LCD培训教材-无尘室的原理

Techno Rich LCD,CITIZEN,培训教材,技术课,培,培训教,材,材,题目,:,无尘室,的,的原理,内容简,介,介:,无尘室,的,的原理;,无尘室,方,方式;,无尘室,管,管理.,关键词:无尘,室,室(,CleanRoom,);,洁净度(,Class,);,作成,:,金昌明,无 尘,室,室,什么是,无,无尘室(,CleanRoom,):,用通俗,易,易懂的,语,语言来,描,描述的,话,话,无,尘,尘室就,是,是在某,个,个空间,的,的空气,中,中尘埃,、,微粒子,控,控制在,一,一定数,值,值以下,把压,力,力,、,温度,、,湿度,、,气流分,布,布及其,形,形状和,速,速度控,制,制在一,定,定范围,内,内为目,的,的而建,造,造的屋,子,子.,CleanRoom,简称为,CR,洁 净,度,度,什么是,洁,洁净度(Class),?,就是指,单,单位体,积,积 (,通,通常,是,是立方,英,英尺),的,的空,气,气中含,有,有大于,、,等于0.5m直径,的,的尘粒,的,的数量,也称,为,为无尘,度,度.,1英尺=30.48cm,1英尺,1英尺,1英尺,为0.5m,直,直径的,尘,尘粒.,尘埃的,个,个数,就,就是洁,净,净度.,例如:,有,有80个尘,粒,粒,那,么,么洁,净度就,是,是80.,0.0010.010.11101001000,粒径:,m,烟尘,大气,尘,尘,云,雾,雾,大气,中,中存,在,在物,常见,的,的粉,、,尘,空气,清,清洁,装,装置,电子,显,显微,镜,镜下,看得,见,见的,粒,粒子,光学,显,显微,镜,镜下,看得,见,见的,粒,粒子,肉眼,看,看得,见的,粒,粒子,油烟,面粉,干奶粉,头发,病毒,HEPA过滤器,静电式空气清净机,一般,空,空气,过,过滤,网,网,微粒,子,子的,大,大小,什么,是,是尘,粒,粒?,尘粒,是,是微,小,小的,灰,灰尘,、,悬浮,的,的东,西,西.,尘粒,越,越小,其,表,表面,积,积的,比,比例,相,相对,增,增加,并,不,不遵,从,从,牛顿,定,定律,运动,按,重,重力,垂,垂落.而,是,是在,空,空气,中,中做,不,不规,则,则的,运,运动,这,种,种运,动,动叫,布朗,运,运动,.,因是,悬,悬浮,的,的东,西,西,而,而且,做,做不,规,规则,的,的运,动,动,在,在洁,净,净化,技,技术,、,产品,制,制造,中,中是,令,令人,头,头痛,的,的代,表,表物.,总之,尘,粒,粒会,对,对产,品,品成,品,品率,高,高低,影,影响,至,至关,重,重要.,如:,电,电腐,蚀,蚀现,象,象.,尘,埃,埃,电腐,蚀,蚀现,象,象,IC側,尘粒(与,空,空气,中,中的,微,微量,水,水份,结,结合,在,在一,起,起),这样,尘,尘粒,付,付着,状,状态,下,下通,电,电的,话,话,电,电流,通,通过,尘,尘粒,流,流向,邻,邻近,的,的ITO,中,中,会,会造,成,成浅,横,横线,不,不良.,这种,状,状态,下,下继,续,续使,用,用,渐缓,短,短路,现,现象,(在,通,通电,状,状况,下,下渐,渐,渐地,腐,腐蚀ITO,以,以至,于,于最,后,后造,成,成ITO,断,断线,电腐,蚀,蚀现,象,象),电腐蚀:,在通电状况下ITO被电解而造成断线的现象,无尘,室,室的,原,原理,通过,空,空调,系,系统,和,和净,化,化装,置,置把,空,空气,进,进行,调,调湿,、调,温,温和,过,过滤,然,后,后把,净,净化,的,的空,气,气通,过,过无,尘,尘室,的,的高,效,效过,滤,滤器,送,送入,到,到无,尘,尘室,内,内,达,达到,洁,洁净,等,等级,的,的标,准,准.,通常:,温,温,度,度:22,3,;,湿度,:,55%5%.,包括:,1.,空,空,气,气调,节,节系,统,统;,2.,空,空,气,气净,化,化系,统,统.,无尘,室,室的,类,类型,按洁净度,和,和气流的,状,状态的组,合,合可以分,为,为三种方,式,式:,紊乱式无,尘,尘室;,水平平行,流,流式无尘,室,室;,垂直平行,流,流式无尘,室,室.,1.,紊乱式无,尘,尘室(Conventionalflow type CR):,HEPA,过滤器,空气调和器,进气口,排气口,HEPA:High EfficiencyParticulateAirfilter.,以玻璃纤,维,维为主体,的,的制成的,高,高效过滤,网,网,通过无尘,室,室屋顶的,高,高效过滤,器,器出口向,屋,屋内送风.通过墙,壁,壁的排气,口,口回风.,无尘室的,类,类型,1. 紊,乱,乱式无尘,室,室( Conventionalflowtype CR):,HEPA,过滤器,空气调和器,多孔板进,气,气口,无尘室的,类,类型,无尘室的,类,类型,空气调和,器,器,照明,吹出口,2. 水,平,平平行式,无,无尘室(Cross flowtypeCR):,HEPA,过滤网,HEPA,过滤网,HEPA,过滤网,通过无尘,室,室墙壁的,高,高效过滤,器,器出口向,屋,屋内送风.通过墙,壁,壁的排气,口,口回风.,无尘室的,类,类型,2. 水,平,平平行式,无,无尘室(Cross flowtypeCR):,HEPA,过滤网,点检空间,墙壁吸附,口,口,空气室,无尘室的,类,类型,3. 垂,直,直平行式,无,无尘室(Down flow typeCR):,HEPA,过滤网,空气调和,器,器,通过无尘,室,室屋顶的,高,高效过滤,器,器出口向,屋,屋内送风.通过地,板,板的排气,口,口回风.,因通过整,个,个屋顶的,高,高效过滤,器,器向下送,风,风,故该,类,类型无尘,室,室的造价,高,高于其他,类,类型.,地板(吸,附,附口),无尘室的,类,类型,3. 垂,直,直平行式,无,无尘室(Down flow typeCR):,HEPA,过滤网,空气调和,器,器,屋顶内空,气,气室,地板下空,气,气室,地板吸附,口,口,无尘室的,管,管理原则,四大原则:,杜绝把灰,尘,尘带入无,尘,尘室;,减少和防,止,止无尘室,中,中,尘粒,的产生;,清除无尘,室,室中的灰,尘,尘;,监测环境,参,参数.,原则-1,1. 杜,绝,绝把灰尘,带,带入无尘,室,室;,进入无尘,室,室中的有:,空气,;,人员,;,设备;,材料等.,原则-1,1. 杜,绝,绝把灰尘,带,带入无尘,室,室;,(一).,空,空气,:,(1).,通,通过过滤,网,网净化空,气,气,:,常用的过,滤,滤网:玻,璃,璃纤维和,玻,玻璃石棉,等,等.,玻璃纤维:能过滤,0.3,m的悬浮,尘,尘粒,甚至达到0.04,m的悬浮尘,粒,粒;,过滤效果:99.99,%,玻璃石棉:根据石,棉,棉的的直,径,径大小决,定,定;,例:,1,m 的石,棉,棉过滤1,m 的尘,粒,粒.,原则-1,1. 杜,绝,绝把灰尘,带,带入无尘,室,室;,(一).,空,空气,:,(2).,设,设定室内,压,压力高于,室,室外.,为了防止,室,室外未过,滤,滤的空气,通,通过缝隙,或,或入口处,进,进入到无,尘,尘室中,无,无尘室内,要,要保持一,定,定的静压.,无尘室中,的,的空气压,力,力一般要,比,比室外高,25 Pa左右.,原则-1,1. 杜,绝,绝把灰尘,带,带入无尘,室,室;,(二).,人,人员,:,进入无尘,室,室的人员,必,必须穿着,无,无尘衣(,包,包括手套,、,帽子,、,鞋,、,口罩),用,用纯水,洗,洗手,再,再通过风,淋,淋室进入,无,无尘室.,参考资料:,进,进退入无,尘,尘室手顺,书,书,原则-1,1. 杜,绝,绝把灰尘,带,带入无尘,室,室;,(三).,设,设备,及,及材料,:,进入无尘,室,室的设备,及,及材料要,经,经过特殊,的,的清洁方,法,法, 即,除,除尘处理,后,后,才可,以,以进入无,尘,尘室.,原则-2,进入无尘,室,室必须穿,着,着无尘衣.,不得使用,容,容易产生,灰,灰尘的,材料、,设备,、备品等.,使用无尘,室,室用品.(无尘纸,、,、无尘本,、,、圆珠笔,等,等),减少没必,要,要的人员,的,的活动、,设,设备的运,转,转.,制定设备,的,的摆放结,构,构设计方,案,案.,没必要的,物,物品禁止,带,带入到无,尘,尘室.,无尘室中,禁,禁止脱无,尘,尘衣.,无尘室内,物,物品数量,限,限制在最,少,少的限度.,物品摆放,作,作出规定,减少空,气,气乱流.,参考资料: 无尘,室,室管理规,定,定,2. 减,少,少和防止,无,无尘室中,尘粒,的产生.,原则-3,定期打扫,无,无尘室(,每,每周一次,大,大扫除);,设备,、工作台,每天要打,扫,扫;,增加换气,特别是,易,易产生灰,尘,尘的场所.,3. 清,除,除无尘室,中,中的灰尘.,原则-4,定期测定,无,无尘度(,每,每周一次);,空调系统,定,定期点检;,4. 监,测,测环境参,数,数.,无,尘,尘,室,室,测,测,定,定,数,数,据,据,-1F,测,定,定,日,日,期,期,:,2004,年,年6,月,月,份,份(15,日,日-30,日,日),无,尘,尘,室,室,测,测,定,定,数,数,据,据,-2F,测,定,定,日,日,期,期,:,2004,年,年6,月,月,份,份(15,日,日-30,日,日),无,尘,尘,室,室,测,测,定,定,数,数,据,据,-3F,测,定,定,日,日,期,期,:,2004,年,年6,月,月,份,份(15,日,日-30,日,日),总,结,结,液,晶,晶,显,显,示,示,器,器,的,的,生,生,产,产,离,离,不,不,开,开,无,无,尘,尘,室,室,为,为,了,了,提,提,高,高,产,产,品,品,质,量,量,保,保,持,持,和,和,维,维,持,持,无,无,尘,尘,室,室,的,的,洁,洁,净,净,度,度,是,是,至,至,关,关,重,重,要,要,的,的.,保,持,持,和,维,维,持,持,清,洁,洁,的,的,无,无,尘,尘,室,室,靠,靠,大,大,家,家,的,的,努,努,力,力,来,来,完,完,成,成.,遵,守,守,无,无,尘,尘,室,室,规,规,定,定.,养,成,成,良,良,好,好,的,的,习,习,惯,惯.,演,讲,讲,完,完,毕,毕,，,，,谢,谢,谢,谢,观,观,看,看,！,！,