场发射扫描电镜技术标书

场发射扫描电镜技术标书附件：场发射扫描电镜技术标书一、设备用途 扫描电镜是一种多功能的仪器，广泛地用于 材料的微观组织观察、微区成分分析、材料的断 口分析、材料的晶粒度分析、夹杂物分析及织构 表征等，可对导电及不导电的固体材料进行表面 形貌的观察及成分分析。场发射电镜能够实现更 高分辨率的形貌观察，可实现对超细晶材料尤其 是纳米材料的表征。基于相关附件，也可以对材 料在温度及应力作用下的动态变化进行原位观 察。仪器包括电子光学系统、真空系统、样品室 和样品台、探测器及成像系统、图像处理系统、 应用软件及数据处理软件、X射线能谱分析仪 (EDS)、背散射电子衍射分析仪(EBSD)、原 位加热台。二、技术参数 1运行环境11工作温度：可以在1525环境温度工作1.2相对湿度：湿度小于60%RH时正常工作1.3工作电压：在22OV(10%)、50Hz电压下,仪器可连续使用2.电子光学系统2.1电子枪：Schottky场发射电子枪22加速电压：02kV30KV,步长10V连续可 2.3电子束流:束流连续可调，稳定性优于0.2%/h24放大倍数：15倍100万倍 2.5工作距离：550mm,粗调、精调两种模式 2.6物镜：无漏磁物镜，能有效观测磁性样品 27物镜光阑：具备自清洁功能3真空系统 *32真空模式：能够满足基本的成像、分析的高3.1机械泵、分子泵、离子泵三级抽真空系统mb真空模式，同时满足原位加热台等附件工作的需 要模式3.3真空度：电子枪真空度优于l(TPa、样品室高真空优于104Pa3.4抽真空时间：不高于5min 4.检测器及成像系统 4.1成像模式：背散射成像、二次电子成像、任意比例混合模式成像4.2检测器：电子探测器不少于3个，镜筒内二次电子探测器 1 个，高灵敏度低电压固体背散射 探测器1个4.3 相机：样品室红外高清 CCD 相机 4.4检测器分辨率二次电子分辨率：30kV时小于10nm或20kV时小于13nm, 1kV时优于3.0 nm背散射电子分辨率：30kV时小于25nm， 1kV时优于3.0nm 5 样品室和样品台5.1样品台：自动马达驱动5轴以上（X、Y、Z、T 、 R)X100mm Y 100mm、Z50mm T=-570。、R=360连续旋转 5.3移动精度：优于2pm5.4样品室尺寸：内径不小于300mm,高度不小 于200mm，可容纳样品直径不小于200mm5.5样品室有EDS、EBSD接口*56可加配加热台和原位拉伸台，加热台运行时 应保证成像系统和EBSD能够同步运行6图像处理系统6.1 存储分辨率：不低于 30002000 像素6.2 活动窗口：多个活动窗口，可同时显示背散 射及二次电子图像6.3图像格式：TIFF、BMP、JPEG等多种图像格式6.4图像帧数：不小于256帧，可降噪处理6.5能够进行数字动画记录 6.6具有图像注释、测量等图像处理功能 7 控制和数据处理系统7.1基于以太网架构的数据传输系统7.2软件平台适用于windows操作系统7.3显示器：24/ED显示器 8X射线能谱分析仪（EDS）8.1能量探测器：电制冷硅漂移探测器（SDD） *8.2有效釆集面积：SDD晶体有效活区面积不 小于30mm2,窗口有效面积不小于20mm2,可 实现低电压或者小束流条件下的高质量、高效率 分析*8.3探测器定位：探测器由马达控制精确定位， 软件可控，能够实时监测和控制釆集计数率，保 证不同样品的数据重复性和测试条件重复性的 目的*8.4能量分辨率：MnKa优于127eV, C Ka优 于 50eV， F Ka 优于 60eV 8.5元素分析范围：至少为 Be4U92*86峰背比：优于20000:18.7谱峰稳定性：分辨率变化在1eV以内，48小 时内峰位漂移小于15eV8.8计数率：输出最大计数率大于800,000CPS， 可处理最大计数率大于1,500,000CPS8.9具有轻元素定量分析和修正功能，可对Be、 B、C、N等进行浓度定量检测以及修正I三i=i8.10采集界面：采用32位和64位双系统，采集 界面方便简单，智能化设定参数，兼容原有 EBSD数据，能实现能谱的采集与定量分析、线 扫描及全息面扫描，包含常规面分布、定量面分 布和快速面分布、快速智能面分布等*8.11定性分析：具备点、线、面扫描分析功能, 可自动和手动进行全谱元素谱峰识别，并具有检 验重叠峰剥离准确性以及合峰效应的有效方法， 能够分析夹杂和偏析等微量元素和微量相8.12定量分析：采用最先进的修正技术和虚拟标 样数据库，系统能够自动有效修正元素之间的相 互吸收，可对抛光表面或粗糙表面进行点、线和面的分析，谱峰稳定，数据重现性好，不需要多元素校准峰位。具备方便的虚拟标样分析方法， 且可以得到高级的非归一化定量结果，各元素定 量误差没有相互干扰，数据格式可以和电子探针 等高级分析方式的数据直接对应；*813智能软件系统：中英文任意切换的软件界 面，能谱与电镜一体化，可实现自动读取和控制 电镜参数，完整的离线能谱分析软件，具备实时 跟踪能力和智能定性，定量分析能力，自动漂移 校正*8.14低电压分析：在电镜低电压条件下能正常 分析，3KV下可获取轻元素的定性定量信息， 5KV下具备虚拟标样数据库，可实现全谱定性定量分析8.15系统可靠性：釆用独立的图像采集处理器和 波形釆集处理器，各自独立封装，防止集成式设 计存在的故障可能点多、更换零部件成本高的问 题8.16计算机：原装工作站，CPU四核，主频高 于3 GHz，三级缓存不小于8M，内存32G，硬盘500G*2,可实时备份，27” LCD显示器，可刻录 DVD 光驱8.17 配有彩色激光打印机8.18 与电镜操作台一体化风格的原装进口实验 台9背散射电子衍射分析仪（EBSD）9.1与EDS 一体化的用户界面，所有应用软件均 可在同一个平台上打开，操作简单方便9.2支持包括中文在内的多种语言的智能能谱与EBSD系统 *9.3能够与能谱仪同时实现同步原位分析，EDS 面分布和EBSD面分布扫描能够同时进行,并且 任意切换图片显示9.4可根据能谱数据对EBSD花样进行预过滤， 实现对未知相的相鉴定*9.5高灵敏度的CCD相机，焦距始终固定在荧光屏上，荧光屏和CCD相机像素对应，像素能 完全利用，没有缩锥比9.6加速电压5V,束流小于100pA时可采集到明显的衍射花样*9.7直插式探头，具备马达自动伸缩控制和防碰撞功能，能够实时显示探头位置*9.8 工作距离范围：具备专门的设计和接口，可以在540mm范围的任何WD位置进行EBSD 采集分析，充分靠近样品而不遮挡能谱探头 9.9在线解析速度高于 100点/秒，可以记录原始 菊池花样进行离线二次标定*910在低束流条件下（5nA）,用单晶镍（Ni） 为标样，标定的成功率保证在100%*911取向测量精度：优于0.05度的取向精准度*912花样像素分辨率高于134410249.13提供专用的由电子衍射获得的EBSD晶体 学数据库，支持所有主要的第三方数据库，可分 析不少于6万种的晶体结构，能方便自建数据库 和导入CIF数据9.14背景扣除技术：采用动态和静态扣除技术和 自动曝光设定，可以自动扣除包括单晶在内的7 个晶系的各种材质的背景花样9.15具备常用的EBSD分析功能,包括晶体结构 模拟、晶粒尺寸、极图、ODF、取向差、晶界分 析等全部的表征，同时可以对材料的弹性模量、 泰勒因子、施密特因子等进行表征，所有分析功 能全部集成在一个软件平台*916核心算法和误差评判技术：具备4条以上 条带一次标定的核心算法，提高角分辨率，可采自动分析复杂材料和区分相似相，每一点的标定误差可以量化显示和控制，且具备角度单位9.17软件具有智能相分布、智能跟踪、智能数据复查、智能相机、智能背底处理、智能标定等功 能9.18具备透射EBSD分析专用算法，自动修正透 射菊池花样畸变和中心偏移问题；具备能谱仪辅 助的EBSD物相鉴定功能，剥离相似的相结构10. 原位加热台*10.1 Gatan 系列 Murano 525 热台*10.2保护措施：带有热量屏蔽装置，对物镜和 样品仓不产生明显的热影响，需有效保护电镜探 测器，能够使电镜正常使用，并保证EBSD在加 热台运行时正常工作10.3结构：结构紧凑，方便安装和取出，可以方 便地用于EBSD的几何配置，同时保持适当的工 作距离*10.4温度控制：PID自动控制和手动控制两种 模式，可存储所有的加热参数，能够精确同步 EBSD的面分布与温度曲线 10.5 加热速度：最大加热速度不小于 100/min 10.6 温度范围：最高使用温度在 950 以上*10.7 温度精度：0.510.8温度稳定性：1/h11. 配套设备111数据处理计算机一台，要求CPU主频高于 3 GHz,内存大于8G，硬盘容量大于500G,可 刻录DVD光驱，24” LCD显示器，操作系统采用 Microsoft Windows 7 系统11.2离子溅射仪11.2.1 Cressington 108Auto 全自动离子溅射仪 1套靶材为铂金可镀最大样品直径大于60mm镀金速率大于30nm/min镀金颗粒小，镀层均匀11.3电解抛光仪进口品牌电解抛光仪1套11.3.2 输出电压：0100V输出电流：020A温度范围：室温400,可恒温控制可恒流和恒压操作，负载调解率0.01%1136稳定度：电压0.02%，电压偏移1mV,电 流 0.1%11.4 UPS稳压保护电源1套，整机供电不低于 2h,电子枪系统供电不低于200h 11.5备用场发射灯丝系统 1 套（灯丝+光阑）11.6空气压缩机1台11.7冷却循环水机1台11.8带除湿功能的空调一部三、技术及售后服务发货时间：合同生效后6个月内。*厂商要求：同款型号设备国内用户不低于30家，同种品牌国内用户不低于200 家。安装验收:卖方负责派技术员在买方确定的时间 内到设备现场进行免费的安装、调 试，按验收指标逐项测试至达到验收 要求，出具验收报告，由用户确认签 字，完成仪器验收工作。*人员培训：电镜厂家需提供初级培训、中级培 训和高级培训三级培训模式：初级培训：安装调试完毕后，马上对用户人 员进行初级培训。培训时间不少于7天，培训内容包括电镜及附件的操作、电镜及附件的日常维护、样品观测、分析、获取图象。中级培训：仪器运行一段时间后，针对用户使用过程中遇到的问题，由卖方专家到现场进行为期7天以上的免费培 训指导。高级培训：如买方有操作人员变更或其他操 作电镜的问题，可去卖方专门的应用培训中心，聘请国内知名材料应用分 析专家亲自授课，理论结合实际。*保修期：设备自验收之日起整机保修期一年。 保修期过后，免费提供应用技术支 持，并提供五年内免费维护保养。在 不更换硬件的条件下，软件免费升级 至最新版本。维修响应：厂家需在西安有售后服务点，在提出 维修要求后，能在24小时内做出维 修响应，2-5个工作日内达到用户现场。