用光干涉极值法动态测定膜厚课件

,静思笃行 持中秉正,秋记与你分享,专题：用光干涉极值法动态测定膜厚,一、引言：,薄膜光学,是物理学领域近期发展出来的一个分支，它主要研究光在分层介质中的传播规律，如介质的折射率、反射、吸收及色散变化的规律等。,对于厚度小于,10nm,的膜，其光学特性（如折射率和吸收系数）与膜厚有显著的关系。在各种不同的应用中，对薄膜厚度的要求是十分严格的，所以不论何种形式的镀膜设备都需对膜厚进行监测。,抢答,当两束光满足什么条件时能够发生稳定干涉？,思考与讨论,：,（,1,）图中,反射光,的光程差是多少？,a,b,1,n,2,n,1,n,e,C,B,A,S,L,P,D,i,r,i,r,e,E,（,2,）,透射,光,的光程差又是多少？,分组,讨论,2,分钟,分组,讨论,3,分钟,这两束透射的相干光的光程差是：,a,b,1,n,2,n,1,n,e,C,B,A,S,L,P,D,i,r,i,r,e,E,干涉条件可写为：,（,1,）,（,2,）,（,3,）,思考与讨论,：,光强每经过一个周期的变化，膜层的厚度增加多少？,分组,讨论,2,分钟,这种方法的优点是可实现镀膜过程中，膜厚的动态控制。,应用：可用于制作增透膜、增反膜的膜厚控制等。,