈放入液氮里冷却使其尺寸收缩，将外圈适当加热使其尺寸放大，然 后再将其装配在一起。火车的车轮外圈也是用加热的方法将其套在基体上，冷却时即可保证其结合的牢固性（此种方法现在依旧应用 于某些零部件的转配过程中）。 机械加工包括：灯丝电源绕组、激光切割、重型加工、金属粘结、金属拉拔、等离子切割、精密 焊接、辊轧成型、金属板材弯曲成型、模锻、水喷射切割、精密焊接等。 机械加工：广意的机械加工就是指能用机械手段制造产 品的过程；狭意的是用车床（Lathe Machine）、铣床(Milling Machine)、钻床(Driling Machine)、磨床(Grinding Machine)、冲压 机、压铸机机等专用机械设备制作零件的过程。 1959年，Richard P Feynman(1965年诺贝尔物理奖获得者)就提出了微型机械的设想。1962年第一个硅微型压力传感器问世，其后开发 出尺寸为50500m的齿轮、齿轮泵、气动涡轮及联接件等微机械。1965年，斯坦福大学研制出硅脑电极探针，后来又在扫描隧道显 微镜、微型传感器方面取得成功。1987年美国加州大学伯克利分校研制出转子直径为6012m的利用硅微型静电机，显示出利用硅微 加工工艺制造小可动结构并与集成电路兼容以制造微小系统的潜力。 微型机械在国外已受到政府部门、企业界、高等学校与研究 机构的高度重视。美国MIT、Berkeley、StanfordAT&T的15名科学家在上世纪八十年代末提出“小机器、大机遇：关于新兴领域-微动 力学的报告“的国家建议书，声称“由于微动力学(微系统)在美国的紧迫性，应在这样一个新的重要技术领域与其他国家的竞争中走在 前面“，建议中央财政预支费用为五年5000万美元，得到美国领导机构重视，连续大力投资，并把航空航天、信息和MEMS作为科技发展 的三大重点。美国宇航局投资1亿美元着手研制“发现号微型卫星“，美国国家科学基金会把MEMS作为一个新崛起的研究领域制定了资助 微型电子机械系统的研究的计划，从1998年开始，资助MIT，加州大学等8所大学和贝尔实验室从事这一领域的研究与开发，年资助额 从100万、200万加到1993年的500万美元。1994年发布的美国国防部技术计划报告，把MEMS列为关键技术项目。美国国防部高级研 究计划局积极领导和支持MEMS的研究和军事应用，现已建成一条MEMS标准工艺线以促进新型元件/装置的研究与开发。美国工业主要致 力于传感器、位移传感器、应变仪和加速度表等传感器有关领域的研究。很多机构参加了微型机械系统的研究，如康奈尔大学、斯坦 福大学、加州大学伯克利分校、密执安大学、威斯康星大学、老伦兹得莫尔国家研究等。加州大学伯克利传感器和执行器中心(BSAC) 得到国防部和十几家公司资助1500万元后，建立了1115m2研究开发MEMS的超净实验室。 日本通产省1991年开始启动一项为期10年 、耗资250亿日元的微型大型研究计划，研制两台样机，一台用于医疗、进入人体进行诊断和微型手术，另一台用于工业，对飞机发动 机和原子能设备的微小裂纹实施维修。该计划有筑波大学、东京工业大学、东北大学、早稻田大学和富士通研究所等几十家单位参加 。 欧洲工业发达国家也相继对微型系统的研究开发进行了重点投资，德国自1988年开始微加工十年计划项目，其科技部于1990 1993年拨款4万马克支持“微系统计划“研究，并把微系统列为本世纪初科技发展的重点，德国首创的LIGA工艺，为MEMS的发展提供了新 的技术手段，并已成为三维结构制作的优选工艺。法国1993年启动的7000万法郎的“微系统与技术“项目。欧共体组成“多功能微系统研 究网络NEXUS“，联合协调46个研究所的研究。瑞士在其传统的钟表制造行业和小型精密机械工业的基础上也投入了MEMS的开发工作， 1992年投资为1000万美元。英国政府也制订了纳米科学计划。在机械、光学、电子学等领域列出8个项目进行研究与开发。为了加强欧 洲开发MEMS的力量，一些欧洲公司已组成MEMS开发集团。 目前已有大量的微型机械或微型系统被研究出来，例如：尖端直径为5 m的微型镊子可以夹起一个红血球，尺寸为7mm7mm2mm的微型泵流量可达250l/min能开动汽车，在磁场中飞行的机器蝴蝶，以 及集微型速度计、微型陀螺和信号处理系统为一体的微型惯性组合(MIMU)。德国创造了LIGA工艺，制成了悬臂梁、执行机构以及微型 泵、微型喷嘴、湿度、流量传感器以及多种光学器件。美国加州理工学院在飞机翼面粘上相当数量的1mm的微梁，控制其弯曲角度以影 响飞机的空气动力学特性。美国大批量生产的硅加速度计把微型传感器(机械部分)和集成电路(电信号源、放大器、信号处理和正检正 电路等)一起集成在硅片上3mm3mm的范围内。日本研制的数厘米见方的微型车床可加工精度达1.5m的微细轴。 工艺基础的基 本概念。雅斯贝而斯曾说：“如果历史有一个轴心，那么我们就必须将这轴心作为一系列对全部人类都有意义的事件，发生于公元前800至200年间的这种精神历程似乎构成了这样一个轴心。,专业精品课件,本文档下载后可以修改编辑，欢迎下载收藏。,