捷佳维创设备培训资料

,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,*,捷佳微创扩散机台培训资料,From:,设备部,1,2,DS-300A,型管式高温扩散炉,机台占地 总高约,2510mm,，长约,6100mm,，宽约,1635mm,。,3,总体结构分为,五,大部分，见结构平面布局图，,从左到右依次为：工控机控制系统,、,推舟净化,柜、废气柜、,加热炉体柜、,气,源,柜,。,工控机,推舟净化,柜,废气柜,加热炉体,气,源,柜,4,一、工控机控制部分：,工控机控制部分结构上分为,1,、,2,、,3,三,层，每层控制对应层的推舟、炉温及气源部分，总而言之是,每一层扩散氧化系统的控制中心。上方装有二个三色报警灯，一个它显示每层的运转状态，,A,绿灯：设备正常运转中。,B,黄灯：设备休止或其它。,C,红灯：设备异常或故障。,工控机旁边有,4,个按钮：从上到下分别是,1,、 急停按钮,（停止机械部分动作）,2,、加热关,3,、加热开,4,、上电,5,二、推舟净化柜：,推舟净化台顶部配置有照明装置，提供操作照明使用。正面是水平层流的高效过滤器及,三,层推舟的导轨及传动夹固件、对应的舟托装置,。,6,高效过滤网,挡板,石英舟托,石英舟,SIC,桨,感应桨上是否有舟,7,在净化台架下面分别安装有对应的各层电器安装板和,PLC,安装板及公共电气安装板,。同时有一台风机。,各层的电器安装板是带拖链的抽屉机构，便于调试和维修。,每块板上装有,5,个,RKCHA900,温控仪，,2,个驱动器和一个开关电源以及断路器、熔断器、继电器、接线端子排等。,8,断路器,熔断器,继电器,平移驱动器,上下驱动器,开关电源,温控仪,9,RKCHA900,温控仪,：,10,PLC,安装板主要控制净化风机、,流量电磁阀、开,/,关炉门、事件报警输出,工艺提示、停止加热等。,推舟的控制完全由工控机软件自动控制,11,三、废气柜,废气柜主要是以,排放工艺过程产生的废气,，,由耐腐、耐温的不锈钢制成,特别是在工艺完成后，打开炉门时，炉管内剩余残余气体。,顶上方安装有,总进炉口吹气的调压阀和浮子流量计,，以及厂务外围的废排管,炉门开关是由气缸控制的。,关,12,四、加热炉体柜,1,、,加热炉部分共有,3,管炉体,。（,1,）,顶部配置有水冷散热器以及,4,个散热风机，循环水将炉壳散发的热量带走。,（炉体顶部有厂务外围的热排管）,（,2,）,中部分层放置有,3,个炉管，由于位置已经在安装的时候调节妥当，因此请勿挪动。,炉管上从左至右分别有,6,个接线端子，请务必根据接线端子及线头上的标号进行正确连接。连接时，请使线与炉管外壁保持一定的距离，以使电线不致接受外来的热源。,在炉管外壁，可以看到有,5,个热电偶接线，请不要无故移动它们。因为热电偶插入的位置对温度控制非常关键。每支热电偶上，分别有红,(+),、绿,(-),两根补偿导线接至电控板控制温控,CH2,炉尾处有五支内热偶，直接接温控仪,CH1,，时时控制反应管内温度。,13,电源线（每根都有编号）,热电偶（测炉壁温度）,14,下层加热炉以下安装有,3,管加热炉的加热功率部件,（可控硅、散热器、接触器、变压器、过零触发板等）,可控硅散热风扇,过零触发板,15,五、气源柜,气源柜与炉架一样分为,1,，,2,，,3,三,层。,顶部设置有排毒口，上层的上部，设置有三路工艺气体的进气接口及压缩空气进口。,接口以下设置安装有压力表，截止阀、减压阀，电磁阀，气动阀，以对进气进行控制调节。,对应每层分别安装有相应的电磁阀、质量流量控制器。,柜子的底层装有总电源断路器，恒温槽变压器以及控制电气板。,16,此部分为炉管尾部部分：,喷淋管（,POCL3,、,O2,、大氮）,尾排管（对炉管内抽风）,冷凝瓶,过滤瓶,酸排管,废排管,17,调节阀,流量计,压差表,气动阀,电磁阀,CDA,调节阀,18,此图为恒温槽,恒温槽主要是对,POCL3,进行控温，基本保持在,20,度。上限,26,度。 当温度高于上限温度时，恒温槽就会报警。,控制面板,控制开关,源瓶,19,此部分为扩散机台电源控制开关，,设置在气源柜底部。,20,捷佳微创扩散机台,工作条件,：,1,、,环境温度：,5,40,；,2,、,大气压强：,86kPa,106kPa,；,3,、,净化间净化级别：,1000,级；,4,、,相对湿度：,70%,；,5,、,无高频及较强磁场的干扰；,6,、,电源：交流,380(1,10%)V,，,220(1,10%)V,；频率：,50(1,1%)Hz,；,7,、,冷却水：软水；温度,18,26,；水压,0.2MPa,0.4MPa,；,8,、,设置排毒抽风口及排废、热气抽风口；,9,、,工艺气体纯度均为,99.999,。,21,捷佳微创扩散机台,工作条件,：,1,、,炉膛有效内径：,300mm,适用于,5-6,英寸方片,2,、,温度控制范围,：,400,1100,，最大,1250,3,、,温度控制方式,：,5,点内外热电偶串级控制,4,、,恒温区长度及精度（动态,即模拟工艺状态）：,：,800,1100,1,/1100mm,5,、,温度稳定性：,0,。,5,/4h,（,880,）,6,、,温度斜变能力,：,a,最大可控升温速率：,16,/min,b,最大降温速率：,6,/min,c,RT,900,45min,7,、,具有自动斜率升温及恒温功能。,8,、,具有完善的超温、断偶、短路、断气报警保护,9,、,净化工作台净化级别：,1000,级,10,、送舟方式：,采用,SiC,悬臂桨自动送片机构，舟速,1,500mm/min,连续可调；舟定位精度,1mm,；最大承载重量为,18kg,22,捷佳微创扩散机台技术指标：,11,、,工艺过程由工业计算机全自动控制，直接在触摸屏上操作,12,、,尾气处理方式：尾部集中收集，冷凝气液分离后定向排放,13,、,具有独特的进片吹扫、出片冷却除废气功能,14,、,每管可存储,200,条工艺曲线、每条曲线不少,30,个拐点。,15,、,最大升温功率：,45KW/,每管,16,、,保温功率：,20KW/,每管,23,