半导体、液晶行业设备材料选用介绍

单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,*,*,半导体、液晶行业设备材料选用介绍,目录,1. 机台,常用,材料种类,2.,各种常用,材料特性,&,应用位置,1.,机台,常用,材料种类,金属类：,Al-profile:,铝框架；,LG2:,炮铜，一种优质铜合金；,Al +,Electroless,Ni plating,：,化学镀镍铝合金；,SUS:,SUS304,/,SUS440C/SUS316,:,不同代号的不锈钢；,聚合物类：,PP:,聚丙烯,PC:,聚碳酸酯,PVC,：,聚氯乙烯,C-PVC,：,氯化聚氯乙烯,POM:,聚甲醛塑料,PVDF,：,聚偏氟乙烯,PTFE,：,聚四氟乙烯,Nylon 610,：,聚癸二酰己二胺,Nylon 612,：,聚十二乙烷二酰己二胺,Anti-static Transparent Acryl :,抗静电透明丙烯酸酯树脂；,PEEK:,聚醚醚酮；,UHMW-PE,：,超高分子量聚乙烯；,PET:,聚对苯二甲酸类塑料,MC-Nylon:,单体浇铸尼龙,Al-profile:,铝质框架,主要是铝合金型材，一般加入,Mg,或,Mn,等金属形成相应的合金，具有密度小、强度高，耐蚀性好等优点，是很好的框架材料。,2.,各种常用,材料特性,LG2:,炮铜，一种优质铜合金：,一种集耐腐蚀抗疲劳耐磨损于一身的优质铜合金，一般在工业上用作活动连接件。机台中把,Bearing grease,的材质就是采用这种合金。,Al +,Electroless,Ni plating,：,化学镀镍铝合金,利用化学镀膜方法在铝合金表面镀一层镍，具有很好的耐腐蚀能力、良好的机械性能，难溶及不易与被空气氧化。,（,主要用于,Dry CV unit,）,SUS:,SUS304,/,SUS440C / SUS316：,不锈钢,SUS304,是奥氏体不锈钢，塑性较好因而其冷加工性能佳，同时因其奥氏体组织结构，无磁性，热处理难以增加其强度，其耐腐蚀性能较优；多用于制作不锈钢日用品、容器,。（主要用于碱液单元、水单元传动轴、风刀本体等）,SUS440C,是马氏体不锈钢，机械强度较,SUS304,高，并且可以通过热处理来进一步增强其机械性能，有磁铁吸附的特性；多用于制作工具、刀具及其它强度硬度要求较高的用途，可制造在腐蚀环境和无润滑强氧化中工作的轴承零件。,（主要用于,SUS Bearing,）,SUS316,不锈钢塑性、韧性、冷变性、焊接工艺性能良好，高温强度好，耐蚀性优秀，由于含碳量低且含有,2%-3%,的钼，提高了对还原性盐和各种无机酸和有机酸、碱、盐类的耐腐蚀性能，同时高温性强度。,(,主要用于高压气体管路、药液单元等,),PP:,聚丙烯,耐水性、化学稳定性、耐热性、成型性好等特点,机械性能较好，弯曲强度和拉伸强度接近于聚苯乙烯，刚性和延伸率好，抗应力开裂性比聚乙烯好，但耐磨性稍差；严重缺点是在氧，热，光作用下容易降解，老化，为此，应在聚丙烯塑料中加入稳定剂。,（,主要用于马达传动的斜齿轮处,）,Anti-Static Transparent PC:,抗静电透明聚碳酸酯,PC,是一种综合性能优良的非晶型热塑性树脂，具有优异的电绝缘性、延伸性、尺寸稳定性及耐化学腐蚀性，较高的强度、耐热性和耐寒性，价格低廉；还具有自熄、阻燃、无毒、可着色等优点；但也有硬度不足容易刮花，不耐强酸，不耐强碱，不耐紫外线。,（,主要用于设备的,Cover,、,door,等位置）,PVC：,聚氯乙烯,可分为硬聚氯乙烯和软聚氯乙烯。,硬聚氯乙烯,：不含或只含少量的增塑剂。强度较高，质硬，介电性能好，化学稳定性好，抗酸碱能力强，但耐热性不高。主要用于制造片材，板材，管材，棒材，弯头等各种型材或泡沫塑料。,软聚氯乙稀：含较多的增塑剂，可塑性，流动性比硬聚氯乙稀好，制品柔软且富有弹性，抗酸碱能力强，耐寒耐光且不受氧及臭氧的影响，但耐热性，机械强度，耐磨性，耐溶性及介电性不如硬聚氯乙稀。用于制造手柄，绝缘垫等结构性零件，电线电缆的绝缘层和软管。,(,主要用于,chamber,、,DIW tank,等,),C-PVC：,聚,氯乙,烯,-C,PVC,经氯化而得的一种热塑性树脂，含氯量,61,68%,，氢原子没有全部被氯取代。溶解性、耐热性、耐寒性均比聚氯乙烯优越，不易燃烧，耐气候、耐化学药品及耐水性均优，可主要作热水上水管使用。,（,主要用于水、药液管路等,）,POM:,聚甲醛塑料,俗称赛钢，性质最接近金属。 具有高机械强度和刚性、最高的疲劳强度、耐有机溶剂性佳、耐反覆冲击性强、使用温度范围广、良好的电气性质、复原性良好、具自已润滑性、耐磨性良好、尺寸安定性优等特点，但也有加工过程若长时间高温下易起热分解、抗酸性差的不足。可用于生产工业零件：机械零件、齿轮、把手、玩具、螺杆等。,（,用于马达齿轮等位置,）,PVDF,：,聚偏氟乙烯,偏氟乙烯均聚物或者偏氟乙烯与其它少量氟乙烯基单体的共聚物，它兼具氟树脂和通用树脂的特性，除了具有良好的耐化学腐蚀性、耐高温、耐候性、耐射线辐射性能外还具有压电性、介电性、热电性等特殊性能，是目前含氟塑料中产量名列第二的产品。,（外观为白色，用于需要耐氧化、耐酸碱，防离子析出等级高的单元,&,机构）,UHMW-PE：,超高分子量聚乙烯,分子量极高，属于价格适中、性能优良的热塑性工程塑料，它几乎集中了各种塑料的优点，具有普通聚乙烯和其它工程塑料无可比拟的耐磨、耐冲击、自润滑、耐腐蚀、吸收冲击能、耐低温、卫生无毒、不易粘附、不易吸水、密度较小等综合性能。事实上，目前还没有一种单纯的高分子材料兼有如此众多的优异性能,。（,主要用于,Dry unit,的,CV Roller,上,）,PET:,聚对苯二甲酸类塑料,PET,是乳白色或浅黄色高度结晶性的聚合物，表面平滑而有光泽。耐蠕变、抗疲劳性、耐摩擦性好，磨耗小而硬度高，具有热塑性塑料中最大的韧性；电绝缘性能好，受温度影响小，但耐电晕性较差。无毒、耐气候性、抗化学药品稳定性好，吸水率低，耐弱酸和有机溶剂，但不耐热水浸泡，不耐碱。,（,一般用于导轮,）,MC-Nylon:,单体浇铸尼龙,分子量高,物理机械性能优于普通尼龙，有较好的强度，刚性、韧性、耐磨性、化学稳定性；吸水率低，尺寸稳定性好；有自熄性，持续耐热可达,100,。机械性能受温度影响较大，随着温度的升高，机械性能明显下降。,（,主要,用于马达传动齿轮,）,Nylon 610：,聚癸二酰己二胺,Nylon 612：,聚十二乙烷二酰己二胺,二者分别为,Disk Brush,和,Roller Brush,的刷毛材料，与尼龙相比，二者材质均具有较低的吸湿性，因此在有水的条件下,仍,有较好的刚性，对去除,Partical,有利，此外二者具有尺寸稳定、介电性好，柔软耐磨、成型加工简便等优点，能有效抗虫咬、霉菌侵蚀等。,