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单击以编辑,母版标题样式,单击以编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,工序能力及工序能力指数的计算,1.基本要点,2.工序能力的定量表征,1.基本要点,(1)只有工序能力强的工艺才可能生产出质量好、可靠性水平高的产品。,1.基本要点,(1)只有工序能力强的工艺才可能生产出质量好、可靠性水平高的产品。,(2),工序能力指数是一种表示工艺水平高低的方便方法,其实质作用是反映,工艺成品率,的高低。,1.基本要点,(1)只有工序能力强的工艺才可能生产出质量好、可靠性水平高的产品。,(2),工序能力指数是一种表示工艺水平高低的方便方法,其实质作用是反映,工艺成品率,的高低。,(3)“,6,设计”是在工序能力指数分析基础上对生产工艺水平的新要求,其实质作用也是反映,工艺成品率,的高低。,1.基本要点,预备知识关于测试数据的“分布”,1.基本要点,预备知识关于测试数据的“分布”,关于正态分布,工序能力及工序能力指数的计算,1.基本要点,2.,工序能力的定量表征,2.,工序能力的定量表征,(,1)工序能力,(2)潜在工序能力指数:,C,p,(3),实际工序能力指数:,C,pk,(4),单侧规范值情况的工序能力指数,C,PL,和,C,PU,(5),C,p,和,C,pk,的,常规计算方法,2.工序能力的定量表征,(1)工序能力,2.工序能力的定量表征,(1)工序能力,通常工艺参数服从正态分布,N(,2,),2.工序能力的定量表征,(1)工序能力,通常工艺参数服从正态分布,N(,2,),正态分布标准偏差,的大小反映了参数的分散程度。绝大部分数值集中在,3,范围内,其比例为99.73,%,2.工序能力的定量表征,(1)工序能力,通常工艺参数服从正态分布,N(,2,),正态分布标准偏差,的大小反映了参数的分散程度。绝大部分数值集中在,3,范围内,其比例为99.73,%,通常将6,称为工序能力。6,范围越小,表示该工序加工的工艺参数越集中,则生产出成品率高、可靠性好的产品的能力越强,即固有能力越强。,2.工序能力的定量表征,(2),潜在工序能力指数,C,P,2.工序能力的定量表征,(2),潜在工序能力指数,C,P,为了综合表示工艺水平满足工艺参数规范要求的程 度,工业生产中广泛采用下式定义的,工序能力指数,:,C,P,=(T,U,-T,L,)/,6=T/6,2.工序能力的定量表征,(2),潜在工序能力指数,C,P,为了综合表示工艺水平满足工艺参数规范要求的程 度,工业生产中广泛采用下式定义的,工序能力指数,:,C,P,=(T,U,-T,L,)/,6=T/6,通过积分可得,工艺成品率为:,2.工序能力的定量表征,(2),潜在工序能力指数,C,P,为了综合表示工艺水平满足工艺参数规范要求的程 度,工业生产中广泛采用下式定义的,工序能力指数,:,C,P,=(T,U,-T,L,)/,6=T/6,通过积分可得,工艺成品率为:,可得工序能力指数与成品率之间的关系:,规范范围,C,P,工艺成品率,不合格品率,3,1 99.73%2700PPM,6,2 99.9999998%0.002PPM,2.工序能力的定量表征,(2),潜在工序能力指数,C,P,为了综合表示工艺水平满足工艺参数规范要求的程 度,工业生产中广泛采用下式定义的,工序能力指数,:,C,P,=(T,U,-T,L,)/,6=T/6,通过积分可得,工艺成品率为:,可得工序能力指数与成品率之间的关系:,规范范围,C,P,工艺成品率,不合格品率,3,1 99.73%2700PPM,6,2 99.9999998%0.002PPM,结论:,工序能力指数越高,成品率也越高。,2.工序能力的定量表征,(3),实际工序能力指数:,C,PK,2.工序能力的定量表征,(3),实际工序能力指数:,C,PK,在元器件生产中,采用闭环工艺控制的情况并不多,大多为“间接”工艺控制,很难使两者重合。例如,,IC,中的扩散工艺,并不能在扩散过程中随时监测方块电阻,R,s,的变化情况,因此不能做到在,R,s,达到规范中心值时结束扩散。实际上都是先做试片,根据试片测试结果调整工艺条件。实践表明,对于这种“间接”控制的工艺,工艺参数分 布中心值,与规范 中心值偏移的程度一般为1.5,。,实际工艺能力指数,C,PK,计算公式:,实际工艺能力指数,C,PK,计算公式:,偏离为1.5,情况下,Cpk,与,Cp,的关系,:,若工艺参数分布的中心值与规范中心值偏移的程度为1.5,,,即:(,-(T,U,+T,L,)/2)=1.5,,由上式可得:,Cpk=Cp-0.5,实际工艺能力指数,C,PK,计算公式:,偏离为1.5,情况下,Cpk,与,Cp,的关系,:,若工艺参数分布的中心值与规范中心值偏移的程度为1.5,,,即:(,-(T,U,+T,L,)/2)=1.5,,由上式可得:,Cpk=Cp-0.5,即工艺参数分布的中心值,与规范中心值偏移为1.5,的情况下,,Cpk,要比,Cp,小0.5。如果,Cp2,Cpk,只有1.5。因此,有时将,Cp,称为,潜在工序能力指数,,将,Cpk,称为,实际工序能力指数,,简称为工序能力指数。,2.,工序能力的定量表征,(4),单侧规范值情况的工序能力指数,C,PL,和,C,PU:,2.,工序能力的定量表征,(4),单侧规范值情况的工序能力指数,C,PL,和,C,PU:,如果要求参数大于某一下限值,T,L,,,无上限要求,工序能力指数应按下式计算:,C,PL,(T,L,)/3,2.,工序能力的定量表征,(4),单侧规范值情况的工序能力指数,C,PL,和,C,PU:,如果要求参数大于某一下限值,T,L,,,无上限要求,工序能力指数应按下式计算:,C,PL,(T,L,)/3,若,T,L,,,则取,C,PL,为零,说明该工序完全没有工序能力。,2.,工序能力的定量表征,(4),单侧规范值情况的工序能力指数,C,PL,和,C,PU:,如果要求参数大于某一下限值,T,L,,,无上限要求,工序能力指数应按下式计算:,C,PL,(T,L,)/3,若,T,L,,,则取,C,PL,为零,说明该工序完全没有工序能力。,如果参数规范只规定了上限值,T,U,,,无下限要求,则工序能力指数应按下式计算:,C,PU,(T,U,)/3,2.,工序能力的定量表征,(4),单侧规范值情况的工序能力指数,C,PL,和,C,PU:,如果要求参数大于某一下限值,T,L,,,无上限要求,工序能力指数应按下式计算:,C,PL,(T,L,)/3,若,T,L,,,则取,C,PL,为零,说明该工序完全没有工序能力。,如果参数规范只规定了上限值,T,U,,,无下限要求,则工序能力指数应按下式计算:,C,PU,(T,U,)/3,若,T,U,,,则取,C,PU,为零,说明该工序完全没有工序能力,。,2.工序能力的定量表征,(,5),Cp,和,Cpk,的常规计算方法,计算,Cp,和,Cpk,的,关键是计算母体正态分布的均值和标准偏差。常规计算方法为:,通常用下述计算方法计算得,S,,作为母体分布标准偏差,的近似值。,2.工序能力的定量表征,(,5),Cp,和,Cpk,的常规计算方法,
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