无尘室相关标准课件

单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,最新.,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,无尘室相关标准,最新.,1,无尘室相关标准,无尘室原理,无尘室衡量标准,无尘室验收标准,Contents,最新.,2,无尘室原理Contents最新.2,无尘室原理,无尘室概念,:,以工业铝材,(,或不锈钢方通、铁方通喷塑,),作为框架,采用风机滤网机组,FFU,送风,四周用防静电垂帘,(,或钢化玻璃,),内部净化级别可达,100,100K,级,适用局部净化级别要求高的区域。,对微粒控制、温度、湿度、照明、噪声、静电、微振的多功能综合整体,。,最新.,3,无尘室原理无尘室概念:最新.3,无尘室原理,依据送风方式的不同,：,可分为,乱流式,(,非均匀流型,),和,单一方向式,(,均匀流型,),。,Class 1,100,均采用单向流送风方式，即在同一截面的任一点，气流的方向和速度均保持一致，将室内的尘埃粒子以最快的速度带走。靠送风气活塞般的挤压作用。新风量不小于总风量的,2%4%,。,Class 1000,100000,采用非单向流送风方式，以不均匀的速度呈不平行流动，伴有回流或涡流，主要靠气流不断稀释室内空气，将室内的污染逐渐排出，以实现净化。靠气流扩散来稀释。新风量不小于总风量的,10%30%,。,测量单位,：,微米,(micrometer),1um=1m,的百万分之一。,最新.,4,无尘室原理依据送风方式的不同：最新.4,无尘室衡量标准,洁净度,参照,STD-209E,最新.,5,无尘室衡量标准洁净度参照 STD-209E最新.5,无尘室衡量标准,Air Change&HEPA,遮蔽率,Air change:FFU,的表面积*风速*,FFU,数量,/Clean Room,体积,HEPA,遮蔽率：,FFU,的表面积*,FFU,数量,/Clean Room,面积,最新.,6,无尘室衡量标准Air Change&HEPA 遮蔽率Ai,无尘室衡量标准,风速、温湿度,气流速度为：,0.30.5m/s(60100ft/min),。,一般之温度控制范围：,T=(212),一般之湿度控制范围：,(455)RH,最新.,7,无尘室衡量标准风速、温湿度最新.7,无尘室衡量标准,压差,在两个无尘室间合理的设计压力差应为,10Pa,，而在无尘室和未确认洁净等级的区域应保持有,15Pa,的压力差。当产生这些压力差有实际困难时，维持,5Pa,的最小压力差是可以接受的。,最新.,8,无尘室衡量标准压差最新.8,无尘室验收标准,用,Particle Counter(Met One,）测空气中之粒子总数及大小,(,离作业面为,30,公分,),。,依据,ISO14644-1,可分为三种操作状态：完工状态,-,无制程设备、原料或工作人员。完工后停止生产状态,-,室内有制程设备，不含工作人员。运转状态,-,三者皆在工作状态。,最新.,9,无尘室验收标准用Particle Counter(Met,无尘室验收标准,取样次数要求,单一方向气流的测试数量,方法一、气流的流入体积,/25,方法二、气流的流入体积,/,洁净度等级的平方根,选数字小者,非单一方向气流的测试数量,方法：气流的流入体积,/,洁净度等级的平方根,例如：计算,iMac,所使用的洁净室的测试数量,(1.6*3+2.3*2.4+2.7*7.01+1.3*2.44+1.66*3.2)*2.2m/=3,次,例如：计算,M97,所使用的洁净室的测试数量,方法一、,(16*1.9*2.1)m/25=3,次,方法二、,(16*1.9*2.1)m/=7,次,最新.,10,无尘室验收标准取样次数要求方法一、气流的流入体积/25选数字,无尘室验收标准,洁净度取样要求,取样需两点以上,测试点要平均分布,各测试点须一个以上的取样数,全体需,5,个以上的取样数,各测试点的取样数不一样也可以,最新.,11,无尘室验收标准洁净度取样要求最新.11,无尘室验收标准,洁净度判断标准,两个条件需同时满足,：,在每个测试点的粒子浓度平均值应在,CLASS,上限值以下,这些平均值的平均在,95%,的信赖界限的上限值在,CLASS,上限值以下,最新.,12,无尘室验收标准洁净度判断标准最新.12,无尘室验收标准,实例说明,在,Ring Room,空态下，共取,3,个点，每个点测量,0.5um,的粒子，测量记录如下：,第一点,8,、,0,第二点,20,、,8,第三点,11,、,23,、,14,判断依据一,、,在各测试点的粒子浓度平均值应在,CLASS,上限值以下,第一点的平均值 （,8+0)/2=4,第二点的平均值 （,20+8)/2=14,第三点的平均值,（,11,+23+14)/3=16,小结：满足,最新.,13,无尘室验收标准最新.13,无尘室验收标准,判断依据二、,这些平均值的平均在,95%,的信赖界限的上限值在,CLASS,上限值以下,上限值,UCL=M+SE*UCL,系数,M,：平均值的平均,M=(4+14+16)/3=11.3,SE,：标准误差,SE=SD/,SD,：标准偏差,L,：测试点数量,SD=,=6.429,SE=6.429/,=3.71,最新.,14,无尘室验收标准 判断依据二、最新.14,无尘室验收标准,UCL,系数：,95%,信赖界限的,UCL,系数,上限值,UCL=M+SE*UCL,系数,=11.3+3.71*2.9=22.1,总结：满足,最新.,15,无尘室验收标准UCL系数：95%信赖界限的UCL系数最新.,无尘室验收标准,其余要求,注：,1.PVC,窗帘与地面高度为,1520cm,，且应该在立柱内侧。,2.,配电箱是三相电，电压,380V,。,最新.,16,无尘室验收标准其余要求注：1.PVC窗帘与地面高度为152,图片欣赏,FFU,风淋室,最新.,17,图片欣赏FFU风淋室最新.17,1.2,米方通,立柱,最新.,18,1.2米方通立柱最新.18,托框,初效,最新.,19,托框初效最新.19,高效,自己找找看？,1,、盲板？,2,、,PVC,帘？,3,、垂帘？,最新.,20,高效自己找找看？最新.20,抢答环节,1,、,PVC,帘为什么要围在内侧？,2,、初效过滤器是保护初效的，换成中效的可以不？,3,、初效和高效应该多久更换一次呢？,4、影响无尘室产品良率的因素有哪些？,最新.,21,抢答环节1、PVC帘为什么要围在内侧？最新.21,Over!Thanks,！,最新.,22,Over!Thanks！最新.22,