第5章加速度的测量及加速度计分析课件

第第 五五 章章加速度的测量及加速度计加速度的测量及加速度计6/16/20241第 五 章加速度的测量及加速度计8/9/202315.1 5.1 加速度测量的基本原理加速度测量的基本原理 一一一一 加速度测量的力学原理与加速度计基本方程加速度测量的力学原理与加速度计基本方程加速度测量的力学原理与加速度计基本方程加速度测量的力学原理与加速度计基本方程 6/16/202425.1 加速度测量的基本原理 一 加速度测量的力学原理与5.1 5.1 加速度测量的基本原理加速度测量的基本原理 一一一一 加速度测量的力学原理与加速度计基本方程加速度测量的力学原理与加速度计基本方程加速度测量的力学原理与加速度计基本方程加速度测量的力学原理与加速度计基本方程 稳态时：稳态时：稳态时：稳态时：其中：其中：其中：其中：6/16/202435.1 加速度测量的基本原理 一 加速度测量的力学原理与5.1 5.1 加速度测量的基本原理加速度测量的基本原理 一一一一 加速度测量的力学原理与加速度计基本方程加速度测量的力学原理与加速度计基本方程加速度测量的力学原理与加速度计基本方程加速度测量的力学原理与加速度计基本方程 对于近地空间的加速度计来说，考虑检测质量对于近地空间的加速度计来说，考虑检测质量对于近地空间的加速度计来说，考虑检测质量对于近地空间的加速度计来说，考虑检测质量块的相对位移同时受到重力的影响。块的相对位移同时受到重力的影响。块的相对位移同时受到重力的影响。块的相对位移同时受到重力的影响。稳态时：稳态时：稳态时：稳态时：6/16/202445.1 加速度测量的基本原理 一 加速度测量的力学原理与5.1 5.1 加速度测量的基本原理加速度测量的基本原理 一一一一 加速度测量的力学原理与加速度计基本方程加速度测量的力学原理与加速度计基本方程加速度测量的力学原理与加速度计基本方程加速度测量的力学原理与加速度计基本方程 简单加速度计的精度很大程度上取决于弹簧刚度简单加速度计的精度很大程度上取决于弹簧刚度简单加速度计的精度很大程度上取决于弹簧刚度简单加速度计的精度很大程度上取决于弹簧刚度系数的精度。弹簧刚度的改变、弹簧的非线性以及迟系数的精度。弹簧刚度的改变、弹簧的非线性以及迟系数的精度。弹簧刚度的改变、弹簧的非线性以及迟系数的精度。弹簧刚度的改变、弹簧的非线性以及迟滞因素等都会引起加速度计的输出误差，这种加速度滞因素等都会引起加速度计的输出误差，这种加速度滞因素等都会引起加速度计的输出误差，这种加速度滞因素等都会引起加速度计的输出误差，这种加速度计很难获得更高的灵敏度和测量精度。计很难获得更高的灵敏度和测量精度。计很难获得更高的灵敏度和测量精度。计很难获得更高的灵敏度和测量精度。采用闭环控制技术，使弹簧的形变很小，提高加采用闭环控制技术，使弹簧的形变很小，提高加采用闭环控制技术，使弹簧的形变很小，提高加采用闭环控制技术，使弹簧的形变很小，提高加速度计的线性度、灵敏度和测量精度。速度计的线性度、灵敏度和测量精度。速度计的线性度、灵敏度和测量精度。速度计的线性度、灵敏度和测量精度。6/16/202455.1 加速度测量的基本原理 一 加速度测量的力学原理与5.1 5.1 加速度测量的基本原理加速度测量的基本原理 二二二二 比力及比力计比力及比力计比力及比力计比力及比力计 惯性参考系惯性参考系惯性参考系惯性参考系地心系地心系地心系地心系比力计外壳比力计外壳比力计外壳比力计外壳比比力力计计定义：定义：定义：定义：6/16/202465.1 加速度测量的基本原理 二 比力及比力计 惯性参考5.1 5.1 加速度测量的基本原理加速度测量的基本原理 二二二二 比力及比力计比力及比力计比力及比力计比力及比力计 以检测质量以检测质量以检测质量以检测质量mm为研究对象，其运动微分方程为：为研究对象，其运动微分方程为：为研究对象，其运动微分方程为：为研究对象，其运动微分方程为：6/16/202475.1 加速度测量的基本原理 二 比力及比力计 以检测质5.1 5.1 加速度测量的基本原理加速度测量的基本原理 二二二二 比力及比力计比力及比力计比力及比力计比力及比力计 以比力计整体作为研究对象，比力计的动力学方程以比力计整体作为研究对象，比力计的动力学方程以比力计整体作为研究对象，比力计的动力学方程以比力计整体作为研究对象，比力计的动力学方程 比力是比力计即载体的非引力加速度，即惯性加速比力是比力计即载体的非引力加速度，即惯性加速比力是比力计即载体的非引力加速度，即惯性加速比力是比力计即载体的非引力加速度，即惯性加速度与引力加速度之间的向量差。度与引力加速度之间的向量差。度与引力加速度之间的向量差。度与引力加速度之间的向量差。根据：根据：根据：根据：6/16/202485.1 加速度测量的基本原理 二 比力及比力计 以比力计5.1 5.1 加速度测量的基本原理加速度测量的基本原理 二二二二 比力及比力计比力及比力计比力及比力计比力及比力计 理想的比力计沿敏感轴方向的输出是运载体的支持作理想的比力计沿敏感轴方向的输出是运载体的支持作理想的比力计沿敏感轴方向的输出是运载体的支持作理想的比力计沿敏感轴方向的输出是运载体的支持作用在比力计外壳上的非引力比力分量。即：比力计输出的用在比力计外壳上的非引力比力分量。即：比力计输出的用在比力计外壳上的非引力比力分量。即：比力计输出的用在比力计外壳上的非引力比力分量。即：比力计输出的只是非引力比力分量。只是非引力比力分量。只是非引力比力分量。只是非引力比力分量。将将将将沿敏感轴方向去分量：沿敏感轴方向去分量：沿敏感轴方向去分量：沿敏感轴方向去分量：6/16/202495.1 加速度测量的基本原理 二 比力及比力计 5.1 5.1 加速度测量的基本原理加速度测量的基本原理 讨论讨论讨论讨论：地心系近似为惯性参考系时所带来的误差地心系近似为惯性参考系时所带来的误差地心系近似为惯性参考系时所带来的误差地心系近似为惯性参考系时所带来的误差 对时间取导：对时间取导：对时间取导：对时间取导：地球相对惯性参考系的动力学方程：地球相对惯性参考系的动力学方程：地球相对惯性参考系的动力学方程：地球相对惯性参考系的动力学方程：6/16/2024105.1 加速度测量的基本原理 讨论：地心系近似为惯性参考系5.1 5.1 加速度测量的基本原理加速度测量的基本原理 沿输出轴取分量，并考虑沿输出轴取分量，并考虑沿输出轴取分量，并考虑沿输出轴取分量，并考虑 6/16/2024115.1 加速度测量的基本原理 沿输出轴取分量，并考虑 8/5.1 5.1 加速度测量的基本原理加速度测量的基本原理 近似：近似：近似：近似：误差：误差：误差：误差：数量级：数量级：数量级：数量级：6/16/2024125.1 加速度测量的基本原理 近似：误差：数量级：8/5.1 5.1 加速度测量的基本原理加速度测量的基本原理 二二二二 比力及比力计比力及比力计比力及比力计比力及比力计 几种特殊情况：几种特殊情况：几种特殊情况：几种特殊情况：当比力当比力当比力当比力计计沿地垂沿地垂沿地垂沿地垂线线自由下落自由下落自由下落自由下落时时：当比力计静止不动时：当比力计静止不动时：当比力计静止不动时：当比力计静止不动时：当比力计敏感轴垂直于地垂线时：当比力计敏感轴垂直于地垂线时：当比力计敏感轴垂直于地垂线时：当比力计敏感轴垂直于地垂线时：6/16/2024135.1 加速度测量的基本原理 二 比力及比力计 几种特殊5.1 5.1 加速度测量的基本原理加速度测量的基本原理 三三三三 地球重力场地球重力场地球重力场地球重力场 当载体在近地表面运动时，比力计所敏感的比力为：当载体在近地表面运动时，比力计所敏感的比力为：当载体在近地表面运动时，比力计所敏感的比力为：当载体在近地表面运动时，比力计所敏感的比力为：6/16/2024145.1 加速度测量的基本原理 三 地球重力场 当载体在5.1 5.1 加速度测量的基本原理加速度测量的基本原理 三三三三 地球重力场地球重力场地球重力场地球重力场载体相对于地球的运动速度载体相对于地球的运动速度载体相对于地球的运动速度载体相对于地球的运动速度 重力是地球的引力与因地球自转而产生的离心力的合力：重力是地球的引力与因地球自转而产生的离心力的合力：重力是地球的引力与因地球自转而产生的离心力的合力：重力是地球的引力与因地球自转而产生的离心力的合力：在测量坐标系在测量坐标系在测量坐标系在测量坐标系b b中：中：中：中：而而而而 6/16/2024155.1 加速度测量的基本原理 三 地球重力场载体相对于地5.1 5.1 加速度测量的基本原理加速度测量的基本原理 当载体相对地球运动时，加速度计的敏感量包括四项：当载体相对地球运动时，加速度计的敏感量包括四项：当载体相对地球运动时，加速度计的敏感量包括四项：当载体相对地球运动时，加速度计的敏感量包括四项：三三三三 地球重力场地球重力场地球重力场地球重力场 载体相对地球的运动速度在测量坐标系中的变化率载体相对地球的运动速度在测量坐标系中的变化率载体相对地球的运动速度在测量坐标系中的变化率载体相对地球的运动速度在测量坐标系中的变化率 测量坐标系相对地球的转动所引起的向心加速度测量坐标系相对地球的转动所引起的向心加速度测量坐标系相对地球的转动所引起的向心加速度测量坐标系相对地球的转动所引起的向心加速度 因载体运动及地球自转而产生的哥氏加速度因载体运动及地球自转而产生的哥氏加速度因载体运动及地球自转而产生的哥氏加速度因载体运动及地球自转而产生的哥氏加速度 地球在当地的重力加速度地球在当地的重力加速度地球在当地的重力加速度地球在当地的重力加速度 6/16/2024165.1 加速度测量的基本原理 当载体相对地球运动时，加速度5.2 5.2 摆式加速度计摆式加速度计 单自由度无约束摆式加速度计是导航系统单自由度无约束摆式加速度计是导航系统单自由度无约束摆式加速度计是导航系统单自由度无约束摆式加速度计是导航系统中最为常用的一种加速计，这种加速度计工作中最为常用的一种加速计，这种加速度计工作中最为常用的一种加速计，这种加速度计工作中最为常用的一种加速计，这种加速度计工作于闭环状态。于闭环状态。于闭环状态。于闭环状态。液浮摆式加速度计液浮摆式加速度计液浮摆式加速度计液浮摆式加速度计 挠性摆式加速度计挠性摆式加速度计挠性摆式加速度计挠性摆式加速度计 硅微加速度计硅微加速度计硅微加速度计硅微加速度计 陀螺积分摆式加速度计陀螺积分摆式加速度计陀螺积分摆式加速度计陀螺积分摆式加速度计6/16/2024175.2 摆式加速度计 单自由度无约束摆式加速度计是5.2 5.2 摆式加速度计摆式加速度计 一一一一 液浮摆式加速度计液浮摆式加速度计液浮摆式加速度计液浮摆式加速度计 摆性的概念：当有单位重力加速度沿输入轴作摆性的概念：当有单位重力加速度沿输入轴作摆性的概念：当有单位重力加速度沿输入轴作摆性的概念：当有单位重力加速度沿输入轴作用在摆组件上时，绕输出轴所产生的摆力矩由重力用在摆组件上时，绕输出轴所产生的摆力矩由重力用在摆组件上时，绕输出轴所产生的摆力矩由重力用在摆组件上时，绕输出轴所产生的摆力矩由重力矩与浮力矩组成。矩与浮力矩组成。矩与浮力矩组成。矩与浮力矩组成。：摆性：摆性：摆性：摆性：等效摆臂等效摆臂等效摆臂等效摆臂6/16/2024185.2 摆式加速度计 一 液浮摆式加速度计 摆性5.2 5.2 摆式加速度计摆式加速度计 一一一一 液浮摆式加速度计液浮摆式加速度计液浮摆式加速度计液浮摆式加速度计 6/16/2024195.2 摆式加速度计 一 液浮摆式加速度计 8/9/205.2 5.2 摆式加速度计摆式加速度计 一一一一 液浮摆式加速度计液浮摆式加速度计液浮摆式加速度计液浮摆式加速度计 由信号器、伺服放大器和力矩器所组成的回路，由信号器、伺服放大器和力矩器所组成的回路，由信号器、伺服放大器和力矩器所组成的回路，由信号器、伺服放大器和力矩器所组成的回路，通常称为力矩再平衡回路，所产生的力矩通常称为再通常称为力矩再平衡回路，所产生的力矩通常称为再通常称为力矩再平衡回路，所产生的力矩通常称为再通常称为力矩再平衡回路，所产生的力矩通常称为再平衡力矩。平衡力矩。平衡力矩。平衡力矩。6/16/2024205.2 摆式加速度计 一 液浮摆式加速度计 由信5.2 5.2 摆式加速度计摆式加速度计 一一一一 液浮摆式加速度计液浮摆式加速度计液浮摆式加速度计液浮摆式加速度计 液浮摆式加速度计的运动方程：液浮摆式加速度计的运动方程：液浮摆式加速度计的运动方程：液浮摆式加速度计的运动方程：6/16/2024215.2 摆式加速度计 一 液浮摆式加速度计 液浮摆式加速5.2 5.2 摆式加速度计摆式加速度计 一一一一 液浮摆式加速度计液浮摆式加速度计液浮摆式加速度计液浮摆式加速度计 液浮摆式加速度计的运动方程：液浮摆式加速度计的运动方程：液浮摆式加速度计的运动方程：液浮摆式加速度计的运动方程：沿输入轴作用的加速度为：沿输入轴作用的加速度为：沿输入轴作用的加速度为：沿输入轴作用的加速度为：若组件的偏角较大时若组件的偏角较大时若组件的偏角较大时若组件的偏角较大时 ，不仅会降低所要测量加速度的灵，不仅会降低所要测量加速度的灵，不仅会降低所要测量加速度的灵，不仅会降低所要测量加速度的灵敏度，而且还会敏感正交加速度分量敏度，而且还会敏感正交加速度分量敏度，而且还会敏感正交加速度分量敏度，而且还会敏感正交加速度分量交叉耦合效应。交叉耦合效应。交叉耦合效应。交叉耦合效应。6/16/2024225.2 摆式加速度计 一 液浮摆式加速度计 液浮摆式加速5.2 5.2 摆式加速度计摆式加速度计 一一一一 液浮摆式加速度计液浮摆式加速度计液浮摆式加速度计液浮摆式加速度计 再平衡力矩与摆力矩相平衡。再平衡力矩与摆力矩相平衡。再平衡力矩与摆力矩相平衡。再平衡力矩与摆力矩相平衡。摆组件的动态运动方程为：摆组件的动态运动方程为：摆组件的动态运动方程为：摆组件的动态运动方程为：6/16/2024235.2 摆式加速度计 一 液浮摆式加速度计 再平衡力矩与5.2 5.2 摆式加速度计摆式加速度计 一一一一 液浮摆式加速度计液浮摆式加速度计液浮摆式加速度计液浮摆式加速度计 6/16/2024245.2 摆式加速度计 一 液浮摆式加速度计 8/9/205.2 5.2 摆式加速度计摆式加速度计 二二二二 挠性加速度计挠性加速度计挠性加速度计挠性加速度计 挠性加速度计也是一种摆式加速度计挠性加速度计也是一种摆式加速度计挠性加速度计也是一种摆式加速度计挠性加速度计也是一种摆式加速度计。与液浮与液浮与液浮与液浮加速度计的主要区别在于：加速度计的主要区别在于：加速度计的主要区别在于：加速度计的主要区别在于：摆组件不是悬浮在液体中，而是弹性地连接在摆组件不是悬浮在液体中，而是弹性地连接在摆组件不是悬浮在液体中，而是弹性地连接在摆组件不是悬浮在液体中，而是弹性地连接在某种类型的挠性支承上。某种类型的挠性支承上。某种类型的挠性支承上。某种类型的挠性支承上。挠性支承消除了轴承的摩擦力矩，当摆组件的挠性支承消除了轴承的摩擦力矩，当摆组件的挠性支承消除了轴承的摩擦力矩，当摆组件的挠性支承消除了轴承的摩擦力矩，当摆组件的偏转角很小时，由此引入的微小的弹性力矩往往偏转角很小时，由此引入的微小的弹性力矩往往偏转角很小时，由此引入的微小的弹性力矩往往偏转角很小时，由此引入的微小的弹性力矩往往可以忽略不计。可以忽略不计。可以忽略不计。可以忽略不计。6/16/2024255.2 摆式加速度计 二 挠性加速度计 5.2 5.2 摆式加速度计摆式加速度计 二二二二 挠性加速度计挠性加速度计挠性加速度计挠性加速度计 信号器定子信号器定子输输入入轴轴信号器动圈信号器动圈力矩器磁钢力矩器磁钢力矩器线圈力矩器线圈摆组件摆组件挠性支承挠性支承壳体壳体6/16/2024265.2 摆式加速度计 二 挠性加速度计 信号器定子输5.2 5.2 摆式加速度计摆式加速度计 二二二二 挠性加速度计挠性加速度计挠性加速度计挠性加速度计 摆组件的摆性：摆组件的摆性：摆组件的摆性：摆组件的摆性：6/16/2024275.2 摆式加速度计 二 挠性加速度计 摆组件的摆性5.2 5.2 摆式加速度计摆式加速度计 二二二二 挠性加速度计挠性加速度计挠性加速度计挠性加速度计 在挠性加速度计中，同样是由力矩再平衡回路所产生在挠性加速度计中，同样是由力矩再平衡回路所产生在挠性加速度计中，同样是由力矩再平衡回路所产生在挠性加速度计中，同样是由力矩再平衡回路所产生的力矩来平衡加速度所产生的摆力矩，为了抑制交叉耦合的力矩来平衡加速度所产生的摆力矩，为了抑制交叉耦合的力矩来平衡加速度所产生的摆力矩，为了抑制交叉耦合的力矩来平衡加速度所产生的摆力矩，为了抑制交叉耦合误差，力矩再平衡回路要求是高增益的。除了液浮摆式加误差，力矩再平衡回路要求是高增益的。除了液浮摆式加误差，力矩再平衡回路要求是高增益的。除了液浮摆式加误差，力矩再平衡回路要求是高增益的。除了液浮摆式加速度计中所提到的各项力矩外，作用在挠性加速度计摆组速度计中所提到的各项力矩外，作用在挠性加速度计摆组速度计中所提到的各项力矩外，作用在挠性加速度计摆组速度计中所提到的各项力矩外，作用在挠性加速度计摆组件上的力矩，增加了摆组件出现偏转角时挠性支承所产生件上的力矩，增加了摆组件出现偏转角时挠性支承所产生件上的力矩，增加了摆组件出现偏转角时挠性支承所产生件上的力矩，增加了摆组件出现偏转角时挠性支承所产生的弹性力矩。的弹性力矩。的弹性力矩。的弹性力矩。6/16/2024285.2 摆式加速度计 二 挠性加速度计 在5.2 5.2 摆式加速度计摆式加速度计 二二二二 挠性加速度计挠性加速度计挠性加速度计挠性加速度计 闭环工作条件下，采用与液浮摆式加速度计相同的坐闭环工作条件下，采用与液浮摆式加速度计相同的坐闭环工作条件下，采用与液浮摆式加速度计相同的坐闭环工作条件下，采用与液浮摆式加速度计相同的坐标系定义，可以得到挠性加速度计摆组件的运动方程为标系定义，可以得到挠性加速度计摆组件的运动方程为标系定义，可以得到挠性加速度计摆组件的运动方程为标系定义，可以得到挠性加速度计摆组件的运动方程为 6/16/2024295.2 摆式加速度计 二 挠性加速度计 闭环5.2 5.2 摆式加速度计摆式加速度计 二二二二 挠性加速度计挠性加速度计挠性加速度计挠性加速度计 挠性加速度计的系统的方框图挠性加速度计的系统的方框图挠性加速度计的系统的方框图挠性加速度计的系统的方框图 6/16/2024305.2 摆式加速度计 二 挠性加速度计 挠性加速度计5.2 5.2 摆式加速度计摆式加速度计 二二二二 挠性加速度计挠性加速度计挠性加速度计挠性加速度计 6/16/2024315.2 摆式加速度计 二 挠性加速度计 8/9/205.2 5.2 摆式加速度计摆式加速度计 二二二二 挠性加速度计挠性加速度计挠性加速度计挠性加速度计 石英挠性石英挠性石英挠性石英挠性加速度计加速度计加速度计加速度计 6/16/2024325.2 摆式加速度计 二 挠性加速度计 石英挠性8/5.2 5.2 摆式加速度计摆式加速度计 二二二二 挠性加速度计挠性加速度计挠性加速度计挠性加速度计 石英挠性石英挠性石英挠性石英挠性加速度计加速度计加速度计加速度计 6/16/2024335.2 摆式加速度计 二 挠性加速度计 石英挠性8/5.2 5.2 摆式加速度计摆式加速度计 二二二二 挠性加速度计挠性加速度计挠性加速度计挠性加速度计 石英挠性石英挠性石英挠性石英挠性加速度计加速度计加速度计加速度计 6/16/2024345.2 摆式加速度计 二 挠性加速度计 石英挠性8/5.2 5.2 摆式加速度计摆式加速度计 三三三三 陀螺积分加速度计陀螺积分加速度计陀螺积分加速度计陀螺积分加速度计 6/16/2024355.2 摆式加速度计 三 陀螺积分加速度计 8/9/5.2 5.2 摆式加速度计摆式加速度计 三三三三 陀螺积分加速度计陀螺积分加速度计陀螺积分加速度计陀螺积分加速度计 6/16/2024365.2 摆式加速度计 三 陀螺积分加速度计 8/9/5.2 5.2 摆式加速度计摆式加速度计 三三三三 陀螺积分加速度计陀螺积分加速度计陀螺积分加速度计陀螺积分加速度计 伺服回路伺服回路伺服回路伺服回路/稳定回稳定回稳定回稳定回路路路路 内环轴上的信号器内环轴上的信号器内环轴上的信号器内环轴上的信号器 伺服放大器伺服放大器伺服放大器伺服放大器 外环轴上的力矩器外环轴上的力矩器外环轴上的力矩器外环轴上的力矩器6/16/2024375.2 摆式加速度计 三 陀螺积分加速度计 伺服回路5.2 5.2 摆式加速度计摆式加速度计 三三三三 陀螺积分加速度计陀螺积分加速度计陀螺积分加速度计陀螺积分加速度计 陀螺积分加速度计的运动方程陀螺积分加速度计的运动方程陀螺积分加速度计的运动方程陀螺积分加速度计的运动方程 6/16/2024385.2 摆式加速度计 三 陀螺积分加速度计 陀螺积分5.2 5.2 摆式加速度计摆式加速度计 三三三三 陀螺积分加速度计陀螺积分加速度计陀螺积分加速度计陀螺积分加速度计 陀螺积分加速度计的系统方框图陀螺积分加速度计的系统方框图陀螺积分加速度计的系统方框图陀螺积分加速度计的系统方框图 6/16/2024395.2 摆式加速度计 三 陀螺积分加速度计 陀螺积分5.2 5.2 摆式加速度计摆式加速度计 三三三三 陀螺积分加速度计陀螺积分加速度计陀螺积分加速度计陀螺积分加速度计 陀螺仪绕内环轴和外环轴的稳定转角陀螺仪绕内环轴和外环轴的稳定转角陀螺仪绕内环轴和外环轴的稳定转角陀螺仪绕内环轴和外环轴的稳定转角（1 1 1 1）外环轴上的干扰力矩引起陀螺仪绕内环轴的稳态转角。当伺服回路）外环轴上的干扰力矩引起陀螺仪绕内环轴的稳态转角。当伺服回路）外环轴上的干扰力矩引起陀螺仪绕内环轴的稳态转角。当伺服回路）外环轴上的干扰力矩引起陀螺仪绕内环轴的稳态转角。当伺服回路的增益足够大时，该转角是足够小的，即自转轴仍然相当精确地与外环保的增益足够大时，该转角是足够小的，即自转轴仍然相当精确地与外环保的增益足够大时，该转角是足够小的，即自转轴仍然相当精确地与外环保的增益足够大时，该转角是足够小的，即自转轴仍然相当精确地与外环保持垂直，从而可以消除外环轴上干扰力矩对仪表工作的影响。持垂直，从而可以消除外环轴上干扰力矩对仪表工作的影响。持垂直，从而可以消除外环轴上干扰力矩对仪表工作的影响。持垂直，从而可以消除外环轴上干扰力矩对仪表工作的影响。（2 2 2 2）陀螺仪的输出转角中包含了内环轴上干扰力矩的影响，从而造成仪）陀螺仪的输出转角中包含了内环轴上干扰力矩的影响，从而造成仪）陀螺仪的输出转角中包含了内环轴上干扰力矩的影响，从而造成仪）陀螺仪的输出转角中包含了内环轴上干扰力矩的影响，从而造成仪表的测量误差。表的测量误差。表的测量误差。表的测量误差。6/16/2024405.2 摆式加速度计 三 陀螺积分加速度计 陀螺仪绕5.2 5.2 摆式加速度计摆式加速度计 四四四四 硅微摆式加速度计硅微摆式加速度计 A-A A-A 信号电极信号电极信号电极信号电极故障检测电极故障检测电极故障检测电极故障检测电极玻璃玻璃玻璃玻璃硅硅硅硅蚀刻蚀刻蚀刻蚀刻挠性顶尖挠性顶尖挠性顶尖挠性顶尖检检检检测测测测质量质量质量质量典型结构典型结构典型结构典型结构 6/16/2024415.2 摆式加速度计 四 硅微摆式加速度计 A-A 信号5.2 5.2 摆式加速度计摆式加速度计 四四四四 硅微摆式加速度计硅微摆式加速度计 简单电路简单电路简单电路简单电路 6/16/2024425.2 摆式加速度计 四 硅微摆式加速度计 简单电路 85.3 5.3 振梁（弦）式加速度计振梁（弦）式加速度计一一一一 石英振梁加速度计石英振梁加速度计（VBA）利用石英谐振器的力一频特性，将加速度通过检测质量转利用石英谐振器的力一频特性，将加速度通过检测质量转利用石英谐振器的力一频特性，将加速度通过检测质量转利用石英谐振器的力一频特性，将加速度通过检测质量转换为惯性力而引起石英晶体谐振器的形变，使谐振器的固有频换为惯性力而引起石英晶体谐振器的形变，使谐振器的固有频换为惯性力而引起石英晶体谐振器的形变，使谐振器的固有频换为惯性力而引起石英晶体谐振器的形变，使谐振器的固有频率发生变化，再通过测量两个谐振器的差频得到加速度值。率发生变化，再通过测量两个谐振器的差频得到加速度值。率发生变化，再通过测量两个谐振器的差频得到加速度值。率发生变化，再通过测量两个谐振器的差频得到加速度值。6/16/2024435.3 振梁（弦）式加速度计一 石英振梁加速度计（VBA5.3 5.3 振梁（弦）式加速度计振梁（弦）式加速度计一一一一 石英振梁加速度计石英振梁加速度计 6/16/2024445.3 振梁（弦）式加速度计一 石英振梁加速度计 8/95.3 5.3 振梁（弦）式加速度计振梁（弦）式加速度计一一一一 石英振梁加速度计石英振梁加速度计 6/16/2024455.3 振梁（弦）式加速度计一 石英振梁加速度计 8/95.3 5.3 振梁（弦）式加速度计振梁（弦）式加速度计一一一一 石英振梁加速度计石英振梁加速度计 阻尼隙阻尼隙阻尼隙阻尼隙石英晶体石英晶体石英晶体石英晶体谐振器谐振器谐振器谐振器输入轴输入轴输入轴输入轴摆摆摆摆挠性接头挠性接头挠性接头挠性接头6/16/2024465.3 振梁（弦）式加速度计一 石英振梁加速度计 阻尼隙5.3 5.3 振梁（弦）式加速度计振梁（弦）式加速度计二二二二 振梁式硅微加速度计振梁式硅微加速度计 6/16/2024475.3 振梁（弦）式加速度计二 振梁式硅微加速度计 85.4 5.4 光纤加速度计简介光纤加速度计简介 光纤加速度计是利用光的波导效应测量检测质量在加光纤加速度计是利用光的波导效应测量检测质量在加光纤加速度计是利用光的波导效应测量检测质量在加光纤加速度计是利用光的波导效应测量检测质量在加速度作用下相对弹性支承的位移进而得到加速度的一种传速度作用下相对弹性支承的位移进而得到加速度的一种传速度作用下相对弹性支承的位移进而得到加速度的一种传速度作用下相对弹性支承的位移进而得到加速度的一种传感器。它可以通过光纤连接至指示器，因而可能更适合那感器。它可以通过光纤连接至指示器，因而可能更适合那感器。它可以通过光纤连接至指示器，因而可能更适合那感器。它可以通过光纤连接至指示器，因而可能更适合那些对电信号更危险的应用场合，如燃料罐中的加速度测量些对电信号更危险的应用场合，如燃料罐中的加速度测量些对电信号更危险的应用场合，如燃料罐中的加速度测量些对电信号更危险的应用场合，如燃料罐中的加速度测量等情况。等情况。等情况。等情况。两种类型：马赫两种类型：马赫两种类型：马赫两种类型：马赫 曾德干涉型光纤加速度计和迈克尔逊干涉曾德干涉型光纤加速度计和迈克尔逊干涉曾德干涉型光纤加速度计和迈克尔逊干涉曾德干涉型光纤加速度计和迈克尔逊干涉型光纤加速度计。型光纤加速度计。型光纤加速度计。型光纤加速度计。6/16/2024485.4 光纤加速度计简介 光纤加速度计是利用光的波导5.4 5.4 光纤加速度计简介光纤加速度计简介一一一一 马赫马赫曾德干涉型光纤加速度计曾德干涉型光纤加速度计6/16/2024495.4 光纤加速度计简介一 马赫曾德干涉型光纤加速度计5.4 5.4 光纤加速度计简介光纤加速度计简介二二二二 迈克尔逊干涉型光纤加速度计迈克尔逊干涉型光纤加速度计6/16/2024505.4 光纤加速度计简介二 迈克尔逊干涉型光纤加速度计8