微光电实验室

National Central University,微光電實驗室,實驗室簡介,潔淨室介紹,氣體系統,環安系統,純水系統,潔淨室的定義,將一定空間範圍內之空氣中的微塵粒子排除，並將室內之溫度、濕度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分佈、噪音、震動、照明及靜電控制在某一需求範圍之空間，稱之。微光電實驗室溫度控制在,221,。,C,，,濕度為,55,5,。,潔淨室的等級,潔淨度,1,（,class1,）,代表每立方英呎室內之空氣所含有大或等於,0.5um,之微塵粒子不超過,1,顆潔淨度,10,級則不超過,10,顆，依此類推。微光電實驗室分為,100,、,1000,、,10000,級三個區域，,100,級為,E-beam writer,專屬區域，,1000,級為黃光室內有,clean bench,、,Aligner,、,bonder,及量測設備，,10000,級為鍍膜、,CVD,、,爐管,設備區域。,潔淨室的設計,本實驗室,100,級採垂直層流式設計，空氣氣流運動成一均勻之直線，經由安裝在天花板上的,FFU,進入室內，再由高架地板回風。,1000,及,10000,級則採亂流式設計，空氣由空調箱經風管與潔淨室天花板上的,HEPA,進入潔淨室，並由潔淨室兩側隔間牆板回風。氣流非直線型運動而成不規則亂流或渦流狀態。,註：,FFU,為,HE,PA(,終端濾網,)+,送風機,排氣風車,洩漏氣,回風,外氣入,循環風車,前級濾網,初級濾網,中級濾網,冰水盤管,加濕器,加熱線圈,排氣,風車,設備,空調箱,純水系統介紹,純水,系統主要為去除水中之不純物,包括懸浮 物、微粒子、有機物、維生物、電解質及氣體等,由此提高純水電阻值至極限程度,以確保水質之高純度。,無塵室使用純水的電阻值一般在,18M,.,以上,阻值越高代表水質越好,因為離子越少。,純水製造流程,微光電實驗室的環安系統,廢水處理,廢氣處理,氣體監測與遮斷系統,逃生路線規劃及消防系統配置,實驗室安全課程,消防系統平面圖,環安系統,微光電實驗室逃生路線及消防系統配置圖,二氧化碳滅火器位置,逃生路線,偵溫器,沖身洗眼器,回 風 道,HDP Etcher,LPCVD,E-Beam,Writer,Sputter,E-Gun,PECVD,Furnace,ICP,gas,room,Air shower,E-Gun+Thermal,Dektak,Clean,bench,OM,Spinner,engine,room,Dry Scrubber,Office,Ellipsometer,RTA,Probe station,Bonder,Aligner,UV-Ozone,走廊,走廊,實驗室使用的氣體,氣體監測與遮斷系統,緊急自動遮斷,氣體濃度監測,氣瓶櫃中的氣體偵測器,警報停止鈕,氣體監控系統位於無塵室入口正前方,緊急遮斷,氣體濃度監測,警報信號燈,停止供氣鈕,氣體濃度監測器復歸,1,.,依序按下,Menu,鍵、,Enter,鍵,2,.,按下,F5,鍵，跳出,特殊氣體外洩警報處理程序,氣體偵測器偵測到某氣體外洩，超過,Alarm1,設定值時開始動作（警報響，警示燈亮），超過,Alarm2,設定值時，已斷電停止供氣。,警報動作時，觀察氣體濃度監測器螢幕，該氣體是否持續有外洩讀值，若氣體持續外洩超過,Alarm2,設定值時，請立即按下停止送氣開關。若無氣體外洩，則按下警報停止鈕，拉起停止送氣開關（繼續供氣），解除氣體濃度監測器自動斷氣的功能。,廢水處理系統,混合池,調勻,池 1,調勻,池 2,活性碳池,PH,值偵測器鼓風機,加藥機,排放,4F,暫存槽,Clean bench,稀釋後排出,Wet scrubber,廢水處理槽,酸鹼廢氣,BCl,3,HBr,Cl,2,SiCl,4,燃燒吸附,水洗,SiH,4,NH,3,DCS,TEOS,H,2,Dry Scrubber,Wet Scrubber,廢水處理槽,廢氣處理系統,