分子泵说明书2.2

分子泵安全使用说明在安装与使用分子泵前，泵的安装与操作人员都应仔细阅读本使用说明卩，并按照说明书屮规定的 条款安装与操作，以免造成人员伤害与设备损坏。安全警示说明危险：农示为了防止危及人少安全，需要引起高度注意II必须遵守的事项： 警告：衣示为了防止损伤或损坏泵，岛耍引起屮度注意II必须遵守的第项； 小心：表示为J使泵的使用效果最佳，碍要引起轻度注意IL需耍遵守的项。保修说明凡购买我公司生产的分子泵，从发货之口起，用户凭保修单可保修一年。凡属卜列情况Z的，不予保修：1 .用户未经授权对产品私口拆卸；2. 用户保管或使用不当（如撞击、强放射性环境、强磁场环境等）；3. 属J用户具他原因造成的损坏。免责声明当用户严格遵曲本说明书中的规定安装和使用时，KYKY分子泵足安全、方便和仃效的。泵的操作人员必须仔细阅读并严格遵守本说明W中的条款。宙J：用户没仃仔细阅读说明队或未按 照使用说明书的要求操作而造成的任何伤害和损失，KYKY将不负担任何责任。本说明书仅作为信息使用，如遇改版，恕不另行通知.如本说明书与实际产品有所出入，本公司拥有 最终解释权。由本说明书引起、产生和包含的知识产权均属KYKY所有.1 概述1.1分类与特点本说明书所列分子泵,按口径不同,从lOOnun到400mm （对应抽速从llOVs到3500Vs）共5个系 列，20种泵。分子泵一般白两种结构形式，一种是由动静叶列组成的涡轮分子泵，一种是由涡轮级加牵引级构成 的复介型分了泵。复介型分子泵的特点是使得分子泵高压强区的抽速仃所提高，另一特点是使得出II耐 压得到提高，因此可以适当减小前级泵的规格.町使用户节省投资。根据分子泵轴承润滑方式不同.分 子泵仃汕润滑.脂润滑两种。一般情况K汕润滑分子泵盂竖直安装（F-100/110. F-100/150 uf以水平安 装），脂润滑分子泵可以任意角度安装。12 主要用途及应用领域分子泵是用J：对-个封闭的真空腔在分子流及接近分子流区域内抽真空，不使用冷阱或描板，也可 以得到一个较高的其空。它广泛的应用表面分析.加速器技术、等离子体技术、电冀空器件的制造以 及真空技术的齐个领域。1.3型号组成及含意说明:I特征代兮2额定抽速（l/s） 高真空接口口径特征代号说明：特征代巧1：,衷示涡轮分子3FF” ,表示复合分子泵。特征代号2： 作”，表示可以采用风冷的泵，区别丁水冷; ,衷示耐腐蚀泵；P等其他字母，表示产品或性能的改进相关性能参见各系列的技术说明。1.4 工作条件分子泵只在分子流区域（涡轮泵、复介泵）或接近r分子流区域（复介泵）冇抽速（涡轮分子泵连 续工作入口压强要求小F等于IPa,复合分子泵连续工作入I压强要求小于等于5Pa）,且要求前级排气 I I压强保持在lOPa以因此必须配盘介理的前级泵，并使用与Z相匹配的KYKY分了泵控制器。北京中科科仪技术发展右限贲任公诃（KYKY）北京中科科仪技术发展右限贲任公诃（KYKY）图1-1分子泵的应用（克空系统原理图）北京中科科仪技术发展右限贲任公诃（KYKY）1.5 装箱单在打开包装箱后，请仔细核对箱内分了泵及其附件表M 装箱单序号名称单位数备注1分子泵台12防护网个13使用说明书份14检验合格证份15保修卡份16CF铜垫圈个2CF接口专用7保护气体接1 1 KF16 盲板、卡箍套1耐腐蚀泵专用8分子泵润滑油瓶1油润滑泵专用（不含100系列）90圈支架（包括0圈）套1LF接口专用10卡钳（LF专用）个3100系列、160系列、200系列 中LF接口分子泵6250系列9400系列1.6 配件选购配件是指安装分子泵时，在需耍的情况卜盂由用户另外购买的配件: 表1-2选购配件衷序号名称单位规格数量备注1*分子泵泵体加热器套1100系列160系列200系列2螺栓、螺 母、垫圈套M8X5516100系列中CF100高真空接口160系列中CF150高真空接口M8 X 6024200系列中CF200高真空接1丨“在需耍的惜况下是指：耍获得超高及以上真空.泵壳必须烘烤的惜况等。北京中科科仪技术发展右限贞任公诃（KYKY）2 技术说明2.1100系列分子泵技术说明100系列夏介分J泉及涡轮分泵包括FFJ00/110、F-100/110. F-100/150三种。flit图2FFJ00110姐狗勾图 2-2F-100110 必術I 羽图2-3F40Q150姐狗勾北京中科科仪技术发展右隔贞任公诃（KYKY）2 技术说明2.1100系列分子泵技术说明北京中科科仪技术发展右隔贞任公诃（KYKY）2 技术说明2.1100系列分子泵技术说明表2-1100系列分子泵技术参数衣型号FF-100/110F-100/110F-100/150抽气速率（l/s）110110150压缩比N： 108： He： 5X102极限压强（Pa）W6Xl()f (DN100 LF)W6X10-Q； W6Xl()e(DN100 CF)排气口法兰KF25 (DN25 ISOKF)进气口法兰LF100(DN100 ISO-K). CF100轴承陶瓷轴承普通轴承额定转速（rpm）42300心动时间（min）2振动值（pn）W0.1建议前级泵（l/s）2充油& (ml)脂润滑2X6安装方式任意角度垂直或水平冷却方式环境温度5329时，风冷：540*C时，水冷：冷却水温度CC）W25泵体烘烤温度（C）W100环境温度CC）540Sft (kg)68此极限为丽级泵采用二级旋片泵加扩散泵或涡轮分子泵得出：此极限为水冷条件卜的测试结果。北京中科科仪技术发展右隔贞任公诃（KYKY）2.2160系列复合分子泵技术说明160 系列复合分了泵包括 FF-16Q500F. FF-16Q500G. FF-160620. FF46Q62OF. FF-160620N. FF-160620C. FF-160/700 七种亲。表2-2160系列复合分子泵技术参数表型号FF-160/500FFF-160/500GFF-160/620FFT60/620FFFT60/620NFF-160/620CFF-160/700抽气速率（1/S）500600700压缩比N:： 109： H:： 6X103N:： 10 H： 6X10*N： 109： H:： 6X106极限压强（Pa）W6Xl()f (DN160 LF)W6Xl(f (DN160 LF)W6 X 10： W6 X 10沁(DN160 CF)W6X101 (DN160 CF)额定转速（rpm）240002700036000启动时间（min）56/WL LHSO112厂丫 ？ nr北京中科科仪技术发展右限贲任公诃（KYKY）图2-4FF-160/500F安装简图图 2-5 FF-160/500G、FF-160/620、FF-160/620C安装简图北京中科科仪技术发展右限贲任公诃（KYKY）北京中科科仪技术发展右限贲任公诃（KYKY）丿北京中科科仪技术发展右限贲任公诃（KYKY）北京中科科仪技术发展右限贲任公诃（KYKY）图2-6FF-160/620N安装简图图2-7FF-160 620F安装简图图2-8FF-160/700安装简图北京中科科仪技术发展右限贲任公诃（KYKY）北京中科科仪技术发展右限贲任公诃（KYKY）2.3200系列复合分子泵技术说明200 系列复介分 了亲包括：FF-200/1200. FF-200/1200N. FF-200/1200C、FF-2OO/13OO 四种泵。表2-3200系列复合分子泵技术参数表型号FF-200/1200FF-200/1200FF-200/1200CFF-200/1300抽气速率(1/s)12001300压缩比N： 10；圧：6X103极限压强(Pa)DN200 LFW6Xlfwixiof6X10DN200 CFC6X107WixuTW6X10力；W6X10沁额定转速(rpm)210002700024000启动时间(min)6轴承普通轴承陶瓷轴承(耐腐蚀泵需通保护气体)排气口法兰KF10(DN40 IS0-KF)进气II法兰LF200 (DN200 ISXK)、CF200振动值(pm)W0. 1建议前级泵(1/s)15冷却水温度(C)W25泵体烘烤温度(C)W100坏境隘度CC)5-40充汕量(ml)150脂润滑安装方式竖 n5任意角度重量(kg)3929 此极限为询级泵采用二级旋片泵加扩散泵或涡轮分子泵得出: 此极限为水冷条件下的测试结果： 动挣叶片做耐腐辿处理、润淸油采用耐腐蚀润淸油。北京中科科仪技术发展有限贵任公司(KYKY)M4 1U8X20T162 =血|?=253I F 700240 200188图 2-9 FF-20Q1200. FF-2001200C 轴罚图图 2-10 FF-2001200N 姓獨圈图2 J1 FUOGBOO安齣图北京中科科仪技术发展右限贵任公司(KYKY)北京中科科仪技术发展右限贵任公司(KYKY)2.4250系列分子泵技术说明250 系列分子泵包括 F250/1500、F-250/1500N. FF-250/1600. FF-250/1800 种。表24250系列分子泵技术参数表型号F-250/1500F-250/1500NFF-250/1600FF-25O/18OO0抽气速率(1/s)150016001800压缩比N,： 108： H:： 5X103极限压强(Pa)W6Xl()fW1X10额定转速(rpm)2100027000启动时间(min)3轴承普通轴承陶瓷轴承(耐腐蚀泵需通保护气体)排气口法兰KF50(DN50 ISO-KF)KF40(DN40 IS0-KF)进气口法兰LF250(DN250 IS0-K)振动值(迥)W0. 1建议前级泵15冷却水温度(C)W25泵体烘烤温度W100环境温度CC)5-40充油(ml)150脂润滑安装方式竖直5任意角度重量(kg)604742充气口: KF10(DN10 IS0-KF)放气口91。动静叶片做耐腐蚀处理、润滑油采用耐腐蚀润滑油。北京中科科仪技术发展右限贵任公司(KYKY)图 2-13F-25CY1500N 必術图a2SHHT250291irizoaJT北京中科科仪技术发展右限贲任公司（KYKY）北京中科科仪技术发展右限贲任公司（KYKY）图 2-14F-2501600 必捌羽图 2-15FF-25(yi800 必!和2.5400系列涡轮分子泵技术说明400系列涡轮分子泵包括F-400/3500. F-400/3500N涡轮分子泵两种。北京中科科仪技术发展右限贲任公司（KYKY）t图2-17 F-400/3500N安装简图衣2-5400系列涡轮分了泵技术参数衣型号F-400/3500、 F-1OO/35OON0抽气速率（l/s）3500振动值（Rm）W0. 5压缩比N=： 108： H:： 5X10-建议前级泵（1/s）30极限压强（Pa）W6Xl()f冷却水温度CC）W25排气口法兰LF100(DN100 ISO-K)泵体烘烤温度（C ）W80进气法兰LF100(DN400 ISO-K)环境温度（C）5-40轴承陶瓷轴承（耐腐蚀泵需通保护气体）充油ft (ml)150启动时间（min）40h1lM,分子泵和前级泵可以同时启动，此时分子泵相当F个聊流阀，可有效防止前 级泵油上返。肖Si/VW40h“时，被抽容积过人，应先心动询级泉，等系统爪强PW200Pa或PetSl5VX 100Pa时，再启动分子泵。5.2.2启动冷却系统水冷泵应接通冷却水（水压不足，分了泵控制器门动报警），风冷泵心动风扇；5.2.3通保护气体根据被抽腐蚀气体浓度确定保护气体流杲，一般12-20sccm,但在抽强腐蚀性气体时，应适肖加人 流量.5.2.4启动小心：确认前级泵工作正常；分子泵每次心动时，按卜分子泵控制器面板上的“启动（Stan）M按钮即可。对丁脂润滑型分子泵,初次使川或长期闲置（般3个月以上）重新使用时,建议用户执行以下 操作：1. 启动分子泵，待控制器显示分子泵达到额定转速时，按卜“停止（Stop）”按钮。当分子泵完 全停机后，等待10分钟左右，重新启动分子泵。2. 执行以上启停操作2到3次，以后即可每次正常启动分子泵：详细操作请参看“分子泵控制器使用说明书”。5.2.5 加速图5-1泵体加热恋接II正帘的分子泵加速时间应小等技术参数农屮所列加速时间，如果轴承磨损或系统仃漏，加速时 间将延长。用户在使用中应注意观察，发现异常及时停泵，并由有经验的技术人员件找异常原因。5.3 烘烤一般情况卜，设计介理的真空系统，要获得lOFa以卜的真空, 不必烘烤：获得105Pa的其空，只盂烘烤除泉以外空系统的它部件; 但对获得超高真空，则包括分子泵在内的真空系统所冇部件需耍同 时充分烘烤；同时电离典空规管必须充分除气，以保证测吊数据的准 确性。在空气湿度较人地区，获W lOPa ft空，其空系统和分子泵仃时也需要烘烤。烘烤应在分子泵运转情况卜进彳心烘烤温度见技术参数表。烘烤时间根据系统及泵的河染程度和预 期达到的极限压强确定。北京中科科仪技术发展右限贞任公uJ（KYKY）危险：烘烤时，加热器和泵壳温度接近100-c,身体任何部分直接接触都将造成伤害。 警告：烘烤温度应严格控制，过高会造成分子泵涡轮叶片变形而损坏。5.4 运行 警告：转子是高速运转的部件，且与泵壳的间隙很小，因此，分子泵在运行中泵体外部过大的撞击或振动以及被抽空间突然大气量的冲击、外界坚硬物体掉入泵中都将导致泵损坏。如果用户有特殊要求，请咨询生产厂家。5.5 停机危险：当时用分子泵抽除腐蚀性气体时，关泵前，必须从保护气体接口充入干燥氮气或惰性气体 至少一小时，流量为12-2（）sccm按卜分子泵控制器面板上的“停止（Stop）”键，分子泵逐渐停止转动。详细说明请参见控制器使用 说明书。关闭前级泵：关闭冷却水或风扇；警告：a）用“停止（stop）”键停泵，而不要切断控制器开关！ “停止（stop）”键是利用控制器的“刹车” 功能使泵逐渐停转，突然断电将降低轴承寿命.待控制器上的频率指示灯闪烁时，再切断控制 器。b）分子泵停转后，应该立即关闭冷却水，以免在泵内形成冷凝水. 小心：按下“停止（stop）”键后，在泵停稳之前，对泵充气能减轻前级泵油上返，但泵腔压升太快将对轴系带来附加压力，降低轴承寿命.5.6 停机后充气对分子泵停机厉再进行充气，应使泵内压强逐步达到人气压。真空系统停止工作时，-般应将分子泵充气到人气状态，以免前级对分子泵及真空室造成污染。KYKY 所生产的分子泵，除特殊订制，或特殊型号，一般不带有允气接II。充气方式一般有以卜三种情况：a）耐腐泵带仃保护气体接门，停机后可延时关闭此接II,使分子泵逐渐升压至人气状态。若此时同时 使用真空室上面的允气阀，注意应延时一段时间开启充气阀，以使得泵腔斥力窩J嗔空室床力，这 样可阻止真空室内的腐蚀性气体、固体颗粒物等进入泵腔。b）利用真空室上的充气阀。分子泵停机后,打开充气阀（分子泵与腔室间若有阀门应在开启状态）, 注意应尽最放慢充气速度，以免真空室内的固体颗粒物进入泵腔。c）在前级泵与分子泵之间设胃代气阀。金气汴意应放慢金气速度，以免前级的汕蒸气及固体颗粒物进 入泵腔。警告：泵腔压力不能高于一个大气压.小心；泵停止运行后，如果长期处于真空状态，轴承处的油蒸汽会反扩散到泵入口侧，污染其高 真空端及真空腔体.允氮气或干燥空气町明显缩短卜次抽极限时间。通过在泵与真空腔之间设置阀门，使真空室长时间保持真空状态，而不耍使分子泵长时间保持真空 状态。6 特殊环境下使用泵6.1 隔振如果被抽系统振动较人，应使用隔振器，以减少振动对分子泵造成的损坏。6.2 强磁场屏蔽泵在强磁场中运行时，旋转的转子将产生涡电流而发热，消弱铝材料的强度。因此，要求加在分子 泵上的径向和轴向磁场强度均不得人J-3mT （3OGs）。在人J-3mT的坏境中使用泵应便用导磁材料屏蔽。6.3 电磁干扰分子泵及比控制器在运行中将对环境产牛电磁场，但电磁强度符介国际标准。在特殊应用场介（如 医疗仪器等），用户可以向生产厂家索取技术证明。6.4 强放射性限制人女数材料在强放射性环境卜，都将改变其性能，尤其是有机材料（如泵油、密封圈）及半导体组 件。为防止泵的意外损坏，分子泵运行环境中放射性强度应小于105iad.7 日常维护与维修 危险：泵在通电状态下，泵体任何导体部分都可能带电，在对泵进行任何维护及维修工作之前， 必须首先切断控制器；警告：a）拆泵必须由经过培训的专业人员操作，严禁未经授权私自拆泵。b）分子泵经过精密的动平衡校验，拧松螺钉或增减垫片等任何操作都将导致严重的动不平衡。如发 生该类问题请将泵返回厂家，重新校验。7.1 更换润滑油7.1.1 100系列涡轮分子泵新泵初次运行1000小时后,即应更换润滑油;通常，经过初次换油后，正常运行的泵一年换油一次；更换润滑油方法：泵体上卜轴承处，齐冇一个注油孔和一个出油孔，将两个注油孔（位置偏上）和两个出油孔（位置偏F） 螺钉卸下,水平搁置泵,便注油孔朝上,用注射器将大约2X6ml的油分别注入两个油孔内,从另一侧 流出的油不得再用.将4个M5油孔专用螺钉拧好，用吸油纸吸净泵壳匕残余的油即完成润滑油更换。警告：安装油孔螺钉时，注意螺钉上的黑色O形密封圈应拧紧、压实，避免漏气.北京中科科仪技术发展右隔贵任公uj（KYKY）7丄2 口径大于等于160的泵新泵初次运行1000小时后,即应更换润滑油:常规运行中，分子泵一年内运行时间少J 4000小时的，一年更换一次；一年内运行时间多4000 小时的，每运行4000小时必须换油一次。如果泵经常烘烤或大负或耐腐泵,观察到润滑油混浊或明显变色，则需立即更换润滑油;更换润滑油的方法：1）松开泵底部紧固油池的固定螺钉，取卜油池，倒出油池内的废油；2）使用中性洗涤剂刷洗油池，注意要将杂质和污物清理干净，然后擦干（充分擦干，不能附冇水珠）;3）重新注汕方法与新泵注油方法相同，见4.3.7。警告：更换下来废弃的润滑油按当地法律法规处理.7.2 清洗泵如果排除真空系统漏气或真空腔体污染严巫答原因，在对泵长时间烘烤后仍不能恢复其真空性能， 则断定泵己被污染，必须对泵进行消洗。分子泵只能由KYKY公司或KYKY指定的维修中心专业人员拆泵和清洗。7.3 轴承更换介格的分子泵出厂前都经过专门仪器的整机动平衡校验，更换轴承后需要靂新校动平衡，因此只能 由KYKY公司或KYKY指定的维修屮心來完成。严禁用户未经授权私自拆泵。警告：更换下来的报废器件以及废弃清洗液按当地法律法规处理。7.4 从真空系统上拆泵当泵出现故障而必须从系统上将泵拆卜來时，应：确定泵处在停机状态，内外气压平衡：如果泵抽除的是腐蚀性气体，确认真空腔、泵体内、前级管道内腐蚀性气体已被充分冲洗干净，泵 内沉积物同样対人体仃害，必耍时，拆卸人员应戴防毎而几、戴于套。泵卸卜后，应尽快除去沉积物， 以防止沉积物与潮湿空气反应生成挥发物或对泵有腐蚀的酸、碱等。泵卸卜后，应工即用封闭的翊料袋包装起来。8 故障分析危险：抽过腐蚀性气体的泵，返回厂家维修前，清说明被抽气体种类，并填写真空设备和元件 污染申报表（附于说明书后，以保证维修人员安全.否则，KYKY有权拒绝提供维修服 务.泵不启动a）控制器故障，见控制器说明书；b）联接班缆不通，用巾表杳联接Hl缆：c）其它原因，请农询厂家。8.2 长时间启动仍达不到额定转速或停转a）其空系统泄漏，应检漏、堵漏；b）询级斥强j- lOPa,检査前级泵是否止常匚作或前级管道、前级密封是否漏气：c）润滑油污染或不足，停泵更换润滑油；d）轴承损坏，整机返冋生产厂家。&3 泵运行时产生大的振动和噪声a）润滑油污染或不足，停泵更换润滑油：b）泵工作在共振频率范田，改变装配位宣或联接尺寸，固定活动件或加减振胶垫；c）动半衡破坏，整机返回生产厂家；d）轴承损坏，整机返冋生产厂家。8.4 真空度低a）前级压强高J- lOPa,检査前级泵是否正常工作或前级管道、前级密封是否漏气：b）高真空漏，应检漏、堵漏；c）规管出气帚大，刈规管阴极除气或规管玻亞烘烤200C, 2小时。d）泵转速不够，输出频率谋差高J：额泄频率的10Hz（F400/3500、F-400/3500N为12Hz）,应检修控 制器；e）前级抽速不够，配置的前级泵仃效抽速太小或咅前级管道人细氏；f）泵汚染，应对泵进行清洗。8.5其它故障如遇具他问题或需耍提供技术支持，请致电生产厂家。北京中科科仪技术发展何限贞任公uj（KYKY）附录图样索引图分子泵的应用（真空系统廉理图）图&2 FF-100110迥獨图图&3 F-KXH10堤胎图图8-3F-100150逾侖图图8-4FF-16O/5OOF安装简图图 8-5 FF-160/500G. FF-160/620. FF-160/620C 安装简图图8-6FF-160/620N安装简图图8-7FF-160/620F安装简图图8-8 FF-160/700安装简图图 8-9 FF-2001200. FF-2001200C 安齣图图 8-10FF-2001200N图 8-11FF-20Q1300 观踽图 8-12F-2501500安齣图图 8-13F-25Q1500N 必郦图 8-14FF-25Q1600 安齣图图 8-1517-2501800 安撕斶图 8-16F-400/3500安装简图图 8-17F-400/3500N安装简图北京中科科仪技术发展有限贞任公J（KYKY）北京中科科仪技术发展何限贞任公uj（KYKY）