详细的集成电路版图基础介绍-CMOS版图教学课件

单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,*,CMOS集成电路版图基础,定义版图,什么是版图?,集成电路制造工艺中,通过光刻和刻蚀将,掩膜版上的图形转移到硅片上。这种制造,集成电路时使用的掩膜版上的几何图形定,义为集成电路的版图。,版图要求与对应电路严格匹配,具有完全,相同的器件、端口、连线,图形关系,栅,有源区注入杂质,形成晶体管,栅与有源区重叠有源区,的区域确定器件,尺寸,导电沟道,称为导电沟道,只要源极、漏极以及导电沟道所覆盖的,区域称为有源区。,芯片中有源区以外的区域定义为场区,2、器件尺寸设计,MOS管中电流由源极流向漏极。沟道宽度,沟道中电流流过,W,的距离为沟道长度;,截面尺寸为沟道,宽度,沟道长度,电流方向,设计中,常以宽度和长度值的比例式即宽,长比(WL)表示器件尺寸。,例:假设一MOS管,尺寸参数为20/5。则,在版图上应如何标注其尺寸。,20/5,3、图形绘制,s|-13883,Date:9 Jan 2006,4090140,冒冒,冒uu,lum,RB,EHT=5.00 KV,英特尔65纳米双核处理器的扫描电镜(SEM)截面图,常用图层,版图图层名称,含义,Nwell,N阱,Active,有源扩散区,Select,P型注入掩膜,Nselect,N型注入掩膜,Poly,多晶硅,引线孔,Metall,第一层金属,Meta2,第二层金属,Via,通孔,