pecvd质量检验员培训

1会计学pecvd质量检验员培训质量检验员培训 由于在扩散过程中，硅片的所有表面（包括边缘）都将不可避免地扩散上磷。PN结的正面所收集到的光生电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到PN结的背面，而造成短路，所以要通过刻蚀去除边缘的扩散层。反应室的气体被等离子体分离成可化学反应的元素 2、这些元素扩散并吸附扩散并吸附在硅片表面 3、这些元素在硅表面上进行表面扩散表面扩散，直到发生反应反应 4、反应生成物解吸解吸，离开硅片并排放 ocscpmpmVIVIFF inocscinmPVIFFPPEff 252236ClO2P3O4POClPSiOSiOP4552252 O2HSiF4HFSiO242SiFH2HFSiF624O2HSiFH6HFSiO2622 cos21cos2212221212221rrrrrrrrRnnnnr001sisinnnnr002nd04202020)(sisinnnnnnRsinnn0 sinnn035. 29 . 34 . 1 ocscpmpmVIVIFF inocscinmPVIFFPPEff