在origin中自定义公式对数据进行非线性拟合

在origin中自定义公式对数据进行非线性拟合概述在Origin 中，所有的拟合公式都组织在Fitti ng Fu nction Orga ni zer（拟合公式管理器）中。除了内建的函数，你也可以使用自己定义的方程。一旦这个方程被定义，它就可以在NLFit （非线性拟合）对话框中调用。下面我们就来说如何使用自定义方程。Origin 版本要求：Origin 8.0 SR6 以上学习要求：自定义函数范例：我们来学习如何定义下面的拟合函数：下面是一张光刻机刻的图案一一线阵列，光刻胶使用的是SCR500F面我们来研究激光功率与加工线宽的影响，下面是从图中读的数据:激光功率/mW6.116.446.797.177.578.008.478.989.53线宽/nm121228255290317341367378413理论分析是激光功率x与线宽y关系如下:下面我们用上面函数来拟合表中的数据。定义函数的步骤：1.在菜单栏选择open,导入数据，并且选择数据；如下图LA金s.?fI 刍1f a1f.1?DD 帥Ml1土 e9-1.CZ3.S0 - -m.一 rPr 口 m !D CZ5&OII1ikikkil34 T* V lBonkl 禺 甸f kJ 筈11111111111111111111E lD 0miiX-J-J=5M sit11士5LU-J12i*Va 匕9IS1 4|HD-!l4楚4:_厶7逼龟4厨4z|-fewaana_ysis 言 ngnon=nea7open diaog -n-H-9WJHta 口-uwnEFPg-am.aNMTtMuhnnLED FrldefL- -? L S3;uf Ha O0T3 SJX3 - HEM邑一最-mlu Tw*l-Qro叩S-Ei叩画雪軋虞亂-Ewra.waorigin basicfunaions - new:yn-HuA FEFd口gnaJ 7nHnBBT Elptlib-c冒 pyLcadsuts=s-1ZLFia Ef IIII111111w苗Vag!Ju-hj s2 邑亘j嘗=lrrs J卩?rirti.pfFf 7303l!Muar civ 童-*盂JmvaiL!R1U1C!总於厂1ALaM-UHIdF NLFit (Gjlks-)弹出对话框，点击 new functions，出现下面对话框，并对红框出修改:修改后如下，为了检查输入函数的正确性，需要对函数进行编译，点击:在这一步中，参数命名(parameter names)比较重要, 面编译不通过。定要和公式中的对应，不然下出现下面的界面，表示编译成功，函数可以用。下一步要记得保存，点击save，然后点击ok.回到拟合窗口界面，如下图:点击data selectionparameter，现在需要对参量进行初始化，即随便给函数中的参数一个初值，例如本例子中的wO,xO NLFrt (bfewFunctian llAer)-.L口I皿* Th和(J-K.ntD选择某一段数据拟合从报告中看，我们可以看出拟合得很好。但是往往有些时候， 我们需要只对一组数据的前半段，或者后半段，或者中间，的数据 进行拟合。例如本例中，第一个数据与后八个，明显有点不一致，有可能第一个数据不满足经验公式，后八个才满足，那样我们只需要对后八个数据进行拟合就行了。事实就是这样，在激光照到光刻胶中时，光刻胶曝光后形成的线宽与激光功率，曝光时间等都有关系，当激光功率很低时，曝光时间有限，光刻胶并不能完全曝光发生聚合反应， 这样低功率曝光过程中形成的交联网密度较低，在后处理过程发生物理收缩过程，这样产生的线宽就不满足经验公式了。F面我们就对后八个数据进行拟合，保留第一组数据:在以上基础上，点击 an alysis-fitt ing-non li near-ope n dialog,女口下左图:点击data selectio n，点击ran gel前面的，如下右图：就完成了后八组数据的选择，然后点击就得到了后八组数据的拟合结果选中第三根线，点击红框，选择scatter，然后ok选中第三根线，点击红框，选择scatter，然后ok选中第三根线，点击红框，选择scatter，然后okA 4西呵轴 SI上上o- A _L jjl - DB Lrun fe =a o=k IF面我们把第一组数据也要画出来，在这幅图中显示出来：h ： rt-Y- FI .Curi HI D ,*1 rJdul.- |l .T.nFlC- *.I I 门机+:d了n/rT-l： 1 口：工列 曲 drV f jriiphIwa ru护”Jcak FQirrun UfWirirm jjrip选中第三根线，点击红框，选择scatter，然后okT -ju i： ; - |ot B J U耳 at A -乍# 藩亞仝.二.“ “-11_ =nt&B aL-m1.a B 0 ffld 帀El 叶 住讨 Q*uIwk 宅!uh 蚱dow 出Ip1 也硏.juhirnub* F4dir3点击红框，导入原始数据（txt,dat文件），如下图nFm . - 口 ,7gn jnlMTFIW - .cldffV - FmplD -亦序“1風丹 H/Wfi FiiFi-nh4nfl 般哄匸 IDfLZ飢MW j:EkL 剧 flcckj rjj r: ILLlBwilM双击图中的蓝线，出现对话框选中第三根线，点击红框，选择scatter，然后okft Pkt D bi li曲口“血百刊川1町7曲 Tmti kHIH Zl 丄业 IQ)选中第一根线，删除，然后ok，就出现下面的图imdepsndigni VariableBQt:!山 _器2 UCHts吕LL畫 N选中第三根线，点击红框，选择scatter，然后ok选中第三根线，点击红框，选择scatter，然后ok如果你想让图中的红线向两端延伸的长点，只需要在下面的对话框中设置一下选中第三根线，点击红框，选择scatter，然后ok选中第三根线，点击红框，选择scatter，然后ok点击fitted curves，在红框中选中min=5,max=10custom，去掉复选框的勾选，设为选中第三根线，点击红框，选择scatter，然后ok 10m 亠口 1IU-Llo-FuunILlL盏2选中第三根线，点击红框，选择scatter，然后ok选中第三根线，点击红框，选择scatter，然后ok注意：以上“选择某一段数据拟合”过程完全是为了那些需要，有些人需要这样的图：对后八个数据进行拟合， 保留第一组数据，例如我们的第一组数据虽然不满足方程，但是它和后几组数据对比，说明一个不能忽略的物理过程：光刻胶在后处理过程发生了收缩过程。如果你的实验中第一组数据不符合方程，又没有什么用，你可以去除这个数据，做一个8个数据的txt或者dat文档，不用像我这样一定要用这9个数据。