磁控溅射镀膜技术的 基本概念与应用 学习班讲稿 报告人。范垂祯 2004年 6月 低温实验 一 引言 荷能粒子 例如氩离子轰击固体表 面。在磁控溅射镀膜中。范 垂 祯 2004年 6月低 温 实 验 一 引 言 荷 能 粒 子 例 如 氩 离 子 轰 击 固 体 表面。
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1、磁控溅射镀膜技术的 基本概念与应用 学习班讲稿 报告人：范垂祯 2004年 6月 低温实验 一 引言 荷能粒子 例如氩离子轰击固体表 面，引起表面各种粒子，如原子分子 或团束从该物体表面逸出的现象称 溅 射 。在磁控溅射镀膜中，通常是应用。
2、磁控溅射镀膜技术 1 概述2 溅射镀膜的基本原理3 磁控溅射目录 CONTENT 3 一概述1.定 义 溅 射 镀 膜 是 利 用 气 体 放 电 产 生 的 正 离 子 在 电 场 作 用 下 高 速 轰 击 阴 极靶 ， 使 靶 材 中。
3、磁 控 溅 射 镀 膜 技 术 的基 本 概 念 与 应 用 学 习 班 讲 稿 报 告 人 ： 范 垂 祯 2004年 6月低 温 实 验 一 引 言 荷 能 粒 子 例 如 氩 离 子 轰 击 固 体 表面 ， 引 起 表 面 各 种。