真空泵常见问题

,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,真空泵常见问题,扩散泵,.,罗茨泵,.,旋片泵,.,滑阀泵,.,；现在我们对相关问题进行讨论。,扩散泵,影响扩散泵,性能,的因素,1.,扩散泵油蒸气的,反流,扩散泵油蒸气的反流可归结为,五,种原因：,*泵壁表面,油膜,和,油滴,的蒸发（如图,1,所示）,*喷嘴喷出的,高速油蒸气流,碰到泵壁后的,反射,（如图,2,所示）,*一级喷口表面的油膜及油滴的,蒸发,（如图,3,所示）,*,喷口边缘,高速油蒸气流的,散射,（如图,4,所示,*,室温下,油沿泵壁的表面,迁移,（爬移,)(,如图,5,所示,),反流示意图,2.,气体分子的反扩散,在扩散泵中，低真空端的气体分子总会进入高真空端，特别是某些质量较轻的气体，如氢,.,氦等反扩散比较大，其中氢的反扩散最大，可达,10,-3,mg/h,，氮的反扩散较小，约为,10,-7,mg/h.,3.,扩散泵油的裂化分解,扩散泵油分两种：矿物油，此种油稳定性及耐氧化能力都较差，在室温下的饱和蒸气压力,10,-5 pa,10,-7pa,.,另一种是硅油，热稳定性及抗氧化性都较好，室温下的饱和蒸气压力,10,-6pa,10,-8pa,.,在金属油扩散泵的锅炉中，由于高温,.,金属催化作用以及油爆发式沸腾，是高分子的有裂化成低分子的碳氢化合物及轻的气体等,),。这些裂化后的氢和碳氢化合物的蒸汽压很高，限制了扩散泵的极限真空。,此外，机械泵油反流到扩散泵中，也产生分裂物，使扩散泵的真空受到影响,。,4.,真空泵的清洁度,清洗不干净的真空泵，污染物会留在泵中并重复循环，影响泵极限真空。,提高油扩散泵极限真空的方法,1.,扩散泵结构设计上的改进,改进扩散泵的结构，如加分流装置,;,合理的分配锅炉的加热功率，增大锅炉中心区；改进喷嘴角设计；在一级导流管中加装加热器进行气象加热，以增加蒸汽流速度减少真气流的散射。上述措施也可减少油的裂化，反流，提高扩散泵的极限真空,。,减少油蒸气的反流,1.,加挡油帽,在第一级喷嘴上面，加水冷挡油帽，通常可使反油量降低半个到两个数量级。,2.,障板 使用水冷或低温介质冷却的各种挡板，可使反油量大大降低。,。,3.,冷阱,使用液态冷阱捕集反流蒸气。液态冷阱不能把油真气挡住，仍有少量的油蒸气分子通过冷阱进入被抽容器中，其途径有；,1.,两个油分子之间的碰撞；,2.,油分子和气体分子的多次碰撞；,3.,没被捕集的油分子反弹到高真空的区域中；,4.,室温下油从泵壁表面迁移。扩散泵系统采用液态冷阱后可获得,10,-8pa,10,-9pa,的极限真空,4.,吸附阱,扩散泵进气口安装,13X,型分子筛或氧化铝吸附阱吸附反流的油蒸气后，可以获得,10,-8,10,-9,真空度。这种阱有如下缺点：,1.,吸附剂易粉末化；,2.,吸附剂要在活化；,3.,需经常更换吸附剂，操作不便。,5.,钛升华阱,扩散泵与真空室之间装上用液氮冷却的钛升华阱，即可以消除有机物真气对系统的污染，又能降低,CO.CO,2,和,H,2,阀门,扩散泵的返流，在泵启动和停止后的一段时间内有两个最大峰值，泵运转时可利用阀门的关闭避开这两个最大返油区。,减少气体的反扩散,反扩散过去的气体的分压,Pf,和扩散泵前级排气口处该气体的分压,Pj,成正比，即,Pf=rPj,。降低前级压力,Pj,和压缩比,r,可以降低,Pj,。,扩散泵的前级再串接一台扩散泵可以降低前级气体分压,Pj,。采用多级泵（目前多采用四级泵代替原来的三级泵），则可以降低压缩比,r,，使返扩散减少。,五,.,用扩散泵获得高真空的方法,1.,选用性能好的扩散泵油,2.,采用合理的烘烤技术,3,增加冷阱装置，防止泵油返流和迁移,4.,减少被抽气体的反扩散,扩散泵结构示意图,滑阀泵及原理其示意图,滑阀泵故障现象及排除方法,故障现象,产 生 原 因,排 除 方 法,真,空,度,不,高,1.,油被污染,2.,密封装置漏气,3.,油管接头漏气,4.,排气阀片损坏,5.,排气阀弹簧断裂,6.,个封面漏气,7.,泵内零件有幢击,.,卡紧,.,变形,8.,油路阻塞,9.,吸入气体温度过高,10.,泵油量不足,11.,油路组件的小油封漏气,1.,打开气镇阀运转,12,小时可恢复泵的极限压力或调换所有新油,2.,修理或更换密封装置,3.,旋紧螺母,4.,换新阀片,5.,换新弹簧,6.,旋紧螺钉,7.,修理油阀,.,导轨,.,清洗所有零件,8.,清洗滤油器滤网及油路,9.,冷却至常温,10.,加油,11.,修理或更换小邮箱内橡皮版,运,转,故,障,1.,电机负载过大或保险丝烧断,2.,缺乏润滑油,3.,外物夹住,4.,振动很大,5.,油杯喷油,1.,找出负荷过大或烧断原因，调换保险丝。,2.,畅通油路，拆洗泵内零件，加真空油,3.,清除外面杂物,4.,加固地基底座,5.,油封反向，按结构图从新安装油封,运,行,事,故,1.,轴承发热,2.,排气阀和油管发热,1.,稍松皮带或检查油路是否阻塞，冷却水是否足够，泵的轴承润滑子是否适合,2.,增加冷却水量,泵 运 转 有异 常噪 声,1.,异物落入泵内,2.,泵零件松动或损坏,1.,拆开检查并清除,2.,检查调整或更换零件,旋片泵及原理其示意图,故障及其排除方法,.,极限压力与极限全压力不好的原因判断和消除方法,1.,新泵,.,泵口检测，全压力不好，旋去加油赛，无明显漏气声，可能是因存放日久和不当，有水气等进入泵内，可密闭泵口开气镇阀,2-4,小时，应有所回升，或更换新油，可更显著。,2.,无漏气声，开气镇阀及换油无效，应检查阀座上的小油空是否堵塞，小孔的位置：,2X-4C,泵在阀坐侧面，,2X-8,15,泵在短阀片处月牙槽内，,2X-30A,，,70A,在短阀片附近的阀座平面上。,3.,带系统后抽不好，有明显漏气，接头,.,管道或容器有漏气，应擦找和消除。,4.,泵未经拆卸清洗，突然出现碰撞声，真空度下降，可检查旋片弹簧是否折断或有无异物进入泵内。泵温是否太高，旋片紧，活动不畅。,5.,泵使用日久，真空度下降，可因泵油混入可凝性气体和泵油裂解变质以及橡胶老化所致，可用换油,.,换橡胶件方法逐一试验。,6.,泵拆洗装配后，有大漏气声，可能是橡胶件装配不当,.,顺坏，应调整或更换。,7.,排气阀片老化变形,.,顺坏或螺钉松脱，会出现异样排气和油面的显著泛动，也会影响真空度，应调整重装。,8.,因泵温太高而使真空度，特别是全压强降低时，应加强冷却。,9.,以上措施无效，无漏气声，可能是使用日久，零部件磨损或受腐蚀所致，也可能是转子变形，精度降低，甚至转子,.,旋片等零件损坏，应拆开检查，修正或调换新零件。,10.,仪表失真，规管污染，引起误判，应校准比较，清洗或换新。,喷油,.,漏油及其消除方法：,喷油可因油位过高，油盒,.,挡油板松脱，装配不当所致，可逐一检查。,漏油可因油封弹簧脱落,.,磨损,.,放油螺塞和垫片损坏，侧盖垫片没垫好，气镇阀停泵后忘关等引起，可检查调整或调换。,罗茨泵及其原理示意图,罗茨泵与滑阀泵旋片泵组合,故障现象,可能原因,排除方法,真空度不高,1.,管路,.,系统漏气。,2.,泵部分漏气,3.,前几真空漏气,4.,润滑油太脏或牌号不符,1.,管路,.,系统检漏,2.,泵漏油,3.,修或换前级泵,4.,换润滑油,抽速不足,1.,管道通导能力下降,2.,前级抽速不足,1.,换大管道,2.,换前级泵,扩散泵内部水冷及外形图,扩散泵及水冷示意图,运转,1.,启动,1.1,接通冷却水，确认冷却水的流量是否达到规定要求。,1.2,启动前级泵，当扩散泵泵口压力,=10Pa,后，才能启动扩散泵加热电源。,1.3,泵加热,4080,分钟后，就进入正常工作状态。,2.,停止,2.1,先关闭高真空阀门，然后切断扩散泵电源，前级泵继续工作。,2.2,当炉体内部温度降到,=60,的时候（用手可以接触的状态），可以停止前级真空泵。,注意事项,1.,像炉体内放气时，必须在泵油温度,=60,时进行。油温度过高，会造成泵油氧化，导致泵性能下降。,放气时请从高真空端放气，避免损坏泵芯。如果不能从高真空端放气时，请保证小流量的缓慢放气。,。,2.,扩散泵在正常运行中遇意外停电,.,停水时，请按下面步骤处理：,2.1,切断电源,2.2,立刻关闭高真空阀门和前级真空阀,2.3,将电炉从泵底卸下，并移开。（注意安全，小心烫手！）,2.4,像泵底不淋水。注意：（水蒸气烫人！）,3.,在停止作业后，扩散泵短期内不使用时，请将泵水冷管道中的水排出管道以外，同时用压缩空气将残余水分吹干，防止水冷管道腐蚀。,4.,扩散泵工作一段时后，若发现真空度变坏，或抽速降低使系统恢复时间太长时，必须对泵清洗，更换泵油。,5.,扩散泵应存放在温度为,1035.,湿度不超过,85%,的通风良好的室内,炉体真空系统组合图,泵连接等注意事项,保证密封面不被划伤,保证密封圈干净,螺丝均匀对称向下拧,泵要放置平稳,泵油要按要求量加入,在启扩散泵后观察泵的三相电流（是否断路影响加热）,