2022年微电子工艺面试问答

EPI外延 PR光刻 CMP化学机械抛光 DIF扩散 ETCH刻蚀 CVD化学气象堆积litho确实是光刻Ddrain 漏极 Ssource 源极 Ggate 栅极YE良率（提升）工程师PIE工艺整合工程师CMPchemical mechanical polish 化学机械抛光PCMprocess control monitor 工程操纵监测WATwafer acceptance testing 芯片电性（验收）测试ICintegrated circuit 集成电路CMOScomplementary metal oxide semiconductor 互补金属氧化物半导体MOS FETMetal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor 金氧半场效晶体管N型negative typeP型positive typeVT阈值电压，通常将传输特性曲线中输出电压随输入电压改变而急剧变化转机区的终点对应的输入电压称为阈值电压.也称为开启电压。当器件由耗尽向反型转变时，要经历一个 Si 外表电子浓度等于空穴浓度的状态。如今器件处于临界导通状态，器件的栅电压定义为阈值电压，它是MOSFET的重要参数之一VDS 最大漏-源电压 VGS 最大栅源电压 ID 连续漏电流 IDM 脉冲漏极电流 PD 容许沟道总功耗VB反向峰值击穿电压RC电容电阻1.PN结、MOS管这种简单器件原理 特性曲线理解一下？PN结加正向电压（外电场和内电场相反）时，具有较大的正向扩散电流，呈现低电阻， PN结导通；PN结加反向电压时，具有非常小的反向漂移电流，呈现高电阻， PN结截止。由此能够得出结论：PN结具有单导游电性。硅 0.7V 锗0.3V 。2.wafer？硅片的流程？3.NMOS管加啥电流是read的状态？4.二极管V-A特性曲线？5.如何测VT？drain加工作电压 source接地，测Ids好似 到一个值了确实是VT。MOS的阈值电压是一个范围值的。一般情况下与耐压有关，例如几十V的耐压一般为1-2V,200v以内的一般为2-4V，200V以上的一般为3-5V。所以还要考虑温度的妨碍，随着温度升高阈值电压会降低。这个还要与详细的工作状态相关。因此你在使用MOS管的时候，一定要看该型号MOS的DATASHEET，才能用好。6.gate下厚度与VT关系？栅氧厚度的减少，阈值电压减小，漏电流增大7.MOS管啥用？用于放大电路或开关电路。提供一个稳定的电压。8.NMOS是长在N型区依然P型区？P衬底上