工序能力及工序能力指数95137

单击以编辑,母版标题样式,单击以编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,工序能力及工序能力指数的计算,1.,基本要点,2.,工序能力的定量表征,1.,基本要点,(1),只有工序能力强的工艺才可能生产出质量好、可靠性水平高的产品。,1.,基本要点,(1),只有工序能力强的工艺才可能生产出质量好、可靠性水平高的产品。,(2),工序能力指数是一种表示工艺水平高低的方便方法，其实质作用是反映,工艺成品率,的高低。,1.,基本要点,(1),只有工序能力强的工艺才可能生产出质量好、可靠性水平高的产品。,(2),工序能力指数是一种表示工艺水平高低的方便方法，其实质作用是反映,工艺成品率,的高低。,(3)“,6,设计”是在工序能力指数分析基础上对生产工艺水平的新要求，其实质作用也是反映,工艺成品率,的高低。,1.,基本要点,预备知识关于测试数据的“分布”,1.,基本要点,预备知识关于测试数据的“分布”,关于正态分布,工序能力及工序能力指数的计算,1.,基本要点,2.,工序能力的定量表征,2.,工序能力的定量表征,(,1),工序能力,(2),潜在工序能力指数：,C,p,(3),实际工序能力指数：,C,pk,(4),单侧规范值情况的工序能力指数,C,PL,和,C,PU,(5),C,p,和,C,pk,的,常规计算方法,2.,工序能力的定量表征,(1),工序能力,2.,工序能力的定量表征,(1),工序能力,通常工艺参数服从正态分布,N(,2,),2.,工序能力的定量表征,(1),工序能力,通常工艺参数服从正态分布,N(,2,),正态分布标准偏差,的大小反映了参数的分散程度。绝大部分数值集中在,3,范围内，其比例为,99.73,%,2.,工序能力的定量表征,(1),工序能力,通常工艺参数服从正态分布,N(,2,),正态分布标准偏差,的大小反映了参数的分散程度。绝大部分数值集中在,3,范围内，其比例为,99.73,%,通常将,6,称为工序能力。,6,范围越小，表示该工序加工的工艺参数越集中，则生产出成品率高、可靠性好的产品的能力越强，即固有能力越强。,2.,工序能力的定量表征,(2),潜在工序能力指数,C,P,2.,工序能力的定量表征,(2),潜在工序能力指数,C,P,为了综合表示工艺水平满足工艺参数规范要求的程 度，工业生产中广泛采用下式定义的,工序能力指数,：,C,P,=(T,U,-T,L,)/,6=T/6,2.,工序能力的定量表征,(2),潜在工序能力指数,C,P,为了综合表示工艺水平满足工艺参数规范要求的程 度，工业生产中广泛采用下式定义的,工序能力指数,：,C,P,=(T,U,-T,L,)/,6=T/6,通过积分可得,工艺成品率为：,2.,工序能力的定量表征,(2),潜在工序能力指数,C,P,为了综合表示工艺水平满足工艺参数规范要求的程 度，工业生产中广泛采用下式定义的,工序能力指数,：,C,P,=(T,U,-T,L,)/,6=T/6,通过积分可得,工艺成品率为：,可得工序能力指数与成品率之间的关系：,规范范围,C,P,工艺成品率,不合格品率,3,1 99.73%2700PPM,6,2 99.9999998%0.002PPM,2.,工序能力的定量表征,(2),潜在工序能力指数,C,P,为了综合表示工艺水平满足工艺参数规范要求的程 度，工业生产中广泛采用下式定义的,工序能力指数,：,C,P,=(T,U,-T,L,)/,6=T/6,通过积分可得,工艺成品率为：,可得工序能力指数与成品率之间的关系：,规范范围,C,P,工艺成品率,不合格品率,3,1 99.73%2700PPM,6,2 99.9999998%0.002PPM,结论：,工序能力指数越高，成品率也越高。,2.,工序能力的定量表征,(3),实际工序能力指数：,C,PK,2.,工序能力的定量表征,(3),实际工序能力指数：,C,PK,在元器件生产中，采用闭环工艺控制的情况并不多，大多为“间接”工艺控制，很难使两者重合。例如，,IC,中的扩散工艺，并不能在扩散过程中随时监测方块电阻,R,s,的变化情况，因此不能做到在,R,s,达到规范中心值时结束扩散。实际上都是先做试片，根据试片测试结果调整工艺条件。实践表明,对于这种“间接”控制的工艺，工艺参数分 布中心值,与规范 中心值偏移的程度一般为,1.5,。,实际工艺能力指数,C,PK,计算公式：,实际工艺能力指数,C,PK,计算公式：,偏离为,1.5,情况下,Cpk,与,Cp,的关系,：,若工艺参数分布的中心值与规范中心值偏移的程度为,1.5,，,即：（,-(T,U,+T,L,)/2,）,=1.5,，,由上式可得：,Cpk=Cp-0.5,实际工艺能力指数,C,PK,计算公式：,偏离为,1.5,情况下,Cpk,与,Cp,的关系,：,若工艺参数分布的中心值与规范中心值偏移的程度为,1.5,，,即：（,-(T,U,+T,L,)/2,）,=1.5,，,由上式可得：,Cpk=Cp-0.5,即工艺参数分布的中心值,与规范中心值偏移为,1.5,的情况下，,Cpk,要比,Cp,小,0.5,。如果,Cp,2,，,Cpk,只有,1.5,。因此，有时将,Cp,称为,潜在工序能力指数,，将,Cpk,称为,实际工序能力指数,，简称为工序能力指数。,2.,工序能力的定量表征,(4),单侧规范值情况的工序能力指数,C,PL,和,C,PU,：,2.,工序能力的定量表征,(4),单侧规范值情况的工序能力指数,C,PL,和,C,PU,：,如果要求参数大于某一下限值,T,L,，,无上限要求，工序能力指数应按下式计算：,C,PL,(,T,L,)/3,2.,工序能力的定量表征,(4),单侧规范值情况的工序能力指数,C,PL,和,C,PU,：,如果要求参数大于某一下限值,T,L,，,无上限要求，工序能力指数应按下式计算：,C,PL,(,T,L,)/3,若,T,L,，,则取,C,PL,为零，说明该工序完全没有工序能力。,2.,工序能力的定量表征,(4),单侧规范值情况的工序能力指数,C,PL,和,C,PU,：,如果要求参数大于某一下限值,T,L,，,无上限要求，工序能力指数应按下式计算：,C,PL,(,T,L,)/3,若,T,L,，,则取,C,PL,为零，说明该工序完全没有工序能力。,如果参数规范只规定了上限值,T,U,，,无下限要求，则工序能力指数应按下式计算：,C,PU,(T,U,)/3,2.,工序能力的定量表征,(4),单侧规范值情况的工序能力指数,C,PL,和,C,PU,：,如果要求参数大于某一下限值,T,L,，,无上限要求，工序能力指数应按下式计算：,C,PL,(,T,L,)/3,若,T,L,，,则取,C,PL,为零，说明该工序完全没有工序能力。,如果参数规范只规定了上限值,T,U,，,无下限要求，则工序能力指数应按下式计算：,C,PU,(T,U,)/3,若,T,U,，,则取,C,PU,为零，说明该工序完全没有工序能力,。,2.,工序能力的定量表征,(,5),Cp,和,Cpk,的常规计算方法,计算,Cp,和,Cpk,的,关键是计算母体正态分布的均值和标准偏差。常规计算方法为：,通常用下述计算方法计算得,S,，,作为母体分布标准偏差,的近似值。,2.,工序能力的定量表征,(,5),Cp,和,Cpk,的常规计算方法,