电阻应变式传感器介绍课件

电阻应变式传感器介绍电阻应变式传感器介绍1电阻应变式传感器概述电阻应变式传感器概述v工作原理：金属丝、箔、薄膜在外界应力工作原理：金属丝、箔、薄膜在外界应力 作用下电作用下电阻值变化的效应阻值变化的效应电阻应变效应电阻应变效应v结构简单，使用方便结构简单，使用方便v可测力、压力、位移、应变、加速度等物理量；可测力、压力、位移、应变、加速度等物理量；弹性弹性敏感敏感元件元件力、压力、压力、位力、位移移电阻电阻应变应变片片电桥电桥电路电路RUv易于实现自动化、多点及远距离测量、遥测；易于实现自动化、多点及远距离测量、遥测；v灵敏度高，测量速度快，适合静态、动态测量；灵敏度高，测量速度快，适合静态、动态测量；电阻应变式传感器概述工作原理：金属丝、箔、薄膜在外界应力2应变片用于各种电子衡器应变片用于各种电子衡器 磅秤磅秤电子天平电子天平应变片用于各种电子衡器磅秤电子天平3材料应变的测量材料应变的测量斜拉桥上的斜拉斜拉桥上的斜拉绳应变测试绳应变测试 材料应变的测量斜拉桥上的斜拉绳应变测试4汽车衡汽车衡称重系统称重系统汽车衡称重系统5汽车衡汽车衡汽车衡62.1 2.1 电阻应变片的工作原理电阻应变片的工作原理金属的电阻应变效应金属的电阻应变效应 金属丝的电阻随着它所受的机械变形的大小而发生相应的变金属丝的电阻随着它所受的机械变形的大小而发生相应的变化的现象称为金属的化的现象称为金属的电阻应变效应电阻应变效应。金属丝受拉时，金属丝受拉时，l变长、变长、r变小，导致变小，导致R变大变大 。2.1电阻应变片的工作原理金属的电阻应变效应金属7金属丝的轴向应变；金属丝的轴向应变；金属丝的径向应变金属丝的径向应变（dS/S=2dr/r）；泊松系数；(Poisson ratio)金属丝的轴向应变；金属丝的径向应变（dS/S=28 式中：式中：K KS S 金属丝的灵敏系数；金属丝的灵敏系数；(gage factor)令：令：在金属丝的弹性范围内，灵敏系数在金属丝的弹性范围内，灵敏系数KS为常数，即为常数，即 ：线性关系线性关系e通常很小，常用通常很小，常用1010-6-6表示之。例如，当表示之。例如，当 为为0.0000010.000001时，在工程中时，在工程中常表示为常表示为1 1 1010-6-6或或 m/mm/m。在应变测量中，也常将之称为微应变。在应变测量中，也常将之称为微应变()()。对金属材料而言，当它受力之后所产生的轴向应变最好不对金属材料而言，当它受力之后所产生的轴向应变最好不要大于要大于1 1 10-310-3，即，即10001000 m/mm/m，否则有可能超过材料的极限强度而，否则有可能超过材料的极限强度而导致断裂。导致断裂。式中：KS金属丝的灵敏系数；(gagefactor92.2.12.2.1应变片的基本结构应变片的基本结构2.2 电阻应变片的结构、种类和材料电阻应变片的结构、种类和材料2.2.22.2.2应变片的种类应变片的种类2.2.1应变片的基本结构2.2电阻应变片的结构、种类和材101.金属丝式应变片金属丝式应变片(bonded metal-wire gage)直径在直径在0.0120.05mm的金属丝的金属丝；2.金属箔式应变片金属箔式应变片(bonded metal-foil gage)厚度在厚度在0.0010.01mm的金属箔；的金属箔；1.金属丝式应变片(bondedmetal-wireg11箔式应变片中的箔栅是金属箔通过光刻、腐蚀等工艺制成的。箔式应变片中的箔栅是金属箔通过光刻、腐蚀等工艺制成的。箔的材料多为电阻率高、热稳定性好的箔的材料多为电阻率高、热稳定性好的铜镍合金铜镍合金。箔式应变片。箔式应变片与片基的接触面积大得多，散热条件较好，在长时间测量时的与片基的接触面积大得多，散热条件较好，在长时间测量时的蠕变较小，一致性较好，适合于大批量生产。还可以对金属箔蠕变较小，一致性较好，适合于大批量生产。还可以对金属箔式应变片进行适当的热处理，使其线胀系数、电阻温度系数以式应变片进行适当的热处理，使其线胀系数、电阻温度系数以及被粘贴的试件的线胀系数三者相互抵消，从而将温度影响减及被粘贴的试件的线胀系数三者相互抵消，从而将温度影响减小到最小的程度，目前广泛用于各种应变式传感器中。小到最小的程度，目前广泛用于各种应变式传感器中。3.3.金属薄膜式应变片金属薄膜式应变片(vacuum-deposited thin-metal-film gage,sputter-deposited thin-metal-film gage)厚度在厚度在0.1m以下的金属箔；以下的金属箔；箔式应变片中的箔栅是金属箔通过光刻、腐蚀等工艺制成的。箔的材122.2.3 2.2.3 应变片的材料应变片的材料1.1.敏感栅材料敏感栅材料 对敏感栅的材料的要求：对敏感栅的材料的要求：应变灵敏系数大，并在所测应变范围内保持为常数；应变灵敏系数大，并在所测应变范围内保持为常数；电阻率高而稳定，以便于制造小栅长的应变片；电阻率高而稳定，以便于制造小栅长的应变片；电阻温度系数要小；电阻温度系数要小；抗氧化能力高，耐腐蚀性能强；抗氧化能力高，耐腐蚀性能强；在工作温度范围内能保持足够的抗拉强度；在工作温度范围内能保持足够的抗拉强度；加工性能良好加工性能良好,易于拉制成丝或轧压成箔材；易于拉制成丝或轧压成箔材；易于焊接，对引线材料的热电势小。易于焊接，对引线材料的热电势小。常用材料有：康铜、镍铬合金、铁铬铝合金、铁镍铬合金、铂、常用材料有：康铜、镍铬合金、铁铬铝合金、铁镍铬合金、铂、铂钨合金等，如下表。铂钨合金等，如下表。2.2.3应变片的材料1.敏感栅材料对敏感栅的材料的要求13材料名称材料名称化学成分化学成分%电阻率电阻率/(mm/m)电阻温度系数电阻温度系数/（10-6/）灵敏系数灵敏系数Ks线膨胀系数线膨胀系数/（10-6/）最高使用温度最高使用温度/康铜康铜Cu55Ni450.450.52202.015250(静态静态)400(动态动态)镍铬合金镍铬合金Ni80Cr201.01.11101302.12.314450(静态静态)800(动态动态)卡玛合金卡玛合金6J22Ni74,Cr20Al3,Fe31.241.42202.42.613.3450(静态静态)800(动态动态)伊文合金伊文合金6J23Ni75,Cr20Al3,Cu21.241.42202.42.613.3450(静态静态)800(动态动态)铁铬铝合金铁铬铝合金Fe余量余量Cr26,Al5.41.31.530402.614550(静态静态)1000(动态动态)铂钨合金铂钨合金Pt90.591.5W8.59.50.740.761391923.03.29800(静态静态)1000(动态动态)铂铂Pt0.090.1139004.69800(静态静态)1000(动态动态)铂铱合金铂铱合金Pt80,Ir200.35901.013800(静态静态)1000(动态动态)材料名称化学成分%电阻率/(mm/m)电阻温度系数14基底用于保持敏感栅、引线的几何形状和相对位置，盖片既保持基底用于保持敏感栅、引线的几何形状和相对位置，盖片既保持敏感栅和引线的形状和相对位置，还可保护敏感栅。基底的全长称敏感栅和引线的形状和相对位置，还可保护敏感栅。基底的全长称为基底长，其宽度称为基底宽。为基底长，其宽度称为基底宽。基底材料有纸基和胶基。胶基由环氧树脂、酚醛树脂和聚酰亚胺等基底材料有纸基和胶基。胶基由环氧树脂、酚醛树脂和聚酰亚胺等制成胶膜，厚度约制成胶膜，厚度约0.030.05mm2.2.基底材料基底材料3.3.黏合剂材料黏合剂材料 用于将敏感栅固定于基底上，并将盖片与基底粘贴在一起。使用用于将敏感栅固定于基底上，并将盖片与基底粘贴在一起。使用金属应变片时，也需用粘结剂将应变片基底粘贴在构件表面某个方金属应变片时，也需用粘结剂将应变片基底粘贴在构件表面某个方向和位置上。以便将构件受力后的表面应变传递给应变计的基底和向和位置上。以便将构件受力后的表面应变传递给应变计的基底和敏感栅。敏感栅。常用的粘结剂分为有机和无机两大类。有机粘结剂用于低温、常常用的粘结剂分为有机和无机两大类。有机粘结剂用于低温、常温和中温。常用的有聚丙烯酸酯、酚醛树脂、有机硅树脂，聚酰亚温和中温。常用的有聚丙烯酸酯、酚醛树脂、有机硅树脂，聚酰亚胺等。无机粘结剂用于高温，常用的有磷酸盐、硅酸、硼酸盐等。胺等。无机粘结剂用于高温，常用的有磷酸盐、硅酸、硼酸盐等。基底用于保持敏感栅、引线的几何形状和相对位置，盖片既保持15类型类型主要成分主要成分牌号牌号适于黏合的基适于黏合的基底材料底材料最低固化条件最低固化条件固化压力固化压力/104Pa使用温度使用温度/硝化纤维素硝化纤维素黏合剂黏合剂硝化纤维素溶剂硝化纤维素溶剂万能胶万能胶纸纸室温室温10小时或小时或60202小时小时0.515080氰基丙烯酸氰基丙烯酸黏合剂黏合剂氰基丙烯酸酯氰基丙烯酸酯501，502纸、胶膜、玻纸、胶膜、玻璃纤维布璃纤维布室温室温1小时小时粘合时指压粘合时指压10080聚酯树脂黏聚酯树脂黏合剂合剂不饱和聚酯树脂、过氧不饱和聚酯树脂、过氧化环已酮、萘酸钴干料化环已酮、萘酸钴干料胶膜、玻璃纤胶膜、玻璃纤维布维布室温室温24小时小时0.30.550150环氧树脂类环氧树脂类黏合剂黏合剂环氧树脂、聚硫酚铜胺、环氧树脂、聚硫酚铜胺、固化剂固化剂914胶膜、玻璃纤胶膜、玻璃纤维布维布室温室温2.5小时小时粘合时指压粘合时指压6080酚醛环氧、无机填料、酚醛环氧、无机填料、固化剂固化剂509胶膜、玻璃纤胶膜、玻璃纤维布维布20022小时小时粘合时指压粘合时指压100250环氧树脂、酚醛、甲苯环氧树脂、酚醛、甲苯二酚、石棉粉等二酚、石棉粉等J06-2胶膜、玻璃纤胶膜、玻璃纤维布维布15031503小时小时2196250酚醛树脂类酚醛树脂类黏合剂黏合剂酚醛树脂、聚乙烯醇缩酚醛树脂、聚乙烯醇缩丁醛丁醛JSF-2胶膜、玻璃纤胶膜、玻璃纤维布维布15011501小时小时1260150酚醛树脂、聚乙烯醇缩酚醛树脂、聚乙烯醇缩甲乙醛甲乙醛1720胶膜、玻璃纤胶膜、玻璃纤维布维布19031903小时小时60100酚醛树脂、有机硅酚醛树脂、有机硅J-12胶膜、玻璃纤胶膜、玻璃纤维布维布20032003小时小时60350聚酰亚胺黏聚酰亚胺黏合剂合剂聚酰亚胺聚酰亚胺30-14胶膜、玻璃纤胶膜、玻璃纤维布维布28022802小时小时13150250磷酸盐黏合磷酸盐黏合剂剂磷酸二氢铝无机填料磷酸二氢铝无机填料GJ-14LN-3金属薄片、临金属薄片、临时基底时基底40014001小时小时550P10640034003小时小时700氧化物喷涂氧化物喷涂二氧化二铝二氧化二铝金属薄片、临金属薄片、临时基底时基底800类型主要成分牌号适于黏合的基底材料最低固化条件固化压力/10164.4.引线材料引线材料是从应变片的敏感栅中引出的细金属线。对引线材料的性能要求：是从应变片的敏感栅中引出的细金属线。对引线材料的性能要求：电阻率低、电阻温度系数小、抗氧化性能好、易于焊接。大多数电阻率低、电阻温度系数小、抗氧化性能好、易于焊接。大多数敏感栅材料都可制作引线。敏感栅材料都可制作引线。2.32.3应变片的主要参数应变片的主要参数1.1.应变片电阻值（应变片电阻值（R R0 0）电阻应变片的电阻值为电阻应变片的电阻值为6060、120120、350350，500500和和10001000等等多种规格，以多种规格，以120120最为常用。最为常用。应变片的电阻值越大，允许的工作电压就大，传感器的输出电压应变片的电阻值越大，允许的工作电压就大，传感器的输出电压也大，相应地应变片的尺寸也要增大，在条件许可的情况下，应也大，相应地应变片的尺寸也要增大，在条件许可的情况下，应尽量选用高阻值应变片。尽量选用高阻值应变片。4.引线材料是从应变片的敏感栅中引出的细金属线。对引线材料的172.2.绝缘电阻绝缘电阻(敏感栅与基底间电阻值：要求敏感栅与基底间电阻值：要求10101010欧姆；欧姆；K K为金属应变片的灵敏系数。注意，为金属应变片的灵敏系数。注意，K K是在试件受一维应力作用，是在试件受一维应力作用，应变片的轴向与主应力方向一致，且试件材料的泊松比为应变片的轴向与主应力方向一致，且试件材料的泊松比为0.2850.285的的钢材时测得的。测量结果表明，应变片的灵敏系数钢材时测得的。测量结果表明，应变片的灵敏系数K K恒小于线材的恒小于线材的灵敏系数灵敏系数K KS S。原因：胶层传递变形失真，横向效应也是一个不可忽。原因：胶层传递变形失真，横向效应也是一个不可忽视的因素。视的因素。3.3.应变片的灵敏系数（应变片的灵敏系数（K K）金属应变丝的电阻相对变化与它所感受的应变之间具有线性关系，金属应变丝的电阻相对变化与它所感受的应变之间具有线性关系，用灵敏度系数用灵敏度系数K KS S表示。当金属丝做成应变片后，其电阻表示。当金属丝做成应变片后，其电阻应变特性，应变特性，与与金属单丝情况不同金属单丝情况不同。因此，须用实验方法对应变片的电阻。因此，须用实验方法对应变片的电阻应变应变特性重新测定。实验表明，特性重新测定。实验表明，金属应变片的电阻相对变化与应变金属应变片的电阻相对变化与应变在在很宽的范围内均为线性关系。即很宽的范围内均为线性关系。即2.绝缘电阻(敏感栅与基底间电阻值：要求1010欧姆；184.4.机械滞后机械滞后应变片粘贴在被测试件上，当温度恒定时，其加载特性与卸载应变片粘贴在被测试件上，当温度恒定时，其加载特性与卸载特性不重合，即为特性不重合，即为机械滞后机械滞后。产生原因：应变片在承受机械应变后，其内部会产生残余变形，产生原因：应变片在承受机械应变后，其内部会产生残余变形，使敏感栅电阻发生少量不可逆变化；在制造或粘贴应变片时，如果使敏感栅电阻发生少量不可逆变化；在制造或粘贴应变片时，如果敏感栅受到不适当的变形或者粘结剂固化不充分。敏感栅受到不适当的变形或者粘结剂固化不充分。1机械应变卸载加载指示应变i应变片的机械滞后机械滞后值还与应变片所承机械滞后值还与应变片所承受的应变量有关，加载时的机械受的应变量有关，加载时的机械应变愈大，卸载时的滞后也愈大。应变愈大，卸载时的滞后也愈大。所以，通常在实验之前应将试件所以，通常在实验之前应将试件预先加、卸载若干次，以减少因预先加、卸载若干次，以减少因机械滞后所产生的实验误差。机械滞后所产生的实验误差。4.机械滞后应变片粘贴在被测试件上，当温度恒定时，其19对于粘贴好的应变片，当温度恒定时，不承受应变时，其电阻对于粘贴好的应变片，当温度恒定时，不承受应变时，其电阻值随时间增加而变化的特性，称为应变片的值随时间增加而变化的特性，称为应变片的零点漂移。零点漂移。产生原因产生原因：敏感栅通电后的温度效应；应变片的内应力逐渐变敏感栅通电后的温度效应；应变片的内应力逐渐变化；粘结剂固化不充分等。化；粘结剂固化不充分等。5.5.零漂和蠕变零漂和蠕变如果在一定温度下，使应变片承受恒定的机械应变，其电阻值随如果在一定温度下，使应变片承受恒定的机械应变，其电阻值随时间增加而变化的特性称为时间增加而变化的特性称为蠕变蠕变。一般蠕。一般蠕变的方向与原应变量的的方向与原应变量的方向相反。方向相反。产生原因产生原因：由于胶层之间发生由于胶层之间发生“滑动滑动”，使力传到敏感栅的应变，使力传到敏感栅的应变量逐渐减少。量逐渐减少。这是两项衡量应变片特性对时间稳定性的指标，在长时间测量中这是两项衡量应变片特性对时间稳定性的指标，在长时间测量中其意义更为突出。实际上，蠕变中包含零漂，它是一个特例。其意义更为突出。实际上，蠕变中包含零漂，它是一个特例。对于粘贴好的应变片，当温度恒定时，不承受应变时，其电阻值随206.6.应变极限、疲劳寿命应变极限、疲劳寿命 在一定温度下，应变片的指示应变对测试值的真实应变的相对误在一定温度下，应变片的指示应变对测试值的真实应变的相对误差不超过规定范围（一般为差不超过规定范围（一般为10%10%）时的最大真实应变值。在图中，）时的最大真实应变值。在图中，真实应变是由于工作温度变化或承受机械载荷，在被测试件内产生真实应变是由于工作温度变化或承受机械载荷，在被测试件内产生应力应力(包括机械应力和热应力包括机械应力和热应力)时所引起的表面应变。时所引起的表面应变。lim真实应变z指示应变i10%1主要因素：粘结剂和基底材料主要因素：粘结剂和基底材料传递变形的性能及应变片的安传递变形的性能及应变片的安装质量。制造与安装应变片时，装质量。制造与安装应变片时，应选用抗剪强度较高的粘结剂应选用抗剪强度较高的粘结剂和基底材料。基底和粘结剂的和基底材料。基底和粘结剂的厚度不宜过大，并应经过适当厚度不宜过大，并应经过适当的固化处理，才能获得较高的的固化处理，才能获得较高的应变极限。应变极限。6.应变极限、疲劳寿命在一定温度下，应变片的指示应变对测21疲劳寿命疲劳寿命指对已粘贴好的应变片，在恒定幅值的交变力作用下，指对已粘贴好的应变片，在恒定幅值的交变力作用下，可以连续工作而不产生疲劳损坏的循环次数。可以连续工作而不产生疲劳损坏的循环次数。7.7.允许电流：静态允许电流：静态25mA,25mA,动态：动态：7575100mA100mA；8.横向效应横向效应(transverse effect)如图，若将应变片粘贴在单向拉伸试如图，若将应变片粘贴在单向拉伸试件上，这时各直线段上的金属丝只感件上，这时各直线段上的金属丝只感受沿其轴向拉应变受沿其轴向拉应变x x，故其各微段电，故其各微段电阻都将增加，但在圆弧段上，沿各微阻都将增加，但在圆弧段上，沿各微段轴向段轴向(即微段圆弧的切向即微段圆弧的切向)的应变却的应变却并非是并非是x x。所产生的电阻变化与直线。所产生的电阻变化与直线段上同长微段的不一样，在段上同长微段的不一样，在=90=90的的微弧段处最为明显。由于单向位伸时，除了沿轴向微弧段处最为明显。由于单向位伸时，除了沿轴向(水平方向水平方向)产产生拉应变外，按泊松关系同时在垂直方向上产生负的压应变生拉应变外，按泊松关系同时在垂直方向上产生负的压应变y y（=x x），因此该段上的电阻不仅不增加，反而是减少的。），因此该段上的电阻不仅不增加，反而是减少的。疲劳寿命指对已粘贴好的应变片，在恒定幅值的交变力作用下，7.22而在圆弧的其他各微段上，其轴向感而在圆弧的其他各微段上，其轴向感受的应变是由受的应变是由+x x变化到变化到y y的，因的，因此圆弧段部分的电阻变化，显然将小此圆弧段部分的电阻变化，显然将小于其同样长度沿轴向安放的金属丝的于其同样长度沿轴向安放的金属丝的电阻变化。由此可见，将直的金属丝电阻变化。由此可见，将直的金属丝绕成敏感栅后，虽然长度相同，但应绕成敏感栅后，虽然长度相同，但应变状态不同，应变片敏感栅的电阻变变状态不同，应变片敏感栅的电阻变化较直的金属丝小，因此灵敏系数有化较直的金属丝小，因此灵敏系数有所降低，这种现象称为应变片的所降低，这种现象称为应变片的横向横向效应。效应。应变片的横向效应表明，当实际使用应变片的条件与标定灵敏度应变片的横向效应表明，当实际使用应变片的条件与标定灵敏度系数系数K K时的条件不同时，由于横向效应的影响，实际时的条件不同时，由于横向效应的影响，实际K K值要改变，值要改变，由此可能产生较大测量误差。为了减小横向效应的影响，一般多由此可能产生较大测量误差。为了减小横向效应的影响，一般多采用箔式应变片。采用箔式应变片。而在圆弧的其他各微段上，其轴向感受的应变是由+x变化到239.9.动态响应特性动态响应特性 当被测应变值随时间变化的频率很高时，需考虑应变片的动当被测应变值随时间变化的频率很高时，需考虑应变片的动态特性。因应变片基底和粘贴胶层很薄，构件的应变波传到应态特性。因应变片基底和粘贴胶层很薄，构件的应变波传到应变片的时间很短变片的时间很短(估计约估计约0.2s)0.2s)，故只需考虑应变沿应变片轴，故只需考虑应变沿应变片轴向传播时的动态响应。向传播时的动态响应。设一频率为设一频率为 f f 的的正弦应变波正弦应变波在构件中以速度在构件中以速度 v v 沿应变片栅沿应变片栅长方向传播，在某一瞬时长方向传播，在某一瞬时 t t，应变量沿构件分布如图所示。，应变量沿构件分布如图所示。0应变片1lxtx9.动态响应特性当被测应变值随时间变化的频率很高时，需考虑24设应变波波长为设应变波波长为，则有，则有=v/f=v/f。应变片栅长为。应变片栅长为l，瞬时，瞬时t t时应变波沿构件分布为时应变波沿构件分布为 应变片中点的应变为应变片中点的应变为 x xt t为为t t瞬时应变片中点的坐标。应变片测得的应变为栅长瞬时应变片中点的坐标。应变片测得的应变为栅长 l 范围范围内的平均应变内的平均应变m m，其数值等于，其数值等于 l 范围内应变波曲线下的面积除以范围内应变波曲线下的面积除以 l，即，即设应变波波长为，则有=v/f。应变片栅长为l25 平均应变平均应变m m与中点应变与中点应变0 0相对误差相对误差为为由上式可见，相对误差由上式可见，相对误差的大小只决定于的大小只决定于 的比值，表中给出的比值，表中给出了为了为1/101/10和和1/201/20时时的数值。的数值。（%）1.620.52误差误差的计算结果的计算结果1/201/10平均应变m与中点应变0相对误差为由上式可见，相对26由表可知，应变片栅长与正弦应变波的波长之比愈小，相对由表可知，应变片栅长与正弦应变波的波长之比愈小，相对误差误差愈小。当选中的应变片栅长为应变波长的（愈小。当选中的应变片栅长为应变波长的（1/10-1/201/10-1/20）时，时，将小于将小于2%2%。因为因为式中式中 应变波在试件中的传播速度；应变波在试件中的传播速度；f应变片的可测频率。应变片的可测频率。取取 ，则，则若已知应变波在某材料内传播速度若已知应变波在某材料内传播速度，由上式可计算出栅长，由上式可计算出栅长为为L L的应变片粘贴在某种材料上的可测动态应变最高频率。的应变片粘贴在某种材料上的可测动态应变最高频率。由表可知，应变片栅长与正弦应变波的波长之比愈小，相对误差愈27基长基长l0（mm）1235101520最高工作频率（最高工作频率（KHz)25012583.3502516.612.5下表为钢材，下表为钢材，v=5000m/s,=5000m/s,2020的计算结果的计算结果（a a）阶跃输入信号）阶跃输入信号 （b b）理论输出信号）理论输出信号 （c c）实际输出信号）实际输出信号tk=0.8l/v,可测最高频率可测最高频率(误差误差11/e)为为f=0.35/tk=0.44v/l对阶跃输入应变的响应对阶跃输入应变的响应基长l0（mm）1282.42.4应变片的应用应变片的应用2.4.12.4.1应变片的选择应变片的选择1.1.应变片类型的选择应变片类型的选择2.2.材料的选择材料的选择3.3.阻值的选择阻值的选择4.4.尺寸的选择尺寸的选择2.4.22.4.2应变片的使用应变片的使用2.4应变片的应用2.4.1应变片的选择应变片类型的选择2.291.1.去污：采用手去污：采用手持砂轮工具除去构件持砂轮工具除去构件表面的油污、漆、锈表面的油污、漆、锈斑等，并用细纱布交斑等，并用细纱布交叉打磨出细纹以增加叉打磨出细纹以增加粘贴力粘贴力 ，用浸有酒精，用浸有酒精或丙酮的纱布片或脱或丙酮的纱布片或脱脂棉球擦洗。脂棉球擦洗。1.去污：采用手持砂轮工具除去构件表面的302.2.贴片：在应变片的表贴片：在应变片的表面和处理过的粘贴表面上，面和处理过的粘贴表面上，各涂一层均匀的粘贴胶各涂一层均匀的粘贴胶 ，用镊子将应变片放上去，用镊子将应变片放上去，并调好位置，然后盖上塑并调好位置，然后盖上塑料薄膜，用手指揉和滚压，料薄膜，用手指揉和滚压，排出下面的气泡排出下面的气泡 。2.贴片：在应变片的表面和处理过的粘贴表面上，313.3.测量测量 ：从分开的端子处，预从分开的端子处，预先用万用表测量应变片先用万用表测量应变片的电阻，发现端子折断的电阻，发现端子折断和坏的应变片。和坏的应变片。3.测量：324.4.焊接：焊接：将引线和端子用烙将引线和端子用烙铁焊接起来，注意不铁焊接起来，注意不要把端子扯断要把端子扯断。4.焊接：335.5.固定：固定：焊接后用胶布将焊接后用胶布将引线和被测对象引线和被测对象固定在一起，防固定在一起，防止损坏引线和应止损坏引线和应变片变片。5.固定：342.5 2.5 转换电路转换电路应变片将应变的变化转换成电阻相对变化应变片将应变的变化转换成电阻相对变化R R/R R，要把电阻的变化，要把电阻的变化转换成电压或电流的变化，才能用电路测量仪表进行测量。电阻转换成电压或电流的变化，才能用电路测量仪表进行测量。电阻应变片的测量线路多采用交流电桥应变片的测量线路多采用交流电桥(配交流放大器配交流放大器)，其原理和直，其原理和直流电桥相似。直流电桥比较简单，因此首先分析直流电桥。流电桥相似。直流电桥比较简单，因此首先分析直流电桥。2.5.1恒压源直流电桥恒压源直流电桥2.5转换电路应变片将应变的变化转换成电阻相对变化R/R35如图所示。电源如图所示。电源E E为恒压源，其内为恒压源，其内阻为零。根据电路学中的克希霍阻为零。根据电路学中的克希霍夫定律，列出电路方程：夫定律，列出电路方程：R2R4R1R3Ui恒压电桥电路原理图RLACDILB如图所示。电源E为恒压源，其内阻为零。根据电路学中的克希霍夫36式中式中RL为负载电阻，因而其输出电压为负载电阻，因而其输出电压UL为为:联立求解上述方程，求出检流计中流过的电流联立求解上述方程，求出检流计中流过的电流I Io o为为:当当R1R4=R2R3时，时，IL=0，UL=0，即电桥处于平衡状态。，即电桥处于平衡状态。若电桥的若电桥的负载电阻负载电阻RL为无穷大，则为无穷大，则B、D两点可视为开路，上式两点可视为开路，上式可以化简为可以化简为:式中RL为负载电阻，因而其输出电压UL为:联立求解上述方37设设R1为应变片的阻值，工作时为应变片的阻值，工作时R1有一增量有一增量R1，当为拉伸应，当为拉伸应变时，变时，R1为正；压缩应变时，为正；压缩应变时，R1为负。在上式中以为负。在上式中以R1+R1代替代替R1，则，则(2-12)设R1为应变片的阻值，工作时R1有一增量R1，当为拉伸应变38由于由于R1 R1,略去略去(2-13)分母中的分母中的 R1/R1得：得：整理得：整理得：(2-13)定义定义桥臂比桥臂比：(2-14)由于R1R1,略去(2-13)分母中的R1/139(2-15)当当dKU/dn=0时，dKU最大，此最大，此时n=1；即即R2=R1；R4=R3当当n=1时，电桥为等臂等臂电桥，其，其输出出电压为：(2-16)定义定义电桥灵敏度：电桥灵敏度：定义电桥灵敏度：40 单臂直流电桥的非线性误差单臂直流电桥的非线性误差如果不略去（如果不略去（2-132-13）式中分母的）式中分母的R R1 1/R/R1 1项，则电桥实际输出值为项，则电桥实际输出值为U U0 0，非线性误差为：，非线性误差为：当当n=1n=1时，时，可见非线性误差与可见非线性误差与R1/R1R1/R1成正比。对成正比。对金属电阻应变片金属电阻应变片，RR非常非常小，电桥非线性误差可以忽略。对小，电桥非线性误差可以忽略。对半导体应变片半导体应变片，由于其灵敏度，由于其灵敏度大，受应变时大，受应变时RR很大，非线性误差将不可忽略，因此应采用很大，非线性误差将不可忽略，因此应采用差动差动电桥电桥。可见非线性误差与R1/R1成正比。对金属电阻应变片，R非41差动电桥差动电桥两臂差动两臂差动电桥的输出电压为：电桥的输出电压为：设初始时为设初始时为R R1 1=R=R2 2=R=R3 3=R=R4 4=R=R；则上式为；则上式为若工作时应变片一片受拉、一片受压，即若工作时应变片一片受拉、一片受压，即RR1 1=RR2 2=R=R，则，则可见，这时输出电压可见，这时输出电压U U0 0与与R/RR/R间成严格的线性关系，且电桥灵间成严格的线性关系，且电桥灵敏度比单臂电桥提高一倍。敏度比单臂电桥提高一倍。差动电桥两臂差动电桥的输出电压为：设初始时为R1=R2=R342若采用四臂差动电桥（若采用四臂差动电桥（全桥全桥），如图，），如图，并设初始时并设初始时R R1 1=R=R2 2=R=R3 3=R=R4 4=R=R；工作时各个；工作时各个桥臂中电阻应变片电阻的变化为：桥臂中电阻应变片电阻的变化为：RR1 1、RR2 2、RR3 3、RR4 4；则电桥输出为：；则电桥输出为：若若RR1 1=R=R4 4=RR2 2=RR3 3=R=R，则有，则有 若采用四臂差动电桥（全桥），如图，并设初始时R1=R2=R3432.5.22.5.2恒流源电桥恒流源电桥设供电电流为设供电电流为I I，当，当RR1 1=0=0时，且负时，且负载电阻很大，通过各臂的电流为载电阻很大，通过各臂的电流为输出电压为：输出电压为：若电桥初始处于平衡状态，且若电桥初始处于平衡状态，且R R1 1=R=R2 2=R=R3 3=R=R4 4=R=R；当；当R R1 1变为变为R+RR+R时，时，电桥输出电压为电桥输出电压为非线性误差比恒压源电非线性误差比恒压源电桥减小桥减小1/21/22.5.2恒流源电桥设供电电流为I，当R1=0时，且负载电442.5.32.5.3交流电桥交流电桥n交流载波放大器具有灵敏度高、稳定性好、外界干扰和电源影交流载波放大器具有灵敏度高、稳定性好、外界干扰和电源影响小及造价低等优点，但存在工作频率上限较低、长导线时分布响小及造价低等优点，但存在工作频率上限较低、长导线时分布电容影响大等缺点。电容影响大等缺点。n直流放大器工作频带宽，能解决分布电容问题，但它需配用精直流放大器工作频带宽，能解决分布电容问题，但它需配用精密稳定电源供桥，造价较高。密稳定电源供桥，造价较高。近年来随着电子技术的发展，在数字应变仪、超动态应变仪中已近年来随着电子技术的发展，在数字应变仪、超动态应变仪中已逐渐采用直流放大形式的测量线路。逐渐采用直流放大形式的测量线路。1 1交流电桥的平衡条件交流电桥的平衡条件交流电桥电路如图所示交流电桥电路如图所示,输出电压为输出电压为平衡条件为平衡条件为：2.5.3交流电桥交流载波放大器具有灵敏度高、稳定性好、外界45设各臂阻抗为设各臂阻抗为:式中，式中，r ri i、x xi i为相应各桥臂的电阻和电抗，为相应各桥臂的电阻和电抗，Z Zi i和和i i为复阻抗的模和为复阻抗的模和幅角。幅角。上式表明，交流电桥平衡要满足两个条件，即相对两臂复阻抗上式表明，交流电桥平衡要满足两个条件，即相对两臂复阻抗的模之积相等，并且其幅角之和相等。所以交流电桥的平衡比直的模之积相等，并且其幅角之和相等。所以交流电桥的平衡比直流电桥的平衡要复杂得多。流电桥的平衡要复杂得多。故交流电桥的平衡条件为故交流电桥的平衡条件为:设各臂阻抗为:式中，ri、xi为相应各桥臂的电阻和电抗，Zi462 2交流电桥的平衡调节交流电桥的平衡调节对于纯电阻交流电桥，由于应变片连接导线的分布电容，相当于在对于纯电阻交流电桥，由于应变片连接导线的分布电容，相当于在应变片上并联了一个电容，如图，所以在调节平衡时，除使用电阻应变片上并联了一个电容，如图，所以在调节平衡时，除使用电阻平衡装置外，还要使用电容平衡装置，平衡装置外，还要使用电容平衡装置，2交流电桥的平衡调节对于纯电阻交流电桥，由于应变片连接导线472.62.6电阻应变片的温度误差及其补偿电阻应变片的温度误差及其补偿 1.1.温度误差及其产生原因温度误差及其产生原因用作测量应变的金属应变片，希望其阻值仅随应变变化，而用作测量应变的金属应变片，希望其阻值仅随应变变化，而不受其它因素的影响。实际上应变片的阻值受环境温度不受其它因素的影响。实际上应变片的阻值受环境温度(包包括被测试件的温度括被测试件的温度)影响很大。由于环境温度变化引起的电影响很大。由于环境温度变化引起的电阻变化与试件应变所造成的电阻变化几乎有相同的数量级，阻变化与试件应变所造成的电阻变化几乎有相同的数量级，从而产生很大的测量误差，称为应变片的温度误差，又称热从而产生很大的测量误差，称为应变片的温度误差，又称热输出。因环境温度改变而引起电阻变化的两个主要因素：输出。因环境温度改变而引起电阻变化的两个主要因素：应变片的电阻丝应变片的电阻丝(敏感栅敏感栅)具有一定温度系数；具有一定温度系数；电阻丝材料与测试材料的线膨胀系数不同。电阻丝材料与测试材料的线膨胀系数不同。2.6电阻应变片的温度误差及其补偿用作测量应变的金属应变片，48 设环境引起的构件温度变化为设环境引起的构件温度变化为t t（）时，粘贴在试件表）时，粘贴在试件表面的应变片敏感栅材料的电阻温度系数为面的应变片敏感栅材料的电阻温度系数为 ，则应变片产生的，则应变片产生的电阻相对变化为电阻相对变化为 由于敏感栅材料和被测构件材料两者线膨胀系数不同，当由于敏感栅材料和被测构件材料两者线膨胀系数不同，当t t 存在时，引起应变片的附加应变，相应的电阻相对变化为存在时，引起应变片的附加应变，相应的电阻相对变化为 g g试件材料线膨胀系数；试件材料线膨胀系数；s s敏感栅材料线膨胀系数。敏感栅材料线膨胀系数。K K应变片灵敏系数。应变片灵敏系数。设环境引起的构件温度变化为t（）时，粘贴在试件表面49温度变化形成的总电阻相对变化：温度变化形成的总电阻相对变化：相应的虚假应变为相应的虚假应变为上式为应变片粘贴在试件表面上，当试件不受外力作用，在温上式为应变片粘贴在试件表面上，当试件不受外力作用，在温度变化度变化t t 时，应变片的温度效应。用应变形式表现出来，称时，应变片的温度效应。用应变形式表现出来，称之为热输出。之为热输出。可见，应变片热输出的大小不仅与应变计敏感栅材料的性能可见，应变片热输出的大小不仅与应变计敏感栅材料的性能(,s s)有关，而且与被测试件材料的线膨胀系数有关，而且与被测试件材料的线膨胀系数(g g)有关。有关。温度变化形成的总电阻相对变化：502.2.温度误差补偿方法温度误差补偿方法（1 1）自补偿法）自补偿法1 1）单丝自补偿）单丝自补偿由前式知，若使应变片在温度变化由前式知，若使应变片在温度变化t t时的热输出值为零，必须时的热输出值为零，必须使使每一种材料的被测试件，其线膨胀系数每一种材料的被测试件，其线膨胀系数g都为确定值，可以在都为确定值，可以在有关的材料手册中查到。在选择应变片时，若应变片的敏感栅是有关的材料手册中查到。在选择应变片时，若应变片的敏感栅是用单一的合金丝制成，并使其电阻温度系数用单一的合金丝制成，并使其电阻温度系数和线膨胀系数和线膨胀系数s 满满足上式的条件，即可实现温度自补偿。具有这种敏感栅的应变片足上式的条件，即可实现温度自补偿。具有这种敏感栅的应变片称为单丝自补偿应变片。称为单丝自补偿应变片。单丝自补偿应变片的优点是结构简单，制造和使用都比较方单丝自补偿应变片的优点是结构简单，制造和使用都比较方便，但它必须在具有一定线膨胀系数材料的试件上使用，否则便，但它必须在具有一定线膨胀系数材料的试件上使用，否则不能达到温度自补偿的目的。不能达到温度自补偿的目的。2.温度误差补偿方法（1）自补偿法单丝自补偿应变片的优点51如图（如图（a a）,应变片由两种不同电应变片由两种不同电阻温度系数（一种为正值，一种阻温度系数（一种为正值，一种为负值）的材料串联组成敏感栅，为负值）的材料串联组成敏感栅，以达到一定的温度范围内在一定以达到一定的温度范围内在一定材料的试件上实现材料的试件上实现R1t=R2t,该方法补偿效果可达该方法补偿效果可达0.45。2 2）双丝组合式自补偿）双丝组合式自补偿（a）(b)温度补偿。这种应变片的自补偿条件要求粘贴在某种试件上的温度补偿。这种应变片的自补偿条件要求粘贴在某种试件上的两段两段敏感栅，随温度变化而产生的电阻增量大小相等，符号相反，敏感栅，随温度变化而产生的电阻增量大小相等，符号相反，即即组合式自补偿应变片的另一种形式是用两种同符号温度系数的合组合式自补偿应变片的另一种形式是用两种同符号温度系数的合金丝串接成敏感栅，在串接处焊出引线并接入电桥，如图金丝串接成敏感栅，在串接处焊出引线并接入电桥，如图(b)(b)。适当调节适当调节R R1 1与与R R2 2的长度比和外接电阻的长度比和外接电阻R RB B的值，使之满足条件的值，使之满足条件 即可满足温度自补偿要求即可满足温度自补偿要求 如图（a）,应变片由两种不同电阻温度系数（一种为正值，一种为52（2 2）桥路补偿法）桥路补偿法如图，工作应变片如图，工作应变片R R1 1安装在被测试件上，另选一安装在被测试件上，另选一个特性与个特性与R R1 1相同的补偿片相同的补偿片R RB B，安装在材料与试件，安装在材料与试件相同的补偿件上，温度与试件相同，但不承受应相同的补偿件上，温度与试件相同，但不承受应变。变。R R1 1与与R RB B接入电桥相邻臂上。由于相同温度变接入电桥相邻臂上。由于相同温度变化造成化造成R R1 1和和R RB B电阻变化相同，根据电桥理论可知，电阻变化相同，根据电桥理论可知，电桥输出电压与温度变化无关。电桥输出电压与温度变化无关。在有些应用中，可以通过巧妙地安装多个应变在有些应用中，可以通过巧妙地安装多个应变片以达到温度补偿和提高测量灵敏度的双重目片以达到温度补偿和提高测量灵敏度的双重目的。如图，在等强度悬臂梁的上下表面对应位的。如图，在等强度悬臂梁的上下表面对应位置粘贴四片相同的应变片并接成差动全桥，当置粘贴四片相同的应变片并接成差动全桥，当梁受压力梁受压力F F时，时，R R1 1和和R R2 2应变片受拉应变，电阻应变片受拉应变，电阻增加，而增加，而R R3 3和和R R4 4应变片受压应变，电阻减小，应变片受压应变，电阻减小，电桥输出为单臂工作时的电桥输出为单臂工作时的4 4倍。而温度变化引倍。而温度变化引起四片应变片的电阻变化相同，则电桥输出不起四片应变片的电阻变化相同，则电桥输出不变。变。（2）桥路补偿法如图，工作应变片R1安装在被测试件上，另选一532.72.7电阻应变式传感器电阻应变式传感器2.7.12.7.1电阻应变式力传感器电阻应变式力传感器1 1柱式力传感器柱式力传感器柱式力传感器的弹性元件分实心和柱式力传感器的弹性元件分实心和空心两种，如图。其特点是结构简空心两种，如图。其特点是结构简单，可承受较大载荷，最大可达单，可承受较大载荷，最大可达10107 7N N，在测，在测10103 310105 5N N载荷时，为提载荷时，为提高变换灵敏度和抗横向干扰，一般高变换灵敏度和抗横向干扰，一般采用空心圆柱结构。采用空心圆柱结构。根据材料力学，柱沿轴向的应变为根据材料力学，柱沿轴向的应变为应变的大小取决于应变的大小取决于S S、E E、F F，与轴长度无关。，与轴长度无关。2.7电阻应变式传感器2.7.1电阻应变式力传感器1柱式力54圆柱的直径的计算：圆柱的直径的计算：根据材料极限应力根据材料极限应力 b b 来计算来计算即即：F/S=2D+l 或或 H=D-d+l 应变片长度应变片长度圆柱的直径的计算：根据材料极限应力b来计算即：F/S55BLRBLR1 1型拉力传感器型拉力传感器BLR1型拉力传感器56电阻应变式传感器介绍课件57应变式荷重传感器外形及受力位置应变式荷重传感器外形及受力位置FF应变式荷重传感器外形及受力位置FF58悬臂梁式：悬臂梁式：等截面梁：等截面梁：=6Fl0/Ebh=6lF/Eb0h等强度梁：等强度梁：2 2梁式力传感器梁式力传感器悬臂梁式：等截面梁：=6Fl0/Ebh=6lF/Eb059双孔平行梁：双孔平行梁：抗弯断面系数抗弯断面系数差动电桥输出：差动电桥输出：可见载荷的位置不影响输出可见载荷的位置不影响输出载荷可以施加在任何位置，都可以载荷可以施加在任何位置，都可以简化为作用于梁端部的力简化为作用于梁端部的力F F及一个力偶及一个力偶M M双孔平行梁：抗弯断面系数差动电桥输出：可见载荷的位置不影60S S型双孔梁型双孔梁差动电桥输出：差动电桥输出：抗弯断面系数抗弯断面系数S型双孔梁差动电桥输出：抗弯断面系数61应变式力传感器应变式力传感器 FFFF应变式力传感器FFFF62 吊钩秤吊钩秤 便携式便携式吊钩秤便携式63各种悬臂梁各种悬臂梁 FF固定点固定点固定点固定点电缆各种悬臂梁FF固定点固定点电缆64剪切弹性模量剪切弹性模量应变片安装在弹性元件剪应变最应变片安装在弹性元件剪应变最大处的主应变方向。剪切式力传大处的主应变方向。剪切式力传感器的输出和精度比拉压式力传感器的输出和精度比拉压式力传感器高。感器高。3.3.剪切式力传感器剪切式力传感器梁长度的中间截面弯矩为零，中梁长度的中间截面弯矩为零，中性层处是最大剪应变所在处，为性层处是最大剪应变所在处，为此将电阻应变片安装在该截面的此将电阻应变片安装在该截面的中性层上，栅丝与中性层成中性层上，栅丝与中性层成4545方向，即最大正应变方向。方向，即最大正应变方向。四片应变片接成全桥电路后，电桥输出指示的应变与外力的关系为：四片应变片接成全桥电路后，电桥输出指示的应变与外力的关系为：矩形截面梁：矩形截面梁：工字形截面梁：工字形截面梁：剪切弹性模量应变片安装在弹性元件剪应变最大处的主应变方向65减小弯矩影响的剪切力传感器贴片方式减小弯矩影响的剪切力传感器贴片方式 轮辐式剪切力传感器轮辐式剪切力传感器 减小弯矩影响的剪切力传感器贴片方式轮辐式剪切力传感器662.7.2 2.7.2 电阻应变式压力传感器电阻应变式压力传感器1 1平膜片式压力传感器平膜片式压力传感器在膜片中心（在膜片中心（R=0），），r、t达到正最大值；达到正最大值；当当r0.635r0时，时，r=0；当；当r0.635r0时，时，r产生负值；当产生负值；当rr0时，时，t=0，r达到负最达到负最大值。一般用小栅长应变片在膜片中心沿大值。一般用小栅长应变片在膜片中心沿切向贴两片，在边缘处沿径向贴两片，并切向贴两片，在边缘处沿径向贴两片，并接成全桥线路，以提高灵敏度和进行温度接成全桥线路，以提高灵敏度和进行温度补偿。补偿。2.7.2电阻应变式压力传感器1平膜片式压力传感器在膜片672.2.筒式压力传感器筒式压力传感器如图（如图（a a）,当内腔与被测压力场相当内腔与被测压力场相通时，圆筒部分外表面上的切向应通时，圆筒部分外表面上的切向应变（沿着圆周线）为变（沿着圆周线）为若筒壁较薄时，可用下式计算应变若筒壁较薄时，可用下式计算应变 式中，式中，筒的外径与内径之差，筒的外径与内径之差，=D0D。(b)(c)(b)(c)贴片方式可贴片方式可实现温度补偿实现温度补偿2.筒式压力传感器如图（a）,当内腔与被测压力场相通时，圆筒682.7.32.7.3电阻应变式加速度传感器电阻应变式加速度传感器2.7.3电阻应变式加速度传感器69加速度传感器系统模型加速度传感器系统模型加速度传感器系统模型702.82.8电阻应变仪电阻应变仪2.8电阻应变仪712.92.9 压阻式传感器压阻式传感器是利用硅的压阻效应和微电子技术制成的，是一种新的物性型传是利用硅的压阻效应和微电子技术制成的，是一种新的物性型传感器。感器。优点：灵敏度高、动态响应好、精度高、易于微型化和集成化等。优点：灵敏度高、动态响应好、精度高、易于微型化和集成化等。2.9.12.9.1 基本工作原理基本工作原理 单晶硅材料在受到应力作用后，其电阻率发生明显变化，这种单晶硅材料在受到应力作用后，其电阻率发生明显变化，这种现象被称为现象被称为压阻效应。压阻效应。电阻相对变化量电阻相对变化量对半导体材料对半导体材料式中，式中，压阻系数压阻系数,与晶向有关。与晶向有关。E E为半导体材料的弹性模量为半导体材料的弹性模量2.9压阻式传感器2.9.1基本工作原理电阻相对变化量对72用于制作半导体应变片的材料最常用的是硅和锗。在硅和锗中用于制作半导体应变片的材料最常用的是硅和锗。在硅和锗中渗进硼、铝、镓、铟等杂质，可以形成渗进硼、铝、镓、铟等杂质，可以形成P P型半导体；如渗进磷、型半导体；如渗进磷、锑、砷等，则形成锑、砷等，则形成N N型半导体。渗入杂质的浓度越大，半导体材型半导体。渗入杂质的浓度越大，半导体材料的电阻率就越低。料的电阻率就越低。参数参数 硅（硅（=10）锗（锗（=10）NPNPl/10-7N-11001101111026386.5719337295647.565E l/107-N1001101111.301.671.871.011.381.55KB1001101111321041310123177297147565103由表可见，半导体是各向异性材料，其压阻系数与晶向密切相关。由表可见，半导体是各向异性材料，其压阻系数与晶向密切相关。N N型硅的型硅的100100晶向、晶向、P P型硅的型硅的111111晶向、晶向、N N型锗的型锗的111111晶向、晶向、P P型型锗的锗的111111晶向，其灵敏系数比金属丝应变片要大几十倍。晶向，其灵敏系数比金属丝应变片要大几十倍。用于制作半导体应变片的材料最常用的是硅和锗。在硅和锗中渗进硼732.9.22.9.2半导体应变片半导体应变片2.9.2半导体应变片742.9.32.9.3压阻式传感器压阻式传感器将制作成一定形状的将制作成一定形状的N N型单晶硅作为弹性元件，选择一定的晶向，型单晶硅作为弹性元件，选择一定的晶向，通过半导体扩散工艺在硅基底上扩散出通过半导体扩散工艺在硅基底上扩散出4 4个个P P型电阻，构成惠斯登电型电阻，构成惠斯登电桥的四个桥臂，从而实现了弹性元件与变换元件一体化，这样的敏桥的四个桥臂，从而实现了弹性元件与变换元件一体化，这样的敏感器件称为压阻式传感器。压阻式传感器主要用于测量压力、加速感器件称为压阻式传感器。压阻式传感器主要用于测量压力、加速度和载荷等参数。度和载荷等参数。1 1压阻式压力传感器压阻式压力传感器2.9.3压阻式传感器将制作成一定形状的N型单晶硅作为弹性元752 2压阻式加速度传感器压阻式加速度传感器扩散电阻硅梁基座abhl质量块应变 和加速度 间关系式：2压阻式加速度传感器扩散电阻硅梁基座abhl质量块应变762.9.42.9.4压阻式传感器输出信号调理压阻式传感器输出信号调理2.9.4压阻式传感器输出信号调理77由由MAXIM1450MAXIM1450压阻式传感器专用芯片构成的测量电路压阻式传感器专用芯片构成的测量电路由MAXIM1450压阻式传感器专用芯片构成的测量电路78