无尘室用材料课件

112表8.2公制的無塵室等級的空氣傳播的微粒子數目（美國聯邦標準US Federal Standard 209E）2表8.2公制的無塵室等級的空氣傳播的微粒子數目334圖8.1空氣淨化系統 4圖8.1空氣淨化系統 5566778圖8.2HEPA過濾器的概略圖 8圖8.2HEPA過濾器的概略圖 9910圖8.3以雷射測試ULPA過濾器的效率 10圖8.3以雷射測試ULPA過濾器的效率 11圖8.4以凝縮核法測微粒子濃度的概略圖 11圖8.4以凝縮核法測微粒子濃度的概略圖 12圖8.5粒子捕集的方法 12圖8.5粒子捕集的方法 13圖8.6空氣過濾器之捕集效率 13圖8.6空氣過濾器之捕集效率 141415圖8.7三種常用的過濾器構造，(a)分離器式過濾器，(b)小型摺式過濾器，(c)無分離器式過濾器 15圖8.7三種常用的過濾器構造，(a)分離器式過濾器，(16(續)圖8.7三種常用的過濾器構造，(a)分離器式過濾器，(b)小型摺式過濾器，(c)無分離器式過濾器 16(續)圖8.7三種常用的過濾器構造，(a)分離器式過濾17圖8.8真空泵的分類 17圖8.8真空泵的分類 18圖8.9擴散泵 18圖8.9擴散泵 19圖8.10路茲泵的概路圖 19圖8.10路茲泵的概路圖 20圖8.11路茲泵的抽氣原理 20圖8.11路茲泵的抽氣原理 21圖8.12渦輪分子泵 21圖8.12渦輪分子泵 22圖8.13冷凍式幫浦 22圖8.13冷凍式幫浦 23圖8.14氣體的平衡蒸氣壓 23圖8.14氣體的平衡蒸氣壓 24圖8.15空氣壓縮機的概略圖 24圖8.15空氣壓縮機的概略圖 2525262627圖8.16空氣乾燥機的概略圖 27圖8.16空氣乾燥機的概略圖 282829圖8.17安全輸送系統 29圖8.17安全輸送系統 30圖8.18(a)西貝克效應，(b)皮爾第效應 30圖8.18(a)西貝克效應，(b)皮爾第效應 31圖8.19機械式（壓縮式）冷凍系統之作用原理 31圖8.19機械式（壓縮式）冷凍系統之作用原理 3232333334343535363637373838