电子厂房洁净室系统课件

Click to edit Master title style,Click to edit Master text styles,Second Level,Third Level,Fourth Level,Fifth Level,#,#,电,子,厂洁,净,室,系,统简,介,电 子 厂洁 净 室 系 统简 介,1,大 纲,HJT,C/R,介紹,洁净室系统型式,为何需要,Clean Room,洁净室的定义,洁净等级定义,制程线宽与洁净度之关系,Clean Room,之环境因子,影响,C/R,洁净度的环境因子,风管系统,FFU,系統,轴流风机系统,架构表及主要系统介绍,Layout,说明,MAU,与空气循环系统,大 纲HJT C/R 介紹洁净室系统型式为何需要Clean,2,洁 净 室 的 定 义,洁净室为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内，而给于特别设计之房间以符合制程工艺之需求,回主画面,洁 净 室 的 定 义洁净室为将一定空间范围内之空气中的微尘,3,洁净等级,回主画面,洁净等级回主画面,4,制程线宽与洁净度之关系,回主画面,制程线宽与洁净度之关系回主画面,5,污染物大小,0.3um,粒径,肉眼可视粒径,人类头发直径,-100um,回主画面,污染物大小0.3um粒径肉眼可视粒径人类头发直径-1,6,影响,C/R,洁净度之环境因子,温度,湿度,压力,微尘粒子,照度,微振动,噪声,静电,化学物质,回主画面,影响C/R洁净度之环境因子温度回主画面,7,洁净室空调系统型式,风管系统,FFU,系統,轴流风机系统,以风管输送洁净空气,循环空调箱兼处理外气,天花空间为微负压气室,独立设置外气空调箱,天花空间为正压气室,独立设置外气空调箱,回主画面,洁净室空调系统型式风管系统以风管输送洁净空气天花空间为微负压,8,风管系统,(,循环空调箱兼处理外气,),洁净度、温度及湿度控制,风管系统(循环空调箱兼处理外气)洁净度、温度及湿度控制,9,FFU,系統,(,独立设置外气空调箱,),洁净度控制,温度控制,湿度控制,温度控制,FFU系統(独立设置外气空调箱)洁净度控制温度控制湿度控制,10,轴流风机系统,(,独立设置外气空调箱,),洁净度控制,温度控制,湿度控制,温度控制,轴流风机系统(独立设置外气空调箱)洁净度控制温度控制湿度控,11,架构表及主要系统设备介绍,LIGHTING,SPEAKER,FFU HARMONIC,MAU&DC BANK&HARMONIC FILTER,HVAC MONITOR,FFU MONITOR,ION. SYS.,FMS,ARCH,HVAC,FIRE PROTECTION,ELEC/CONTROL,ELEC,CHEMICAL,C/R,HVAC,DI,ARCH,HJT FAB 8N PROJECT,GAS,P-P,EPOXY COATING,RAISED FLOOR,CEILING GRID SYS.,PARTITION,AIR SHWOR/AIR LOCK,TOOL FOUNDATION,VIRBRATION DEFENCE,MAU SYS.,FFU SYS,2nd CHW,DRY COIL,AIR WASHER SYS.,FIRE SPRINKLER,DESMOKE SYS.,ADRANCE DETECTOR SYS.,AIR SAMPLING SYS.,CDA,PCW,PV,HV,BA,IW,回主画面,架构表及主要系统设备介绍LIGHTINGARCHHVACFI,12,HJT C/R,主要洁净需求,Cleanliness,Temperature,Humidity,100,230.5,455%,RH,1000,23,2,45,5,%,RH,0.1,230.,5,45,5,%,RH,1000,0,23,2,45,10,%,RH,回主画面,HJT C/R 主要洁净需求Cleanliness,13,电子厂平面配置概念图,FAB 2,FAB 1,S,B,O,B,C,U,B,W H,回主画面,电子厂平面配置概念图FAB 2FAB 1S BO BC U,14,SUB FAB,（,MASK SHOP),回主画面,SUB FAB（MASK SHOP)回主画面,15,RAP,回主画面,RAP回主画面,16,FAB,、,SB3F,、,G/R,回主画面,FAB、SB3F、G/R回主画面,17,TRUSS,、,SB4F-TEST AREA,回主画面,TRUSS、SB4F-TEST AREA回主画面,18,电子厂剖面概念图,RAISED FLOOR,COIL,COIL,DESMOKE FAN,DESMOKE FAN,CDA,BA,PCW,PV,回主画面,电子厂剖面概念图RAISED FLOORCOILCOILDE,19,MAU +,空气循环系统,外气空调箱功能,压力之控制,湿度之控制,外气微尘粒之预处理,气态分子之控制,空气循环系统功能,洁净度之控制,溫度之控制,湿度之维持,气态分子之控制,MAU,洁净室热源分布,洁净室系统流程,回主画面,MAU + 空气循环系统外气空调箱功能空气循环系统功能MAU,20,外气处理空调箱,回主画面,外气处理空调箱回主画面,21,洁净室热源分布,回主画面,洁净室热源分布回主画面,22,洁净室系统流程,回主画面,洁净室系统流程回主画面,23,