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,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,工程四 使用激光干预仪检测数控机床的直线度、垂直度和平行度,任务一 使用激光干预仪检测数控机床导轨的直线度,一、数控机床水平轴直线度测量原理,1直线度测量原理,用激光干预仪测量水平轴直线度时，应将直线度干预镜放置在激光头和直线度反射镜之间。激光头的输出光束穿过直线度干预镜后，被分成两束夹角较小的光束。然后，两束光束经过直线度反射镜反射后沿一条新的光路返回到直线度干预镜，并经过直线度干预镜后将两束光束集合成一束光束，并返回激光头的回光孔。图4-1所示为测量水平运动轴水平方向直线度的光路原理图。,水平轴水平方向直线度测量是通过检测直线度干预镜和直线度反射镜的相对水平方向位移引起的光程差来实现的。,图,4-1,直线度测量原理,2.直线度测量所使用的光学元件 1直线度干预镜 直线度干预镜能把一束光束分成两束带有一定角度的光束。镜上有两个孔，一个出光孔和一个回光孔，另外还有一个白色环形靶子和一个小光孔，用来进行光束的精调。直线度干预镜的使用方法见表4-1。,表4-1 直线度干预镜的使用方法,序号,内容,图示,1,在进行水平轴水平方向直线度测量时，直线度干涉镜的安装方向见图示，激光光束通过干涉镜的上孔,（出光控）射入，通过干涉镜的下孔（回光孔）将激光光束返回激光头,2,在进行水平轴垂直方向直线度测量时，直线度干涉镜的安装方向见图示，可以旋转干涉镜镜面上的圈钮来改变干涉镜的方位。激光光束则由干涉镜的右孔,（出光控）射入，通过干涉镜的左孔（回光孔）返回激光头,2直线度反射镜 直线度反射镜的作用是把照射到其上的两束光束反射回来，经过另外一条与入射光平行的光路回到直线度干预镜上。其外观图如图4-2所示 。,图,4-2,直线度反射镜外观图,直线度反射镜是中心对称的，如图4-3所示，要求它必须安装得与测量轴垂直，而且要求两束别离的光束射入点在直线度反射镜中心等距并大约在中心线上方6mm位置处。,反射镜壳体上有调光标志，方便进行光束的对称调整。倾斜度控制旋钮可以调整直线度反射镜内的光学镜围绕其纵向的倾斜角度。,图,4-3,用于水平方向偏差的反射镜安装方位,短距离和长距离直线度测量要使用不同的直线度干预镜和直线度反射镜。,“短距离直线度光学元件测量范围为0.1m4m，就是两个光学元件在测量时分开的最远距离在4m以内；,而“长距离LR)直线度光学元件测量范围为1m-30m，即两个光学元件在测量时分开的最远距离在30m以内。,在两种不同测量的情况下，干预仪和反射镜的使用必须配对使用。,3直线度光闸,在测量水平轴直线度误差时，有水平反向误差和垂直方向误差，为了满足两种方向直线度误差的测量，激光头上安装了直线度光闸，通过调节直线度光闸以方便两种方向直线度测量，如图4-4所示。,图,4-4,直线度光闸,直线度光闸有两个可旋转的元件，外旋转件包括四个孔，而内旋转件包括三个孔和两个靶子。外旋转件旋转180时，使激光头出光、回光从一种布局激光头输出光束与返回光束在同一垂直线上，此种布局用于水平方向直线度测量变成了另一种布局激光头输出光束与返回光束在同一水平线上，此种布局用于垂直方向直线度测量。沿逆时针方向再转90度那么使光闸处于关闭位置。表4-2表示内旋转件的顺时针旋转会使光闸处于下述四种位置，外旋转件位置为测量水平方向直线度误差的布局。,表,4-2,直线度光闸内、外圈的调节及光闸状态,序号,图示,光闸状态,使用说明,1,全光,/,光靶,光路准直时使用,2,弱光,/,光靶,光路准直时使用,3,全光,/回光孔,测量时使用,4,弱光,/回光孔,测量时使用,二、用激光干预仪测量数控车床水平轴Z轴的水平方向直线度测量CAK3665SJ型数控车床Z轴的水平方向直线度的布局图如图4-5所示。,图,4-5,测量,CAK3665SJ,数控车床,Z,轴的水平方向直线度的布局图,1直线度测量配置测量数控机床Z轴在水平方向的直线度，激光头、直线度干预镜、直线度反射镜应按照图4-6、图4-7所示配置进行安装。移动直线度干预镜，固定直线度反射镜。其中，图4-6所示为水平方向直线度测量配置俯视图，图4-7所示为水平方向直线度测量配置侧视图。,图,4-6,水平方向直线度测量配置俯视图,图,4-7,水平方向直线度测量配置侧视图,光学元件的固定和安装1激光干预仪随机配备了安装组件。如图4-8所示，将安装杆安装到磁力表座上备用，将光学元件与安装块连接到一起，再将安装块连接到安装杆上，以便于将直线度干预镜和直线度反射镜通过磁力表座固定在床身上。,d),反射镜,e),反射镜与安装块连接,f),反射镜装好,a),安装杆、磁力表座,b),干涉镜与安装块连接,c),干涉镜装好,图,4-8,光学元件的固定与安装,2如图4-9所示，将直线度干预镜安装在数控车床工作台上，在测量过程中随Z轴移动；直线度反射镜安装在数控车床的主轴上，在测量过程中始终不动。目测将两个光学元件安装在同一水平面上，沿Z轴方向位于同一条直线上。,a),干涉镜的安装,b),反射镜的安装,图,4-9,在数控车床上安装光学元件,3,三脚架及云台的安装,三脚架及云台为激光系统提供一个稳定的支撑调节平台，,从而将,激光头设定在不同的高度上，并能够方便地控制激光光束的准直。三脚架、云台和激光头三者组合之后，能够对激光系统进行光束准直。,1云台 结构如图4-10和图4-11所示，云台是为安装激光头提供的一个底板。其图4-10所示为云台的上外表结构，前部的两个凹孔是用于激光头两个前脚的安装。后部的凹孔用于激光头后脚安装。云台配有快速平移手柄和平移微调控制旋钮，可以对激光光束进行粗略和精细的水平平移。此外，云台配有扭摆微调控制旋钮，可以调节角度扭摆。,图,4-10,云台上表面的结构图,图4-11所示为云台下外表结构。,图,4-11,云台下表面的结构图,云台套件还包括一个云台适配器，应该装配在通用三脚架的顶部，,如,图,4-12,所示,图,4-12,三脚架结构,2三脚架 三角架的机构如图4-12所示，其具体使用步骤见表4-3。 表4-3 三脚架的具体使用步骤,序号,使用步骤,1,将三脚架放在坚硬的地面上，不能放在机床前的木质脚踏板上,2,把伸缩式三脚架支脚拉至所需的长度，并锁定。用三脚架支脚上的标记线作基准，使三脚架的支脚长度相等。三脚架的高度设定应使激光头光束射到装在待测机床上的光学元件上,3,展开三脚架的支脚，调节三脚架支脚的位置，利用支脚的角度锁定机构使其固定，保障在测量过程中稳定站立,4,将气泡水平仪放置于三脚架云台适配器上，调节三脚架水平,5,将激光头与云台固定，再将云台通过云台锁定手柄安装在三脚架上,6,用手粗略地调整激光头的准直，使其指向机床上的测量光学元件,4,激光头光束的精确调节激光头光束的精确调节方法见表,4-4,。,表,4-4,激光头光束精确调节方法,序号,名称,调节说明,图示,1,高度调整,使用三脚架中心柱上的垂直高度调整控制手柄，对高度进行精细调整,2,水平平移调整,通过快速平移手柄进行水平位移的粗调，粗调平移范围约为,42mm。,通过水平平移微调控制旋钮，进行进行水平位移的精调，精调平移范围约30 mm,3,角度扭摆调整,通过扭摆调节旋钮对激光系统进行旋转微调。它可以提供额外的,1.5调整。,5,直线度测量软件的启动,首先在计算机上安装,Renishaw Laser XL,软件。,其次保证,激光头与计算机正确连接，,如,图,4-13,所示,。,图,4-13,激光头与计算机连接,在系统任务栏中，单击“开始按钮，选择Renishaw LaserXL程序，如图4-14所示。,图,4-14,启动软件,1启动软件,2选择直线度测量 双击短距离直线度测量，如图4-15所示。,图,4-15,短距离直线度测量,3翻开数据采集主窗口,见图4-16a所示，数据采集主窗口无任何数据，表示XL激光头未连接，此时应检查PC机上USB电缆与XL激光头是否可靠连接；如图4-16b所示，表示XL激光头已连接。,a)XL,激光头未连接,b)XL,激光头已连接,图,4-16,打开数据采集主窗口,1测量数据，实时显示激光读数。其单位由状态窗口右上角的单位指示灯标识。2信号强度，数据采集主窗口有一个显示光束返回激光头后的激光信号强度指示器，指示器绿色色块高度可以指示激光头与光学镜组的光路准直情况，指示器上的绿色色块越高，准直程度就越好。3帮助信息。如果您需要帮助，可以翻开在线帮助手册，方法是从帮助菜单中选择帮助选项或单击工具栏上 按钮。,6,光路的准直,1在Z轴移动的整个行程内准直直线度干预镜 如图4-17所示，将直线度干预镜安装在数控机床工作台上，目测情况下尽量保证与激光光束垂直。测量水平方向直线度时，直线度干预镜的安装应使激光光束从干预镜的上孔射入，通过干预镜的下孔返回。在光路准直调整过程中，要借助光靶，旋转直线度干预镜调节圈，使光靶朝上。,a),准直调节时干涉镜的状态,b),测量时干涉镜的状态,图,4-17,直线度干涉镜准直,表4-5 准直直线度干预镜的调节步骤,序号,调节步骤,图示,1,水平光束调整：移动数控车床,Z,轴，使直线度干涉镜接近激光头。激光光束应准直并能击中直线度干涉镜上的白色光靶。沿着,Z,轴将工作台远离激光头，直到看到光束开始移开光靶。当只有一半的光束仍然击中白色光靶时停止移动工作台。观察光束现在偏离中心有多远,2,调整激光头的角度偏转，旋钮在三脚架云台左后方。以使光束横扫过白色光靶。继续移动光束，直到它位于相反方向离中心的距离相同,3,调整激光头水平平移，旋钮是三脚架云台左边中间的大旋钮。使光束返回光靶的水平中心线,4,垂直光束调整：,观察激光束在光靶上的垂直位置,5,调整激光头俯仰角度，旋钮在激光头后方。使光束垂直扫过光靶，直到光束位于相反方向离光靶中心的距离相同的位置,6,使用三脚架中心主轴上的高度调整轮来将激光头上下移动，直到光束再一次击中光靶中心。注：此时，可能有必要进行另外一个较小的水平回转调整，以使激光束返回 到该光靶的中心,7,沿着,Z,轴将工作台继续远离激光头，当看到激光光束移开靶心时再一次停止。重复步骤,2,到,6,的准直调整，直到达到轴的末端,8,达到轴的末端时，将机床,Z,轴移回激光头侧，来到轴的起点。若光束不再位于光靶中心，则水平平移激光器，使光束回到光靶的垂直中心线,9,垂直平移激光头，使用三脚架中心主轴上的高度调整。使激光光束回到光靶的中心,10,重复步骤,1,到,9,，直到激光光束在运动轴全程范围内都能保持在光靶的中心,2直线度反射镜的安装与调整,图,4-18,直线度反射镜的安装,表,4-6,直线度反射镜的调整步骤,序号,调节步骤,图示,1,近端调整,先移动工作台,Z,轴，使直线度干涉镜与直线度反射镜靠近，以,10cm,为宜。直线度反射镜 “窗口”上划有白色准直标记，以方便获得等距离的要求。调节反射镜的位置和高度，使从干涉镜射出的发散两束光束射到反射镜上半部（上部约,6mm,处）白色准直标记中心线等距处,再做细致的反射镜位置调节，确保光束经直线度反射镜反射后回射到直线度干涉镜的回光孔内聚焦,适当调节直线度反射镜倾斜控制旋钮，让反射光束通过直线度干涉镜回到光闸回光孔,表,4-6,直线度反射镜的调整步骤,序号,调节步骤,图示,2,远端调整,移动,Z,轴，使干涉镜与反射镜分离，观察电脑屏幕上显示的信号强度（或激光头上的光强指示灯）。若随着移动光学件沿测量轴的运动信号强度逐渐减弱，需要进一步调整,观察光闸回光孔重合光点是否分开，如光点分开，应精细调整直线度干涉镜的位置或旋转直线度干涉镜上的旋钮，使光点重合,直至在,Z,轴移动的全程范围内，电脑屏幕上显示的信号强度（或激光头上的光强指示灯）足够强，光路准直工作完毕,3用“人工去除斜率误差的方法来进一步精密调准激光光束 1人工去除斜率误差校正原理：数控机床的位移轴和直线度反射镜的光学轴线之间不平行引起的误差称作斜率误差。为了校正斜率误差，使其光学轴和数控机床位移轴相平行。 2调整方法：在Z轴水平方向直线度测量过程中，反射镜不动，干预镜是移动的部件。调整步骤见表4-7。,表,4-7,人工去除斜率误差调整步骤,序号,调节步骤,图示,1,近端调整,先移动工作台,Z,轴，使直线度干涉镜与直线度反射镜靠近，以,10cm,为宜。将电脑屏幕上显示的读数清,“0”,2,远端调整,移动,Z,轴，使干涉镜与反射镜分离移动至最远端，记下电脑屏幕上显示的误差读数值,调节直线度反射镜的倾斜控制钮，使显示读数值不断减小,3,重复进行几次调整（近端清,“0”,，远端调节），直至远端时，电脑屏幕上误差读数值竟可能的小，越小越好（参考值小于,20um,）,4误差数值的符号规定 在光路的准直完成后，采集数据之前，必须确定一个适宜的符号协定。测量时数控车床Z轴从负向向正向移动，设定误差值的正方向与车床X轴正方向一致。,按图4-19所示方向轻推干预镜，手指推的方向与X轴正方向相反(便于操作)，观察电脑屏幕上显示的误差读数值是正向递减的那么方向正确,不需要再调节。如不是这种情况，那么需要改变符号，点击电脑屏幕上的快捷键“+/-，操作如图4-20所示。,图,4-19,轻推干涉镜,图,4-20,改变符号,7.数据采集操作数控机车床，使车床的Z轴按照规定的间隔运动到一系列等距的位置上，并在相应的位置上测量其差值。数据采集之前，首先确定数控车床Z轴的最大行程在光路准直的过程中已经将此值确定下来。例如：某小型教学用数控车床Z轴行程为-200至0。根据标准惯例，测量时要求被测轴从负向向正向移动，即目标位置是正向递增的。,1测量软件的定义方法见表4-8 表4-8 测量软件的定义方法,序号,测量软件的定义步骤,图示,1,打开,“,短距离直线度测量,”,软件，点击,2,完成第一定位点、最终定位点、间距值、目标数、小数点后位数的设定，之后点击,进入下一步,3,完成定位方式、测量次数、选择方向、运动轴的设定，之后点击,进入下一步,4,完成标题信息的设定，之后点击,进入,下一步,5,设定自动采集为,“,无效,”,即为手工采集方式，之后点击,进入下一步,6,设置完毕，为下一步的测量做好了准备,2)操作机床，移动Z轴到起始点位置-200mm，误差读数清零，正向移动Z轴到相应的间隔点，在Z轴暂停时手动采集数据，直至所有点的数据采集，单击“完成按钮。,8.数据分析1端点拟合法与最小二乘法。坐标轴的直线度误差可定义为两条平行线之间的距离，它包含了坐标轴上的所有的点，并且和坐标轴的总方向平行。端点拟合法是定义直线度基准线为首、尾数据点连线。这样全部误差是相对首、尾之连线形成的，如图4-21所示。图4-21a所示为未处理的直线度数据，图4-21b所示为用端点拟合处理后的数据。,a),未处理的直线度数据,b),用端点拟合处理后的数据,图,4-21,端点拟合法分析,最小二乘法提供了一种更加严谨、正确的直线度基准的定义。,图,4-22a,所示,为未处理的直线度数据，图,4-22b,为用最小二乘法处理后的数据。,a) 未处理的直线度数据,b) 用最小二乘法处理后的数据,图4-22 最小二乘法分析,表,4-9,直线度误差数据分析方法,序号,测量软件的使用方法,图示,1,打开,“,短距离直线度测量,”,软件，点击,2,打开文件夹，找到,Z,轴水平方向直线度误差数据文件,3,点击,“,分析数据,”,，再点击,“,最小二乘法,”,4,得到数据图表和直线度误差数据,5,直线度误差数据,9.直线度测量中的本卷须知1激光头最好放置在靠近被测机床的三角架上。假设机床不易受到振动，可将激光头放置在机床的工作台或床身上。2测量元件在布局时，假设条件允许的话应尽量使直线度干预镜成为移动件，直线度反射镜固定不动。假设反之布局会导致测量误差增大。3一定要进行人工去除斜率误差的操作。4一定要进行合理的直线度误差值符号约定。5光学元件应尽可能在热平衡状态，光学元件温度的增减会影响光路的准直，会降低测量精度。因此在测量操作中不要过度地摸碰光学元件或使其受到其它热源的影响。6直线度干预镜和直线度反射镜都标有一特定的出厂编号，测量中应配对使用。,三、用激光干预仪测量数控车床水平轴Z轴的垂直方向直线度1.水平轴垂直方向直线度测量配置,图,4-23,水平轴垂直方向直线度测量配置俯视图,图,4-24,水平轴垂直方向直线度测量配置侧视图,2光学元件的固定与安装1直线度干预仪和直线度反射镜的安装如图4-25所示。,d),反射镜及安装附件,e),反射镜与安装块连接,f),反射镜装好,a),安装杆与磁力表座,b),干涉镜与安装块连接,c),干涉镜装好,图,4-25,光学元件的固定与安装,2将直线度干预镜安装在数控车床工作台上，在测量过程中随Z轴移动；直线度反射镜安装在数控车床的主轴前固定的位置上，在测量过程中始保持不动。目测将两个光学元件安装在同一水平面上，Z轴轴线方向同一条直线上，如图4-26所示。,a),反射镜的安装,b),干涉镜的安装,图,4-26,光学元件安装到数控车床上,3,三脚架,和激光头的安装,三脚架、云台以及激光头的安装在前面已经详细说明，,只是,激光头的光闸位置与,Z,轴,水平方向直线度测量时不同,如,图,4-27,所示,4直线度测量软件的启动同水平方向直线度测量时的启动方法,图,4-27,激光头的光闸位置,5光路的准直1在Z轴移动的全部行程内准直直线度干预镜 。将直线度干预镜安装在数控机床工作台上，在光路准直调整过程中，要借助光靶，旋转直线度干预镜调节圈，使光靶在右侧，如图4-28所示。使用光靶准直激光光束，使光束在Z轴全程移动范围内都能击中光靶中心。具体调节步骤在前面已经详细说明不再阐述。水平轴垂直方向直线度测量时，直线度干预镜的安装应使激光光束从干预镜的右侧射入，通过干预镜的左侧返回，如图4-28b所示。,a),准直调节时干涉镜的状态,b),测量时干涉镜的状态,图,4-28,直线度干涉镜准直,2直线度反射镜的安装与调整,c,直线度反射镜的安装,图,4-28,直线度干涉镜准直,表,4-10,直线度反射镜的调整步骤,序号,调节步骤,图示,1,近端调整,先移动工作台,Z,轴，使直线度干涉镜与直线度反射镜靠近，以,10cm,为宜。调节反射镜的位置和高度，使从干涉镜射出的两束光束射到反射镜上半部白色准直标记中心线的等距处。,进一步调节使两束入射光束在直线度反射镜纵向中心线上约,6mm,处,精细调节直线度反射镜的位置，确保光束反射回来后在干涉镜的回光孔内聚焦。,调节直线度反射镜倾斜控制旋钮，让反射光通过直线度干涉镜回到光闸回光孔。,表,4-10,直线度反射镜的调整步骤,序号,调节步骤,图示,2,远端调整,移动,Z,轴，使干涉镜与反射镜分离，观察电脑屏幕上显示的信号强度（或激光头上的光强指示灯）。若信号强度逐渐减弱，则需要进一步调整,观察光闸回光孔重合光点是否分开，如光点分开，则细微调整直线度干涉镜位置或调节直线度干涉镜旋钮，使之重合。,直至在,Z,轴移动的全程范围内，电脑屏幕上显示的信号强度（或激光头上的光强指示灯）足够强，光路准直工作完毕,表,4-11,人工去除斜率误差调整步骤,序号,调节步骤,图示,1,近端调整,先移动,Z,轴，使直线度干涉镜与直线度反射镜靠近，以,10cm,为宜。将电脑屏幕上显示的激光读数清,“0”,2,远端调整,移动,Z,轴，使干涉镜与反射镜分离移动至最远端，记下电脑屏幕上显示的直线度误差读数值,调节直线度反射镜的倾斜控制钮，使显示误差读数不断变小，越小越好,在调节过程中观察电脑屏幕上显示的信号强度（或激光头上的光强指示灯）。若信号强度逐渐减弱，可调整云台角度旋钮进行调节，恢复信号强度,3,重复进行几次调整（近端清,“0”,，远端调节），直至远端时，电脑屏幕上误差读数值竟可能的小，越小越好（参考值小于,20um,）,4误差数值的符号规定 测量数控车床Z轴垂直方向直线度误差时，假设规定误差值的正方向为垂直向下的方向。如图4-29所示，向下轻推干预镜，观察计算机屏幕上显示的激光读数值是正向递增的，那么方向正确,不需要再调节。如不是这种情况，即计算机屏幕上显示的激光读数值不是正向递增的，那么需要改变符号，操作如图4-30所示。,图,4-29,向下轻推干涉镜,图,4-30,改变符号,数据采集及利用Renishaw Lasex XL测量软件进行直线度数据分析的内容在前面已经详述，可以参照完成测量，获得水平轴Z轴垂直方向直线度数据。,6.,数据采集及,分析,四、用激光干预仪测量立式加工中心Z轴的X轴方向直线度1垂直轴直线度测量需要增加的光学元件及辅助元件1垂直转向镜 如图4-31所示,控制旋钮1用来进行与输入和输出光束相垂直的那个轴的调整。控制旋钮2用来进行镜面倾斜的调整。注意，这两个旋钮在调整过程中有一些相互影响.,图,4-31,垂直转向镜,2大回转反射镜,大回转反射镜是一个大反射镜，如图4-32所示，它使激光光束穿过一个安装在其上的附属的直线度干预镜返回。它用于机床垂直轴直线度的测量，适合于不能在直线度干预镜后面安装固定直线度反射镜的垂直轴。,图,4-32,大回转反射镜,3直线度基板 直线度基板用于安装直线度反射镜和垂直转向镜，如图4-33所示，垂直转向镜和直线度反射镜用螺钉固定在基板上。,图,4-33,直线度基板,2.,垂直轴直线度测量配置,测量加工中心,Z,轴的,X,轴方向直线度，应,按,图,4-34,所,示配置，测量过程中移动大回转反射镜，固定直线度反射镜。,图,4-34,垂直轴直线度测量配置,3.光学元件的固定与安装1大回转反射镜和直线度干预镜的安装如图4-35所示。,a),待装的光学元件及工具,b),直线度干涉镜装入大回转反射镜,c),安装转接头和磁力表座,图,4-35,大回转反射镜和直线度干涉镜的安装,2垂直转向镜和直线度反射镜的安装如图4-36所示。,a),待装的光学元件及工具,b),垂直转向镜和直线度反射镜固定在基板上,图,4-36,垂直转向镜和直线度反射镜的安装,3将垂直转向镜和直线度反射镜组安装在加工中心工作台上，在测量过程中固定不动；大回转反射镜和直线度干预镜组安装在加工中心的主轴固定的位置上，在测量过程中随Z轴上下移动。目测将两组光学元件安装在Z轴方向同一条直线上，如图4-37所示。,a,）,垂直转向镜和直线度反射镜组安装,b),大回转反射镜和直线度干涉镜组安装,c,）整体安装图,图,4-37,光学元件安装到数控车床上,4.,激光头光闸位置,图,4-38a,所示,为光路准直时激光头光闸位置，,图,2-38b,所示,为测量时激光头光闸位置。,a),光路准直时,b,）测量时,图,4-38,激光头的光闸位置,5.直线度测量软件的启动略,6.光路的准直1光路的准直调试步骤见表4-12。 表4-12 光路的准直调试步骤,序号,调节步骤,图示,1,激光光束从光闸中间孔射出,2,将光靶安装在垂直转向镜上，激光光束从靶点射入，之后取下光靶,3,将光靶安装在大回转反射镜上，调节垂直转向镜上控制旋钮使激光光束从靶点射入大回转反射镜，并在,Z,轴移动范围内都能从靶点射入。之后取下光靶，直线度干涉镜旋转圈调至图示位置,4,确保从直线度干射镜射出的两束光落在直线度反射镜中心等距并在中心线上约,6mm,的位置上,5,调节直线度反射镜的控制旋钮，确保激光光束射入直线度干涉镜的回光孔，借助光靶进行调节,6,确保激光光束经过大回转反射镜的反射，再经过垂直转向镜的转向，最终回到激光头的回光孔。借助光靶进行调节,2用人工去除斜率误差的方法来进一步精密调准激光光束 。3误差数值的符号规定。测量立式加工中心Z轴的X方向直线度，Z轴从负向向正向移动，即由下端向上端移动，设定Z轴误差值的正方向为加工中心X轴的正方向。 如图4-39所示，按图示方向轻推大回转放射镜，观察计算机屏幕上显示的激光读数值，假设是正向递增的那么方向正确，不需要再调节。如不是这种情况，需要改变符号，操作如图4-40所示。,图,4-39,轻推大回转反射镜,图,4-40,改变符号,数据采集及利用,Renishaw Lasex XL,测量软件进行直线度数据分析的内容在前面已经详述，可以参照完成测量，获得加工中心,Z,轴的,X,方向直线度数据。,7.,数据采集及,分析,
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