芯片封装测试流程详解芯片封装测试流程详解课件

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散热作用,导电作用;,-50以下存放,使用之前回温24小时,;,【Epoxy】银浆,芯片封装测试流程详解芯片封装测试流程详解,Raw Material in Assembly(封装原材料,13,Typical Assembly Process Flow,FOL/前段,EOL/中段,Plating/电镀,EOL/后段,Final Test/测试,芯片封装测试流程详解芯片封装测试流程详解,Typical Assembly Process Flow,14,FOL Front of Line前段工艺,Back,Grinding,磨片,Wafer,Wafer Mount,晶圆安装,Wafer Saw,晶圆切割,Wafer Wash,晶圆清洗,Die Attach,芯片粘接,Epoxy Cure,银浆固化,Wire Bond,引线焊接,2nd Optical,第二道光检,3rd Optical,第三道光检,EOL,芯片封装测试流程详解芯片封装测试流程详解,FOL Front of Line前段工艺BackWafe,15,FOL Back Grinding背面减薄,Taping,粘胶带,Back,Grinding,磨片,De-Taping,去胶带,将从晶圆厂出来的Wafer进行背面研磨,来减薄晶圆达到 封装需要的厚度(8mils10mils);,磨片时,需要在正面(Active Area)贴胶带保护电路区域 同时研磨背面。研磨之后,去除胶带,测量厚度;,芯片封装测试流程详解芯片封装测试流程详解,FOL Back Grinding背面减薄TapingBa,16,FOL Wafer Saw晶圆切割,Wafer Mount,晶圆安装,Wafer Saw,晶圆切割,Wafer Wash,清洗,将晶圆粘贴在蓝膜(Mylar)上,使得即使被切割开后,不会散落;,通过Saw Blade将整片Wafer切割成一个个独立的Dice,方便后面的 Die Attach等工序;,Wafer Wash主要清洗Saw时候产生的各种粉尘,清洁Wafer;,芯片封装测试流程详解芯片封装测试流程详解,FOL Wafer Saw晶圆切割Wafer MountW,17,FOL Wafer Saw晶圆切割,Wafer Saw Machine,Saw Blade(切割刀片):,Life Time:9001500M;Spindlier Speed:3050K rpm:Feed Speed:3050/s;,芯片封装测试流程详解芯片封装测试流程详解,FOL Wafer Saw晶圆切割Wafer Saw Ma,18,FOL 2nd Optical Inspection二光检查,主要是针对Wafer Saw之后在显微镜下进行Wafer的外观检查,是否有出现废品,。,Chipping Die 崩 边,芯片封装测试流程详解芯片封装测试流程详解,FOL 2nd Optical Inspection二光检,19,FOL Die Attach 芯片粘接,Write Epoxy,点银浆,Die Attach,芯片粘接,Epoxy Cure,银浆固化,Epoxy Storage:零下50度存放;,Epoxy Aging:使用之前回温,除去气泡;,Epoxy Writing:点银浆于L/F的Pad上,Pattern可选,;,芯片封装测试流程详解芯片封装测试流程详解,FOL Die Attach 芯片粘接Write Epox,20,FOL Die Attach 芯片粘接,芯片拾取过程:1、Ejector Pin从wafer下方的Mylar顶起芯片,使之便于 脱离蓝膜;2、Collect/Pick up head从上方吸起芯片,完成从Wafer 到L/F的运输过程;3、Collect以一定的力将芯片Bond在点有银浆的L/F 的Pad上,具体位置可控;4、Bond Head Resolution: X-0.2um;Y-0.5um;Z-1.25um;5、Bond Head Speed:1.3m/s,;,芯片封装测试流程详解芯片封装测试流程详解,FOL Die Attach 芯片粘接芯片拾取过程:1、,21,FOL Die Attach 芯片粘接,Epoxy Write:Coverage 75%;,Die Attach:Placement99.95%的高纯 度的锡(Tin),为目前普遍采用的技术,符合 Rohs的要求;,Tin-Lead:铅锡合金。Tin占85%,Lead占 15%,由于不符合Rohs,目前基本被淘汰;,芯片封装测试流程详解芯片封装测试流程详解,EOL Plating(电镀)Before Plating,37,EOL Post Annealing Bake(电镀退火),目的: 让无铅电镀后的产品在高温下烘烤一段时间,目的在于 消除电镀层潜在的晶须生长(Whisker Growth)的问题;条件: 150+/-5C; 2Hrs;,晶须,晶须,又叫Whisker,是指锡在长时间的潮湿环境和温度变化环境下生长出的一种须状晶体,可能导致产品引脚的短路,。,芯片封装测试流程详解芯片封装测试流程详解,EOL Post Annealing Bake(电镀退火),38,EOL Trim&Form(切筋成型),Trim:将一条片的Lead Frame切割成单独的Unit(IC)的过程;Form:对Trim后的IC产品进行引脚成型,达到工艺需要求的形状, 并放置进Tube或者Tray盘中;,芯片封装测试流程详解芯片封装测试流程详解,EOL Trim&Form(切筋成型)Trim:将一条片,39,EOL Trim&Form(切筋成型),Cutting Tool&,Forming Punch,Cutting Die,Stripper Pad,Forming Die,1,2,3,4,芯片封装测试流程详解芯片封装测试流程详解,EOL Trim&Form(切筋成型)Cutting To,40,EOL Final Visual Inspection(第四道光检),Final Visual Inspection-FVI,在低倍放大镜下,对产品外观进行检查。主要针对EOL工艺可能产生的废品:例如Molding缺陷,电镀缺陷和Trim/Form缺陷等;,芯片封装测试流程详解芯片封装测试流程详解,EOL Final Visual Inspection(第,41,演讲完毕,谢谢听讲,!,再见,see you again,3rew,2024/8/21,芯片封装测试流程详解芯片封装测试流程详解,演讲完毕,谢谢听讲!再见,see you again3rew,42,
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