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PECVD生产操作规程,1 安全警告,设备带有高压、易燃易爆特种有毒气体、微波辐射等危险,严禁无关人员和小孩进入机器黄色区域,机器运行时，严禁拔出微波铜天线，严禁拆设备任何部件。否则可能带来微波辐射和高压电击等危险,未经培训和许可严禁操作设备，不正确操作设备可能损坏设备，严禁乱操作计算机,2 安全与标识,威胁人身伤亡或健康,微波辐射危险,微波泄露限制：根据最新科学研究和世界许多国家执行规定，距易接近设备部件5cm处微波泄漏小于5mw/cm2,热的表面,触电危险,戴防护眼镜,戴防护手套,3 开机,开总电源,启动计算机,检查冷却水,检查气源,启动“system”程序,3.1 开总电源,检查三 只红色急停按钮是否复位，如末复位拉出复位,向右转动主电源断路器手柄复位，然后向左转动手柄，主电源合闸,机器上指示灯、温控仪表点亮 可确认总电源已开启,3.2 启动计算机,轻压一下工控机主机上“POWER”按钮，计算机启动WIN-NT,3.3 检查冷却水,冷却水压力应在4kg/cm2-6kg/cm2范围内,先打开冷却水出水阀，然后打开进水阀,检查、调节水流量计，ww1-4 为 10L/min , ww5-6为 6L/min，ww7-12 为 2.5L/min (设备人员调节),3.4 检查气源,打开压缩空气阀，压缩空气为 5kg/cm2-7 kg/cm2,打开氮气阀，氮气压力小于5kg/cm2,3.5 启动“system”程序,用鼠标左键双击Win-nt 桌面“system”图标,启动后登入自己使用权限帐号,4 选择工艺单、生产,开真空泵，预加热,启动指定工艺,检查工艺运行情况,放置空石墨框进行传动状态测试,工艺调试，生产,4.1 开真空泵，预加热,检查机器无故障显示后，开真空泵,加热腔和反应腔预加热,当反应腔真空压力小于1.0e-2mbar,温度达到预设定的值，方可启动工艺,4.2 启动指定工艺,打开墙壁气箱中特气阀,点击“control”控制按钮，“ technology ”框中选择规定的工艺单后，加载“ load ”, 启动工艺“ start ”，在“ transp-ortation ”框启动传动,4.3 检查工艺运行情况,过程状态画面框显示过程执行“process running”,压力控制,微波开启,特气开启,以上条件满足方可启动工艺,4.4 传动状态测试,在机器装载口平稳放置空石墨框进行传动状态测试,4.5 进行工艺调试，生产,放入装有需加工硅片的石墨 框进行工艺调试，生产,在机器口放置、检查好石墨框后按压黑色准备好按钮，机 器传动才执行,带上高温手套，及时从机器出口平稳拿出石墨框,5 停机,停止工艺运行,关墙壁气箱中特气阀,特气管路吹扫,关掉真空泵,向机器腔体冲入净化N2,退出控制程序“system”,关主电源,关上压缩空气、氮气、冷却水,5.1 停止工艺运行,鼠标点击“control”按钮，弹出下拉菜单,点击工艺“stop”按钮,点击传动“stop”按钮,5.2 关墙壁气箱中特气阀，特气管路吹扫,关上位于墙壁气箱中特气阀,通知经过培训的设备人员进行特气管路吹扫,5.3 关掉真空泵，向腔体冲入N2,进入“system”状态画面，点击“pumps”控制按钮，弹出下拉菜单,等待真空泵净化N2气阀关闭,点击三个真 空泵“pump off”控制按钮关掉真空泵,点击反应腔“vent”控制按钮,向机器腔体冲入净化N2，等待冲好指示灯点亮,5.4 退出控制程序，关主电源,进入“service”状态画面，点击系统中“switch off”控制按钮，计算机显示回到win-nt 画面,进行正常关计算机操作,用手按压一下红色急停按钮，关闭主电源，拉出红色急停按钮复位,5.5 关上压缩空气、氮气、冷却水,关上压缩空气、氮气阀,等十五分钟后可关闭冷却水，先关进水阀，然后关回水阀,Figure 10: Process chamber,Figure 12: Gas system,PECVD生产操作规程,完,
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