特气系统日常、年度维护检查表

特气系统日常维护记录表文件编号 :JSDG-04-09-712-A维护时间维护人员维护措施记录序号维护简要步骤及数据规范异常情况数据和状态记录处理记录1 检查气柜排风系统 , 调整风量到 30-50Pa2 检查放空 N2 的流量，调整为 0.25-0.35M 3/H3 检查 CDA压力，调整到 70-90PSI检查气柜系统压缩空气、 N2接头是否完好 ,4如损坏漏气需更换检查房门过滤网能否保持空气流通通畅, 否5则清洗或更换对气柜盘面阀件、 管路、钢瓶接头、管路接6头进行检查有无锈蚀、穿孔现象用相应毒性、易燃易爆气体检测仪对气柜盘7面管路接头处进行检测，有无泄漏8 检查紧急关断是否能正常工作9 检查特气房内是否为负压。 若不是进行调整10 打扫特气系统卫生1112更换备件记录序号料品名称数量123说明：维护到其他项目时加在“维护简要步骤及数据规范”并记录审核人：审核时间：气柜气体出口压力停供和复供前记录表文件编号 :JSDG-04-09-713-A气柜名称气体名称输出压力规范气体停产前二次气体复产前二次压力（ PSI）压力（ PSI）HCL-1HCL35-45PSIHCL-2HCL35-45PSICL2CL225-35PSINF3NF340-55PSIHBrHBr r35-45PSINH3-1NH345-60PSINH3-2NH340-50PSISIH4-1SIH440-55PSISIH4-2SIH440-55PSI15%PH3/SIH4-115%PH3/SIH440-55PSI15%PH3/SIH4-215%PH3/SIH440-55PSIBCL3-1BCL34 - 8PSIBCL3-2BCL34 - 8PSISIH2CL2SIH2CL24 - 8PSIAr-1Ar60-80PSIAr-2Ar45-65PSIHe-1He65-80PSIHe-2He55-70PSIN2ON2O50-65PSISF6-1SF645-55PSISF6-2SF645-55PSICO2CO240-50PSIC2F6-1C2F640-60PSIC2F6-2C2F655-70PSICHF3CHF340-55PSICF4CF440-60PSI记录人记录时间：审核人：审核时间：VMB/VMP气体出口压力停供和复供前记录表文件编号 :JSDG-04-09-714-A序号VMB/VMP 序号气体名称输出压力规范气体停产前压力气体复产前压力（PSI）（PSI）（ PSI）1VMP01He15-252VMP02Ar25-353VMP03C2F620-304VMP04SF620-305VMP05CHF315-256VMP06SF625-357VMP07CF425-308VMP08CF425-309VMP09He25-3010VMP10C2F625-3511VMP11N2O35-4512VMP12Ar10-2013VMB01CL210-2014VMB02HBr20-3015VMB03NF325-3516VMB04NH325-3517VMB05SIH425-3518VMB0615%PH3/SIH425-3519VMB07HCL15-2520VMB08NH320-3021VMB09HCL15-2522VMB1015%PH3/SIH420-3023VMB11SIH420-30记录人：记录时间：审核人：审核时间：气柜 / 盘面保压检查表文件编号 :JSDG-04-09-715-A序气柜 /盘面名称气体名称保压压力检查压力23456789101112号11HCL-1HCL/2HCL-2HCL/3CL2CL2/4NF3NF3/5HBrHBr r/6NH3-1NH3/7NH3-2NH3/8SIH4-1SIH4/9SIH4-2SIH4/1015%PH3/SIH4-115%PH3/SIH4/1115%PH3/SIH4-215%PH3/SIH4/12BCL3-1BCL3/13BCL3-2BCL3/14SIH2CL2SIH2CL2/15Ar-1Ar/16Ar-2Ar/17He-1He/18He-2He/19N2ON2O20SF6-1SF621SF6-2SF622CO2CO223C2F6-1C2F624C2F6-2C2F625CHF3CHF326CF4CF4记录人/审核人：审核时间：气柜 / 盘面至 VMB/VMP保压检查表文件编号 :JSDG-04-09-716-A序号VMB/VMP序号气体名称保压压力检查压力2345678910111211VMP01He/2VMP02Ar/3VMP03C2F6/4VMP04SF6/5VMP05CHF3/6VMP06SF6/7VMP07CF4/8VMP08CF4/9VMP09He/10VMP10C2F6/11VMP11N2O/12VMP12Ar/13VMB01CL2/14VMB02HBr/15VMB03NF3/16VMB04NH3/17VMB05SIH4/18VMB0615%PH3/SIH4/19VMB07HCL/20VMB08NH3/21VMB09HCL/22VMB1015%PH3/SIH4/23VMB11SIH4/记录人审核人 :审核时间 :VMB/VMP至设备端保压检查表序号VMB/P序号气体名称保压对应设备压力1VMP01He6520、 LAM-2 、 903E-1/-2、 903-12VMP02Ar6520、LAM-1/-23VMP03C2F6903E-1/-2/-3 、 903-14VMP04SF665205VMP05CHF3LAM-1/-2 、 903E-1/-2/-3 、903-1、1611-1/-2/-36VMP06SF6901E-1/-2 、 1611-1/-2/-37VMP07CF46520、LAM-1/-28VMP08CF41611-1/-2/-39VMP09He403-1、LAM-1 、 903E-310VMP10C2F6NOV-1/-2/-311VMP11N2ONOV-1/-2/-3 、B 炉12VMP12ArMRC-1/-2 、318013VMB01CL21611-1/-2/-3 、652014VMB02HBr1611-1/-2/-3 、652015VMB03NF3403-1 、LAM-1/-2文件编号 :JSDG-04-09-717-A检查压力1234567891011/16VMB04NH3NOV-1/-2/-317VMB05SIH4NOV-1/-2/-318VMB0615%PH3/SIH4NOV-1/-2/-319VMB07HCLI、F、G、B 炉20VMB08NH3B、A 炉21VMB09HCLE、 D、 C、A 炉22VMB1015%PH3/SIH4B、A 炉23VMB11SIH4B、A 炉记录人/审核人：审核时间：