LCD培训教材-无尘室的原理

Techno Rich LCD,CITIZEN,培训教材,技术课培训教材,题目,:,无尘室的原理,内容简介:,无尘室的原理;,无尘室方式;,无尘室管理.,关键词:无尘室(,Clean Room,);,洁净度(,Class,);,作成,:,金昌明,无 尘 室,什么是无尘室(,Clean Room,):,用通俗易懂的语言来描述的话,无尘室就是在某个空间的空气中尘埃,、,微粒子控制在一定数值以下,把压力,、,温度,、,湿度,、,气流分布及其形状和速度控制在一定范围内为目的而建造的屋子.,Clean Room,简称为,CR,洁 净 度,什么是洁净度(Class),?,就是指单位体积 ( 通常是立方英尺) 的空气中含有大于,、,等于0.5m直径的尘粒的数量,也称为无尘度.,1英尺=30.48cm,1英尺,1英尺,1英尺,为0.5m直径的尘粒.,尘埃的个数,就是洁净度.,例如: 有80个尘粒,那么洁,净度就是80.,0.001 0.01 0.1 1 10 100 1000,粒径:,m,烟尘,大气尘,云,雾,大气中存在物,常见的粉,、,尘,空气清洁装置,电子显微镜下,看得见的粒子,光学显微镜下,看得见的粒子,肉眼看得,见的粒子,油烟,面粉,干奶粉,头发,病毒,HEPA过滤器,静电式空气清净机,一般空气过滤网,微粒子的大小,什么是尘粒?,尘粒是微小的灰尘,、,悬浮的东西.,尘粒越小,其表面积的比例相对增加,并不遵从,牛顿定律,运动,按重力垂落.而是在空气中做不规则的运动,这种运动叫,布朗运动,.,因是悬浮的东西,而且做不规则的运动,在洁净化技术,、,产品制造中是令人头痛的代表物.,总之,尘粒会对产品成品率高低影响至关重要.,如:电腐蚀现象.,尘 埃,电腐蚀现象,IC側,尘粒(与空气中的微量水份结合在一起),这样尘粒付着状态下通电的话,电流通过尘粒流向邻近的ITO中,会造成浅横线不良.,这种状态下继续使用,渐缓短路现象,(在通电状况下渐渐地腐蚀ITO,以至于最后造成ITO断线,电腐蚀现象),电腐蚀:,在通电状况下ITO被电解而造成断线的现象,无尘室的原理,通过空调系统和净化装置把空气进行调湿,、调温和过滤,然后把净化的空气通过无尘室的高效过滤器送入到无尘室内,达到洁净等级的标准.,通常: 温度: 22,3 ,;,湿度,:,55%5%.,包括:,1. 空气调节系统;,2. 空气净化系统.,无尘室的类型,按洁净度和气流的状态的组合可以分为三种方式:,紊乱式无尘室;,水平平行流式无尘室;,垂直平行流式无尘室.,1.,紊乱式无尘室( Conventional flow type CR):,HEPA,过滤器,空气调和器,进气口,排气口,HEPA:High Efficiency Particulate Air filter.,以玻璃纤维为主体的制成的高效过滤网,通过无尘室屋顶的高效过滤器出口向屋内送风.通过墙壁的排气口回风.,无尘室的类型,1. 紊乱式无尘室( Conventional flow type CR):,HEPA,过滤器,空气调和器,多孔板进气口,无尘室的类型,无尘室的类型,空气调和器,照明,吹出口,2. 水平平行式无尘室( Cross flow type CR):,HEPA,过滤网,HEPA,过滤网,HEPA,过滤网,通过无尘室墙壁的高效过滤器出口向屋内送风.通过墙壁的排气口回风.,无尘室的类型,2. 水平平行式无尘室( Cross flow type CR):,HEPA,过滤网,点检空间,墙壁吸附口,空气室,无尘室的类型,3. 垂直平行式无尘室( Down flow type CR):,HEPA,过滤网,空气调和器,通过无尘室屋顶的高效过滤器出口向屋内送风.通过地板的排气口回风.,因通过整个屋顶的高效过滤器向下送风,故该类型无尘室的造价高于其他类型.,地板(吸附口),无尘室的类型,3. 垂直平行式无尘室( Down flow type CR):,HEPA,过滤网,空气调和器,屋顶内空气室,地板下空气室,地板吸附口,无尘室的管理原则,四大原则:,杜绝把灰尘带入无尘室;,减少和防止无尘室中,尘粒,的产生;,清除无尘室中的灰尘;,监测环境参数.,原则-1,1. 杜绝把灰尘带入无尘室;,进入无尘室中的有:,空气,;,人员,;,设备;,材料等.,原则-1,1. 杜绝把灰尘带入无尘室;,(一). 空气,:,(1).通过过滤网净化空气,:,常用的过滤网:玻璃纤维和玻璃石棉等.,玻璃纤维:能过滤,0.3,m的悬浮尘粒,甚至达到0.04,m,的悬浮尘粒;,过滤效果:99.99,%,玻璃石棉:根据石棉的的直径大小决定;,例:,1,m 的石棉过滤1,m 的尘粒.,原则-1,1. 杜绝把灰尘带入无尘室;,(一). 空气,:,(2).设定室内压力高于室外.,为了防止室外未过滤的空气通过缝隙或入口处进入到无尘室中,无尘室内要保持一定的静压.,无尘室中的空气压力一般要比室外高,25 Pa左右.,原则-1,1. 杜绝把灰尘带入无尘室;,(二). 人员,:,进入无尘室的人员必须穿着无尘衣(包括手套,、,帽子,、,鞋,、,口罩), 用纯水洗手, 再通过风淋室进入无尘室.,参考资料 : 进退入无尘室手顺书,原则-1,1. 杜绝把灰尘带入无尘室;,(三). 设备及材料,:,进入无尘室的设备及材料要经过特殊的清洁方法, 即除尘处理后,才可以进入无尘室.,原则-2,进入无尘室必须穿着无尘衣.,不得使用容易产生灰尘的,材料、,设备,、备品等.,使用无尘室用品.(无尘纸、无尘本、圆珠笔等),减少没必要的人员的活动、设备的运转.,制定设备的摆放结构设计方案.,没必要的物品禁止带入到无尘室.,无尘室中禁止脱无尘衣.,无尘室内物品数量限制在最少的限度.,物品摆放作出规定,减少空气乱流.,参考资料: 无尘室管理规定,2. 减少和防止无尘室中,尘粒,的产生.,原则-3,定期打扫无尘室(每周一次大扫除);,设备,、工作台,每天要打扫;,增加换气,特别是易产生灰尘的场所.,3. 清除无尘室中的灰尘.,原则-4,定期测定无尘度(每周一次);,空调系统定期点检;,4. 监测环境参数.,无尘室测定数据,-1F,测定日期,:,2004年6月份(15日-30日),无尘室测定数据,-2F,测定日期,:,2004年6月份(15日-30日),无尘室测定数据,-3F,测定日期,:,2004年6月份(15日-30日),总 结,液晶显示器的生产离不开无尘室,为了提高产品,质量,保持和维持无尘室的洁净度是至关重要的.,保持,和维持,清洁的无尘室,靠大家的努力来完成.,遵守无尘室规定.,养成良好的习惯.,