薄膜和薄膜技术应用培训课件

l我们的现代生活：太阳能 光学膜电视电脑 液晶显示器，集成电路（IC）手机汽车 燃料电池，加速度传感器7/20/20241薄膜和薄膜技术应用l薄膜技术塑料薄膜（吹塑；厚度数十微米）薄膜：薄（微米级或纳米级）；无缝隙覆盖薄膜技术7/20/20242薄膜和薄膜技术应用薄膜的一般概念7/20/20243薄膜和薄膜技术应用薄膜是一种薄而软的透明薄片。薄膜是由原子，分子或离子沉积在基片表面形成的2维材料。7/20/20244薄膜和薄膜技术应用薄膜是一种薄而软的透明薄片。聚氯乙烯或聚乙烯塑料薄膜的厚度为几微米到几百微米7/20/20245薄膜和薄膜技术应用7/20/20246薄膜和薄膜技术应用7/20/20247薄膜和薄膜技术应用王双军/陈先明：水立方ETFE充气膜结构技术16开282页lETFE：特氟龙（聚氟乙烯），分子式C2F4特点：轻，高抗污，易清洗，通常雨水即可清除主要污垢。具有有效的热学性能和透光性，可以调节室内环境，冬季保温、夏季散热。l水立方的蓝色外衣是由3000多个气枕构成的。基于“泡沫”理论的设计灵感，为“方盒子”包裹上了一层建筑外皮，上面布满了酷似水分子结构的几何形状，表面覆盖的ETFE膜又赋予了建筑冰晶状的外貌，使其具有独特的视觉效果和感受，轮廓和外观变得柔和，水的神韵在建筑中得到了完美的体现。7/20/20248薄膜和薄膜技术应用薄膜是由原子，分子或离子沉积在基片表面形成的2维材料。l薄膜的最早应用是在光学元件表面制备保护膜（化学镀膜）。l1817年，Fraunhofe在德国用浓硫酸或硝酸侵蚀玻璃，偶然获得了减反射膜。l玻璃的减反射与眼镜：镜片前表面产生的反射光会使别人看戴镜者眼睛时，看到的却是镜片表面一片白光。7/20/20249薄膜和薄膜技术应用薄膜是由原子，分子或离子沉积在基片表面形成的2维材料与真 空基片原子、分子或离子空气中的原子或分子7/20/202410薄膜和薄膜技术应用1930年出现了油扩散泵-机械泵抽气系统。l真空蒸镀l溅射l离子镀l化学气相沉积镀料气化源7/20/202411薄膜和薄膜技术应用大约于1858年，英国和德国的研究者先后于实验室中发现了溅射现象。直到1955年，溅射镀膜才得以迅速发展。l真空蒸镀l溅射l离子镀l化学气相沉积l薄膜技术7/20/202412薄膜和薄膜技术应用电视机前面玻璃照相机透镜眼镜镜片展示窗（MgF2）l光学膜减反射人造卫星用太阳能电池的玻璃罩7/20/202413薄膜和薄膜技术应用选择吸收长波长的红外线可见光夏天的冷房TiN、CrN或TiO2/TiN/TiO27/20/202414薄膜和薄膜技术应用冬天的暖房ZnO/Ag/ZnO可见光长波长的红外线7/20/202415薄膜和薄膜技术应用太阳能发电吸收面的温度可达800电镀的Cr2O3反应溅射ZrOx真空蒸镀SiO/Al/SiO选择吸收面（光热变换膜）7/20/202416薄膜和薄膜技术应用太阳能热水器7/20/202417薄膜和薄膜技术应用太阳能电池（光电变换膜）太阳能电池（光电变换膜）7/20/202418薄膜和薄膜技术应用波长小于380nm的紫外线容易造成汽车内的装饰材料、展示窗内的商品或展示品的劣化。ZnO薄膜长波长的红外线可见光7/20/202419薄膜和薄膜技术应用l装饰膜镀金保时捷汽车木雕7/20/202420薄膜和薄膜技术应用l装饰膜镀银镀银篮子7/20/202421薄膜和薄膜技术应用l装饰膜镀铬宝马汽车7/20/202422薄膜和薄膜技术应用l超硬耐磨镀膜汽配模具氮化钛（TiN）7/20/202423薄膜和薄膜技术应用镀TiN剪刀片镀TiN钻头镀TiAlN刀具镀CrN钻头7/20/202424薄膜和薄膜技术应用7/20/202425薄膜和薄膜技术应用7/20/202426薄膜和薄膜技术应用7/20/202427薄膜和薄膜技术应用生物传感器的原理图7/20/202428薄膜和薄膜技术应用热释电型红外线传感器某些物质（Pb1-xZrxTi1-x/4O3(PZT)或PbTiO3Pb1-xLaxTi1-x/4O3(PLT)）表面随温度的变化产生电荷（热释电效应），当这种物质接收红外线时，红外线的能量转变为热能，这种热能可以电荷（输出电压）的方式检出。可用于非接触式温度计：流动人群体温测量；检测人及动物的位置、动作及活动等；空间场地温度分布。7/20/202429薄膜和薄膜技术应用7/20/202430薄膜和薄膜技术应用7/20/202431薄膜和薄膜技术应用专业相机的像素可达2200万现在市面上的消费级数码相机主要有：2/3英寸（8.86.6mm）1/1.8英寸（7.7185.319mm）1/2.5英寸（5.384.39mm）1200万 2/3英寸（8.86.6mm）454/mm图像传感器CCD是由光导电或光电二极管即光致通断薄膜制成的。7/20/202432薄膜和薄膜技术应用7/20/202433薄膜和薄膜技术应用7/20/202434薄膜和薄膜技术应用7/20/202435薄膜和薄膜技术应用薄膜技术与薄膜制备、测试等相关的各种技术的总称。薄膜技术涉及的范围很广，它包括以物理气相沉积和化学气相沉积为代表的成膜技术，以离子束刻蚀为代表的微细加工技术，成膜、刻蚀过程的监控技术，薄膜分析、评价与检测技术等等。7/20/202436薄膜和薄膜技术应用7/20/202437薄膜和薄膜技术应用平板显示器等离子电视（PDP）液晶电视（LCD）发光二极管电视（LED）放电胞为0.2-0.4mm，胞间障壁宽度0.05mm，高度0.15mm7/20/202438薄膜和薄膜技术应用7/20/202439薄膜和薄膜技术应用FED-Field Emission Display(or Field Effection Display)。7/20/202440薄膜和薄膜技术应用l薄膜技术要点逐个原子的堆积真空气体放电化学反应7/20/202441薄膜和薄膜技术应用l几种薄膜技术简介 真空蒸镀物理气相沉积（PVD）离子镀 溅射镀膜化学气相沉积（CVD）7/20/202442薄膜和薄膜技术应用