文丘里的工作原理 课件

文丘里和除毒系统的工作原理文丘里和除毒系统的工作原理Venturi Vacuum GeneratorAgenda文丘里工作原理介绍文丘里工作原理介绍1除毒系统工作原理介绍除毒系统工作原理介绍 2Case study3文丘里工作原理文丘里工作原理高压排空高压排空GN2进口进口手阀手阀VGS放空口放空口文丘里的作用：文丘里的作用：抽真空排放抽真空排放 保持氮气流过，排放管道保持氮气流过，排放管道 干燥通畅干燥通畅 单向功能单向功能低压排空低压排空外观图外观图文丘里工作原理文丘里工作原理排风表头监控点排风表头监控点排风量调节器排风量调节器气柜探头监控点气柜探头监控点文丘里排放文丘里排放排风：排风：50-200帕斯卡帕斯卡岁修排风降至岁修排风降至10%文丘里工作原理文丘里工作原理气柜探头气柜探头监控点监控点气柜探头气柜探头监控点监控点除毒装置（除毒装置（ASMC 8”毒毒性气房和腐蚀性气房有性气房和腐蚀性气房有次装置）次装置）酸性酸性气柜气柜烷类烷类/毒性毒性气柜气柜酸排风管道酸排风管道ventventvent一般排风管道一般排风管道酸排风处酸排风处理装置理装置环境环境文丘里工作原理文丘里工作原理排气口排气口真空口真空口 文丘里文丘里阀门驱动阀门驱动活塞活塞 阀门驱动弹簧阀门驱动弹簧 单向阀单向阀 阀阀座座 阀座阀座连续进气口连续进气口（可选）（可选）氮气进气口氮气进气口微流阀（可选）微流阀（可选）驱动控制端口驱动控制端口内内部部结结构构图图廉价廉价制造方便制造方便文丘里工作原理文丘里工作原理排空排空吸力吸力氮气进口氮气进口结合伯努利原理与流体连续性方程结合伯努利原理与流体连续性方程可以知道，对于理想流体，在细处可以知道，对于理想流体，在细处流速会增加，压强则会减少；文丘流速会增加，压强则会减少；文丘里管的窄口处就起到了抽真空的作里管的窄口处就起到了抽真空的作用。用。为为什什么么能能产产生生真真空空效效应应文丘里工作原理文丘里工作原理AP71系列（目前系列（目前TGCM主要使用）主要使用）AP72系列系列真空口最大压真空口最大压力及流速范围力及流速范围 真空口最大承受压力真空口最大承受压力真空口最大承受压力真空口最大承受压力 氮气微流流速氮气微流流速氮气微流流速氮气微流流速文丘里工作原理文丘里工作原理AP72625 S 3PW MV4 FV6 TW4 CB005AP71 S MV4 FV6 TW4 CB009系列系列材质材质氮气进口氮气进口接口类型接口类型排空口接排空口接口类型口类型真空口接真空口接口类型口类型真空口真空口真空口真空口真空口真空口真空口真空口排排放放排排放放N2进口进口N2进进口口排排放放N2进口进口氮气微氮气微流流速流流速625：1/4转隔膜阀转隔膜阀540：装配气动阀：装配气动阀文丘里工作原理文丘里工作原理真空口最大承受压力真空口最大承受压力托，真空度单位。在80 psig(5.5 bar)，60标升/分的氮气流量时的真空度。止回阀最大承受压差止回阀最大承受压差驱动压力驱动压力氮气微流流速氮气微流流速主体主体活塞活塞 弹簧弹簧密封密封可选密封材料可选密封材料操作参数操作参数材材质质参参数数1torr=133.3paThe world leader in industrial and medical gases9、人的价值，在招收诱惑的一瞬间被决定。2022-8-282022-8-28Sunday,August 28,202210、低头要有勇气，抬头要有低气。2022-8-282022-8-282022-8-288/28/2022 2:05:42 PM11、人总是珍惜为得到。2022-8-282022-8-282022-8-28Aug-2228-Aug-2212、人乱于心，不宽余请。2022-8-282022-8-282022-8-28Sunday,August 28,202213、生气是拿别人做错的事来惩罚自己。2022-8-282022-8-282022-8-282022-8-288/28/202214、抱最大的希望，作最大的努力。2022年8月28日星期日2022-8-282022-8-282022-8-2815、一个人炫耀什么，说明他内心缺少什么。2022年8月2022-8-282022-8-282022-8-288/28/202216、业余生活要有意义，不要越轨。2022-8-282022-8-28August 28,202217、一个人即使已登上顶峰，也仍要自强不息。2022-8-282022-8-282022-8-282022-8-28文丘里工作原理文丘里工作原理型号参数型号参数Inch face seal male-英寸面密封公头英寸面密封公头Inch face seal male-英寸面密封母头英寸面密封母头Inch tube weld stub-英寸管焊接英寸管焊接 slpm-标准升每分钟标准升每分钟文丘里工作原理文丘里工作原理真空口流速真空口流速/slpmNotes：1.N2进口压力进口压力 小于小于10psig时，文时，文丘里不会产生真空丘里不会产生真空效应。效应。2.当当N2进口压力进口压力大于大于90psig时，再时，再提高进口压力也不提高进口压力也不会有明显效果。会有明显效果。真空口压力真空口压力(in-Hg)除毒系统工作原理除毒系统工作原理除什么？-取出气柜排空而出的含有某种有害物质的气体。怎么除？-有毒气体在除毒系统筒体内与化学物质反应或燃烧而解毒。除毒系统工作原理除毒系统工作原理内部侧视图内部侧视图内部前视图内部前视图气体进气体进口阀门口阀门旁通阀旁通阀气体出气体出口阀门口阀门气体进气体进口压力口压力表表GN2进进口隔离口隔离阀阀（关）（关）气体出气体出口压力口压力表表流量计流量计（关）（关）除毒系统工作原理除毒系统工作原理 部件名称部件名称 基本功能基本功能By-pass valve 旁通阀旁通阀如果进口压力过大，切换到旁通管道如果进口压力过大，切换到旁通管道 Inlet valve 进口阀进口阀控制气体进入筒体控制气体进入筒体Outlet valve 出口阀出口阀控制气体由筒体排出控制气体由筒体排出GN2单向阀单向阀防止回流防止回流Inlet进气口压力表进气口压力表监控进口压力监控进口压力GN2进口隔离阀进口隔离阀控制吹扫氮气开关控制吹扫氮气开关除毒系统工作原理除毒系统工作原理工作原理点火点点火点排风口排风口出口热电偶出口热电偶工艺气进口工艺气进口工艺气放空工艺气放空压力表压力表低压切换低压切换燃烧室热电偶燃烧室热电偶变压器变压器溶解环溶解环火焰火焰漩涡器漩涡器变相装置变相装置进口进口出厂设置出出厂设置出口温度不高口温度不高于于200摄氏摄氏度度工艺气进入燃烧工艺气进入燃烧室燃烧后，通过室燃烧后，通过变相装置和漩涡变相装置和漩涡器使之与空气充器使之与空气充分混合冷却，从分混合冷却，从而使出口温度低而使出口温度低于设定值。于设定值。安全装置：温安全装置：温度过热可导致度过热可导致shutdown硅烷、砷烷、磷烷硅烷、砷烷、磷烷空气进空气进口压力口压力表表燃料压力表燃料压力表点火点点火点1显示器显示器排放口温度排放口温度燃料流量阀燃料流量阀火焰状态显示器火焰状态显示器点火点点火点2显示器显示器紧急制动紧急制动除毒系统工作原理除毒系统工作原理初始启动程序初始启动程序1.在对Burn-box进行操作之前确保所有装置都已安装完 毕，并且处于“OFF”状态。具体设备包括：电力系统、房间排风、氮气。2.确保所有连接的气体管路都已经做过保压测漏。3.顺时针旋转点火阀，确保点火阀处于关闭状态。4.按动EMO按钮，将STOP/START按钮到STOP键。5.连接设备电源到Fab的断路保护器上。打开前控制面板下面的“POWER DISCONNECT”。6.顺时针转动EMO阀1/4圈直到EMO阀弹出。检查所有的报警装置处于“ON”状态。7.确保保所有控制装置的显示灯都亮启，红色表示环境温度。确保所有的报警显示都有效，包括Warning、Shutdown、以及Low Air Flow(空气流速低报警)。除毒系统工作原理除毒系统工作原理8.打开CDA（80Psi），打开RESET按钮消除所有报警，确认点火控制器SETPOINTS 设置正确；确认排空温度控制器设置正确。9.断开EXHAUST TEMPERATURE（排空温度）按钮确认排空温度报警有效性。重新连接EXHAUST TEMPERATURE（排空温度）报警，按RESET按钮两次，重置排空高温报警。（消警需要等待数秒）10.打开煤气供应管路，对煤气管路进行检漏，在控制面板上检查点火器的压力表。11.按RESET键两次，重置低燃料压，把STOP/START按钮打到START位置，检查控制面板上IGNITOR 1 和IGNITOR 2指示灯是否开启，确认点火指示器的红灯开启。12.调整点火流量阀，保持反应箱温度在450到600度之间。当反应箱温度超过200度，按RESET钮两次，重置反应箱体温度。13.确保点火温度指示读数保持平稳。按动EMO，确保EMO保持正常工作。旋转EMO按钮顺时针1/4圈，直到EMO阀弹出。14.打开氮气入口，按动RESET键两次，消除所有报警。除毒系统工作原理除毒系统工作原理普普通通启启动动程程序序1.确保所有对GUARDIAN的维修工作都已经完成，确认并关闭所有相连接的气柜和设备。2.确保所有的手阀处于正确的状态，关闭（开启）前控制面板上的POWER DISCONNECT键。3.重置一下EMO阀。通过检查排空温度指示检查电源是否连通。4.打开STOP/START键到START，检查ACTIVE FLAME INDICATOR（火焰指示器）是否正常。5.检查IGNITOR氖光灯闪烁正常，确保ACTIVE FLAME INDICATOR处于稳定状态。Case study在做次级吹扫时发现抽真空抽不下去，在做次级吹扫时发现抽真空抽不下去，请问由哪些可能的原因？请问由哪些可能的原因？VMB和和GC的氮气同时开着，文丘里压的氮气同时开着，文丘里压力偏低，会导致什么后果？如何解决？力偏低，会导致什么后果？如何解决？8”HCl气柜文丘里抽真空时，氮气压力气柜文丘里抽真空时，氮气压力开大，面板压力越来越大？开大，面板压力越来越大？文丘里校零后，抽真空抽不到负压？文丘里校零后，抽真空抽不到负压？排空困难，排空困难，PT校验校验不准，需要换文丘里不准，需要换文丘里真空度不够，调高真空度不够，调高GN2压力，将压力，将VMB/GC的氮气关掉的氮气关掉，只使用一个；打电，只使用一个；打电话给空分查明情况。话给空分查明情况。文丘里排放管道与酸排文丘里排放管道与酸排放接口处堵住导致氮气放接口处堵住导致氮气倒灌。倒灌。文丘里校零时本应该关文丘里校零时本应该关掉，排放口与空气相通掉，排放口与空气相通。但如果文丘里常开导。但如果文丘里常开导致校零时处于负压。致校零时处于负压。The End9、人的价值，在招收诱惑的一瞬间被决定。2022-8-282022-8-28Sunday,August 28,202210、低头要有勇气，抬头要有低气。2022-8-282022-8-282022-8-288/28/2022 2:05:43 PM11、人总是珍惜为得到。2022-8-282022-8-282022-8-28Aug-2228-Aug-2212、人乱于心，不宽余请。2022-8-282022-8-282022-8-28Sunday,August 28,202213、生气是拿别人做错的事来惩罚自己。2022-8-282022-8-282022-8-282022-8-288/28/202214、抱最大的希望，作最大的努力。2022年8月28日星期日2022-8-282022-8-282022-8-2815、一个人炫耀什么，说明他内心缺少什么。2022年8月2022-8-282022-8-282022-8-288/28/202216、业余生活要有意义，不要越轨。2022-8-282022-8-28August 28,202217、一个人即使已登上顶峰，也仍要自强不息。2022-8-282022-8-282022-8-282022-8-28谢谢大家谢谢大家