SJT 30002-1994 电子工业职业安全卫生设计规定

SJ/T30002-1994电子工业职业安全卫生设计规定1  总则 2.3  厂区布置 2.3.1  电子工业工厂的总平面布置，应根据各类工厂的生产性质、工艺特点、建筑类别、人流物流、防火、卫生等技术要求，结合地形、地质、气象等自然条件合理进行布置。2.3.1.1  改善原有不合理的布局和不良的生产条件；2.3.1.2  减少对现有生产影响；2.3.1.3  合理利用旧有建筑物及有关设施。2.3.2   厂区应根据生产、工艺特点，按功能分区布置。一般可分为：厂前区、主要生产区、辅助生产区、仓库区和动力区。2.3.3   工厂主要建筑宜呈南北布置。应有良好的通风和自然采光。2.3.4   工厂入口宜人物分流。厂区主干道。应将主要人流与较大物流。2.3.5   由厂部办公室、多层厂房、厂区主入口等组成的厂前区，宜置于厂区最小频率风向的下风侧。2.3.6   显象管涂敷、总装、电子枪装配，集成电路制版光刻等对洁净度要求较高的主要生产厂房，宜布置在厂区最小频率风向的下风侧，并应在四周留有绿化场所。2.3.7   电镀、酸洗、喷漆、制版、配料、铸锻、热处理等会向大气中排出有害气体、蒸汽、烟雾、粉尘、臭气的生产厂房，应布置在厂区最小频率风向的上风侧，并应与厂前区、洁净度高的厂房以及人流密集处留有一定的防护距离。2.3.8   放散大量余热的车间和厂房，宜采用单层建筑。厂房四周不宜建披屋；确有必要时，应避免建于夏季主导风向的迎风面。2.3.9   厂区内主要噪声源，宜相对集中，远离厂内外要求安静的区域。2.3.10  仓库区的布置应避开人流通道，靠近生产区及货运入口，并应留有足够的货物装卸和汽车回转场地。2.3.11  汽车库宜布置在厂区的边缘，避开人流密集处。有条件时，可社专用入口或利用货运口出入口。2.3.12  化学危险品库、油料库应布置在厂区最小频率风向的上风侧及边远地区，应远离火源，并符合国家现行有关防火规范的规定。2.3.13  对于氢氧站、氮氧站、油库、液化石油气站、锅炉房等发生火灾、爆炸危险性大的动力站房，应布置在厂房最小频率风向的上风侧。氢氧站、氮氧站、油库、液化石油气站等，应设置围墙和专用出入口。各类气罐、气柜、气瓶库，应布置于厂区最小频率风向的上风侧和烟囱最小频率风向的下风侧，并应按国家现行有关规范要求留有必要的消防间距。2.3.14       玻璃溶解生产有含铅烟气排出时，厂房外应有足够设置净化装置的场地。2.3.15       工厂电源配（变）电所应布置在厂区用电负荷中心、高低压线进出方便及远离人流密集的地方，应与散发烟尘、酸气的厂房有足够的防护距离。对于大容量的总降压站、开关所，尚应在其周围加围墙。2.3.16       对于含氟、含铬、含镉、含氢氟酸以及含各类酸碱等废水处理建（构）筑物的布置，应靠近污染源，远离水源构筑物及空调气入口，四周应留有必要的卫生防护距离。2.3.17       厂区道路布置应符合国家现行防火规范、 工业企业厂内运输安全规程和厂区道路设计规范的规定。主要生产厂、仓库、区动力区的道路，应呈环形布置。厂区尽端式道路，应有足够的消防车辆回转场地。2.3.18       厂区道路两侧植树不应妨碍行车安全。道路上部管架和栈桥等障碍物，在干道上的净高不小于 4.5m,对于通过集装箱车辆的道路不应小于 5.0m。2.3.19       工厂铁路专用线设计，应符合国家现行工业企业标准轨距铁路设计规范的规定，不宜与人行主干道交叉；与道路交叉处，应设平交道和标记；人流密集处应设防护栏。2.3.20       厂区应进行绿化。应在道路及围墙沿线植树，空地上种植灌木、乔木和草皮。厂前区可布置花坛、水池以及厂标、雕塑等建筑小品。2.4  生产工艺与设备的选择 2.4.1  工程设计应采用合理的生产组织、先进的工艺流程及生产技术，将危险和有害因素减至最低程度。 2.4.2  在保证产品质量的前提下，应简化生产工艺，宜采用无毒无害或低毒低害的原材料，采用不产生或少产生危险和有害因素的新技术、新工艺、新设备。 2.4.3  电镀、喷漆、印制电路版、热处理、氢氧、氮氧、氧气、煤气、乙炔、液化石油气生产等，危险和有害因素严重又难以治理的工程项目，宜组织专业化协作或适当集中。 2.4.4  电子工业生产中，不宜使用氟氯氢作为溶剂、制冷剂、和灭火剂。 2.4.5  对于危害严重的生产过程和设备，应根据具体情况提高机械化、自动化程度或采取隔离措施、密闭式生产。 2.4.6  对于劳动强度较重的装卸运输以及生产过程中的半成品、成品宜机械化、半机械化。 2.4.7  设备的选择应符合先进适用、安全可靠和经济节能的原则。 凡危险度比较大或事故率高的生产设备，均应选用带有安全设施并具有生产许可证的产家的产品。 2.4.8  非标准设备设计,必须符合国家有关生产设备、电气设备、压力容器设备安全设计标准的规定。 2.4.9  常有各种机械传动装置的非标准设备及联动生产线的设计，其机械传动装置必须同时设有防护罩。 凡人员必须跨越或从下通过的联动生产线、有危及人员安全的部位，应设置防护罩或固定安全桥。安全桥应设防护栏。 2.4.10 机械设备防护罩，应符合国家现行机械防护罩安全要求的规定。 2.4.11 输送有毒、有害、易燃、易爆、高温、高压及有腐蚀性气体或液体的管道、管件、阀门，其材质、连接方法等，必须分别有密封、耐压、防腐蚀、防静电等相应措施。 2.5  厂房布置 2.5.1  厂房布置应按工艺要求做到：安全卫生，工序衔接紧密，物料传输距离短，操作检修方便。 2.5.2  电镀、酸洗、热处理、配料及外延、扩散等腐蚀性、毒气、粉尘危害比较严重的工序，应与其他的生产工序隔开布置。不同有害生产之间应互相隔离。 2.5.3  危害相同的生产，宜集中或相邻布置。 2.5.4  对于热加工、散热设备的布置，当厂房设置天窗的时候，应布置在天窗的下面。 2.5.5  厂房内应设有原料、废料及成品的存放场地。 2.5.6  厂房内高噪音生产与低噪音生产分开布置，并宜布置在单独的隔间内。 2.5.7  对于多厂房，放散热和有害气体的生产应布置在建筑物的上层。必须布置在下层时应采取措施防止污染上层的空气。 2.5.8  厂房内各种管线及风道、管沟等的布置，宜集中平行排列。地下管沟应避免平面交叉。难以避免时，必须做好防水处理。 2.6  建筑设计 2.6.1  工程建（构）筑物设计应符合国家现行有关建筑物结构及防火设计规范的规定。 2.6.2  一般厂房建筑应具有良好的通风和自然采光。 2.6.3  位于炎热地区的工业辅助建筑，宜采用通风屋顶；如条件限制，可采取其他隔热措施。 2.6.4  建（构）筑物设计，应在高温和低温部位设置隔热措施；易腐蚀的部位应采取防腐蚀措施；易受油浸蚀处应采取相应的防油措施。 2.6.5  对于生产有毒和有害物质的产房，厂房内部应采取便于清扫、刷洗以及防止毒物附着和积蓄的措施。 2.6.6  对拟利用的旧有建筑物、构筑物，应加以安全复核。必要时应采取相应的措施方能利用。 2.6.7  厂房内架空平台、走道、钢梯的设计，应方便生产操作和检修，应符合国家现行固定式工业平台 、 固定式工业防护栏杆 、固定式钢直梯 、 固定式钢斜梯等标准的规定。 2.6.8  凡使用直梯的场所应采取相应的防护措施。相邻两层的直梯宜错开设置。 2.6.9  厂房（建筑）管道夹层的设计，应考虑安装、检修方便和安全，并采取必要的通风、采光和防火措施。 2.6.10 厂房内的各种明沟道，应加设盖板。 2.6.11 动力机器基础宜设计为整体结构，应符合国家现行动力机器基础设计规范的有关规定。 2.6.12 地震及湿陷性黄土地区的建（构）筑物安全设计，应符合国家现行工业与民用建筑抗震设计规范与湿陷性黄土地区建筑设计规范的有关规定。 2.7    辅助卫生设施 2.7.1   电子工业企业应按其生产性质、人员编制以及实际需要和使用方便的原则，根据国家现行工业企业设计卫生标准设置浴室、更衣室、洗衣房、开水间、休息室、厕所以及妇女卫生间等。 2.7.2   生产过程中工作服污染严重、沾染易经皮肤吸收的剧毒物质、洁净度要求严格的厂房或车间，应设置洗衣房。 2.7.3   最大班女工在 100 人以上的工厂,厂房,车间,应设置妇女卫生间,且不得与其他用室合并设置. 2.7.4   全厂女职工人数在 100 人以上的工厂,应设置乳儿托儿所. 乳儿托儿所的位置,应在女工比较多的厂房附近,但不得设在有危险和放散有害物质厂房最大频率风向的下风侧.建筑应保证有充足的日照和良好的通风,并应有户外活动场所. 2.7.5           辅助卫生用室的位置，应避免有害物质、高温等有害因素的影响。 3.3  化学工艺安全 3.3.1  凡使用酸、碱或有机溶剂进行化学清洗的设备，必须装设局部排风系统。使用三氯乙烯等有毒溶剂进行清洗的设备，尚应采取密闭措施。 凡使用电气的化学清洗设备，必须有良好的接地。 3.3.2  彩色显象管用荧光粉生产中的硫化氢储罐室，应设置硫化氢气体报警装置，并与事故排风机联锁。       硫化氢控制室应保持正压。 硫化氢植被反应釜的加料与放料操作，应与反应釜搅拌机联锁。加料后启动，放料前关闭。 3.3.3  荫罩生产中的液氯罐储存间，应设置氯气报警装置，并与事故排风机、废气处理装置联锁。排风吸口应靠近地面。 储存间内应设起重设备及稀碱液池，池的深度应能浸没液氯罐。 3.3.4  使用酸液量大的生产，宜采用管道输送酸液。管道应采取防腐蚀防泄露措施。 3.3.5  凡使用氰化物的生产工艺，其排风排水系统必须与酸性排风排水系统严格分开。 3.3.6  因生产事故可能发生化学性灼伤的工作间，应设置紧急冲淋装置及洗眼器，并保证不间断供水。 3.4  机械加工安全 3.4.1  机械加工宜采用自动化、或自动或半自动机床、数控机床、加工中心、重件机械化翻转吊运装置和切屑清理机械化装置。 3.4.2  机床布置应利于采光，操作人员不应受日光直射。为防止零件或切屑等甩出伤人、冷却液飞溅影响其他设备工作，必要时应设置挡板。 3.4.3  木工机械必须设置安全防护装置，应有送料夹具或推板。 3.4.4  各种碾压机械的施压部分，应安装可靠的安全装置。 3.4.5  压力机宜采用进出料机构代替手工操作。当只能手工操作时，应采取安全措施。 3.5  热加工安全 3.5.1  玻璃池炉、隧道窑、退火炉、烧结炉等使用的液体或气体管路，应根据不同情况设置减压阀、安全阀、自动调节系统、锤峰口、取样口、报警显示和自动切断装置。窑炉工作区应设置防火、防毒、防爆等设施。 3.5.2  窑炉等加热设备应进行隔热。人可能触及的设备表面温度不得超过 50 度。否则应加隔热保护装置。 3.5.3  电焊作业点宜隔离。小件焊接宜设置固定作业点。无条件时也宜设置屏障，其高度不得小于 2m, 并距离地面有 50100mm 的间隙。 3.5.4  气焊、气割宜采用瓶装溶解乙炔；无条件时可采用乙炔发生器，但必须带回火防止器和防爆装置。乙炔发生器宜安装在室外或通风良好的场所，禁止安装在明火的车间内。 3.5.5  铸造车间设备的安全，可按照机械工业职业安全卫生设计规定的有关条文执行。 3.5.6  玻璃池炉应设置放料溜槽，在槽边设置冷却水供应点，并应在附近设置消火栓。 3.5.7  注塑机按钮台上应设置紧急停止开关；加热装置应绝缘可靠，裸露的电阻丝必须设置防护措施。 3.8  化学危险品的储存与输送 3.8.1  化学危险品的储存与输送，应符合国家现行化学危险品安全管理条例的规定。 3.8.2  化学危险品必须存放在专用仓库、专用场地或专用储存室（柜）内，并由专人管理。 3.8.3  化学危险品应按其类别、性质、分类、分堆、分间储存。性质相抵触的化学危险品严禁混放在一起。 3.8.4  化学危险品库建筑设计，应符合安全、防火规定。应采取隔热、通风、防止阳光直射措施，保证库内空气流通、干燥凉爽。应避免可燃气体积聚，并根据物品的种类、性质，采取相应的防爆、泄压、防火、灭火、防雷、报警、调温、防潮、消除静电、防护围堤等安全措施。 3.8.5  化学危险品库建筑耐火等级不应低于二级，防火间距不应少于 30m。消防通道必须保证畅通。 3.8.6  易燃易爆品库房不宜安装电器设备，必须装设时，应采用相应等级的防爆电器及照明设备。 3.8.7  储存或输送化学危险品的设备、管理及附属仪表、器材等，应根据危险介质的特性，采取必要的防泄漏、防腐蚀的措施。输送腐蚀性较强液体的管道，不应敷设在其他管道的上方，并不宜直接埋地敷设。 3.8.8  储存具有较强腐蚀性液体的设备应设置必要的防溢出、防渗漏紧急处理设施。其基础及周围地面，应设置防腐蚀处理。 3.8.9  对于输送具有较强腐蚀性的液体的化学药剂泵，在其填料函或机械密封圈、法兰、阀等易喷射泄露处，应设置适当的安全防护罩。 3.8.10 储存腐蚀性或有毒介质的设备、管道放空时，应加以收集或处理，不得任意排放。 3.8.11 储存氧化剂、易燃易爆物质的库房，应采用易于清洗、撞击或摩擦时不会产生火花的地面。 4.2 水处理站4.2.1 纯水站、软化水战和废水处理站的酸碱储存设备，应有防腐蚀、事故排放等安全措施，并应有检修和清洗措施。装卸和储存设备附近应设防围堤，并应设置紧急喷淋和洗眼设施。 4.2.2 酸碱贮存槽，计量筒等顶部应设置酸雾吸收器或通气管。 4.2.3 装卸或输送浓酸碱液体时，宜采用负压抽吸、泵输送或自流方式。当采用压缩空气输送时，应有减压和稳压装置，酸碱罐的耐压强度应经过测试。 4.2.4 需加氯消毒处理时，加氯间应与其它工作间隔开，应设有下列安全措施： 4.2.4.1 应设直接通向外部的门，门应向外开； 4.2.4.2 应备有带氧气瓶的防毒面具； 4.2.4.3 加氯机、动力盘等不宜与氯瓶布置在同一房间内； 4.2.4.4 加氯间内应采用防腐灯具。 4.2.5 加氯间和氯库应设置机械通风，换气次数每小时不应小于 8 次，通风和照明的开关应设在加氯间外。 加氯间应与经常有人工作的车间和居住房间保持一定的距离。 加氯间和氯库内宜设置测定空气中氯气浓度的仪表和报警措施，并与排风机联锁。 4.2.6 经常有人通行的地方，酸碱液管道不应架空敷设。如架空敷设时，必须采取防护措施了。 4.2.7 在地面上不便操作检修的水处理设备和阀门处，应设置扶梯、平台。设备、阀门较重时，应设置起吊装置。 4.2.8 水泵、压缩空气机、鼓风机等高噪声设备，宜布置在单独隔间内，并采取消声、隔振措施。 5 防暑降温5.1 一般规定5.1.1 电子工业生产中，电子元器件、电子材料、电子玻璃、电子陶瓷、磁性材料，以及铸造、锻造、热处理、动力站等生产高温区，应采取防暑降温措施。该类车间或生产工段必须从工艺、总图、建筑和通风等方面采取综合性预防和治理措施。5.1.2 热源布置应符合下列原则：5.1.2.1 热工件宜放在车间外面；5.1.2.2 热源宜布置在天窗的下方；5.1.2.3 厂房通风以穿堂风为主时，热源宜布置在夏季主导风向的下风侧；5.1.2.4 便于对热源采取隔热措施；5.1.2.5 便于对热作业点降温；5.1.2.6 发热设备，在不影响工艺及流水线生产时宜集中布置。5.1.3 采用自然通风为主的车间，宜按夏季有利方位布置，主要进风侧不得加建进风的辅助建筑物。5.1.4 高温车间宜采用避风天窗，端部应予封闭。天窗与侧窗宜设开闭机构。5.1.5 夏季自然通风的进风窗，其下沿距室内地面的高度应在0.31.2m。自然通风窗应有足够的开启面积。5.1.6 高温车间的屋架下弦高度：有桥式起重机情况下，应不低于8m；无桥式起重机情况下，应不低于 6m。5.1.7 车间内工作点和工作区的夏季空气温度，应符合国家现行工业企业设计卫生标准的规定。5.2 防暑降温措施5.2.1 长时间内直接受辐射影响的工作区，当辐射照度在 350w/m2 以上时，应采取隔热措施；受辐射热影响较大的工作室，也应采取隔热措施。5.2.2 封口机、排气机、老练机、熔接机、烤管机、烧氢装置、高压釜、热处理炉、退火炉、烧结炉等设备和钨钼生产热加工区，应采用通风排热措施。5.2.3 玻璃池炉、熔铅装置、敷铜箔板厂层压机、大型烘箱、耐火材料预热炉等工作区，宜采用天窗或高侧窗排热。工作区应有良好的自然通风。热源区与非热源区，宜采用隔热墙隔开。5.2.4 中心实验室的热工间，宜采用全面通风，工作点宜采用风扇，散发热量的设备可采用排风罩。5.2.5 热处理高频间除局部排风外，尚应有全面通风。5.2.6 玻璃压机、大型炉窑等高温工作区，宜设置工人休息室，并采取降温措施。5.2.7 电子工业生产的封口、排风、老练、熔接、烤管、退火、烧结、扩散、被炭、黑化以及电子玻璃生产中的热加工区等固定工作点，应采取送冷风降温。5.2.8 炎热地区，冷加工车间人员固定或密集的工作点宜设置风扇。5.2.9 局部送风应符合下列规定：5.2.9.1 工作点的空气温度和平均风速，应按国家现行工业企业设计卫生标准执行；5.2.9.2 不得将车间的有害物质吹向人体；5.2.9.3 室内送风的气流方向，宜从人体的前侧一方倾斜吹到头、颈和胸部。送到人体的气流宽度宜采用 1m；车间散热量小于 23W/m2的轻作业，可采用 0.6m。6 防尘防毒6.1 一般规定6.1.1 电子工业生产中，半导体材料制备、晶片腐蚀、晶片掺杂、外延、化学气相淀积、离子刻蚀，真空器件零件清洗、阴极热丝制备、涂屏、充贡，塑料、陶瓷料、玻璃料、磁性材料等的破碎、配制、加工、铸造、热处理、电火花加工、磨削加工、化学处理、电镀、喷砂、油漆，以及铅蓄电池生产中的铅尘作业等工作区，应采取综合措施防止尘、毒危害。6.1.2 应采用不产生或少产生尘、毒的工艺和设备。凡生产过程中，散发有毒有害气体、液体、粉尘、酸雾、恶臭、气溶胶等物质的工序，宜采用密闭生产工艺和设备。6.1.3 有下列情况之一时，排风不得合为一个系统：6.1.3.1 混合后能形成毒害更大的混合物或化合物时；6.1.3.2 混合后易使粉尘积聚时;6.1.3.3 散发粉尘及有害物质工作间与一般工作间。6.1.4 产生严重尘、毒工作区的布置，应使其他工作区少受污染，并应与其他工作区隔开。6.1.5 玻璃、陶瓷、磁性材料配料间的设计，可按玻璃生产配料车间防尘技术规程执行。6.2 尘毒控制6.2.1 散发粉尘的作业，在不影响产品质量前提下宜采用湿法配料或以颗粒料代替粉料。6.2.2 产生尘、毒的设备，应采取整体密闭、局部密闭或小室密闭措施。不能密闭时，应设置排风罩。6.2.3 粉粒料输送应采用气力输送、斗式提升机、螺旋输送机、溜槽等密闭性较好的设备。当采用带式输送机时，宜密闭合排风，并应设粘料清除装置。6.2.4 应减少散装粉粒料转运点的落差高度。落料点除应密闭外，还应采取消除或降低正压的措施。6.2.5 在符合工艺要求前提下，应减少粉粒的中转环节，缩短运输距离。6.2.6 车间内装卸散装的干砂、干石英砂、焦炭、煤粉、粘土等粉粒料，不宜使用抓斗、翻斗车及卡车。6.2.7 干式除尘器应配备密封良好的卸灰阀和卸灰容器。6.2.8 磷烷、砷烷、硅烷、硼烷、三氯氢硅等有毒、易燃、易爆气体的钢瓶，必须放置在设有排风防护装置的金属柜内。不工作时，应有自动定时排风系统。6.2.9 使用砷烷、硼烷、硅烷、三氯氢硅、氨、磷烷等有毒工作间，宜设报警装置及事故排风。报警装置宜与生产设备、操作阀联锁。不工作时，亦应定时进行排风。6.2.10 存放粉粒状及有毒材料的容器，应具有良好的密封性和耐腐蚀性。6.2.11 储存和使用氰化物、砷化物等剧毒物品的工作间，其墙壁、顶棚和地面，应采用不吸附毒物的材料，并应便于清洗或收集。室内管线宜暗敷。分发毒物处应设置洗涤池和通风柜。6.3 尘毒排除6.3.1 凡有烟、尘、挥发性溶剂逸出的烘箱、窑炉炉口宜设排风罩。6.3.2 破碎设备应按其类型和进、卸料情况设排风罩。6.3.2.1 颚式破碎机上部进料口应设密闭排风罩；当物料落差小于 1m时，可只设密闭罩，不排风。下部卸料口，当落差小于 1m 且上部有排风时，可只设密闭罩，不排风；否则应排风。6.3.2.2 双辊破碎机的进、卸料口均应密闭并排风。进料落差小于1m、密闭较好的小型设备，可只在下部排风。6.3.2.3 大型球磨机的旋转滚洞应设在全密闭罩内并排风。用带式输送机向球磨机给料时，进料口及球磨机本体密闭罩均应排风。6.3.2.4 轮辗机应设密闭围罩并排风。6.3.3 筛选设备的卸料点和筛上物落料处，应根据具体情况设排风罩。其本体部分应按设备类型设置并排风。6.3.3.1 振动筛宜在筛子上设密闭排风罩。6.3.3.2 滚筒筛应设整体密闭罩并排风。6.3.3.3 多段筛宜在筛箱侧面设窄缝侧吸罩。罩口风速控制在 5m/s 以内。筛箱顶部应设可开启盖板。6.3.4 混料机应采用密闭围罩并排风，或在进、出料口分别设置排风罩。6.3.5 石英砂干燥设备卸料口应设全密闭罩并排风。6.3.6 落砂机、混砂机、喷丸、喷丸室（机） ，喷砂室（机） 、清理滚筒等设备均应采取排风措施。6.3.7 斗式提升机输送物料时，当提升高度小于 10m，可只在下部排风。提升高度大于 10m 时，则上下部均需排风。6.3.8 压送系统储存粉料的密闭料仓，应在顶部设泄压除尘滤袋，或将袋式除尘机组直接座落在料仓顶盖上。6.3.9 袋装粉料的拆包、倒包应在有负压专门装置中进行。6.3.10 热处理盐浴炉和淬火油槽应设围罩或侧吸罩。6.3.11 印制板生产中，锯床、数控钻（铣）床、开槽机、倒角机、贴膜机、蚀刻机、去膜机、显影机、凹蚀设备、电镀设备、曝光机、紫外光固化机等散发粉尘、酸碱蒸汽或臭氧等的设备，均应采取排风措施。6.3.12 电镀槽、酸洗槽、除油槽、腐蚀槽及其他化学槽等应设槽边侧吸罩或吹吸式罩。蓄电池极板化成槽应设上部排风罩或侧吸罩。6.3.14 批量生产的喷漆作业应在排风的喷漆室或喷漆柜内进行。大件生产的地喷漆工作区应有良好通风。烘干箱（室）应单独设置排风系统。6.3.15 产生大量油雾的螺纹磨床、齿轮磨床、硅片及陶瓷切片机、油真空泵排出口等应设排油雾装置。6.3.16 毒气瓶柜、化学气相淀积设备、外延设备、离子刻蚀设备、有害元素掺杂扩散炉和离子注入机等使用有害气体的作业点，应设排风装置。6.3.17 半导体圆片粘片机、硅片处理系统、熔蜡锅，荧光粉的配制和涂复，在流焊、波峰焊、浸锡焊锅、气相清洗、红外热熔机、热风整平机等产生有机溶剂蒸气的工作点，应设排风装置。6.3.18 电焊、气焊、等离子切割、熔铅锅等产生金属蒸气的工作点，应设排风装置。6.3.19 彩色显象管管颈玻璃热加工、芯柱压制、高铅玻璃电真空器件的热加工、熔制铅玻璃池炉观察孔等处，应设置强排风。6.3.20 使用滴汞电极的极谱仪时，应采用专用的极谱工作台，工作间地坪须作成深色，工作台附近地面应设一个收集汞的凹坑，地坪要有坡向凹坑的坡度。6.3.21 荧光灯、闸流管等的充汞设备必须设置排风。其工作间应设全室通风；工作间内应设汞清洗收集槽；地坪、顶棚、墙面材料应便于冲洗；地坪应有 3坡度，坡向汞清洗收集槽。6.3.22 微波功率器件的氧化铍的工作间，室内管线应暗敷，室内装修材料应便于水冲洗，工作间附近应设淋浴间。6.3.23 可能突然产生大量有毒气体的工作区，应设事故排风装置。6.3.24 蓄电池生产的铅、镉、镍等有毒粉尘工作区，应有给排水设施，使地面经常保持湿润并能用水冲洗。其它粉尘工作区，在生产许可条件下，地面亦宜保持湿润和能用水冲洗。6.3.25 散发有毒气体的生产废水，不得采用明沟排水。7 洁净室安全卫生7.0.1 洁净厂房的防火和疏散应符合国家现行,建筑设计防火规范及洁净厂房设计规范的规定。建筑耐火等级不应低于二级。隔墙、吊顶、构配件及装饰材料，均应采用不燃或经过防火处理的材料。7.0.2 洁净厂房每一生产层、每一防火分区或洁净区的安全出口数量，均不应少于两个。但符合下列情况者，可只设一个出口：7.0.2.1 甲、乙类生产厂房，每层总建筑面积不超过 50m2，且同一时间内生产人员总数不超过 5 人；7.0.2.2 丙、丁、戊类生产厂房，符合国家现行建筑设计防火规范规定者。安全出口应分散均匀布置，从生产地点至安全出口不得经过曲折的人员净化路线。7.0.3 生产中产生或使用易燃易爆物质的工作区，宜集中布置，且宜布置在靠外墙侧。墙外不应是交通干道及人员集中的场所。7.0.4 有甲、乙类火灾危险与非甲、乙类相邻的工作区之间，或有防火分隔要求的，应设防火隔断。7.0.5 生产中产生高噪声、大发热量、较多粉尘、有害气体的工作区，应采取局部措施加以控制或其他工段隔断，防止有害物质进入洁净区。7.0.6 洁净室正常工作时，其噪声级不应超过 70dB（A） ；当设备噪声较高消除有困难时，可适当放宽，但不宜大于 75dB（A） 。当工艺设备不工作时，乱流洁净室噪声级不宜超过 60dB（A） ，层流洁净室噪声级不宜超过 65dB（A） 。7.0.7 洁净室的新鲜空气量，按最大班工作人数，每人不应少于40m3/h。7.0.8 洁净室中产生的有害气体，应优先采用局部排风排除。局部排风宜采用密闭排风罩或通风柜。当不能采用局部排风排除，或在局部排风排出后仍有较多有害物散发在室内时，应设全面排风并增加室内新鲜空气量。7.0.9 需局部排风的设备，宜设在工作区气流的下风侧。7.0.10 对于可能突然放散大量有害或可燃气体、蒸汽、汽溶胶的工作间，应设在洁净室和室外便于操作的地点。事故排风应与报警装置联锁。7.0.11 对设有贵重设备、仪器、物料或火灾危险性较大的洁净室，以及当发生火灾时消防人员难以进入扑救的技术夹层和技术夹道等部位，应设置自动灭火系统。7.0.12 设有二氧化碳等灭火装置的洁净室，当室内无排风系统时，应设置灭火后排除废气的排风系统，其换气量宜采用每小时 4 次。7.0.13 洁净室混合照明的照度，不应低于 750lx。一般照明的照度不应低于 150lx。通道、休息室和暗房工作室的照度可以适当降低。7.0.14 洁净厂房内应设置供人员疏散用的应急照明，并应设置指明应急安全出口的疏散标志灯。在专用消防出口处应设红色应急照明灯。7.0.15 洁净厂房内应设置火灾探测器自动报警。报警装置应设置在值班室内，供电应可靠。7.0.16 洁净厂房内的配电设备，应选择不宜积尘的设备，并宜暗装。大型配电设备不宜设在洁净厂房内。7.0.17 洁净厂房内的管线宜暗装敷设，管线间距应大于 100mm。管材应采用非燃烧材料。7.0.18 洁净厂房内，用于排除含酸、碱腐蚀性气体且穿越其它工作间的风管，应采用不燃或经过防火处理的专用塑料风管，或不锈钢风管。用于排除硅烷、氟化磷等特别容易自燃气体的风管，宜采用不锈钢风管。7.0.19 洁净厂房内的各种管道，应涂明显的标志色。各种装置、阀门及管道接口必须严密。7.0.20 洁净室内化学品的贮存量不应超过两天的用量。各种气瓶应集中设置在洁净厂房外。当用气量每天不超过一瓶时，气瓶可设在厂房内。8 电离辐射和电磁辐射防护8.1 电离辐射防护一般规定8.1.1 电子工业中大功率真空开关管和工业探伤用 X 线管测试、气体放电开关管注钴 60、荧光灯起动器涂氧化铀、大功率发射管和微波功率管高压试验，以及 射线探测仪计量定标等各类电离辐射防护设计，应按现行放射卫生防护基本标准和辐射防护规定执行。8.1.2 电离辐射防护设计必须遵守辐射防护三原则：实践的正当性、辐射防护的最优化和个人剂量的限制。应对正常照射度加以限制，防止发生非随机性效应，并将随机性效应的发生率降低可以接受的水平。8.1.3 电离辐射防护设计标准应严于表 8.1.3 的基本限值。宜取基本限值的 0.3。电离辐射年剂量当量限值（基本限制）表 8.1.3个人年有剂量当量限制（mSv ）效应类别 受照部位辐射工作人员公众成员均匀照射 50随机效应 全身 非均匀照射 501眼晶体 150 15非随机效应 其他单人器官或组织 500 50剂量当量限值不包括医疗照射和天然本底照射。若按终身剂量平均的年有效剂量当量不超过 1mSv（0.1rem） ，则在某些年份允许以每年 5mSv（0.5rem ）作为剂量限值。8.2 电离辐射防护措施8.2.1 电离辐射工作室的设置，必须充分注意对周围环境的辐射安全，应遵守下列规定：8.2.1.1 应远离居民点、宿舍区等行人密集的滞留区。8.2.1.2 应避开人流密集的车间主要出入口、主通道。8.2.1.3 宜布置在人流较少、位置较偏僻的区域。8.2.2 电离辐射照射室，宜布置在厂房外部，与厂房毗连；若为多层厂房，宜布置在底层或地下室。电离辐射控制室等辅助用房应布置在与照射室邻近的非主照射方向。8.2.3 防护外照射，应采用设置屏蔽、控制照射时间和确保人与放射源之间有适当距离等防护措施。8.2.4 电离辐射屏蔽防护，应根据放射源的强弱和工作场所对防护的要求，设置全室屏蔽或局部屏蔽。8.2.5 电离辐射照射室屏蔽防护设计，应符合下列要求：8.2.5.1 应采用全室屏蔽，对工作间六面（四周、顶和地面）均应设置屏蔽体。工作人员透过铅玻璃观察。8.2.5.2 必须对现有的和预期的电离辐射源的各种照射同时考虑。8.2.5.3 屏蔽材料宜采用铅板，硫酸钡墙板或混凝土。8.2.5.4 凡是一次射线能直接照射到的墙体，应按主照射屏蔽体的要求设计；其他部分可按散、漏辐射防护要求设计。8.2.5.5 屏蔽体上不允许有直通孔洞或缝隙。8.2.5.6 必须在设计图中标明辐射源在室内允许移动的范围。8.2.5.7 屏蔽防护门应尽可能设置在次照射屏蔽墙体上。防护铅门的设计，应保证整体性，不得有缝隙，表面具有一定刚度。其厚度在屏蔽效能上应与所在屏蔽墙体等效。门体与门洞之间必须保证有效的覆盖宽度。防护门与设备高压电源之间，应设置安全联锁装置。8.2.5.8 屏蔽防护室应设置单独接地系统，接地电阻应与辐照装置接地要求一致。8.2.5.9 屏蔽防护室外不得跨建筑伸缩缝。8.2.5.10 屏蔽防护室外，应设置醒目的指示灯和警戒信号；室内应设置预警信号装置。8.2.6 对局部屏蔽，应设置铅玻璃防护罩或移动式铅屏。其工作间应采用重晶石粉或铅粉复合板进行防护。工作人员应穿戴个人防护用具。8.2.7 在有可能发生空气污染的区域，必须设置全室或局部的通风系统。其换气速率、负压大小和气流组织应能防止污染的回流和扩散。8.2.8 当需要加大放射源的活度或提高辐射剂量率、增加设备数量时，应对原有屏蔽防护设计进行复查，并采取补强措施。8.2.9 废源应按当地环境保护部门或放射卫生防护部门的规定，统一处理。8.3 电磁辐射防护一般规定8.3.1 电子工业中大功率整机调试、雷达试验场测试、微波管热测以及高频加热设备、介质加热设备和射频溅射设备等各种电磁辐射防护设计，应按国家现行电磁辐射防护规定 、 环境电磁波卫生标准 、 作业场所超高频辐射卫生标准及作业场所微波辐射卫生标准执行。8.3.2 实施电磁辐射防护，应以抑制电波泄漏辐射和辐射传播为主。必须控制设备的泄漏电平，增加电波的传播损耗。8.3.3 电磁辐射防护设计标准，应符合表 8.3.3环境电磁波容许辐射强度分级标准的要求。环境电磁波容许辐射强度分级标准 表 8.33容许强度频率范围（MH z） 居民区 作业区0.       130 10（v/m） 25（v/m）303003003000005（v/m）10（w/cm 2）12（v/m）40（w/cm 2）混合波段 按主要频段场强；若各频段场强分散，则按复合场强加权确定。8.4 射频和微波防护措施8.4.1 电磁辐射防护，应采用设置屏蔽、吸收、控制受照时间、以及增大与辐射源的距离等防护措施。8.4.2 电磁辐射屏蔽防护，应根据需要设置局部屏蔽或全室屏蔽。8.4.3 一般情况下，射频和微波设备电磁辐射防护应采用局部屏蔽，并应符合下列要求：8.4.3.1 应保证设备外壳电气连续。外壳金属板上的螺丝连接缝和孔洞，宜设置导电衬垫条带和金属网条带增强屏蔽。8.4.3.2 设备射频馈电系统的波导法兰盘连接缝，宜采用金属丝箔带增强屏蔽。8.4.3.3 高频加热设备感应线圈等强辐射的开口部位，宜采用铝板或钢网局部屏蔽并接地。8.4.3.4 微波器件热测台，宜采用铜网（或铜网加吸波材料）局部屏蔽。8.4.3.5 必须保证屏蔽体与被屏蔽的部件（场源）之间有足够的间距。屏蔽体材料采用铜、铝等非磁性材料。8.4.3.6 设备应尽可能在匹配状态下运行。8.4.4 射频和微波设备电磁辐射防护，在下列情况下应采用全室屏蔽：8.4.4.1 局部屏蔽实施困难，并影响工作效率。8.4.4.2 必须保证周区环境的电磁干扰噪音低电平。8.4.5 全室屏蔽必须对工作间六面设置屏蔽体。对遥控工作间，屏蔽室应设屏蔽观察窗。8.4.6 对有人操作的工作间，设计时应在屏蔽室内壁敷设电波吸收材料或在是室内移动式电波吸收屏。工作时，设备应端接假负载，工作人员应穿戴个人防护用具。8.4.7 辐射器调试间应为具有屏蔽性能的电波暗室，并应在其邻近操作人员的屏蔽室。无暗室的简易辐射测试，可石设置操作人员的屏蔽笼，屏蔽笼不应设在主瓣方向。当辐射器付瓣可能照射到屏蔽笼外壁时，应设电波吸收屏遮挡。8.5 试验场辐射防护措施8.5.1 应定期测量工作人员活动区域的微波辐射电平。对功率密度接近微波照射场卫生标准的区域（临界区域） ，应设置醒目的警告信号或标志。对超过微波照射卫生标准的区域（危险区域） ，应设置围障。8.5.2 试验过程中宜采用仿真负载。当必须进行自由空间辐射时，天线应安置在使其波束远离或避开工作人员活动的区域。8.5.3   试验场应设置测试试验工作用的屏蔽室。8.6  电磁屏蔽室设计8.6.1  防护电磁辐射用屏蔽室，英语降低环境电磁干扰噪音和屏蔽兼容。8.6 2  屏蔽材料应选择比放射损耗率大或比吸收损耗率大、耐电化腐蚀性好、便于施工和价格便宜的金属材料。8.6.3 屏蔽室不得跨建筑伸缩缝。8.6.4 应保证屏蔽壳体的电气连接，不得在屏蔽体上任意设置孔洞。8.6.5 板式屏蔽室应设置通风或空调装置。在风管穿越屏蔽体处，应设置波导型电磁滤波器。滤波器四周应与屏蔽体连续满焊。滤波器与室外风管连接，应通过一段非金属软管，其长度因为风管直径的23 倍。8.6.6 引入屏蔽室的气体动力管道，应通过焊在屏蔽体上的气体电磁滤波器。滤波器与室外管道连接，应采用绝缘连接器。8.6.7 引入屏蔽室的水管道，应通过焊在屏蔽体上的液体电磁滤波器。滤波器与室外管道连接，应通过一段非金属管。对蒸馏水，其长度为 13m；对一般水质的水，其长度应大于 10m。8.6.8 屏蔽室内不宜设置汽、水采暖装置。8.6.9 屏蔽门设计，应既保证门的开、关轻便，又保证门在关闭时所有弹簧片均处于最佳接触状况。必须保证手柄转动时，均能与门扇保持良好电气连续。在满足门扇刚度情况下，应尽量减轻门扇自重。8.6.10 电磁屏蔽室必须装设电源滤波器，应符合下列要求：8.6.10.1 每根电源向（包括零线）都必须设置电源滤波器。8.6.10.2 滤波器应装设在电源线引入屏蔽室处。对有源屏蔽，滤波器应装设在屏蔽室内；对无源屏蔽，滤波器应装设在屏蔽室外。8.6.10.3 滤波器外壳应紧贴屏蔽体，并在该处接地线。8.6.11 屏蔽室应接地。屏蔽室接地应符合下列要求：8.6.11.1 应采用单点接地。8.6.11.2 接地引线应采用扁状导体。其长度应尽可能短，一般控制在1/4 波长以内。接地引线长度大于 1/4 波长时，应对接地线采取屏蔽措施。8.6.11.3 应避免接地线与电力线平行敷设。8.6.11.4 对有源屏蔽和无源屏蔽应分别设置接地引线，可共接地极。8.6.11.5 接地极应避免埋设在间作据防雷接地装置附近。接地极电阻，一般宜在 4 以下；对特殊要求的屏蔽室，接地极电阻为 1。9 激光辐射安全防护9.1 一般规定9.1.1 电子工业中，应对激光打孔、激光焊接、激光修值、激光定位、激光划片、激光退火激光加工生产，以及激光信息传输、显示、参数测量、科学研究等按激光设备的类别采取相应的安全防护措施。9.1.2 激光辐射安全防护设计，应按国家现行激光产品的辐射安全、设备分类、要求和用户指南执行。9.1.3 激光设备按其危害增大的顺序，通常分为四类：1 类 是固有安全的。2 类 主要指发射可见光（波长 400700mm）的低功率激光产品，辐射型式是连续波或脉冲。当照射时间小于或等于 0.25S 时，系统输出功率或能量不超过 1 类激光设备的可达发射极限（AED）值，连续波输出功率可达 1mw。3A 类 其光滑范围 在 400700nm 内，连续波输出功率不超过5mw，对重复脉冲及扫描激光产出输出功率不超过 2 类激光设备可达发射极限值的 5 倍，然而可见光束任意电点的辐射照度不许超过25wm2 ，其他光谱范围的激光辐射不许超过 1 类激光设备可达发射限值的 5 倍。3B 类  连续激光输出功率不超过 0.5w，脉冲激光辐照量必须小于105Jm2 。4 类 为高功率设备，其输出功率超过 3B 可达发射极限值。9.2 防护措施9.2.1 激光辐射安全防护措施应视激光设备的类别、波长、平均输出功率和极限曝光时间、脉冲激光器的每个脉冲总量（或峰值功率） 、脉冲宽度和脉冲重复频率等确定。9.2.2 激光设备的选择，应符合以下要求：9.2.2.1 应选择具备良好屏蔽性能及能严格控制射束发射度的设备。9.2.2.2 激光射束靶须耐火性能良好。9.2.2.3 应设有联锁装置及报警装置。9.2.3 除 1 类设备处，其余激光设备必须放置在专门房内，作业地点应当处于关闭状态，非操作人员不准进入。激光室外应设有安全警告牌及红色指示灯，室内应设置高压电源总开关。9.2.4 激光室内墙面和天花板应涂刷浅色无光泽涂料；地面铺深色不反光的橡皮或地板；窗用毛玻璃，并应有足够照度。9.2.5 激光设备的安装，应使其射束的传播途径不处于人眼视线范围内，射线平面一般应低于 0.92m 或高于 2m。9.2.6 应在高能量的激光设备射束靶上方适当位置装设排风罩。9.2.7 易燃及易爆品必须远离激光设备（尤其是 4 类激光设备） 。9.2.8 在室外使用 2 类以上的激光设备时，应根据激光束的发散角、输出能量、光束直径、大气衰减系数等因素确定激光危害区。在激光危害区内激光设备工作时，必须采取安全防护措施。10 噪声控制10.1 一般规定10.1.1 在电子工业工厂设计中，应对以下生产车间及站房进行噪声控制；10.1.1.1 显象管玻壳厂成型热加工工序、陶瓷厂原料加工车间、磁性瓷材料厂的球磨和砂磨机间等；10.1.1.2 喷砂间；10.1.1.3 真空镀膜机间、使用真空泵的工作间，电子器件的排气间，超声波清洗等；10.1.1.4 微波器件生产中的 400Hz 电机房；10.1.1.5 机械热加工：铸造车间、锻工间等；10.1.1.6 机械冷加工；冲压车间、钣金车间、冷镦车间、木工车间、钨钼丝厂的旋锤间等；10.1.1.7 压缩空气战、氢氧站、氮氧站、冷冻站、风机室、水泵房、柴油发电机房以及各类高噪声试验室等。10.1.2 噪声控制设计应符合国家现行工业企业噪声控制设计规范及卫生部、国家劳动总局颁布的工业企业噪声卫生标准的规定。10.1.3 各类生产车间、站房及作业区的噪声级（除脉冲声外） ，不得超过表 10.1.3 所列限制值。10.1.4 设计中应采用低噪声生产工艺和设备。当达不到噪声限制值时，应分别采取隔声、吸声、消声、隔振、阻尼、或综合控制措施。10.1.5 对于某些高噪声的车间或作业区，当降噪设计尚不能有效控制噪声时，可适当采用个人防护用品，或适当缩短工作时间。10.2 车间工艺设计10.2.1 高噪声设备宜集中布置。高噪声工段与低噪声工段宜分开布置。10.2.2 工艺设计中应采用行之有效的低噪声新工艺、新技术、新材料、新设备。宜以焊代铆，以液压代气动，以机械成型代手工冷作成型。10.2.3 对高噪声设备的选用，宜同时采用噪声控制装置，并考虑其安装和维修所需的空间。10.2.4 有效强振动的设备，不宜布置在楼板上或钢制平台上。10.2.5 在物料输送中，宜采用噪声低的运输设施，并应减少物料落差，避免直接撞击。10.2.6 对产生高噪声的生产过程和设备，宜采用操作机械化、运行自动化，采取密闭隔声措施或远距离生产控制。10.2.7 动力站吸放气口均采取消声措施。10.2.8 管道设计应遵守下列规定：10.2.8.1 合理选择输送介质在管道内的流速，并减小流体压力突变；10.2.8.2 管道与强烈振动的设备连接时，应采用柔体连接。要求严格时，管道还需采用弹性支架。10.3 噪声控制10.3.1 对能够限制在局部空间内的噪声，应采取隔声措施。10.3.2 隔声设计应采取下列措施：10.3.2.1 对分散布置的高噪声设备，宜采用隔声罩。10.3.2.2 对集中布置的高噪声设备，宜采用隔声间。10.3.2.3 对难以采用隔声罩或隔声间的某些高噪声设备，宜在声源附近或受声处设置隔声屏障。其设计降躁量可在 1020dB(A)范围内选取。10.3.2.4 显象管玻壳厂成型热加工工序，各类站房、水泵房，各类高噪声试验室等一些不需要人员始终在设备旁操作的高噪声车间和站房，应设置隔声的控制室、观察室或休息室。其设计降噪量可在2050dB （A）范围内选择。10.3.2.5 对传播噪声的管道应作阻尼、隔声处理，或设置在地下。10.3.3 混响声较强的车间、站房需要进行噪声控制时，当不宜采取隔声、消声措施或采取措施仍不能达到标准时，可采取吸声措施。降低以直达声为主的噪声，不宜采用以吸声处理为主要手段。10.3.4 降低室内混响声，应按下列原则进行吸声设计：10.3.4.1 对声源较密、体形扁平的厂房，作吸声顶棚或悬挂空间吸声体。10.3.4.2 对长、宽、高尺度相差不大的房间，宜对顶棚、倩面作吸声处理。10.3.4.3 对显象管破壳厂屏锥压机等厂房局部区域的声源，可在声源所在区域的顶棚、墙面作吸声处理，或悬挂空间吸声体。10.3.5 当室内采用空间吸声板吸声时，吸声板的面积宜取房间顶棚面积的 40左右，以层高较高、墙面较大的房间宜取室内总面积的15左右。空间吸声板宜接近声源布置。10.3.6 降低风机、空气压缩机、发动机等设备传播的空气动力性噪声，应在进排气管路上采取消声措施。10.3.7 消声器和管道内气流速度的选择，应符合下列要求：主管道内                             10m/s消声器内                             10m/s鼓风机、压缩机进排气消声器内         30m/s内燃机进排气消声器内                 10m/s对于空调系统，从主管道到使用房间的气流速度应逐步降低。10.3.8 降低空气动力性噪声，应按下列原则进行消声设计：10.3.8.1 降低宽频带稳态气流噪声（如风机进、排风噪声） ，应采用阻性或阻抗符合消声器。10.3.8.2 降低中、低频为主的脉动气流噪声在（如空气压缩机吸声气噪声）应采用抗性或以抗性为主的阻抗复合消声器或消声坑。10.3.8.3 降低高温、高压、高速、潮湿条件下的气流噪声，或气流管道内不宜采用多孔吸声材料时，宜采用微穿孔板消声器。10.3.8.4 降低高压、高速排气放空噪声，应采用小孔喷注消声器、节流减压消声器或两者复合的消声器。10.3.9 对某些车间、站房、试验室，当采用单一隔声、吸声、消声措施不能满足噪声标准要求时，应采取综合控制措施。11 振动防治11.1   一般规定11.1.1  电子工业工厂设计应主要对下列设备和工具进行振动控制：11.1.1.1   锻锤、造型机、抛砂机和压力机等生产设备；11.1.1.2   空气压缩机、冷冻机、气体压缩机、鼓风机、引风机、通风机、水泵、柴油发电机、锅炉房中的碎煤机及振动筛等动力机械设备；11.1.1.3   风动、电动等工具。11.1.2   电子工业工厂设计中，各种振源对人的振动影响可分为全省振动及局部振动，应区别两种不同标准分别进行控制。11.1.3  对于全省振动影响，设计采用值应不超过疲劳界限值（见表11.1.311.1.22）.当工厂车间内设置几台冲击振动的动力机器时，振动对操作人员的影响，可不考虑叠加。11.1.4  对于受振的局部振动，设计采用值应不超过忍耐极限值（见表 11.1.4） 。