XPS分析及软件应用

单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,*,X,射线光电子能谱,（,XPS,）,分析及软件应用,报告人： 汪 鹏,环境学院,1.,XPS,X,射线光电子能谱,（,X-ray Photoelectron spectroscopy,）,：以一定能量的,X,射线作为激发源，照射在检测物质表面，激发出光电子，通过对光电子的能量分布进行检测，获取的电子能谱图。,获取信息：,电子结合能 （元素定性）,原子结合状态 （化学价态）,半定量分析 （峰面积比例）,技术特点：,样品用量少 （, 0.1g,）,分析范围广（,3-92,号元素）,不需要预处理,XPS,分析示意图,2.,XPS,数据,分析,2.1,数据处理,在分析的所有元素中，选择,C 1S,在,284.6 ev,附近找到最大的峰，将其标定为,284.6 ev,，对结合能进行修正,峰值,背景值,结合能,以,O,元素为例，将修正后的结合能与峰值复制至新建的空白,TXT,文件中，保存,2.2,峰拟合,打开,XPS Peak,软件，在,XPS Peak Fit,对话框中选择,Data-Import,（,ASC,），输入上步骤保存的,TXT,文件,点击,Background,，弹出对话框，调整,High/Low BE,值，,Type,，然后,Accept-Close,背景起止数值,背景类型 （,Shirley,，,Linear,，,Tougaard,）,加背景后,点击,Add Peak,，弹出对话框，调整,Position,（峰位置），点击,Accept,后对话框消失，选择,Optimise Region,自动拟合，,峰位置,拟合后,拟合结果不满意，继续上一步骤（添加峰），点击,Add Peak,，弹出对话框，调整,Position,（峰位置），点击,Accept,，选择,Optimise Region,自动拟合（可多次点击）,添加峰拟合后,添加峰拟合前,自动拟合结果不满意，那就自己动手吧！调整不同添加峰的,Position,（峰位置），,FWHM,（半峰宽），,Area,（峰面积）,切换不同的拟合峰,峰位置，、半峰宽和峰面积,拟合后的结果,选择存为,xps,文件,输出,XPS,文件,选择,Data-Export,（,Spectrum,），,输出为,dat,文件，可用,origin,重新作图,2.3,半定量分析,通过查阅不同拟合峰的峰面积，算出其相应的比例，得到半定量分析结果,Thank you,！,