机电一体化产品设计教材课件

路漫漫其悠远路漫漫其悠远少壮不努力，老大徒悲伤少壮不努力，老大徒悲伤少壮不努力，老大徒悲伤少壮不努力，老大徒悲伤2024/6/28机电一体化产品设计教机电一体化产品设计教材材路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂第一章第一章 概论概论n1.1 机电一体化基本概念机电一体化基本概念n1.2 机电一体化发展概况机电一体化发展概况n1.3 机电一体化系统的构成机电一体化系统的构成n1.4 机电一体化共性关键技术机电一体化共性关键技术n1.5 机电一体化系统设计机电一体化系统设计n1.6 机电一体化对机械工业的影响机电一体化对机械工业的影响n1.7 机电一体化的发展机电一体化的发展路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂1.1 基本概念基本概念n机电一体化技术：从系统的观点出发，将机械技机电一体化技术：从系统的观点出发，将机械技术术、微电子技术、信息技术、控制技术等在系统、微电子技术、信息技术、控制技术等在系统工程基础上有机地加以综合，以实现整个系统最工程基础上有机地加以综合，以实现整个系统最佳化的一门新科学技术。佳化的一门新科学技术。n机电一体化不是机械机电一体化不是机械与电子简单的叠加，而与电子简单的叠加，而是在是在信息论、控制论和信息论、控制论和系统论系统论的基础上建立起的基础上建立起来的来的应用技术应用技术机电一体化信息科学机械学电子学路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂n 机电一体化一般包含机电一体化一般包含机电一体化产品机电一体化产品(系统系统)和和机电一体化技术机电一体化技术两层含义。两层含义。n 典型的机电一体化产品典型的机电一体化产品(系统系统)有：数控有：数控机床、机器人、汽车电子化产品、智能化机床、机器人、汽车电子化产品、智能化仪器仪表、电子排版印刷系统、仪器仪表、电子排版印刷系统、CADCADCAMCAM系统等。系统等。n 机电一体化中包含的关键技术在第四节机电一体化中包含的关键技术在第四节中详细介绍。中详细介绍。1.1 基本概念基本概念路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂数数控控铣铣床床路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂数控车床数控车床数控车床数控车床路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂焊接机器人焊接机器人焊接机器人焊接机器人路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂n汽车防抱死系统汽车防抱死系统(ABS)路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂1.2 发展概况发展概况1.201.20世纪世纪6060年代前为第一阶段，年代前为第一阶段，“萌芽阶段萌芽阶段”工程师们自觉或者不自觉地把机械产品和电子技术相结工程师们自觉或者不自觉地把机械产品和电子技术相结合，以提高机械产品的性能。但是由于电子技术的发展相对合，以提高机械产品的性能。但是由于电子技术的发展相对落后，使得机械与电子的结合还没有得到广泛的应用。落后，使得机械与电子的结合还没有得到广泛的应用。2.702.70年代到年代到8080年代为第二阶段，年代为第二阶段，“蓬勃发展阶蓬勃发展阶”计算机技术、控制技术、通信技术的发展，为机电一体计算机技术、控制技术、通信技术的发展，为机电一体化的发展奠定了技术基础这个时期的特点是：化的发展奠定了技术基础这个时期的特点是：mechatronicsmechatronics一词首先在日本被普遍接受，大约到一词首先在日本被普遍接受，大约到2020世纪世纪8080年代末期在世界范围内得到比较广泛的承认；年代末期在世界范围内得到比较广泛的承认；机电一体化技术和产品得到了极大发展；机电一体化技术和产品得到了极大发展；各国均开始对机电一体化技术和产品给以很大的关注和支各国均开始对机电一体化技术和产品给以很大的关注和支持。持。路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂n3.903.90年代后期开始为第三阶段，年代后期开始为第三阶段，“智能化阶段智能化阶段”n 光学、通信技术等进入了机电一体化，微细加工技术也光学、通信技术等进入了机电一体化，微细加工技术也在机电一体化中崭露头脚，出现了光机电一体化和微机电在机电一体化中崭露头脚，出现了光机电一体化和微机电一体化等新分支；一体化等新分支；n 对机电一体化系统的建模设计、分析和集成方法，机电对机电一体化系统的建模设计、分析和集成方法，机电一体化的学科体系和发展趋势都进行了深入研究。一体化的学科体系和发展趋势都进行了深入研究。n 由于人工智能技术、神经网络技术及光纤技术等领域取由于人工智能技术、神经网络技术及光纤技术等领域取得的巨大进步，为机电一体化技术开辟了发展的广阔天地。得的巨大进步，为机电一体化技术开辟了发展的广阔天地。这些研究，将促使机电一体化进一步建立完整的基础和逐这些研究，将促使机电一体化进一步建立完整的基础和逐渐形成完整的科学体系。渐形成完整的科学体系。1.2 发展概况发展概况路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂n1.数控机床的问世，写下了数控机床的问世，写下了“机电一体化机电一体化”历史的历史的第一页。第一页。2.微电子技术为微电子技术为“机电一体化机电一体化带来勃勃生机。带来勃勃生机。3.可编程序控制器、可编程序控制器、”电力电子电力电子“等的发展为等的发展为”机机电一体化电一体化“提供了坚强基础。提供了坚强基础。n4.激光技术、模糊技术、信息技术等新技术使激光技术、模糊技术、信息技术等新技术使”机电一体化机电一体化“跃上新台阶。跃上新台阶。1.2 发展概况发展概况路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂1.3 机电一体化系统的构成机电一体化系统的构成位置位置位置位置,速度速度速度速度检测单元检测单元检测单元检测单元电机电机电机电机机械机械机械机械部件部件部件部件位置位置位置位置,速速速速度反馈度反馈度反馈度反馈CNCCNC数控机床伺服系统组成数控机床伺服系统组成数控机床伺服系统组成数控机床伺服系统组成路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂1.3 机电一体化系统的构成机电一体化系统的构成执行器执行器执行器执行器控制控制控制控制信息信息信息信息电子控制单元电子控制单元电子控制单元电子控制单元动力源动力源动力源动力源检测传检测传检测传检测传感部分感部分感部分感部分机械本体机械本体机械本体机械本体参数变参数变参数变参数变化信息化信息化信息化信息驱驱驱驱动动动动力力力力能能能能 量量量量检测检测检测检测参数参数参数参数路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂1 1、机械本体、机械本体 机身、框架、机械联接等产品支持机机身、框架、机械联接等产品支持机构，构，实现实现构造功能构造功能。要求：可靠、小型、美观要求：可靠、小型、美观2 2、能源、能源提供能量，转换成需要的形式，实现提供能量，转换成需要的形式，实现动动力功能。力功能。要求：效率高、可靠性好要求：效率高、可靠性好1.3 机电一体化系统的构成机电一体化系统的构成路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂3 3、检测传感装置、检测传感装置检测产品内部状态和外部环境，实现检测产品内部状态和外部环境，实现计计测功能。测功能。要求：体积小、精度高、抗干要求：体积小、精度高、抗干扰扰4 4、电子控制单元、电子控制单元处理、运算、决策，实现处理、运算、决策，实现控制功能控制功能。要求：高可靠性、柔性、智能化要求：高可靠性、柔性、智能化1.3 机电一体化系统的构成机电一体化系统的构成路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂5 5 5 5、执行机构、执行机构、执行机构、执行机构包括机械传动与操作机构，接收控制信息，完成包括机械传动与操作机构，接收控制信息，完成包括机械传动与操作机构，接收控制信息，完成包括机械传动与操作机构，接收控制信息，完成要求的动作，实现要求的动作，实现要求的动作，实现要求的动作，实现主功能。主功能。主功能。主功能。要求：高性能、高精度、高效率要求：高性能、高精度、高效率要求：高性能、高精度、高效率要求：高性能、高精度、高效率1.3 机电一体化系统的构成机电一体化系统的构成路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂1.4 共性关键技术共性关键技术n1 检测传感技术检测传感技术n2 信息处理技术信息处理技术n3 自动控制技术自动控制技术n4 伺服驱动技术伺服驱动技术n5 机械技术机械技术n6 系统总体技术系统总体技术路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂1 1、检测传感技术、检测传感技术作用：作用：感受器官、反馈环节。感受器官、反馈环节。研究对象：研究对象：传感器及其信号检测装置（即变送传感器及其信号检测装置（即变送器）器）要求：要求：能快速、精确地获得信息并在相应的能快速、精确地获得信息并在相应的应用环境中具有高可靠性。应用环境中具有高可靠性。1.4 1.4 共性关键技术共性关键技术共性关键技术共性关键技术路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂2 2、信息处理技术、信息处理技术 主要完成信息的交换、存取、运算、判主要完成信息的交换、存取、运算、判断和决策等断和决策等.其主要工具是计算机。其主要工具是计算机。传传感器感器A A/D/D计计算机算机D D/A/A执行执行装置装置3 3、控制技术、控制技术 关于软件方面的技术，主要以控制理论关于软件方面的技术，主要以控制理论为指导，对控制系统设计、仿真、现场调试、为指导，对控制系统设计、仿真、现场调试、可靠运行等。可靠运行等。1.4 1.4 共性关键技术共性关键技术共性关键技术共性关键技术路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂4 4、伺服驱动技术、伺服驱动技术 执行元件种类：执行元件种类：电电动动、液压液压、气压气压 研究对象：研究对象：执行元件执行元件及其及其驱动装置驱动装置驱动装置：驱动装置：各种电动机的驱动电源电路各种电动机的驱动电源电路 实现机电一体化产品的实现机电一体化产品的主功能主功能和和构造功构造功能能，影响系统的结构、重量、体积、刚性、，影响系统的结构、重量、体积、刚性、可靠性等。可靠性等。5 5、机械技术、机械技术1.4 1.4 共性关键技术共性关键技术共性关键技术共性关键技术路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂n6 6、系统总体技术、系统总体技术n 系统总体技术是一种从整体目标出发，用系统总体技术是一种从整体目标出发，用系统工程的观点和方法，将系统各个功能模系统工程的观点和方法，将系统各个功能模块有机的结合起来，以实现整体最优。其重块有机的结合起来，以实现整体最优。其重要内容为接口技术。接口包括电气接口、机要内容为接口技术。接口包括电气接口、机械接口、人机接口械接口、人机接口 1.4 1.4 共性关键技术共性关键技术共性关键技术共性关键技术路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂1.5 机电一体化系统设计机电一体化系统设计n一、市场调研一、市场调研n二、总体方案设计二、总体方案设计n三、详细设计三、详细设计n四、样机试制与试验四、样机试制与试验n五、小批量生产五、小批量生产n六、大批量生产六、大批量生产路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂一、市场调研一、市场调研n n 市场调研包括市场调研包括市场调查市场调查和和市场预测市场预测。所谓。所谓市场调查市场调查就是运用科学的方法，系统地、全面就是运用科学的方法，系统地、全面地收集所设计产品市场需求和经销方面的情况地收集所设计产品市场需求和经销方面的情况和资料，分析研究产品在供需双方之间进行转和资料，分析研究产品在供需双方之间进行转移的状况和趋势，而移的状况和趋势，而市场预测市场预测就是在市场调查就是在市场调查的基础上，运用科学方法和手段，根据历史资的基础上，运用科学方法和手段，根据历史资料和现状，通过定性的经验分析或定量的科学料和现状，通过定性的经验分析或定量的科学计算，对市场未来的不确定因素和条件做出预计算，对市场未来的不确定因素和条件做出预计、测算和判断，为产品的方案设计提供依据。计、测算和判断，为产品的方案设计提供依据。1.5 机电一体化系统设计机电一体化系统设计路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂二、总体方案设计二、总体方案设计n1产品方案构思产品方案构思n产品方案构思完成后，以方案图的形式将设计方产品方案构思完成后，以方案图的形式将设计方案表达出来。方案图应尽可能简洁明了，反映机案表达出来。方案图应尽可能简洁明了，反映机电一体化系统各组成部分的相互关系，同时应便电一体化系统各组成部分的相互关系，同时应便于后面的修改。于后面的修改。n2方案的评价对多种构思和多种方案进行筛选，方案的评价对多种构思和多种方案进行筛选，选择较好的可行方案进行分析组合和评价，从中选择较好的可行方案进行分析组合和评价，从中再选几个方案按照机电一体化系统设计评价原则再选几个方案按照机电一体化系统设计评价原则和评价方法进行深入的综合分析评价，最后确定和评价方法进行深入的综合分析评价，最后确定实施方案。实施方案。1.5 机电一体化系统设计机电一体化系统设计路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂三、详细设计三、详细设计n详细设计是根据综合评价后确定的系统方详细设计是根据综合评价后确定的系统方案，从技术上将其细节逐层全部展开，直案，从技术上将其细节逐层全部展开，直至完成产品样机试制所需全部技术图纸及至完成产品样机试制所需全部技术图纸及文件的过程。文件的过程。1.5 机电一体化系统设计机电一体化系统设计路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂四、样机试制与试验四、样机试制与试验n完成产品的详细设计后，即可进入样机试制与完成产品的详细设计后，即可进入样机试制与试验阶段。根据制造的成本和性能试验的要求，试验阶段。根据制造的成本和性能试验的要求，一般制造几台样机供试验使用。样机的试验分为一般制造几台样机供试验使用。样机的试验分为实验室试验和实际工况试验，通过试验考核样机实验室试验和实际工况试验，通过试验考核样机的各种性能指标是否满足设计要求，考核样机的的各种性能指标是否满足设计要求，考核样机的可靠性。如果样机的性能指标和可靠性不满足设可靠性。如果样机的性能指标和可靠性不满足设计要求，则要修改设计，重新制造样机，重新试计要求，则要修改设计，重新制造样机，重新试验。如果样机的性能指标和可靠性满足设计要求，验。如果样机的性能指标和可靠性满足设计要求，则进入产品的小批量生产阶段。则进入产品的小批量生产阶段。1.5 机电一体化系统设计机电一体化系统设计路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂n五、小批量生产五、小批量生产n产品的小批量生产阶段实际上是产品的试生产品的小批量生产阶段实际上是产品的试生产试销售阶段。这一阶段的主要任务是跟踪调查产试销售阶段。这一阶段的主要任务是跟踪调查产品在市场上的情况，收集用户意见，发现产品产品在市场上的情况，收集用户意见，发现产品在设计和制造方面存在的问题，并反馈给设计、在设计和制造方面存在的问题，并反馈给设计、制造和质量控制部门。制造和质量控制部门。n六、大批量生产六、大批量生产n经过小批量试生产和试销售的考核，排除产经过小批量试生产和试销售的考核，排除产品设计和制造中存在的各种问题后，即可投入大品设计和制造中存在的各种问题后，即可投入大批量生产。批量生产。1.5 机电一体化系统设计机电一体化系统设计路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂1.6 机电一体化对机械工业的影响机电一体化对机械工业的影响n1 提高性能、扩展功能提高性能、扩展功能 今日的数控机床充分发挥计算机的威力，运用今日的数控机床充分发挥计算机的威力，运用时间序列分析和精度创成等理论建立数学模型。时间序列分析和精度创成等理论建立数学模型。已有可能实时预报包括随机误差在内的机床误已有可能实时预报包括随机误差在内的机床误差，然后自动校正，从而达到前所未有的精度。差，然后自动校正，从而达到前所未有的精度。采用对阻尼进行预报，一旦接近临界值时就自动采用对阻尼进行预报，一旦接近临界值时就自动调整切削用量，这又可能出现永不颤振的机床，调整切削用量，这又可能出现永不颤振的机床，保证很高的生产率和良好的加工表面。保证很高的生产率和良好的加工表面。路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂1.6 机电一体化对机械工业的影响机电一体化对机械工业的影响2 简化结构简化结构路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂n3 提高可靠性提高可靠性n 在提高电子元件质量、可靠性的前提下，机电在提高电子元件质量、可靠性的前提下，机电一体化产品可以提高耐久性，减少故障率。另一一体化产品可以提高耐久性，减少故障率。另一方面由于赋予其自动监视诊断功能，并采取安全方面由于赋予其自动监视诊断功能，并采取安全联锁控制，过负荷和失控保护、停联锁控制，过负荷和失控保护、停 电对策，提电对策，提高了设备的安全可靠性。高了设备的安全可靠性。1.6 机电一体化对机械工业的影响机电一体化对机械工业的影响路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂n4 节约能源节约能源n 例如目前我国各类电风扇年产量在例如目前我国各类电风扇年产量在200万台左右，如每万台左右，如每台电扇的调速器和定时器台电扇的调速器和定时器(现常用电磁机械式现常用电磁机械式)用电子调速用电子调速器和定时器代替，估计每台风扇可节电器和定时器代替，估计每台风扇可节电5W以上，全年以以上，全年以用扇用扇100天，每天开扇天，每天开扇6h计，则每年可节约用电量计，则每年可节约用电量600万万kWh，还可节省大批铜材和钢材。，还可节省大批铜材和钢材。n 再如传统的电焊机以电磁原理和手工操作为基础，即使再如传统的电焊机以电磁原理和手工操作为基础，即使是一般的自动电焊机，其动作过程也仅为简单的机械动作是一般的自动电焊机，其动作过程也仅为简单的机械动作和相应的控制。这类电焊机耗能多、效率低、质量不易保和相应的控制。这类电焊机耗能多、效率低、质量不易保证。采用微型机技术后，发展新颖的电子控制电源以取代证。采用微型机技术后，发展新颖的电子控制电源以取代传统的焊接电源，实现焊接电源的节能、高效、小型化、传统的焊接电源，实现焊接电源的节能、高效、小型化、多样化。多样化。1.6 机电一体化对机械工业的影响机电一体化对机械工业的影响5 5 操作改善操作改善操作改善操作改善路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂1.7 机电一体化的发展趋势机电一体化的发展趋势 n1 1 智能化智能化n 智能化是智能化是2121世纪机电一体化技术发展的一个世纪机电一体化技术发展的一个重要发展方向。人工智能在机电一体化建设者的重要发展方向。人工智能在机电一体化建设者的研究日益得到重视，机器人与数控机床的智能化研究日益得到重视，机器人与数控机床的智能化就是重要应用。这里所说的就是重要应用。这里所说的“智能化智能化”是对机器是对机器行为的描述，是在控制理论的基础上，吸收人工行为的描述，是在控制理论的基础上，吸收人工智能、运筹学、计算机科学、模糊数学、心理学、智能、运筹学、计算机科学、模糊数学、心理学、生理学和混沌动力学等新思想、新方法，模拟人生理学和混沌动力学等新思想、新方法，模拟人类智能，使它具有判断推理、逻辑思维、自主决类智能，使它具有判断推理、逻辑思维、自主决策等能力，以求得到更高的控制目标。策等能力，以求得到更高的控制目标。路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂2 模块化模块化n 由于机电一体化产品种类和生产厂家繁多，研由于机电一体化产品种类和生产厂家繁多，研制和开发具有标准机械接口、电气接口、动力接制和开发具有标准机械接口、电气接口、动力接口、环境接口的机电一体化产品单元是一项十分口、环境接口的机电一体化产品单元是一项十分复杂但又是非常重要的事。这需要制定各项标准，复杂但又是非常重要的事。这需要制定各项标准，以便各部件、单元的匹配和接口。由于利益冲突，以便各部件、单元的匹配和接口。由于利益冲突，近期很难制定国际或国内这方面的标准，但可以近期很难制定国际或国内这方面的标准，但可以通过组建一些大企业逐渐形成。显然，从电气产通过组建一些大企业逐渐形成。显然，从电气产品的标准化、系列化带来的好处可以肯定，无论品的标准化、系列化带来的好处可以肯定，无论是对生产标准机电一体化单元的企业还是对生产是对生产标准机电一体化单元的企业还是对生产机电一体化产品的企业，规模化将给机电一体化机电一体化产品的企业，规模化将给机电一体化企业带来美好的前程。企业带来美好的前程。1.7 机电一体化的发展趋势机电一体化的发展趋势路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂3网络化网络化n20世纪世纪90年代，计算机技术等的突出成就是网年代，计算机技术等的突出成就是网络技术。机电一体化新产品一旦研制出来，只要其络技术。机电一体化新产品一旦研制出来，只要其功能独到，质量可靠，很快就会畅销全球。由于网功能独到，质量可靠，很快就会畅销全球。由于网络的普及，基于网络的各种远程控制和监视技术方络的普及，基于网络的各种远程控制和监视技术方兴未艾，而远程控制的终端设备本身就是机电一体兴未艾，而远程控制的终端设备本身就是机电一体化产品。因此，机电一体化产品无疑朝着网络化方化产品。因此，机电一体化产品无疑朝着网络化方向发展。向发展。1.7 机电一体化的发展趋势机电一体化的发展趋势路漫漫其悠远路漫漫其悠远锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂锲而不舍，金石可镂n4 4 微型化微型化n 微型化兴起于微型化兴起于2020世纪世纪8080年代末，指的是年代末，指的是机电一体化向微型机器和微观领域发展的机电一体化向微型机器和微观领域发展的趋势。国外称其为微电子机械系统趋势。国外称其为微电子机械系统（MEMSMEMS），泛指几何尺寸不超过），泛指几何尺寸不超过1cm1cm3 3的机电的机电一体化产品，并向微米、纳米级发展。微一体化产品，并向微米、纳米级发展。微机电一体化产品体积小机电一体化产品体积小 、耗能少、运动灵、耗能少、运动灵活，在生物医疗、军事、信息等方面具有活，在生物医疗、军事、信息等方面具有不可比拟的优势。微机电一体化发展的瓶不可比拟的优势。微机电一体化发展的瓶颈在于微机械技术，微机电一体化产品的颈在于微机械技术，微机电一体化产品的加工采用精细加工技术，即超精密技术，加工采用精细加工技术，即超精密技术，它包括光刻技术和蚀刻技术两类。它包括光刻技术和蚀刻技术两类。1.7 机电一体化的发展趋势机电一体化的发展趋势