基于MAX1452的压力传感器校准系统（可编辑）

1 绪论1.1 课题背景及研究意义 随着科学技术的不断发展，非电量的测试与控制技术已经越来越广泛的应用。尤其在航天、航海、冶金、能源、生物医学、自动检测与计量等技术领域。而且随着社会的发展，这种技术也逐步渗透到人们的日常生活中。可以说测试技术与自动控制技术水平的高低是衡量科学技术现代化的重要标志之一1。传感器是实现测试与自动控制的首要环节。如果没有传感器对原始信息进行准确可靠的捕获和转换，计算机发展的水平再高，依旧无法进行测试和控制。任何一种传感器在制造、使用时都需要对其设计指标进行一系列实验，以确定传感器的基本性能。硅压阻式传感器是一种广泛应用于工业生产、国防建设和航天测量的基本部件。由于半导体材料组成的硅压阻式传感器普遍存在着：一致性、温漂和非线性等问题，在使用过程中都要进行补偿与非线性矫正。传统的矫正方法是采用温度敏感器件与模拟电路实现。近年来，随着计算机技术日新月异的发展，对于硅压阻式传感器的矫正与补偿都采用微型计算机系统实现，这样的方法具有补偿精度高、工作稳定、体积精巧和传输方便等特点。这种方法组成的传感器信号调理电路也把传感器输出电路与变送器形成一体，即为现今的智能传感变送器。这种智能传感变送器还可以构成网络化测量系统，甚至能很方便的接入Inter网络。据光电行业开发协会 OIDA 做出的最新预测，从2003年到2006年期间，智能传感器的国际市场销售量将以每年20的高速度增长随着近年来通信网络技术、嵌入式计算技术、微电子技术和传感器技术的飞速发展和日益成熟，使得制造大量体积小、功耗低同时具有感知能力、计算能力和通信能力等多种功能的微型传感器成为了可能，这些传感器可以感知周围的环境，并对数据进行一定的处理，同时可以通过通信部件进行相互通信。传感器网络就是由许多这种传感器节点协同组织起来的。 传感器网络是当前国际上备受关注的、由多学科高度交叉的新兴前沿研究热点领域，是信息感知和采集的一场革命，被认为是21世纪最重要的技术之一，它将会对人类未来的生活方式产生深远影响年月份的美国技术评论杂志评出对人类未来生活产生深远影响的十大新兴技术，传感器网络被列为第一。美国商业周刊认为，传感器网络是全球未来四大高技术产业之一。近几年来在美国国防部高级规划署、美国自然科学基金委员会和其它军事部门的资助下，美国科学家正在对传感器网络所涉及的各个方面进行了深入的研究。传感器网络综合了传感器技术、嵌入式计算技术、现代网络及通信技术、分布式信息处理技术等，能够通过各类集成化的微型传感器协作地实时监测、感知和采集各种环境或监测对象的信息，通过嵌入式系统对信息进行处理，并通过随机自组织通信网络以多跳中继方式将所感知信息传送到用户终端。从而真正实现“无处不在的计算”理念。传感器网络作为“无处不在”思想衍生的产物，可以被广泛地应用在国防军事、环境监测、交通管理、医疗卫生、制造业、抗灾抢险等领域，拥有巨大的应用价值。从目前国外的研究进展来看，虽然传感器网络的应用前景十分美好，但由于仍然面临很多技术难题，还不能走向广泛应用。美国很早就开始这方面的研究，但直到近几年，这方面的研究活动才在各大学及研究所蓬勃开展起来。美国政府也斥巨资支持这方面的研究在2003年度的自然科学基金自主的专题中，便有一个是传感器与传感器系统及网络，拨款额度达到三千四百万美元美国国防部在这方面的投入更为巨大。在其它国家和地区，如欧洲、日本、澳大利亚也开展了不少关于传感器及传感器网络的研究工作。但是由于传感器网络是一个新兴技术及时开展这项对人类未来生活影响深远的前沿科技的研究，对整个国家的社会、经济将有重大的战略意义 RS-232通讯图2.1 补偿系统结构图2.2 传感器 压力传感器选型 为满足对系统设计的要求。我们对压电式、电容式、以及压阻式三种基于不同测量原理的微型压力传感器进行比较选型。压电式传感器：基于压电效应的传感器，是一种自发电式和机电转换式传感器。具有结构简单、电路简单、工作可靠的特点，但是，因自身所具有的较高噪声电平，不太适合流体力学的检测应用。电容式传感器：把被测的机械量，如位移、压力等转换为电容量变化的传感器。它的敏感部分就是具有可变参数的电容器。优点是空间分辨率相对较大，对压力灵敏度高，具备固有的低温度敏感性，并能做到功耗非常低。缺点在于需要具有集成电子设备用于小电容信号的放大，接口电路要安装在紧靠传感器芯片的位置，以避免杂散电容的影响，增加了电路布板的复杂性12。压阻式传感器：利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。主要优点是结构简单、输出阻抗低、线性度高、灵敏度高、输出信号是方便使用的电压，存在的主要问题是压阻材料对应力变化和温度变化都极为敏感，即温度敏感性和漂移大，但可以通过温度补偿电路予以补偿。因为压阻式压力传感器具有膜片尺寸小、灵敏度高、结构简单、系统集成性好等优点，所以系统设计选择了SMI公司生产的硅微结构压阻式压力传感器SM5420，其采用惠斯通电桥结构、硅压敏电阻技术和比例输出，应用灵活，结构简单，具有微型化、低功耗、高精度、易配微处理器等优点；采用硅硅熔接技术和高稳定性的超小压阻芯片封存于塑料壳内，用于大多数非腐蚀性气体和干燥空气的测量13。SM5420压力传感器有如下特点：超小体积、超低成本；表面安装（SO-8）结构，适用于自动化元件贴装；工作温度：-40125；静态精度小于0.2%FSO；可提供100、200、350 和700kPa的绝压量程。SM5420在恒压供电下，采用压阻式传感器工作原理，当压力变化时，引起桥臂阻值发生变化，从而引起电压信号产生变化，这些信号经信号检出电路综合后，形成在幅值及相位上随压力值而变化的电压信号，代表了压力值的大小和方向，产生一个与输入压力成正比的电压信号，用户可通过信号调节电路对其进行放大或增加其附加值以达到自身产品的需求14。压力传感器SM5420的内部结构和各引脚如图152.2。图2.2 SM5420内部结构和引脚 补偿模块 压阻式传感器利用半导体材料的压阻效应来进行压力测量，因为具有体积小、重量轻、分辨率高等独特优点，在各行业得到了广泛应用。但由于半导体材料的固有特性，压阻式传感器普遍存在着如下几方面的问题：（1）一致性问题：由于工艺的关系，即使同一批生产的传感器其特性也会有比较大的离散性，为了保证足够的精度必须对每个传感器进行校准16。（2）温漂问题：半导体材料对于温度变化很敏感，因此温漂问题在压阻式传感器中尤其显得突出，实际应用中必须采取一定措施对传感器的温度漂移进行补偿。（3）非线性问题：这是普遍存在于各种传感器中的问题，为了便于信号的传送及处理必须对传感器输出信号进行线性化处理17。（4）传感器的原始输出信号都比较小，为了获得足够的分辨率或灵敏度，必须进行放大并使输出信号标准化。以上这些问题需要利用适当的信号调理电路加以解决，传统的变送器普遍采用完全模拟的方式对传感器输出信号进行校准和补偿，信号在模拟域进行处理，校准与补偿采用激光微调薄膜电阻、电位器等“模拟记忆”元件，温度补偿一般采用热敏电阻、二极管等温度敏感元件18。低成本数字可编程器件的出现使得采用数字方式调整模拟函数成为可能，这种技术不对信号进行量化，信号通道还是模拟的，采用数字方式对传感器激励和放大器的增益和失调进行调整，实现高精度的校准和补偿。本课题选用im公司生产的低成本精密信号调理器1452对压力传感器做数字补偿。1452为16引脚SSOP封装是一款高度集成的模拟传感器信号处理器，优化于工业和过程控制中采用阻性元件的传感器。1452具有放大、校准和温度补偿功能，可以逼进传感器所固有的可重复指标。全模拟信号通道不会在输出信号引入量化噪声，利用集成的16位数模转换器 DAC 实现数字化校正0.02%满度之内。用16位DAC对信号的偏移量和跨度校准，赋予了传感器产品真正的可互换性。 图2.3 1452功能框图通过1452的功能框图可知其包含可编程传感器激励、16级可编程增益放大器 PGA 、768字节 6144位 内部EEPROM、四个16位DAC、一个独立的运算放大器以及内部温度传感器。除偏移量和跨度补偿外，1452还利用偏移温度系数 TC 和跨度温度系数 FSOTC 提供独特的温度补偿，在提供灵活性的同时降低了测试成本。ODAC、OTCDAC、FSODAC、FSOTC DAC、CONFIG 把数字量转换成模拟量加载到模拟通道上，来具体实现校准、补偿等功能。其中FSODAC、FSOTC DAC寄存器的数字量（0FFFF）转换成相应的模拟电流值（02mA），直接加到惠斯通桥式敏感头电源引脚上，来给敏感头供电，通过此功能可以对传感器的灵敏度（即FSO）进行调整和温度补偿等；ODAC、OT C DAC寄存器的数字量（0FFFF）转换成模拟电压值，直接加到其模拟通道上，通过此功能可以对传感器的偏置（Offset）进行校准和温度补偿等；另外，模拟通道也可以通过对CONFIG寄存器填入参数来对传感器输出信号进行极性转换、偏置调节以及放大等。传感器正常工作模式下，每1毫秒从EEPROM刷新一次ODAC、OTCDAC、FSODAC、FSOTC DAC、CONFIG寄存器，其中ODAC、FSODAC寄存器可通过温度寻址EEPROM来刷新数据，OTC DAC、FSOTC DAC、CONFIG寄存器从EEPROM固定地址来刷新数据；调试工作模式下，通过计算机串口往（1452）五个寄存器中写入数据，来进行实时调试20。 压力测试电路原理图 .2.2中所提到的压力传感器SM5420和信号调理器1452组成的压力测试单元原理图2.4。SM5420为惠斯通电桥式压力传感器，压力的变化引起桥臂阻值发生变化，从而引起电压信号产生变化。如图所示，SM5420的+IN端与1452的电桥驱动BDR引脚连接，-IN接地，INP和INM分别与电桥的正输出端OUT+和负输出端OUT-连接，通过配置寄存器可交换二者的极性。VDDF是EEPROM正电源电压，为了抑止噪声，需在VDDF与VDD之间连接一个1k的电阻，VDDF和VDD与VSS之间需要连接一个0.1F电容。UNLOCK引脚上使用下拉电阻，使得1452不需要重新布板便能切换到数字模式，完成对压力传感器的在线校准调试。R4、R5、C5、C7和1452内部的运放构成二阶低通滤波器对信号进行滤波。图2.4 压力测试单元原理图2.3控制模块 微控制器 在当今微控制器市场，各种微控制器都有其独有特点，至于具体选择哪种微控制器型号，则完全遵循工程应用的实际需要和经济性原则。本课题采用成熟的带12位ADC及32KB容量FLASH的8051内核作为行测试信息管理模块的数据采集及处理微控制器，对传感器信号进行A/D转换、数据处理，然后通过485总线将数据输出。基于本课题对器件体积小、价格低、信息处理速度快的要求，微控制器选用了综合性能较好的Silicon Lab公司的C8051F410。C8051F410是Silicon Lab公司新近推出的小封装、高性能、低功耗混合信号片上系统型MCU，适合于测控系统、仪器仪表、便携式医疗设备、智能传感器、POS系统、游戏机、电子玩具等众多应用领域。具有体积小、价格低、运算速度快、功能全及微功耗等特点，片内集成外设的很多先进特性可以节省应用代码空间和CPU执行时间，很适合于要求控制器体积小、能进行快速运算的高速实时控制场合21。它的内部结构框图如图2.5所示。图2.5 C8051F410内部结构框图C8051F410的结构和性能很适合在本课题的行测试信息管理模块中作为控制核心，能满足系统的要求，这主要体现在以下几方面：（1）具有体积小、价格低、运算速度快、功能全及微功耗等特点，很适合于要求控制器体积小、能进行快速运算的高速实时控制场合；（2）它具有多达24个外部输入ADC通道，可编程为单端输入或差分输入，满足带式传感器的多路信号输入采集要求，可编程转换速率最大可达200ksps；（3） 具有32KB可编程FLASH，256字节的数据RAM，2048字节外部数据地址空间（XRAM），为移植嵌入式操作系统C/OS-提供了条件；（4）方便高效的开发环境，FLASH型C8051F410单片机有C2调试接口，这种单片机的调试只需一台PC机和一个JTAG调试器，而不需要专用的仿真器和编程器，这种高度方式方便、廉价；（5） C8051F410的32脚LQFP表面贴片封装使它体积很小，这正符合系统的微型化小体积要求。它货源充足，价格低廉，也符合系统低成本的要求。 本课题在电路设计时，C8051F410中的P1.3P1.7，P0.0P0.3，P0.7，P2.0P2.5均可作为ADC输入，一共16个ADC通道，用于采集的端口接RC滤波器，R为470欧，C为0.01F。行通信。C2D和C2CK为单片机下载程序、在线调试接口。其他口线则用于控制，满足了系统的硬件要求，电路原理图如图2.6所示。图2.6 硬件电路原理图 数据通信接口设计 串行数据通信以其独特的优势在当今工程应用中占有非常重要的地位。51系列单片机提供了可方便与计算机或其他串行设备连接的异步通信口。为了实现低成本、高效率的远程传感信号的数字处理与变送，总希望用最少的信号线来完成，目前广泛使用的RS485串行接口总线正好满足了这种需要。RS485采用平衡差分信号线的传送方式，具备多点、双向通信能力，RS-485收发器采用平衡发送和差分接收，即在发送端，驱动器将TTL电平信号转换成差分信号输出；在接收端，接收器将差分信号变成TTL电平，因此具有抑制共模干扰的能力，接收器具有高的灵敏度，能检测低达200mV的电压，故数据传输可达千米以外。RS-485可以采用二线与四线方式，二线制可实现真正的多点双向通信。而采用四线连接时，与RS-422一样只能实现点对多的通信，即只能有一个主（Master）设备，其余为从设备，但它比RS-422有改进，无论四线还是二线连接方式总线上可连接多达32个设备，SIPEX公司新推出的SP485R最多可支持400个节点。RS-485最大传输速率为10Mb/s。当波特率为1200bps时，最大传输距离理论上可达15千米。平衡双绞线的长度与传输速率成反比，在100kb/s速率以下，才可能使用规定最长的电缆长度。RS-485共模输出电压在-7V至+12V之间，接收器最小输入阻抗为12K。其中R0、D端的电平标准如下：逻辑“0”为?0.5V0.8V?之间，逻辑“1”在2.0V之间。图2.7 RS485组网通信图图2.8 490内部结构图 C8051F410单片机有一个全双工的串行口，数据发送端为P0.4 TX ，数据接收端为P0.5 RX ，它们分别与490的驱动器输入端DI和接收器输出端RO相连。RS-485应在总线电缆的开始和末端都并接电阻进行终端匹配，阻值为120。如图2.9所示。图2.9 单片机与490的接口电路 电路测试图 将各部分电路测试图连接构成整体的电路图，如图2.10。对整体的原理图用PROTEL99SE做出测试电路的PCB图，如图2.11。图2.10 校正电路原理图图2.11 测试电路PCB版3 软件设计3.1 软件设计概述硬件电路设计完成后，测试系统能否实现相应的功能还要依赖于软件的实现。系统能否正常可靠的工作，除了硬件的合理设计外，与功能完善的软件设计是分不开的。本课题所设计的软件结合采用51单片机C语言完成系统的整个流程控制以及运算处理等工作。3.2 单片机编程 软件与硬件的有机结合就像人一样。如果硬件是人的身体，那么软件就相当于人的大脑，空有身体，头脑中没有知识或头脑干脆有了疾病，则工作能力就会受到很大限制。因而编制正确、完善的程序，采用合理的算法是至关重要的。硬件电路设计完成后，系统的主要功能将依赖于系统软件来实现。系统能否正常可靠的工作，自动化程度的高低，智能实施控制的能力大小，除了硬件的合理设计外，很大程度上取决于功能完善、算法先进的软件设计。程序的编制过程需要不断地修改、调试、完善，因此结构化好，可读性强的编程风格，有助于缩短开发周期，同时便于日后的维护和改进22。作为程序设计人员，要对软件的编制特点有深刻的理解。单片机的程序设计有其自身的特点。首先，单片机系统的系统程序与应用程序密不可分，系统程序与应用程序必须在一起考虑；其次在单片机系统中，硬件与软件紧密结合，软件直接操作硬件，硬件电路的设计不具有通用性，必须根据具体的硬件设计相对应的软件。硬件设计的优劣直接影响到软件设计的难易和质量，软件设计的水平又直接影响硬件功能的发挥。同时，很多时候软件可以替代硬件的功能。单片机的应用一般都是在工业现场，其多数环境恶劣。因此，除了在硬件上提高抗干扰能力外，软件的抗干扰能力、容错能力也必须强。除了以上所述单片机编程的一些特点外，也同样有一般软件的共同特点。首先，应采用合理、正确的算法，以合理的资源耗费实现预定的功能。其次，软件应具有模块化，可读性强，可维护性好的特征。软件的设计按如下步骤进行：（1）分析问题，明确所要解决问题的具体要求，编写任务说明书；（2）根据具体要求，确定软件应实现的功能；（3）根据各功能，确定功能模块，并为每一模块进行接口定义，即输入、输出定义。同时规划监控程序，确定监控程序与各功能模块之间的关系； （4）确定算法，根据不同的功能，选择或设计不同的算法。算法正确与否，直接决定了程序的正确性和能否达到预期的目标； （5）确定数据类型、规划数据结构； （6）分配内存资源，列出RAM资源的详细分配清单，作为编程依据； （7）编程及调试，编制程序时，要根据算法，首先绘制出流程框图，有时甚至需要绘制出多级框图，逐步细化。编制完了还需要对程序进行调试。对Flash型C8051F410单片机来说，有十分方便的开发调试环境，因为器件内部有JTAG调试接口； （8）写入程序，现场试运行。仿真运行正确的程序就可以烧入EEPROM，到现场试运行了。并不是可仿真运行的程序在现场都能运行或完全正确运行。 （9）根据现场运行状况，修改硬件和软件，使系统更完善，更可靠。 根据以上介绍，画流程图和编写C语言程序。程序主流程图如图3.1。 如图3.1运行开始时，先将各个寄存器进行必要的初始化，做好准备，将所用到的中断初始化成可用状态，开始读取数据（正，反行程的数据），发送数据进行对比和校准。 图3.1 程序主流程图 如图3.2程序开始写入，写入标准的传感器信息，选择进行压力校准或不进行，不进行压力校准，则选择我们设置的检测点进行检测，进行数据采集。选择压力校准，无论正反行程，都先设置检测的检测点，再进行数据的采集。如果数据符合设置的校准要求，则保存数据，校准结束。如果不符合校准要求，则重复上述动作，重新设置压力检测点，再进行校准。重复以上流程，直至符合设计所要求达到的精度标准。Y N N N N Y N N Y 3.2 压力传感器校正流程图序#include #include const.h#include main.hbit Receive_Flag;unsigned char *Receive_Pointer;bit SendOver;unsigned char *Instruc_Pointer;unsigned char data RECEIVED _at_ 0x22;void COM1452 ;void Serial_Init ;void Decide_1452 unsigned char *INSTRUC ;void Send_message unsigned char *message ;extern void System_UARTO_Init ;extern void Receive ;extern void UARTO_Enable ;#ifndef _1452COM_VALUE#define _1452COM_VALUE#define CALIBRATION 0x00#define COLLECTION 0x20#define WATCH 0x10#define STRAIN 0x40#define PRESSURE 0x80#define TEMPRATURE 0x00#define VIBRATION 0xc0#endifunsigned char instruction7 0x86,0x16,0x39,0x08,0x59,0x18,0x59 ; void main WDT_Disable ; SYSCLK_Init ; System_Port_Init ; System_UART0_Init ; UART0_Enable ; while 1 Decide_1452 Instruc_Pointer ; void Decide_1452 unsigned char *INSTRUC Instruc_Pointer instruction; if *Instruc_Pointer & 0x30 CALIBRATION / 判断指令是否是校准 if *Instruc_Pointer & 0xc0 STRAIN P20 1; Serial_Init ; COM1452 ; if *Instruc_Pointer & 0xc0 PRESSURE P21 1; Serial_Init ; COM1452 ; if *Instruc_Pointer & 0x30 COLLECTION / 判断是否是指令集 if *Instruc_Pointer & 0xc0 STRAIN if *Instruc_Pointer & 0xc0 PRESSURE if *Instruc_Pointer & 0xc0 TEMPRATURE if *Instruc_Pointer & 0xc0 VIBRATION if *Instruc_Pointer & 0x30 WATCH / 判断指令是否是WATCH if *Instruc_Pointer & 0xc0 STRAIN P20 1;Serial_Init ; COM1452 ;/ UNLOCK0 1，STRAIN通道可用 if *Instruc_Pointer & 0xc0 PRESSURE P21 1;Serial_Init ;COM1452 ;/ UNLOCK1 1，PRESSURE通道可用 void COM1452 unsigned char n; SendOver 0; n *Instruc_Pointer & 0x0f; / n 数据长度 Instruc_Pointer+; while n 0 if *Instruc_Pointer 0x59 Send_message Instruc_Pointer ; Instruc_Pointer+; n-; if n! 0 Receive_Pointer &RECEIVED; if n 0 Receive_Pointer+; Receive_Flag 1; / Receive 信号的设置 Receive ; else Send_message Instruc_Pointer ; Instruc_Pointer+; n-; if n 0 SendOver 1; / 发送消息成功 void Send_message unsigned char *message ES0 0; / 禁用UART 0中断 TB80 1; / 第九位设置为1 SBUF0 *Instruc_Pointer; while !TI0 ; / 等一直到发送成功 if TI0 TI0 0; void Serial_Init ES0 0; TB80 1; SBUF0 0xFF; / 初始化串行端口 while !TI0 ; if TI0 TI0 0; SBUF0 0x01; / 初始化串口 while !TI0 ; if TI0 TI0 0; 4 传感器的校准及补偿4.1 校准补偿目的 测量系统的线性度（非线性误差）是影响系统精度的重要指标之一，为了实现传感器的输入输出特性是一条直线，也就是说在测量范围内传感器的灵敏度是一不变的常数，需要对传感器进行校准和温度补偿23。理想传感器的输出量与输入量之间应为线性关系：，其中常数和分别对应于传感器的零点和灵敏度。对于实际的传感器输入、输出之间的关系会受到环境因素（主要是温度）的影响，叫是存在着一定的非线性。这样，实际传感器的输入、输出关系可以用下式来表示： 4.1 其中，和分别代表传感器的零点及其温漂；和分别代表灵敏度及其温漂；二次以上的高阶分量代表传感器的非线性。校准与补偿的目的，就是将上式中的和调整在某个精确的值，最大限度消除其中的温漂成分和，并消除二次以上的非线性成分。 1校准校准的目的是将式的、调整在一个统一、精确的值，对于压阻式传感器分别对应于失调和满偏的校准。失调的校准是利用高精度DAC产生一个校准电压，叠加到经PGA放大后的传感信号中，使传感器的零点输出为一个标准的值。满偏输出FSO（也就是灵敏度）的校准分为两步：首先通过数字调节PGA的增益进行粗校；细校是利用DAC调节传感器的激励电流来实现的。恒流驱动时，传感器的灵敏度正比于桥路的激励电流，因此可以通过调节激励电流达到校准灵敏度或FSO的目的24。2温度补偿温度漂移是压阻式传感器最主要的问题，典型传感器的失调及FSO温漂会达到20%30%左右。而对于电阻应变片来说，温度的变化也会引起电阻值的变化，这样，实际的测量结果就不完全是由于被测构件受力所产生的应变，还包括有由于温度变化带来的虚假应变。因此要获得足够的精度，必须进行仔细的补偿。温度的变化范围可能会很大，而温度漂移又具有非线性，所以1452采用分段线性补偿（多斜率温度补偿）的方法，可以补偿任意的误差曲线25。1452用115个线性区段来近似实际的温度误差曲线，115个线性区段的补偿系数保存在内部EEPROM中。温度信号取自桥路的端电压（恒流供电时，桥路端电压与温度有关），用一个12位ADC将转换为数字量并用此数字量去寻址EEPROM，就可得到不同线性区段的补偿系数26。从EEPROM取出的失调和FSO补偿系数分别被写入两个16位DAC（OFFSETDAC和FSODAC），而它们的参考电压取自桥路端电压，这样，DAC的输出电压可以表示为： 4.2 补偿系数通过对传感器误差测试数据进行曲线拟和得到。温度测试点越多、曲线拟和精度越高，则补偿精度也越高。但过多的测试点会增加测试工作量，增加生产成本。补偿后的残留误差还与误差曲线的非线性程度有关27。3非线性修正任何传感器都存在非线性。为了信号处理和传输的方便。通常都要进行线性化处理。非线性修正的目的是要消除二次以上的高次项。4.2 校准补偿方法及步骤 本课题所研究的压力及应变校准补偿均采用数字式信号调理器1452，以下内容以压力传感器为例讲述应用1452进行校准及补偿的原理及步骤。1452的模拟部分包含激励传感器桥的所有信号成分，将传感器的微小信号放大，补偿温度变化引起的偏置误差和灵敏度误差，并为校准提供多路可选模拟通道。其模拟信号方框图如图4.1所示28。它主要由6个功能模块构成，各模块功能见表4.1。1452对传感器的校准和修正都是通过改变偏移量（IRO）和可编程放大器（PGA）的增益以及传感器电桥上的激励电压或电流实现的。压力传感器的静态参数校准包括零点和灵敏度校准。1452的校准程序相比起以前的产品来要简化很多。EEPROM查找表里提供的对灵敏度和偏置DAC的校准值，可以有效的隔离校准点上的互相依赖。另外，1452可提供其内部功能的高度可伸缩性和可见性，这样就可以避免校准前对传感器的预测试，从而加快校准过程的速度29。图4.1 1452模拟信号通道方框图表4.1 1452的模拟功能框图功能模块 描述桥激励为惠斯通桥式传感器电路提供稳定的电流源激励传感器信号放大将传感器的微伏级微分信号放大为单引脚输出的放大电压偏置及偏置温度补偿设置零点输出电压并在温度变化时维持零点输出电压满量程输出温度系数补偿在传感器和1452的温度变化时保持FSO电压固定多路复用模拟输出为校准需要，允许多路模拟信号在OUT引脚输出温度索引指针内部有一个数字化温度传感器用来索引数字系数阵列利用1452进行校准，由于不同传感器厂商生产的传感器桥路电阻、灵敏度等参数存在很大差异，通常需要在使用前进行常温下的初始校准，以保证1452内部电路工作在线性、可调节的范围内，同时为传感器设定初始参数30。校正步骤如下：在室温下对传感器施加最小压力；调整FSO DAC的值，将1452桥路驱动电压Vb调整至约2.5V；调整IRO DAC的值，将PGA模拟电压输出Vo粗调到0.2V1.0V的范围内；调整OFF DAC的值，将PGA模拟电压输出Vo进一步细调至约0.5V；对传感器施加最大压力，测量此时的PGA模拟电压输出Vfs；计算理想桥路驱动电压Ideal_Vb，即：Ideal_Vb 期望达到的FSOVb/ Vfs-Vo 如果Ideal_Vb的，则增大或减小PGA增益后从步骤（1） 重新开始校准； 如果Ideal_Vb的值在1.5V3.5V的范围内，则将环境压力恢复为最小值；调整FSO DAC的值，使实测的桥路驱动电压Vb Ideal_Vb；（10）调整FSO DAC的值，使PGA模拟电压输出等于要求的失调；（11）将数据写入EEPROM。4.3传感器校准补偿数据处理 根据课题要求的测量范围，首先设定全量程需要检定的等间距压力点，然后使用压力泵给真空罐内从零点等间隔加压，当压力达到检定点值并持续稳定一段时间后，数字精密压力表上显示的数值稳定后，记录数据并保存；之后，开始进行下一个标定点的测试，当压力达到设定的最大测量值后，压力泵开始等间隔的卸压，直至回到零点，从而完成了一个循环31。多个循环结束后，由计算机对数据进行处理，得出标定曲线与所需的结果。1标准曲线的确定在系统整个测试量程内取m个测试点，并进行n次循环测试，各测试点的正、反行程测试值得算术平均值，分别按下式计算： 4.3 4.4 式中 正行程第i个测试点第j个测试输出值 反行程第i个测试点第j个测试输出值分别由、 所连接的曲线成为正行程校准曲线和反行程校准曲线。各测试点的正行程和反行程测试值的算术平均值为： 4.5 由所连接的曲线称为该系统的校准曲线。2标定曲线的确定（1）端点连线方程可用下式表示： 4.6 式中 测试物理量上限值； 测试物理量下限值； 测试上限处测试输出值的平均值； 测试下限处测试输出值的平均值； 测试系统在测试范围内的物理量值（2）计算各测试点的正、反行程算术平均值与端点连线方程的差值： 4.7 4.8 从上两式的数据中，找出最大的正偏差和最大的负偏差，则端点平移线的截距a按下式计算： 4.9 端点平移线的斜率与端点连线的斜率相同： 4.10 系统的工作直线为端点平移线的方程： 4.11 （3）满量程输出值系统工作直线的上限值与下限值之差的绝对值为系统的满量程输出值： 4.12 （4）误差 重复性误差：按下式计算各测试点上正、反行程子样标准偏差： （4.13 4.14 测试传感器在整个测试范围内的标准偏差为： 4.15 测试传感器的重复性误差表示为随机误差的极限值，按下式计算： 4.16 用端点平移线为工作直线的校准系统，其系统误差即线性度，是传感器实际平均输出特性曲线对端基直线的最大偏差与传感器满量程输出的百分比，按下式计算： 4.17 线性校准系统的基本误差，即不确定度为41： 4.18 在绝压-100kPa100kPa的测量范围内选取10个压力点，进行3次循环（正行程、反行程）实验。压力标定实验的实验数据如表4.2 表4.2 压力标点实验数据 电压（V）压力 （kPa） 第一次循环第二次循环第三次循环正行程反行程正行程反行程正行程反行程-80.30.263420.265010.258000.257990.263550.26564-62.80.444590.443110.445590.445240.452530.46114-43.80.667990.664100.657890.667830.655980.64897-28.20.831230.821020.840010.824220.812310.8243101.137881.139981.152351.142341.136791.1445620.31.360011.355601.336741.348921.356311.3671241.61.621111.631101.612431.612451.621181.6124362.91.843451.833451.833431.834251.842561.8342582.72.060112，039982.050012.042452.053622.0435699.72.191222.180012.156752.135462.124592.2467510个输入压力值对应的正行程输出电压值的算术平均值记为y，反行程输出电压值的平均值记为y1，正行程和反行程的算术平均值记为y2。 由y2形成的曲线称为校准曲线，应用EXCEL进行校准曲线拟合，如图4.2所示： 图4.2 EXCEL拟合曲线所得拟合曲线的方程式y 0.0108x+1.1345 端点连线方程为：表4.3 标定数据处理10.262212-0.000210.00028620.449-0.00232-0.0017730.6484520.0077360.00651140.8120230.0144920.01148451.1106730.0336920.03449261.3259540.0262010.03066871.5486230.06710.0701881.7734010.0465740.04108991.9834060.0669060.064259102.163862-0.000460.000363经计算得：，代入的方程为：满量程输出值为：系统的标准偏差为：S 0.00329重复性误差为：线性误差为：不确定度为：5 结 论 本文设计的校准系统经过硬件的设计和软件的初步调试之后，运行稳定、可靠。对大量测定的数据进行误差分析后，它的功能和性能指标达到了设计的基本要求。基于1452的硅压力传感器温度补偿系统有以下特点：改进了传感器补偿的方法，提高了补偿的精度和正确度。通过数据采集，使计算机能直接读取电桥电压和1452输出的电压。可以通过多次的数据采集和补偿使测量的压力标点曲线接近线性变化。我们都知道当今计算机技术，电子技术，控制技术等各种技术的飞速发展，个方面的技术都在不断的革新，针对本文的设计，对未来的发展有一些展望：对所设计的电路进行进一步的补充和优化，能进一步的提高测试数据的精度和设计方面的精确度。对电路和封装进行改进，加快产品化发展。 3.经过技术的发展能使传感器的输入输出有准确的线性关系，更好的将传感器应运与各个领域。 参考文献王卫华，丁汉，熊有伦.基于IEEE 1451.2标准的传感器TMI1451.2-.22 8 .8-11.吴仲城孙怕宁虞承端戈瑜IEEE与传感器.2000 7 ：3-5.焦正，吴明红，界.2004 10 ：3-7. 童利标，徐科军，梅涛.IEEE1451网络化智能传感器标准的发展及 6 ：25-32.王祁，于航.传感器技术的新发展智能传感器和多功 1 ：58-60.HILL J.System architecture directions for networked sensors.in ASPLOS，2000. 马祖长，孙怡宁，.2004 4 ：116-126.MAINWARING A，POLASTRE J R，SZEWCZYYK D C.Wireless sensor networks for habitat monitoring.Intel Research，IRB-TR-02-006，2002，6.陈向群，朱伟，杨瑞多.智能传感器通用开发平台的设 1 ：38-42.陈爽.面向灵巧蒙皮的微型压力传感器的设计与分析.西北工业大学机械制造及其自动化专业硕士论文.2004.:北京航空航天大学出版社，2004:14-21.徐继红.数字补偿技术在高精度压力变送器 9 ：39-41.：国防工业出版社，1982：4-6.刘迎春，:国防科技大学出版社，2004： 63-64. 余进，黄继武.多任务机制在单片机系统中的应用J.电子技术应用，1999，03：14.王勇，朱涛，张冈，陈幼平，周祖德.智能传感器接口的设 6 ：58-60.邱公伟，赵祥元，巫淑萍.实时控制与智能仪表多微机系统的通信技术.北京：清华大学出版社.2003：113-121.李桢林，杨志兰，范和平.柔性印制电路板及其基材用胶粘剂的 3 ：52-54.李小兰.聚酰亚胺薄膜_超薄铜箔挠性覆铜板的研制 ：4-17.孙晓辉.微机械加速度计封装工艺研究.中北大学测试计量技术及仪器专业硕士论文.2005.张文栋.存储测试系统的设计理论及其应用.北京: 高等教育出版社.2002.李现勇.Visual C+串口通信技术与工程实践.北京：人民邮电出版社.2004.廖捷，张琦，李焕良.基于虚拟仪器技术的传感器静态标定 6 ：7陈爽马炳和苑伟政姜澄宇基于微型压力传感器阵列的边界层分离点检测方法 ：32-36.陈爽，李晓莹，马炳和，苑伟政.用于蒙皮表面空气流测量的MEMS微型压 3 ：64-66.徐继红.数字补偿技术在高精度压力变送器 9 ：39-41.林颖，罗金炎，刘骄，陈忠，李伟光.基于RS485总线的PC机与多单片机系统的 1 ：34-37.修智宏，杨美健.基于RS485总线的计算机分布式 10 ：16-18. 马祖长，孙怡宁，.2004 4 ：116-126.任丰原，黄海宁，.2003 7 ：98-107.吴仲城，虞承端.嵌入式智能化传感 3 ：20-22. 致谢 对本课题的研究和论文的撰写都是在我的指导老师岳老师的悉心指导下完成的，她严谨的研究态度，不辞辛苦的工作作风和对学生平易近人的作风都深深感染了我。同时她不仅在课题研究和论文撰写上给我很多的指导，还在我生活和工作中给我指导，在此谨向岳老师致以诚挚的谢意和崇高的敬意。正是由于您的帮助和支持，我才能克服一个有一个障碍，直至本文的完成。 我还要感谢许多可敬的老师、同学、朋友，他们也给了我很多的帮助，请在这里接受我诚挚的谢意。同时感谢学校给了我这么好的学习环境。 最后，在次对帮助过我的老师和同学表示衷心的感谢！2补偿电路4上位机3接口模块1传感器 开始初始化寄存器 打开中断 读取数据 串口发送开始写入传感器标准信息 初始化串口选择压力校准设置检测点正，反行程设置检测点 数据采集 数据采集数据符合要求 校准完毕 保持数据符合校准要求 保持数据 结束