俄歇电子能谱(AES)课件

电子能谱及其应用电子能谱及其应用Electron Spectroscopy and Applications中国科学技术大学理化科学实验中心中国科学技术大学理化科学实验中心合肥微尺度物质科学国家实验室合肥微尺度物质科学国家实验室(筹筹)麻茂生麻茂生电子能谱及其应用ElectronSpectrosco参考文献参考文献lJohn F.Watts&John Wolstenholme,“An introduction to surface analysis by XPS and AES”,John Wiley&Sons,2003lDavid Briggs and John T.Grant,“Surface Analysis by Auger and X-Ray Photoelectron Spectroscopy”,IM Publications,2007lD.Briggs&M.P.Seah,“Practical Surface Analysis(Second Edition),Volume 1:Auger and X-ray Photoelectron Spectroscopy”,John Wiley&Sons,1996lGraham C.Smith,“Surface Analysis by Electron Spectroscopy:Measurement&Interpretation”,Plenum Press,New York,1994l吴正龙译，吴正龙译，表面分析表面分析(XPS和和AES)引论引论，华东理工大学出版社，华东理工大学出版社，2008l黄惠忠等编黄惠忠等编,表面化学分析，华东理工大学出版社，表面化学分析，华东理工大学出版社，2007l王建祺王建祺等等编编,电子能谱学电子能谱学(XPS/XAES/UPS)引论引论，国防工业出版社，国防工业出版社，1992l刘世宏刘世宏等等编编,X X射线光电子能谱分析射线光电子能谱分析，科学出版社科学出版社，1988l课件下载：课件下载：http:/ 1章章 电子能谱学电子能谱学引论引论一、电子能谱学及其特性一、电子能谱学及其特性二、电子能谱的表面灵敏性二、电子能谱的表面灵敏性三、表面科学与表面分析技术三、表面科学与表面分析技术第1章电子能谱学引论一、电子能谱学及其特性1.1、电子能谱学及其特性、电子能谱学及其特性l电子能谱学电子能谱学(Electron Spectroscopy)是最近四十年是最近四十年来发展起来的一门综合性学科。来发展起来的一门综合性学科。l现代电子能谱学已经发展为一门独立的，完整的现代电子能谱学已经发展为一门独立的，完整的学科。它与多种学科相互交叉，融合了物理学，学科。它与多种学科相互交叉，融合了物理学，化学，材料学，真空电子学，以及计算机技术等化学，材料学，真空电子学，以及计算机技术等多学科领域。多学科领域。l应用最广泛的表面化学分析技术，可给出材料表应用最广泛的表面化学分析技术，可给出材料表面的元素组成及其空间分布、元素化学态和化学面的元素组成及其空间分布、元素化学态和化学环境、原子和电子态、表面结构等的定性和定量环境、原子和电子态、表面结构等的定性和定量信息。是研究原子，分子和固体材料的有力工具。信息。是研究原子，分子和固体材料的有力工具。1.1、电子能谱学及其特性电子能谱学(ElectronSp电子能谱学电子能谱学l当当用用一一定定能能量量的的微微观观粒粒子子（光光子子，电电子子，离离子子等等）作作为为探探针针作作用用于于试试样样物物质质,入入射射粒粒子子与与物物质质中中的的原原子子发发生生相相互互作作用用，经经历历各各种种能能量量转转递递的的物物理理效效应应后后，所所释释放放出出的的电电子具有原子的特征信息，亦即具有特征能量。子具有原子的特征信息，亦即具有特征能量。l通通过过对对这这些些特特征征信信息息的的解解析析，可可以以获获得得样样品品中中原原子子的的各各种信息种信息,如元素种类和含量，化学环境，化学价态等。如元素种类和含量，化学环境，化学价态等。l收收集集、检检测测和和记记录录和和分分析析这这些些特特征征信信号号电电子子的的能能量量分分布布和空间分布和空间分布的的方法技术方法技术,就是就是电子能谱学电子能谱学。l电电子子能能谱谱学学的的内内容容非非常常广广泛泛，凡凡是是涉涉及及到到利利用用电电子子能能量量进进行行分分析析的的这这类类分分析析技技术术，均均可可归归属属为为电电子子能能谱谱学学的的范范畴。畴。电子能谱学当用一定能量的微观粒子（光子，电子，离子等）作为探1.1.1、电子能谱的分类根据激发源的不同，常用电子能谱又分为根据激发源的不同，常用电子能谱又分为:lX X射线光电子能谱射线光电子能谱(XPS(XPS、ESCA)ESCA)(X-Ray Photoelectron Spectroscopy)l俄歇电子能谱俄歇电子能谱(AES)(AES)(Auger Electron Spectroscopy)l紫外光电子能谱紫外光电子能谱(UPS)(UPS)(Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy)1.1.1、电子能谱的分类根据激发源的不同，常用电子能谱又分（1）X射线光电子能谱射线光电子能谱(XPS)l所用激发源所用激发源(探针探针)是单色是单色X射线，探测从表面出射线，探测从表面出射的光电子的能量分布。由于射的光电子的能量分布。由于X射线的能量较射线的能量较高，所以得到的主要是原子内壳层轨道上电离高，所以得到的主要是原子内壳层轨道上电离出来的电子。出来的电子。XPS的物理基础：光电效应。的物理基础：光电效应。l瑞典瑞典Uppsala大学物理研究所大学物理研究所Kai Siegbahn教授教授及其小组在二十世纪五十和六十年代对及其小组在二十世纪五十和六十年代对XPS的的实验设备进行了几项重要的改进并逐步发展完实验设备进行了几项重要的改进并逐步发展完善了这种实验技术，首先发现内壳层电子结合善了这种实验技术，首先发现内壳层电子结合能位移现象，并将它成功应用于化学问题的研能位移现象，并将它成功应用于化学问题的研究中。究中。X射线光电子能谱不仅能测定表面的元射线光电子能谱不仅能测定表面的元素组成，而且还能给出各元素的化学状态和电素组成，而且还能给出各元素的化学状态和电子态信息。子态信息。lKai Siegbahn由于其在高分辨光电子能谱开发由于其在高分辨光电子能谱开发和应用方面的开创性工作和杰出贡献荣获了和应用方面的开创性工作和杰出贡献荣获了1981年的诺贝尔物理奖。年的诺贝尔物理奖。（1）X射线光电子能谱(XPS)所用激发源(探针)是单色X射（2）俄歇电子能谱）俄歇电子能谱(AES)l1923年法国科学家年法国科学家Pierre Auger发现并给出了正确的发现并给出了正确的解释：当解释：当X射线或者高能电子打到物质上以后，能以射线或者高能电子打到物质上以后，能以一种特殊的物理过程一种特殊的物理过程(俄歇过程俄歇过程)释放出二次电子释放出二次电子俄歇电子，其能量只决定于原子中的相关电子能级，俄歇电子，其能量只决定于原子中的相关电子能级，而与激发源无关，因而它具有而与激发源无关，因而它具有“指纹指纹”特征，可用来特征，可用来鉴定元素种类。鉴定元素种类。l六十年代末六十年代末L.A.Harris采用微分法和锁相放大器技术采用微分法和锁相放大器技术将它发展成为一种实用的分析仪器。将它发展成为一种实用的分析仪器。筒镜能量分析器筒镜能量分析器的应用，提高了灵敏度和分析速度，使俄歇电子能谱的应用，提高了灵敏度和分析速度，使俄歇电子能谱被广泛应用。被广泛应用。l到了七十年代，出现了扫描俄歇，性能不断改善。俄到了七十年代，出现了扫描俄歇，性能不断改善。俄歇电子能谱以其优异的空间分辨能力，成为微区分析歇电子能谱以其优异的空间分辨能力，成为微区分析的有力工具。主要用于对金属、合金和半导体等材料的有力工具。主要用于对金属、合金和半导体等材料表面进行分析。表面进行分析。l尽管从理论上仍然有许多工作要做，然而俄歇电子能尽管从理论上仍然有许多工作要做，然而俄歇电子能谱现已被证明在许多领域是非常富有成果的，如基础谱现已被证明在许多领域是非常富有成果的，如基础物理（原子、分子、碰撞过程的研究）或基础和应用物理（原子、分子、碰撞过程的研究）或基础和应用表面科学。表面科学。（2）俄歇电子能谱(AES)1923年法国科学家Pierre（3）紫外光电子能谱）紫外光电子能谱(UPS)l它以真空紫外光它以真空紫外光(h 45eV)作为电离源，发射的光电子来作为电离源，发射的光电子来自原子的价壳层。英国伦敦帝国学院自原子的价壳层。英国伦敦帝国学院David Turner于二十于二十世纪六十年代末首先提出并成功应用于气体分子的价电子世纪六十年代末首先提出并成功应用于气体分子的价电子结构的研究中。结构的研究中。l真空紫外光电子能谱为研究者们提供了简单直观和广泛地真空紫外光电子能谱为研究者们提供了简单直观和广泛地表征分子和固体电子结构的方法，它比以前由光学光谱所表征分子和固体电子结构的方法，它比以前由光学光谱所建立的分子轨道理论的实验基础深刻的多。主要用于研究建立的分子轨道理论的实验基础深刻的多。主要用于研究固体和气体分子的价电子和能带结构以及表面态情况。角固体和气体分子的价电子和能带结构以及表面态情况。角分辨分辨UPS配以同步辐射光源，可实验直接测定能带结构。配以同步辐射光源，可实验直接测定能带结构。lUPS是一种分子能谱，它不直接提供元素的信息。是一种分子能谱，它不直接提供元素的信息。l由于光源能量较低，线宽较窄（约为由于光源能量较低，线宽较窄（约为0.01eV),只能使原子只能使原子的外层价电子、价带电子电离，并可分辨出分子的振动能的外层价电子、价带电子电离，并可分辨出分子的振动能级级,因此被广泛地用来研究气体样品的价电子和精细结构因此被广泛地用来研究气体样品的价电子和精细结构以及固体样品表面的原子、电子结构。以及固体样品表面的原子、电子结构。（3）紫外光电子能谱(UPS)它以真空紫外光(h45eV1.1.2、电子能谱的特性、电子能谱的特性XPS采用能量为采用能量为 12001500 eV的的X射线源为探针，能激射线源为探针，能激发内层电子。各种元素内层电子的结合能是有特征性的，发内层电子。各种元素内层电子的结合能是有特征性的，因此可以用来鉴别化学元素种类及其化学态和电子态。因此可以用来鉴别化学元素种类及其化学态和电子态。UPS采用采用He I(21.2eV)或或He II(40.8eV)作激发源。作激发源。与与X射射线相比能量较低，只能使原子的价电子电离，用于研究线相比能量较低，只能使原子的价电子电离，用于研究价电子和能带结构的特征。价电子和能带结构的特征。AES大大都用电子束作激发源，因为电子激发得到的俄歇电都用电子束作激发源，因为电子激发得到的俄歇电子谱强度较大，并具有优异的空间分辨率。主要用于材子谱强度较大，并具有优异的空间分辨率。主要用于材料元素组成，以及微区元素成分分析。料元素组成，以及微区元素成分分析。光电子或俄歇电子，在逸出的路径上自由程很短，实际光电子或俄歇电子，在逸出的路径上自由程很短，实际能探测的信息深度只有表面几个至十几个原子层，电子能探测的信息深度只有表面几个至十几个原子层，电子能谱通常为表面分析的方法。能谱通常为表面分析的方法。1.1.2、电子能谱的特性XPS采用能量为1200150XPS和和AES的重要特性的重要特性l除氢和氦以外元素周期表中所有元素都有分立特征谱峰；除氢和氦以外元素周期表中所有元素都有分立特征谱峰；l近邻元素的谱线分隔较远，无系统干扰。近邻元素的谱线分隔较远，无系统干扰。如如C、N和和Si的的1s电子结合能：电子结合能：C285 eVN400 eVSi 1840eV C、N和和Si的的KLL俄歇谱峰：俄歇谱峰：C264 eV N380 eVSi 1617eVl可观测的化学位移。与氧化态和分子结构相关，与原子电荷相关，可观测的化学位移。与氧化态和分子结构相关，与原子电荷相关，与有机分子中的官能团有关。与有机分子中的官能团有关。l可定量的技术。测定元素的相对浓度，测定同一元素不同氧化态的可定量的技术。测定元素的相对浓度，测定同一元素不同氧化态的相对浓度。相对浓度。l表面灵敏技术。采样深度约表面灵敏技术。采样深度约110nm，信号主要来自最表面的十数，信号主要来自最表面的十数个原子单层。个原子单层。l分析速度快，可多元素同时测定。分析速度快，可多元素同时测定。l样品的广泛适用性。固体样品用量小，不需要进行样品前处理。样品的广泛适用性。固体样品用量小，不需要进行样品前处理。l需要超高真空实验条件需要超高真空实验条件.XPS和AES的重要特性除氢和氦以外元素周期表中所有元素都有X X射线光电子能谱射线光电子能谱(XPS)l优点优点：可测除可测除H、He以外的所有元素。检测灵敏度约为以外的所有元素。检测灵敏度约为0.1 at%。亚单层灵敏度；探测深度亚单层灵敏度；探测深度110nm，依赖材料和实验，依赖材料和实验参数。参数。可元素定量分析。可元素定量分析。优异的化学信息，化学位移和卫星结构与完整的标准优异的化学信息，化学位移和卫星结构与完整的标准化合物数据库的联合使用。化合物数据库的联合使用。分析是非结构破坏的；分析是非结构破坏的；X射线束损伤通常微不足道。射线束损伤通常微不足道。详细的电子结构和某些几何信息。详细的电子结构和某些几何信息。l缺点缺点：典型的数据采集与典型的典型的数据采集与典型的AES相比较慢，部分原因是相比较慢，部分原因是由于由于XPS通常采集了更多的细节信息。通常采集了更多的细节信息。横向空间分辨率较低，横向空间分辨率较低，10 m(小面积小面积)，1 m(成像成像)。X射线光电子能谱(XPS)优点：可测除H、He以外的所俄歇电子能谱俄歇电子能谱(AES)(AES)l优点优点：可测除可测除H、He以外的所有元素；以外的所有元素；检测灵敏度约为检测灵敏度约为1 at%。当涉当涉及到价能级时矩阵效应大，并且某些电子背散射效应总是存在及到价能级时矩阵效应大，并且某些电子背散射效应总是存在的。的。亚单层灵敏度；探测深度亚单层灵敏度；探测深度110nm，依赖材料和实验参数。，依赖材料和实验参数。快速半定量元素分析快速半定量元素分析(精度比精度比XPS低低)。可同时。可同时Ar离子剖析。离子剖析。可从化学位移、线形等得到某些化学信息，并非总可完全可从化学位移、线形等得到某些化学信息，并非总可完全解释。解释。优异的横向分辨率，优异的横向分辨率，20nm。具有很高的微区分析能力，。具有很高的微区分析能力，并可进行表面元素化学成像。并可进行表面元素化学成像。l缺点缺点：在许多情况下产生较严重的电子束诱导损伤。在许多情况下产生较严重的电子束诱导损伤。化学位移等较难理解，缺乏提供化学信息的广泛数据库。化学位移等较难理解，缺乏提供化学信息的广泛数据库。谱峰偶然重叠的机会比谱峰偶然重叠的机会比XPS大，这使得元素分析更不确定。大，这使得元素分析更不确定。(4)绝缘样品表面荷电严重一般不适宜做绝缘样品表面荷电严重一般不适宜做AES分析分析俄歇电子能谱(AES)优点：可测除H、He以外的所有元XPS可提供的信息可提供的信息XPS可提供的信息包括可提供的信息包括:l成分信息成分信息l表面存在哪些元素表面存在哪些元素?l定量信息定量信息l每种元素有多少每种元素有多少?l化学态信息化学态信息l这些元素处于什么化学态？原子相互之间是如何连接的这些元素处于什么化学态？原子相互之间是如何连接的?l 分布状态信息分布状态信息l样品是均匀的吗样品是均匀的吗?元素的空间分布情形？元素的空间分布情形？l深度信息深度信息l表面下是什么表面下是什么?元素随深度的变化是否均匀等？元素随深度的变化是否均匀等？XPS可提供的信息XPS可提供的信息包括:1.1.表面元素组成的定性和半定量测定表面元素组成的定性和半定量测定(误差误差10%)10%)2.2.表面或体相存在的污染元素；表面或体相存在的污染元素；3.3.纯材料的实验式（无表面污染情况下）；纯材料的实验式（无表面污染情况下）；4.4.表面各元素的化学态和电子态；表面各元素的化学态和电子态；5.5.优异的化学信息和分子环境的信息（原子局域成优异的化学信息和分子环境的信息（原子局域成键状态、以及分子结构等信息）；键状态、以及分子结构等信息）；6.6.详细的电子结构，电子态密度和某些几何结构信详细的电子结构，电子态密度和某些几何结构信息；息；7.7.各元素在表面分布均匀性（线扫描或化学成像）各元素在表面分布均匀性（线扫描或化学成像）8.8.样品内的元素深度分布均匀性（深度剖析）。样品内的元素深度分布均匀性（深度剖析）。表面元素组成的定性和半定量测定(误差He元素，对样品有一定的破坏作用，元素，对样品有一定的破坏作用，但其具有表面灵敏度高，空间分辨率高、分析速但其具有表面灵敏度高，空间分辨率高、分析速度快等优点，在表面科学领域主要进行度快等优点，在表面科学领域主要进行1）表面微区组成的定性和定量；）表面微区组成的定性和定量；2）表面元素的二维分布图和显微像；）表面元素的二维分布图和显微像；3）表面元素的三维分布分析）表面元素的三维分布分析;4）表面元素的化学环境和键合等方面的研究。）表面元素的化学环境和键合等方面的研究。AES可提供的信息可提供的信息AES可分析He元素，对样品有一定的破坏作用，但其具有表UPS主要用于提供主要用于提供:1）清洁表面或有化学吸附物的表面的电子结构；）清洁表面或有化学吸附物的表面的电子结构；2）参与表面化学键的金属电子和分子轨道的组合等）参与表面化学键的金属电子和分子轨道的组合等信息；信息；3）有关电子激发和电荷转移的信息）有关电子激发和电荷转移的信息;4）用于确定材料的功函数及费米能级的位置。）用于确定材料的功函数及费米能级的位置。广泛用于研究分子结构、构象分析、互变异构等，还广泛用于研究分子结构、构象分析、互变异构等，还可用于吸附、催化、腐蚀以及微电子学的研究工作中。可用于吸附、催化、腐蚀以及微电子学的研究工作中。UPS可提供的信息可提供的信息UPS主要用于提供:UPS可提供的信息1.1.3、应用领域、应用领域l由于电子能谱中包含着样品有关表面电子结构的重要信息，由于电子能谱中包含着样品有关表面电子结构的重要信息，用它可直接研究表面及体相的元素组成、电子组态和分子用它可直接研究表面及体相的元素组成、电子组态和分子结构。结构。l电子能谱可进行表面元素的定性和定量分析，元素组成的电子能谱可进行表面元素的定性和定量分析，元素组成的选区和微区分析，非均相样品中元素组成的表面分布分析选区和微区分析，非均相样品中元素组成的表面分布分析和深度剖析，原子和分子的价带结构分析，在某些情况下和深度剖析，原子和分子的价带结构分析，在某些情况下还可对元素的化学状态、分子结构等进行研究。还可对元素的化学状态、分子结构等进行研究。l是一种用途广泛的现代分析实验技术和表面分析的有力工是一种用途广泛的现代分析实验技术和表面分析的有力工具，广泛应用于科学研究和工程技术的诸多领域中。具，广泛应用于科学研究和工程技术的诸多领域中。1.1.3、应用领域由于电子能谱中包含着样品有关表面电子结构应用领域1.材料物理学材料物理学键结构、表面电子态、固体的能带结构、合金键结构、表面电子态、固体的能带结构、合金的构成与分凝、粘附的构成与分凝、粘附(adhesion)、迁移、迁移(migration)与扩散；与扩散；2.化学化工化学化工元素和分子分析、化学键、分子结构分析、氧化元素和分子分析、化学键、分子结构分析、氧化还原、光化学；还原、光化学；3.催化科学催化科学元素组成、活性、表面化学反应、催化剂中毒；元素组成、活性、表面化学反应、催化剂中毒；4.腐蚀科学腐蚀科学吸附、分凝、气体吸附、分凝、气体表面反应、氧化、钝化；表面反应、氧化、钝化；5.材料科学材料科学电子能谱是研究各种镀层、涂层和表面处理层电子能谱是研究各种镀层、涂层和表面处理层(钝化层、保护层等钝化层、保护层等)的最有效手段，广泛应用于金属、高分子的最有效手段，广泛应用于金属、高分子等材料的表面处理、金属或聚合物的淀积、防腐蚀、抗磨、断等材料的表面处理、金属或聚合物的淀积、防腐蚀、抗磨、断裂等方面的分析。裂等方面的分析。6.微电子技术微电子技术电子能谱可对材料和工艺过程进行有效的质量电子能谱可对材料和工艺过程进行有效的质量控制和分析，注入和扩散分析，因为表面和界面的性质对器件控制和分析，注入和扩散分析，因为表面和界面的性质对器件性能有很大影响。性能有很大影响。7.薄膜研究薄膜研究如光学膜、磁性膜、超导膜、钝化膜、太阳能电如光学膜、磁性膜、超导膜、钝化膜、太阳能电池薄膜等。层间扩散，离子注入。池薄膜等。层间扩散，离子注入。应用领域材料物理学键结构、表面电子态、固体的能带结构、合应用应用XPS的工业的工业l粘合Adhesion、农业Agriculture、汽车制造Automotive、电池Battery、生物材料Biomaterials、生物医学Biomedical、生物技术Biotechnology、罐装食品罐装食品Canning、催化剂Catalyst、陶瓷Ceramic、化学制品Chemical、计算机Computer、化妆品Cosmetics、电子工业Electronics、能源Energy、环境Environmental、纤维织物Fabrics、食品Food、燃料电池Fuelcells、地质Geology、玻璃Glass、激光Laser、照明Lighting、润滑Lubrication、磁存储Magneticstorage、矿物学Mineralogy、采矿Mining、纳米技术Nanotechnology、核能Nuclear、包装Packaging、绘画Painting、纸张和木材Paperandwood、电镀Plating、聚合物与塑料Polymerandplastic、印刷Printing、记录Recording、半导体Semiconductor、钢铁Steel、纺织Textiles、薄膜涂层Thin-filmcoating、焊接Welding应用XPS的工业粘合Adhesion、农业Agricult俄歇电子能谱(AES)课件XPS的典型应用的典型应用l分子取向分子取向l自组装分子单层构造自组装分子单层构造取向，浓度，厚度，取向，浓度，厚度，覆盖度问题覆盖度问题l变色表面的分析变色表面的分析l逆向工程逆向工程l表面改性表面改性l工艺过程监测工艺过程监测l摩擦学摩擦学l粘合；粘附粘合；粘附l催化；催化作用催化；催化作用l界面构造界面构造l表面清洁度表面清洁度l腐蚀腐蚀/氧化氧化l表面偏析表面偏析l薄膜扩散薄膜扩散l薄膜化学计量与层厚薄膜化学计量与层厚测算测算XPS的典型应用分子取向粘合；粘附俄歇电子能谱(AES)课件1.2、电子能谱与表面灵敏性电子能谱与表面灵敏性l一般来讲，分析方法的表面灵敏度依赖于所检测的辐射。表面分析技术以电一般来讲，分析方法的表面灵敏度依赖于所检测的辐射。表面分析技术以电子能谱为中心，作为信息载体的特征电子从被电子束或子能谱为中心，作为信息载体的特征电子从被电子束或X射线照射的样品中射线照射的样品中发射出，然后到达能量分析器和检测器进行分析测量。在电子能谱中，尽管发射出，然后到达能量分析器和检测器进行分析测量。在电子能谱中，尽管轰击表面的轰击表面的X射线光子或高能电子可透入固体很深射线光子或高能电子可透入固体很深(1 m)，但由于电子在，但由于电子在固体中的非弹性散射截面很大，只有小部分电子保持原有特征能量而逸出表固体中的非弹性散射截面很大，只有小部分电子保持原有特征能量而逸出表面。可被检测的无能量损失的出射电子仅来自于表面的面。可被检测的无能量损失的出射电子仅来自于表面的110 nm。在固体较。在固体较深处产生的电子也可能逸出，但在其逸出的路径中会与其它原子碰撞而损失深处产生的电子也可能逸出，但在其逸出的路径中会与其它原子碰撞而损失能量，因而它们对分析是无用的。电子能谱的表面灵敏性是在固体中输运而能量，因而它们对分析是无用的。电子能谱的表面灵敏性是在固体中输运而没有被散射的短距电子的结果。没有被散射的短距电子的结果。l表表1-1 不同粒子透入樣品的深度不同粒子透入樣品的深度粒子類型粒子類型 能量能量透入深度透入深度光子光子1,000 eV1,000 nm電子電子1,000 eV 2 nm離子離子1,000 eV 1 nml实验表明电子在固体中非弹性散射截面很大，其非弹性平均自由程（具有一实验表明电子在固体中非弹性散射截面很大，其非弹性平均自由程（具有一定能量的电子连续发生两次有效的非弹性碰撞之间所经过的平均距离）很短。定能量的电子连续发生两次有效的非弹性碰撞之间所经过的平均距离）很短。因此只有在极浅表层中的小部分电子保持原有特征能量而逸出表面。因此只有在极浅表层中的小部分电子保持原有特征能量而逸出表面。1.2、电子能谱与表面灵敏性一般来讲，分析方法的表面灵敏度对于电子在物质中的输运，用不同的术语定义表面灵敏度。对于电子在物质中的输运，用不同的术语定义表面灵敏度。lIMFP()非弹性平均自由程。具有一定能量的电子连续发生两次非弹性平均自由程。具有一定能量的电子连续发生两次有效的非弹性碰撞之间所经过的平均距离有效的非弹性碰撞之间所经过的平均距离(nm单位单位)，称为电子的，称为电子的非非弹性平均自由程弹性平均自由程，在表面分析中是一个重要参数，它与电子能量和，在表面分析中是一个重要参数，它与电子能量和表面材料组成有关，它可用来估计具有不同特征能量的电子所携带表面材料组成有关，它可用来估计具有不同特征能量的电子所携带的信息深度。的信息深度。lAT 衰减长度。从一特殊模型中得到的具有一定能量的电子连续衰减长度。从一特殊模型中得到的具有一定能量的电子连续发生两次有效的非弹性碰撞之间所经过的平均距离发生两次有效的非弹性碰撞之间所经过的平均距离(nm单位单位)，这里，这里弹性电子散射假设是可忽略的。弹性电子散射假设是可忽略的。lSD 采样深度采样深度=3。（检测到的电子的百分比为。（检测到的电子的百分比为95%时的信息深度）时的信息深度）。l对于能量在对于能量在100 1000eV的电子来说，非弹性散射平均自由程的典型的电子来说，非弹性散射平均自由程的典型值在值在1 3nm的量级，此一距离对大多数材料而言约为的量级，此一距离对大多数材料而言约为10个原子单层。个原子单层。1.2.1、非弹性平均自由程非弹性平均自由程对于电子在物质中的输运，用不同的术语定义表面灵敏度。1.2.采样深度采样深度l实验上非弹性平均自由程是非常难测量的，实际上代之以测定包含实验上非弹性平均自由程是非常难测量的，实际上代之以测定包含弹性散射效应的称为衰减长度的参数。弹性散射效应的称为衰减长度的参数。l对于体相材料，电子在固体内部发生非弹性散射的几率正比于在固对于体相材料，电子在固体内部发生非弹性散射的几率正比于在固体中的行程长度。体中的行程长度。ldI=-I-1 dxl部分积分部分积分 0 63%0 3 95%l 采样深度：采样深度：采样深度实验上非弹性平均自由程是非常难测量的，实际上代之以测信息深度信息深度信息深度1.2.2、非弹性平均自由程的估算非弹性平均自由程的估算lM.P.Seah和和W.A.Dench(1979)综合了大量实测数据，总结出以综合了大量实测数据，总结出以下经验公式：下经验公式：l对纯元素：对纯元素：l对无机化合物：对无机化合物：l对有机化合物：对有机化合物：式中：电子能量式中：电子能量 E 的单位是的单位是eV；体；体密度密度 的单位为的单位为kg m-3；平均单；平均单层厚度层厚度nm。1.2.2、非弹性平均自由程的估算M.P.Seah和W.A.值有多大值有多大 (nm)?l对元素硅对元素硅 m=0.41(aE)0.5 =8单层单层 n=2.2nml对氧化硅对氧化硅 m=0.72(aE)0.5=13单层单层 n=3.3nml两种情形下两种情形下 为几个为几个nm的的量级量级l大多数大多数 在在13.513.5nm范围范围(Al Ka a)l值有多大(nm)?对元素硅1.3、表面科学与表面分析技术、表面科学与表面分析技术l表表面面是是固固体体与与其其它它相相的的直直接接界界面面。通通常常表表面面被被认认为为是是固固体体最外表的最外表的1 10个原子单层个原子单层(0.5 3nm)的范围。的范围。l所有固体材料都通过其表面与所处的环境发生相互作用。所有固体材料都通过其表面与所处的环境发生相互作用。材料表面的组成和性质将决定表面的性质。固体的表面材料表面的组成和性质将决定表面的性质。固体的表面 性性质极大地影响材料的固体性质，及其在预期功能中的行为质极大地影响材料的固体性质，及其在预期功能中的行为表现。所以彻底了解材料的表面性质和行为是十分重要的。表现。所以彻底了解材料的表面性质和行为是十分重要的。l由于表面所具有的特殊性质和表面问题与基础理论和工程由于表面所具有的特殊性质和表面问题与基础理论和工程技术的密切关系，使得近年来对表面问题研究异常活跃。技术的密切关系，使得近年来对表面问题研究异常活跃。表面科学虽然诞生的历史不长，但它被认为是当今发展最表面科学虽然诞生的历史不长，但它被认为是当今发展最快，与技术关系最密切的一门前沿科学，它涉及物理学、快，与技术关系最密切的一门前沿科学，它涉及物理学、化学、生物技术、材料科学等许多领域。化学、生物技术、材料科学等许多领域。1.3、表面科学与表面分析技术表面是固体与其它相的直接界面。俄歇电子能谱(AES)课件l表面科学研究表面和表面有关的宏观和微表面科学研究表面和表面有关的宏观和微观过程，从原子水平来认识和说明表面原观过程，从原子水平来认识和说明表面原子的化学、几何排列、运动状态、电子态子的化学、几何排列、运动状态、电子态等性质及其与表面宏观性质的联系。等性质及其与表面宏观性质的联系。l表面发生的过程对从半导体技术到异相催表面发生的过程对从半导体技术到异相催化等各个领域具有极大的实用性和重要意化等各个领域具有极大的实用性和重要意义。对固体表面相关的问题的研究逐渐成义。对固体表面相关的问题的研究逐渐成为基础科学研究的前沿。为基础科学研究的前沿。表面科学研究表面和表面有关的宏观和微观过程，从原子水平来认识表面分析的主要内容表面分析的主要内容l表面化学组成：表面元素组成，表面元素的分布，表面表面化学组成：表面元素组成，表面元素的分布，表面元素的化学态，表面化学键，化学反应等；实验技术：元素的化学态，表面化学键，化学反应等；实验技术：XPS、AES、SIMS、ISSl表面原子结构：表面层原子的几何配置，确定原子间的表面原子结构：表面层原子的几何配置，确定原子间的精确位置。表面弛豫，表面再构，表面缺陷，表面形貌；精确位置。表面弛豫，表面再构，表面缺陷，表面形貌；实验技术：实验技术：LEED、RHEED、EXAFS、SPM、FIMl表面原子态：表面原子振动状态，表面吸附表面原子态：表面原子振动状态，表面吸附(吸附能、吸附能、吸附位吸附位)，表面扩散等；实验技术：，表面扩散等；实验技术：EELS、RAIRSl表面电子态：表面电荷密度分布及能量分布表面电子态：表面电荷密度分布及能量分布(DOS)，表，表面能级性质，表面态密度分布，价带结构，功函数、表面能级性质，表面态密度分布，价带结构，功函数、表面的元激发。实验技术：面的元激发。实验技术：UPS、ARPES、STM 表面分析的主要内容表面化学组成：表面元素组成，表面元素的分布常用表面成分分析技术常用表面成分分析技术lXPS、AES和和SIMS是目前广泛使用的三种表面是目前广泛使用的三种表面分析技术。分析技术。XPS的最大特色在于能获取丰富的的最大特色在于能获取丰富的化学信息，对样品表面的损伤最轻微，定量分化学信息，对样品表面的损伤最轻微，定量分析较好。析较好。SIMS的最大特色是检测灵敏度非常高，的最大特色是检测灵敏度非常高，并可分析并可分析H和和He以及同位素，可作微区、微量以及同位素，可作微区、微量分析以及有机化学分析。分析以及有机化学分析。AES的最大特色是空的最大特色是空间分辨力非常好，具有很高的微区分析能力，间分辨力非常好，具有很高的微区分析能力，并可进行元素表面分布成像。并可进行元素表面分布成像。常用表面成分分析技术XPS、AES和SIMS是目前广泛使用的几种最常用表面成分分析技术比较几种最常用表面成分分析技术比较性能性能技技术XPSAESSIMSISS探探针粒子粒子 eii检测粒子粒子eeii可可测元素元素HeHe所有元素所有元素 He主要信息主要信息元素、化学元素、化学键元素元素元素、同位素元素、同位素元素元素辅助信息助信息深度分布深度分布价价带结构构成像、化学成像、化学键深度分布深度分布成像、化合物成像、化合物深度分布深度分布同位素同位素结构构飞行行质谱检测灵敏度灵敏度5 10-2 10-35 10-2 10-310-4 10-810-2 10-3定量分析定量分析Easy/accuracy好好一般一般 差差 差差化学化学态分析分析好好一般一般不能不能不能不能谱峰分辨率峰分辨率好好好好优差差易于易于识谱好好好好一般一般一般一般探探测深度深度(0.5-2nm)(1nm)(0.2-0.5nm)(0.2-0.3nm)空空间分辨率分辨率(20),3 20nm50nm0.1mm无无损检测优好好差差差差数据完整性数据完整性好好一般一般差差一般一般主要主要应用范用范围金属、半金属、半导体陶瓷、体陶瓷、有机物有机物金属、半金属、半导体体金属、半金属、半导体陶瓷、体陶瓷、有机物有机物金属、半金属、半导体体几种最常用表面成分分析技术比较性能技术XPSAESSIM二次离子质谱（二次离子质谱（SIMS）l优点优点：对某些元素极其表面灵敏对某些元素极其表面灵敏(10-6单层单层)；在静态；在静态模式下探测深度限制在最顶单层。模式下探测深度限制在最顶单层。可测所有元素，包括可测所有元素，包括H和同位素识别。和同位素识别。较好的横向分辨较好的横向分辨(1 m)。在动态模式下同时深度剖析。在动态模式下同时深度剖析。在动态模式下具有探测在动态模式下具有探测搀杂搀杂级浓度的充分的级浓度的充分的灵敏度动态范围的唯一技术。灵敏度动态范围的唯一技术。Cluster相对强度的有限化学信息。相对强度的有限化学信息。l缺点缺点：内禀的结构破坏性。内禀的结构破坏性。SIMS过程内禀的复杂性并未很好理解。主过程内禀的复杂性并未很好理解。主要问题是要问题是SIMS离子强度随化学和物理环境的变离子强度随化学和物理环境的变化有大量的可变性因素，这使得定量分析困难。化有大量的可变性因素，这使得定量分析困难。+-二次离子质谱（SIMS）优点：对某些元素极其表面灵敏(离子散射谱（离子散射谱（ISS）l优点优点：单个二体碰撞相互作用，因此单个二体碰撞相互作用，因此探测深度局限在最顶单层。探测深度局限在最顶单层。10-210-3单层灵敏度。单层灵敏度。可测除可测除H以外的所有元素。以外的所有元素。同位素分离。同位素分离。l缺点缺点：散射截面和离子中和截面并未散射截面和离子中和截面并未很好了解，所以很好了解，所以ISS只能在使用标只能在使用标样或用其它技术定标后才能定量。样或用其它技术定标后才能定量。不能提供任何化学信息。不能提供任何化学信息。内禀的结构破坏性。内禀的结构破坏性。较好的横向分辨率较好的横向分辨率(100 m)。对高质量元素质量分辨差。对高质量元素质量分辨差。离子散射谱（ISS）优点：单个二体碰撞相互作用，因此探思考题思考题1.1.为什么说电子能谱是表面灵敏的分析技术为什么说电子能谱是表面灵敏的分析技术?其采样深其采样深度约有多少？度约有多少？2.2.电子能谱有何特点和优点？它可以分析哪些元素？有电子能谱有何特点和优点？它可以分析哪些元素？有哪些主要的应用领域？哪些主要的应用领域？思考题为什么说电子能谱是表面灵敏的分析技术?其采样深度约有