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,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,DOE,基础知识,实验计划法基础知识（,good,）,DOE基础知识实验计划法基础知识（good）,什么是实验计划法（,Design of Experiments,）？,为了在现有的预算（费用、时间,.,）中得出最多的资料而计划实验方法和分析方法,DOE,（,Design of Experiments,）的目的,Vital Few X,的确认和影响程度的掌握,掌握选中的重要的,X,之间的交互作用,树立使用,X,的,Y,的预测模型,决定使,Y,最适合的,X,的条件,DOE,基础知识,实验计划法概要,什么是实验计划法（Design of Experiments,DOE,用语整理,因子（,Factors,）,-,是指影响输出变量（,Y,）的输入变量（,X,），即具有温度,/,压力,/,作业方法等技术水准 意义的母数因子（,Fix Factor,）。如计量因子：温度,/,压力等；计数因子：原料种类等,水准（,LEVEL,）,-,因子的,“,水准,”,是为了实验而指定的因子赋予的值。如不同温度，不同压力等,处理（,Treatment,）,-,所谓的处理是指各因子单一水准的组合。如：,100,度温度下，压力,1,气压,处理组合（,Treatment Combination,）,-,是指因子各水准的组合。如,2x2x2,的情况下，实验的处理组合是,8,重复（,Repeat,）,主要效果（,Main Effect,）,-,是指各输入变量由不同水准间变化时因水准间差异而引起的输出变量变化的平均值,交互作用（,Interaction,）,-,依据,2,因子以上的特定因子水准的组合而引起的效果,DOE,基础知识,实验计划法概要,DOE用语整理DOE基础知识实验计划法概要,DOE,基础知识,实验计划法概要,实验的类型,试行与事故试验（,Trial and Error,）,一次一个的要因（,One-Factor-at-a Time,：,OFAT,）,部份要因实验（,Fractionl Factorial Designs,）,完全要因实验（,Full Factorial Designs,）,反应表面实验（,Response Surface Methodology,）,EVOP,调优试验设计,（,Evolutionary Operation,）,DOE基础知识实验计划法概要实验的类型,DOE,基础知识,实验计划法概要,实验计划顺序,问题的定义,输出变量及输入变量的选定,输入变量水准的选择,DOE,的选择,实验实施及收集数据,数据分析,结论和提案,Analyze,阶段,Improve,阶段,必 要,时 重 复 实 验,DOE基础知识实验计划法概要实验计划顺序问题的定义输出变量及,实验计划法概要,DOE,的选择,DOE,基础知识,低,现行过程的状态,高,DOE,种类,审查实验,（,Screening DOE,）,局部实施法,（,Fractional Factorial Design,）,完全要因实验,（,Full factorial Dssign,）,反应表面实验,（,Response Surface Methodology,）,因子（,X,）数,6,以上,4-10,1-5,2-3,目的,重要因子的识别,局部交互作用,因子之间关系,因子间最适条件的设定,追定,为了改善的大概方向,（线形效果）,主效果和局部交互作用,所有的主效果和交互作用,输出变量的预测模型（曲率效果）,说明：考虑实验的目的和预算等来选择,DOE,实验计划法概要DOE的选择DOE基础知识,DOE,基础知识,完全要因实验,定义,K,n,要因配置法 不按因子数为,N,个，因子的水准数为,K,的实验计划法重复实验，,也应该可以实施,K,n,个的实验次数,2,k,要因实验是由具有,2,水准的,K,个因子构成,适合特性化,/,最适合化的阶段,通过相对少的实验获取因子的全部资料并掌握因子的特性和符合最适合化,分析相对简单,DOE基础知识完全要因实验定义,DOE,基础知识,完全要因实验的特性,实验因子的所有组合,可以对主效果和交互作用效果全部评价,在定义的实验领域内所有可能点上可以推断输出（反应）值,实验的误差（偏差）可在反复中获取,DOE基础知识完全要因实验的特性 实验因子的所有组合,DOE,基础知识,完全要因实验的基本组合,完全要因实验设计的基本步骤,1),分析问题,明确试验的目的,;,2),确定因子水准表,;,3),选择完全要因实验表并进行表头设计,;,4),制订实验计划表,;,5),进行实验,测定实验结果,;,6),对实验结果进行统计分析,得出因子的的主次关系和较优水准组合,DOE基础知识完全要因实验的基本组合 完全要因实验设计的基本,DOE,基础知识,完全要因实验例题,通过测定和分析后，知道影响半导体制造合格率的主要因子是温度，浓度和压力,实验目的,掌握合格率与反映温度，浓度和压力的关系，选定使合格率最大化的最合适工程条件,因子的各水准,A,反应温度（）：,160 ,（,-1,）,& 180 ,（,+1,）,B,浓度（,%,）：,20%,（,-1,）,& 40%,（,+1,）,C,压力,（,Psi,）：,5PSI,（,-1,）,& 10PSI,（,+1,）,DOE基础知识完全要因实验例题通过测定和分析后，知道影响半导,DOE,基础知识,完全要因实验例题,实验顺序,反应温度,（,A,）,浓度,（,B,）,压力,（,C,）,A*B,A*C,B*C,A*B*C,合格率（,%,）,1,-1,-1,-1,1,1,1,-1,60,2,1,-1,-1,-1,-1,1,1,72,3,-1,1,-1,-1,1,-1,1,54,4,1,1,-1,1,-1,-1,-1,68,5,-1,-1,1,1,-1,-1,1,52,6,1,-1,1,-1,1,-1,-1,83,7,-1,1,1,-1,-1,1,-1,45,8,1,1,1,1,1,1,1,80,区分,A,B,C,A*B,A*C,B*C,A*B*C,总和,-,211,267,254,254,237,257,256,总和,+,303,247,260,260,277,257,258,差,92,-20,6,6,40,0,2,平均效果,23,-5,15,1.5,10,0,0.5,DOE基础知识完全要因实验例题实验顺序反应温度浓度压力A*B,DOE,基础知识,完全要因实验使用,Minitab,操作步骤,阶段,1,实际问题记述,阶段,2,记述关心的要因和水准,使用,MINITAB,来制订实验数据表,尽 可能把所有的反应值在一列中记录,所有的输入变量,(,要因,),的水准记入记录已知道的值的列中。,Stat/DOE/Create Factorial Design,阶段,3,决定适当的标本的大小,随意化数据表的实验顺序后执行实验,阶段,4,通过图表分析，分析主效果和交互作用效果,stat/DOE/Factorial Plots/Main Effects Plot(for a graphical interpretation),stat/DOE/Factorial Plots/Interaction Plot(for 2-way interactions),stat/DOE/Factorial Plots/Cube Plot,阶段,5,制订完全模型（,Full mode I,）的,ANOVA,表,stat/DOE/Analyze Factorial(or Custom) Design,Graphs/Effects Plots(normal or pareto),DOE基础知识完全要因实验使用Minitab操作步骤阶段1,DOE,基础知识,完全要因实验使用,Minitab,操作步骤,阶段,6,去除以下内容后，求缩小模型（,Reduced model,）,p-,值不有意的结果，,或者 阶段,4,的,“,效果图表,”,中显现为低效果,阶段,7,分析误差图（,Residul plots,）,确认模型的适合性,stat/DOE/Analyze Factorial(or Custom) Design,Storage/Residuals& Fits,stat/Regression/Residual Plots or,stat/DOE/Analyze Factorial(or Custom) Design,Graphs/Residual Plots,阶段,8,叙述数学模型的结论,阶段,9,用进行过程用语解释数学模型,导出结论，指示提案。（使用最合适化）,阶段,10,再现最适合条件。制定下一阶段的实验计划或适用已变化了 的条件,DOE基础知识完全要因实验使用Minitab操作步骤 阶段6,DOE,基础知识,完全要因实验使用,Minitab,操作事例,阶段,1,实际问题记述,通过测定和分析后，知道影响半导体制造合格率的主要因子是温度，浓度和压力，现希望掌握合格率与反映温度，浓度和压力的关系，选定使合格率最大化的最合适工程条件,阶段,2,要因及水准的决定,A,反应温度（）：,160 ,（,-1,）,& 180 ,（,+1,）,B,浓度（,%,）：,20%,（,-1,）,& 40%,（,+1,）,C,压力 （,Psi,）：,5PSI,（,-1,）,& 10PSI,（,+1,）,阶段,3,决定适当的标本的大小,随意化数据表的实验顺序后执行实验,DOE基础知识完全要因实验使用Minitab操作事例阶段1,阶段,3,Stat/DOE/Create Factorial Design,菜单,DOE,基础知识,完全要因实验使用,Minitab,操作事例,阶段3 Stat/DOE/Create Factorial,阶段,3,Stat/DOE/Create Factorial Design,菜单,DOE,基础知识,完全要因实验使用,Minitab,操作事例,阶段3 Stat/DOE/Create Factorial,阶段,3,Stat/DOE/Create Factorial Design,菜单,DOE,基础知识,完全要因实验使用,Minitab,操作事例,阶段3 Stat/DOE/Create Factorial,阶段,3,Stat/DOE/Create Factorial Design,菜单,DOE,基础知识,完全要因实验使用,Minitab,操作事例,阶段3 Stat/DOE/Create Factorial,阶段,3,Stat/DOE/Create Factorial Design,菜单,DOE,基础知识,完全要因实验使用,Minitab,操作事例,阶段3 Stat/DOE/Create Factorial,阶段,3,Stat/DOE/Create Factorial Design,菜单,DOE,基础知识,完全要因实验使用,Minitab,操作事例,阶段3 Stat/DOE/Create Factorial,阶段,4,通过图表分析，分析主效果和交互作用效果,stat/DOE/Factorial Plots,。,DOE,基础知识,完全要因实验使用,Minitab,操作事例,阶段4 通过图表分析，分析主效果和交互作用效果DOE基础知,阶段,4,通过图表分析，分析主效果和交互作用效果,stat/DOE/Factorial Plots,。,DOE,基础知识,完全要因实验使用,Minitab,操作事例,阶段4 通过图表分析，分析主效果和交互作用效果DOE基础知,阶段,4,通过图表分析，分析主效果和交互作用效果,stat/DOE/Factorial Plots,。,DOE,基础知识,完全要因实验使用,Minitab,操作事例,阶段4 通过图表分析，分析主效果和交互作用效果DOE基础知,阶段,5,制订完全模型（,Full mode I,）的,ANOVA,表,DOE,基础知识,完全要因实验使用,Minitab,操作事例,stat/DOE/Analyze Factorial(or Custom) Design,Graphs/Effects Plots(normal or pareto),阶段5 制订完全模型（Full mode I）的ANOVA,阶段,5,制订完全模型（,Full mode I,）的,ANOVA,表,DOE,基础知识,完全要因实验使用,Minitab,操作事例,阶段5 制订完全模型（Full mode I）的ANOVA,阶段,6,去除以下内容后，求缩小模型（,Reduced model,）,p-,值不有意的结果，或者 阶段,4,的,“,效果图表,”,中显现为低效果,由上图分析，可对,A*B*C,，,B*C,两交互作用排除再进行分析,DOE,基础知识,完全要因实验使用,Minitab,操作事例,阶段6 去除以下内容后，求缩小模型（Reduced mo,阶段,6,去除以下内容后，求缩小模型（,Reduced model,）,p-,值不有意的结果，或者 阶段,4,的,“,效果图表,”,中显现为低效果,由上图分析，可对,A*B*C,，,B*C,两交互作用排除再进行分析,DOE,基础知识,完全要因实验使用,Minitab,操作事例,阶段6 去除以下内容后，求缩小模型（Reduced m,完全要因实验使用,Minitab,操作事例,阶段,6,去除以下内容后，求缩小模型（,Reduced model,）,p-,值不有意的结果，或者 阶段,4,的,“,效果图表,”,中显现为低效果,由上图分析，可对,A*B,两交互作用排除再进行分析,DOE,基础知识,完全要因实验使用Minitab操作事例阶段6去除以下内容后，,完全要因实验使用,Minitab,操作事例,阶段,7,分析误差图（,Residul plots,）,确认模型的适合性,stat/DOE/Analyze Factorial(or Custom) Design Storage/Residuals& Fits,stat/Regression/Residual Plots or,stat/DOE/Analyze Factorial(or Custom) Design Graphs/Residual Plots,DOE,基础知识,完全要因实验使用Minitab操作事例阶段7 分析误差图（R,完全要因实验使用,Minitab,操作事例,阶段,8,叙述数学模型的结论,预测模型,DOE,基础知识,合格率,=64.25+11.5,反应温度,-2.5,浓度,+0.75,压力,+5.0,反应温度*压力,即,:,合格率,=64.25+11.5,T,-2.5,S,+0.75,P,+5.0,T*P,完全要因实验使用Minitab操作事例阶段8 叙述数学模型,完全要因实验使用,Minitab,操作事例,阶段,8,叙述数学模型的结论,得出预测模型,设置输出值的目标值的方法,DOE,基础知识,合格率,=64.25+11.5,反应温度,-2.5,浓度,+0.75,压力,+5.0,反应温度*压力,即,:,合格率,=64.25+11.5,T,-2.5,S,+0.75,P,+5.0,T*P,先确定难调整的因子设置,最后选择一个,可调整的因子进行调整,完全要因实验使用Minitab操作事例阶段8 叙述数学模型,完全要因实验使用,Minitab,操作事例,阶段,9,进行过程用语解释数学模型,导出结论，指示提案。（使用最合适化）,DOE,基础知识,完全要因实验使用Minitab操作事例阶段9进行过程用语解释,完全要因实验使用,Minitab,操作事例,阶段,9,进行过程用语解释数学模型,导出结论，指示提案。（使用最合适化）,DOE,基础知识,完全要因实验使用Minitab操作事例阶段9进行过程用语解释,完全要因实验使用,Minitab,操作事例,阶段,9,进行过程用语解释数学模型,导出结论，指示提案。（使用最合适化）,DOE,基础知识,完全要因实验使用Minitab操作事例阶段9进行过程用语解释,完全要因实验使用,Minitab,操作事例,阶段,9,进行过程用语解释数学模型,导出结论，指示提案。（使用最合适化）,DOE,基础知识,阶段,10,再现最适合条件。制定下一阶段的实验计划或适用已变化了 的条件,完全要因实验使用Minitab操作事例阶段9 进行过程用语,DOE,基础知识,End,Thanks !,DOE基础知识End,
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