第六章--压电传感器课件

本章学习压电式传感器的本章学习压电式传感器的工工作原理作原理、测量转换电路测量转换电路及及应用应用，简要介绍振动（动态测量）频谱简要介绍振动（动态测量）频谱分析。分析。第六章第六章 压电传感器压电传感器 本章学习压电式传感器的工作原理、测量转换电路及应用，压电式传感器是一种压电式传感器是一种自发电式自发电式、有源有源传感器。它以传感器。它以某些电介质的某些电介质的压电效应压电效应为基础，在为基础，在外力外力作用下，在电介作用下，在电介质材料表面产生电荷，从而实现非电量电测的目的。质材料表面产生电荷，从而实现非电量电测的目的。特点特点：体积小、质量轻、频响高、信噪比大等特点。：体积小、质量轻、频响高、信噪比大等特点。由于它没有运动部件，因此结构坚固、可靠性、稳定性由于它没有运动部件，因此结构坚固、可靠性、稳定性高。高。压电传感元件是压电传感元件是力敏感元件力敏感元件，它可以测量最终能变，它可以测量最终能变换为换为动态力动态力的那些非电动态物理量，例如动态力、动态的那些非电动态物理量，例如动态力、动态压力、振动加速度等，压力、振动加速度等，但不能用于静态参数的测量但不能用于静态参数的测量。第一节第一节 压电传感器的工作原理压电传感器的工作原理 压电式传感器是一种自发电式、有源传感器。它以某些电介石英晶体的压电效应演示石英晶体的压电效应演示石英晶体的压电效应演示 正正压压电电效效应应：某某些些电电介介质质，当当沿沿着着一一定定方方向向对对其其施施外外力力而而使使它它变变形形时时，致致使使其其晶晶格格产产生生变变形形或或内内部部产产生生极极化化现现象象，同同时时在在它它的的两两个个表表面面上上便便产产生生符符号号相相反反的的电电荷荷；当当外外力力维维持持不不变变或或去去掉掉后后，又又重重新新恢恢复复到到不不带带电电状状态态；当当作作用用力力方方向向改改变变时时，电电荷荷的的极极性性也也随随之之改改变变的的现现象象。机械能机械能电能电能 逆逆压压电电效效应应：当当在在某某些些电电介介质质极极化化方方向向施施加加(交交变变)电电场场，这这些些电电介介质质也也会会产产生生机机械械变变形形的的现现象象；当当去去掉掉外外加加电电场场时时，电电介介质质的的变变形形随随之之消消失失的的现现象象。常常称称(电电致致伸缩效应伸缩效应)。电能电能机械能机械能 具有压电效应的材料称为具有压电效应的材料称为压电压电材料材料，压电材料能实现，压电材料能实现机械能机械能电能电能的相互转换，如右图所示。的相互转换，如右图所示。一、压电效应一、压电效应 正压电效应：某些电介质，当沿着一定方向对其施外力而使二、压电材料的分类及特性二、压电材料的分类及特性 压电传感器中的压电元件材料一般有三类：压电传感器中的压电元件材料一般有三类：压电晶体压电晶体、极化处理极化处理后后压电陶瓷压电陶瓷、高分子压电材料高分子压电材料。压电材料的主要特性参数：压电材料的主要特性参数：1 1、压压电电常常数数：压压电电常常数数是是衡衡量量材材料料压压电电效效应应强强弱弱的的参参数数，它它直直接接关关系系到到压电输出的灵敏度。压电输出的灵敏度。2 2、弹弹性性常常数数：压压电电材材料料的的弹弹性性常常数数、刚刚度度决决定定着着压压电电器器件件的的固固有有频频率率和和动态特性。动态特性。3 3、介介电电常常数数：对对于于一一定定形形状状、尺尺寸寸的的压压电电元元件件，其其固固有有电电容容与与介介电电常常数数有关；而固有电容又影响着压电传感器的频率下限。有关；而固有电容又影响着压电传感器的频率下限。4 4、机械耦合系数机械耦合系数：在压电效应中，其值等于转换输出能量：在压电效应中，其值等于转换输出能量(如电能如电能)与输与输入的能量入的能量(如机械能如机械能)之比的平方根；它是衡量压电材料机电能量转换效率的一之比的平方根；它是衡量压电材料机电能量转换效率的一个重要参数。个重要参数。5 5、绝缘电阻绝缘电阻：压电材料的绝缘电阻将减少电荷泄漏，从而改善压电传感：压电材料的绝缘电阻将减少电荷泄漏，从而改善压电传感器的低频特性。器的低频特性。6 6、居里点居里点：压电材料开始丧失压电特性的温度称为居里点。：压电材料开始丧失压电特性的温度称为居里点。二、压电材料的分类及特性 压电传感器中的压电元件材料一常用压电材料的性能参数。常用压电材料的性能参数。常用压电材料的性能参数。石石英英晶晶体体化化学学式式为为SiOSiO2 2，是是单单晶晶体体结结构构。下下图图为为天天然然结结构构的的石石英英晶晶体体外外形形。它它是是一一个个正正六六面面体体，石石英英晶晶体体各各个个方方向向的的特特性性是是不不同同的的。其其中中：纵纵向向轴轴z z称称为为光光轴轴；经经过过六六面面体体棱棱线线并并垂垂直直于于光光轴轴的的x x轴轴称称为为电电轴轴；与与x x和和z z轴轴同同时时垂垂直直，垂垂直直的的六六面面体体棱棱面面的的轴轴y y称为称为机械轴机械轴。通通常常把把沿沿电电轴轴x x方方向向的的力力作作用用下下产产生生电电荷荷的的压压电电效效应应称称为为“纵纵向向压压电电效效应应”；而而把把沿沿机机械械轴轴y y方方向向的的作作用用下下产产生生电电荷荷的的压压电电效效应应称称为为“横横向向压压电电效效应应”；而而沿沿光光轴轴z z方方向向受受力力时时不不产产生生压压电电效应。效应。1、石英晶体、石英晶体石英晶体石英晶体 石英晶体化学式为SiO2，是单晶体结构。下图为天然结 若从晶体上沿若从晶体上沿y y方向切下一块如上图（方向切下一块如上图（c c）所示的晶）所示的晶片，当沿电轴方向施加作用力片，当沿电轴方向施加作用力F Fx x时，在与电轴时，在与电轴x x垂直的平垂直的平面上将产生电荷，其大小为：面上将产生电荷，其大小为：若若在在同同一一切切片片上上，沿沿机机械械轴轴y y方方向向施施加加作作用用力力F Fy y，则则仍在与仍在与x x轴垂直的平面上产生电荷轴垂直的平面上产生电荷q qy y，其大小为，其大小为 ：式中，式中，d d1111为为x x方向受力的压电系数。方向受力的压电系数。式中：式中：d d1212为为y y轴方向受力的压电系数，根据石英晶体的对称轴方向受力的压电系数，根据石英晶体的对称性，有性，有d d1212=-=-d d1111；a a、b b-晶体切片的长度和厚度。晶体切片的长度和厚度。电荷电荷q qx x和和q qy y的符号由受的符号由受压力压力还是受还是受拉力拉力决定。决定。若从晶体上沿y方向切下一块如上图（c）所示的晶片，当 石石英英晶晶体体的的上上述述特特性性与与其其内内部部分分子子结结构构有有关关，下下图图是是一一个个单单元元组组体体中中构构成成石石英英晶晶体体的的硅硅离离子子和和氧氧离离子子，在在垂垂直直于于z z轴轴的的x-yx-y平平面面上上的的投投影影，等等效效为为一一个个正正六六边边形形排排列。图中列。图中“”代表代表SiSi4+4+离子，离子，“”代表氧离子代表氧离子O O2-2-。当当石石英英晶晶体体未未受受外外力力作作用用时时，正正、负负离离子子正正好好分分布布在在正正六六边边形形的的顶顶角角上上，形形成成三三个个互互成成120120夹夹角角的的电电偶偶极极矩矩P P1 1、P P2 2、P P3 3。如图（。如图（a a）所示。）所示。(a)(a)不受力时；不受力时；(b)(b)x x轴方向受力；轴方向受力；(c)(c)y y轴方向受力轴方向受力 石英晶体的上述特性与其内部分子结构有关，下图是一个单 因为因为P=QL，Q为电荷量，为电荷量，L为正负电荷之间距离。为正负电荷之间距离。晶晶体体不不受受力力作作用用时时，正正负负电电荷荷重重心心重重合合，电电偶偶极极矩矩的的矢矢量量和和等于零，即等于零，即P1+P2+P3=0，所以晶体表面不产生电荷，即呈，所以晶体表面不产生电荷，即呈中性中性。晶体受到沿晶体受到沿x轴方向的压力作用时轴方向的压力作用时，晶体沿，晶体沿x方向将产生压缩方向将产生压缩变形，正负离子的相对位置也随之变动。如图变形，正负离子的相对位置也随之变动。如图(b)所示，此时正负所示，此时正负电荷重心不再重合，电偶极矩在电荷重心不再重合，电偶极矩在x方向上的分量由于方向上的分量由于P1的减小和的减小和P2、P3的增加而不等于零，即的增加而不等于零，即(P1+P2+P3)0。在在x轴的正方向出现正电轴的正方向出现正电荷荷。电偶极矩在。电偶极矩在y方向上的分量仍为零，不出现电荷。方向上的分量仍为零，不出现电荷。晶体受到沿晶体受到沿y轴方向的压力作用时，轴方向的压力作用时，晶体的变形如图晶体的变形如图(c)所示，所示，与图与图(b)情况相似，情况相似，P1增大，增大，P2、P3减小。减小。在在x轴的正向出现负电荷轴的正向出现负电荷。在在y轴方向上不出现电荷。轴方向上不出现电荷。如果沿如果沿z轴方向施加作用力，轴方向施加作用力，因为晶体在因为晶体在x方向和方向和y方向所产生方向所产生的形变完全相同，所以正负电荷重心保持重合，电偶极矩矢量和的形变完全相同，所以正负电荷重心保持重合，电偶极矩矢量和等于零。这表明沿等于零。这表明沿z轴方向施加作用力，晶体不会产生压电效应。轴方向施加作用力，晶体不会产生压电效应。当作用力当作用力Fx、Fy的方向相反时，电荷的极性也随之改变的方向相反时，电荷的极性也随之改变。因为P=QL，Q为电荷量，L为正负电荷之间距天然石英晶体外形天然石英晶体外形双面镀银并封装双面镀银并封装石英晶体切片及封装石英晶体切片及封装石英晶体薄片石英晶体薄片晶振晶振石英晶体在振荡电路石英晶体在振荡电路中工作时，正压电效中工作时，正压电效应与逆压电效应交替应与逆压电效应交替作用，从而产生稳定作用，从而产生稳定的振荡输出频率。的振荡输出频率。双面镀银并封装石英晶体切片及封装石英晶体薄片晶振石英晶体在振2、压电陶瓷、压电陶瓷 压电陶瓷是压电陶瓷是人工制造的多晶压电材料人工制造的多晶压电材料，它比石英晶，它比石英晶体的压电灵敏度高得多，而制造成本却较低，因此目前体的压电灵敏度高得多，而制造成本却较低，因此目前国内外生产的压电元件绝大多数都采用压电陶瓷国内外生产的压电元件绝大多数都采用压电陶瓷。常用的压电陶瓷材料有常用的压电陶瓷材料有锆钛酸铅系列锆钛酸铅系列压电陶瓷压电陶瓷(PZT)及及非铅系列非铅系列压电陶瓷压电陶瓷(如如BaTiO3等等)。极化处理过程极化处理过程 压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。材料内部压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。材料内部的晶粒有许多的晶粒有许多自发极化的电畴自发极化的电畴，它有一定的极化方向，它有一定的极化方向，从而存在电场。在无外电场作用时，畴在晶体中杂乱分从而存在电场。在无外电场作用时，畴在晶体中杂乱分布，它们的极化效应被相互抵消，压电陶瓷内极化强度布，它们的极化效应被相互抵消，压电陶瓷内极化强度为零。为零。原始的压电陶瓷呈中性，不具有压电性质。原始的压电陶瓷呈中性，不具有压电性质。2、压电陶瓷 压电陶瓷是人工制造的多晶压电材料 在陶瓷上在陶瓷上施加外电场施加外电场时，电畴的极化方向发生转动，趋向于时，电畴的极化方向发生转动，趋向于按外电场方向的排列，从而使材料得到极化。外电场愈强，就有按外电场方向的排列，从而使材料得到极化。外电场愈强，就有更多的电畴更完全地转向外电场方向。让外电场强度大到使材料更多的电畴更完全地转向外电场方向。让外电场强度大到使材料的极化达到的极化达到饱和饱和的程度，即所有电畴极化方向都整齐地与外电场的程度，即所有电畴极化方向都整齐地与外电场方向一致时，外电场去掉后，电畴的极化方向基本不变，即剩余方向一致时，外电场去掉后，电畴的极化方向基本不变，即剩余极化强度很大，极化强度很大，这时的材料才具有压电特性。，这时的材料才具有压电特性。在陶瓷上施加外电场时，电畴的极化方向发生转动，趋向于q=d33F 式中：式中：d33-压电陶瓷的压电系数；压电陶瓷的压电系数；F-作用力。作用力。极化处理后陶瓷材料内部仍存在有很强的剩余极化，极化处理后陶瓷材料内部仍存在有很强的剩余极化，当陶瓷材料受到外力作用时，当陶瓷材料受到外力作用时，电畴的界限发生移动，电电畴的界限发生移动，电畴发生偏转，从而引起剩余极化强度的变化，畴发生偏转，从而引起剩余极化强度的变化，因而在垂因而在垂直于极化方向的平面上将出现极化电荷的变化。直于极化方向的平面上将出现极化电荷的变化。这种因这种因受力而产生的由机械效应转变为电效应，将机械能转变受力而产生的由机械效应转变为电效应，将机械能转变为电能的现象，就是压电陶瓷的正压电效应。电荷量的为电能的现象，就是压电陶瓷的正压电效应。电荷量的大小与外力成正比关系：大小与外力成正比关系：q=d33F 极化处理后陶瓷材料内部仍存 压电陶瓷的压电陶瓷的压电系数压电系数比石英晶体的大得多，所以采用压电陶比石英晶体的大得多，所以采用压电陶瓷制作的压电式传感器的瓷制作的压电式传感器的灵敏度较高灵敏度较高。极化处理后的压电陶瓷材。极化处理后的压电陶瓷材料的剩余极化强度和特性与料的剩余极化强度和特性与温度温度有关，它的参数也随时间变化。有关，它的参数也随时间变化。最早使用的压电陶瓷材料是最早使用的压电陶瓷材料是钛酸钡钛酸钡(BaTiO(BaTiO3 3)。它是由碳酸钡。它是由碳酸钡和二氧化钛按一定比例混合后烧结而成的。它的压电系数约为石和二氧化钛按一定比例混合后烧结而成的。它的压电系数约为石英的英的5050倍。但使用温度较低。最高只有倍。但使用温度较低。最高只有7070。温度稳定性和机械。温度稳定性和机械强度都不如石英。强度都不如石英。目前使用较多的压电陶瓷材料是目前使用较多的压电陶瓷材料是锆钛酸铅锆钛酸铅(PZT(PZT系列系列)，它是，它是钛酸钡钛酸钡(BaTiO(BaTiO3 3)和锆酸铅和锆酸铅(PbZrO(PbZrO3 3)组成的组成的Pb(ZrTi)OPb(ZrTi)O3 3。它有较高它有较高的压电系数和较高的工作温度。的压电系数和较高的工作温度。铌镁酸铅铌镁酸铅是是2020世纪世纪6060年代发展起来的压电陶瓷。它由铌镁酸年代发展起来的压电陶瓷。它由铌镁酸铅铅(Pb(MgNb)O(Pb(MgNb)O3 3)、锆酸铅、锆酸铅(PbZrO(PbZrO3 3)和钛酸铅和钛酸铅(PbTiO(PbTiO3 3)按不同比按不同比例配成的不同性能的压电陶瓷。例配成的不同性能的压电陶瓷。具有极高的压电系数和较高的工具有极高的压电系数和较高的工作温度，而且能承受较高的压力。作温度，而且能承受较高的压力。压电陶瓷的压电系数比石英晶体的大得多，所以采用压电陶压电陶瓷外形压电陶瓷外形无铅压电陶瓷及其换能器外形无铅压电陶瓷及其换能器外形压电陶瓷外形无铅压电陶瓷及其换能器外形3、高分子压电材料、高分子压电材料 典型的高分子压电材料有聚偏二氟乙烯典型的高分子压电材料有聚偏二氟乙烯(PVF(PVF2 2或或PVDF)PVDF)、聚氟乙烯、聚氟乙烯(PVF)(PVF)、改性聚氯乙烯、改性聚氯乙烯(PVC(PVC）等。）等。它是一种柔软的压电材料，可根据需要制成薄膜或它是一种柔软的压电材料，可根据需要制成薄膜或电缆套管等形状。它不易破碎，具有防水性，可以大量电缆套管等形状。它不易破碎，具有防水性，可以大量连续拉制，制成较大面积或较长的尺度，价格便宜，频连续拉制，制成较大面积或较长的尺度，价格便宜，频率响应范围较宽，测量动态范围可达率响应范围较宽，测量动态范围可达80dB80dB。高分子压电薄膜及拉制高分子压电薄膜及拉制3、高分子压电材料 典型的高分子压电材料有聚偏二氟乙烯高分子压电材料制作的压电薄膜和电缆高分子压电材料制作的压电薄膜和电缆可用于波形分析及报警的高分子压电踏脚板可用于波形分析及报警的高分子压电踏脚板压电式脚踏报警器压电式脚踏报警器高分子压电材料制作的压电薄膜和电缆可用于波形分析及报警的高分高分子压电薄膜制作的压电喇叭高分子压电薄膜制作的压电喇叭（逆压电效应）（逆压电效应）高分子压电薄膜制作的压电喇叭（逆压电效应）一、压电式传感器的一、压电式传感器的等效电路等效电路 由由压压电电元元件件的的工工作作原原理理可可知知，压压电电式式传传感感器器可可以以看看作作一一个个电电荷荷发发生生器器，也也相相当当于于一一个个电电容容器器。晶晶体体上上聚聚集集正正负负电电荷荷的的两两表表面面相相当当于于电电容容的的两两个个极极板板，极极板板间间物物质质等效于一种介质，则其电容量为：等效于一种介质，则其电容量为：式中：式中：A-A-压电片的面积；压电片的面积；d-d-压电片的厚度；压电片的厚度；r r-压电材料的相对介电常数。压电材料的相对介电常数。第二节第二节 压电传感器的测量转换电路压电传感器的测量转换电路一、压电式传感器的等效电路第二节 压电传感器的测量转换电路 因因此此，压压电电传传感感器器可可以以等等效效为为一一个个与与电电容容相相并并联联的的电电压压源源。如如下下图图(a)(a)所所示示，电电容容器器上上的的电电压压U Ua a、电电荷荷量量q q和电容量和电容量C Ca a三者关系为：三者关系为：压压电电传传感感器器也也可可以以等等效效为为一一个个电电荷荷源源。如如下下图图(b)(b)所示。所示。因此，压电传感器可以等效为一个与电容相并联的电压源。压电传感器在实际使用时总要与压电传感器在实际使用时总要与测量仪器测量仪器或或测量电测量电路路相连接，因此还须考虑连接电缆的等效电容相连接，因此还须考虑连接电缆的等效电容Cc，放大，放大器的输入电器的输入电Ri，输入电容，输入电容Ci以及压电传感器的泄漏电阻以及压电传感器的泄漏电阻Ra，这样压电传感器在测量系统中的实际等效电路，如，这样压电传感器在测量系统中的实际等效电路，如下图所示。下图所示。压电传感器在实际使用时总要与测量仪器或测量电 压电传感器本身的内阻抗很高，而输出能量较小，压电传感器本身的内阻抗很高，而输出能量较小，因此它的测量电路通常需要接入一个高输入阻抗的前置因此它的测量电路通常需要接入一个高输入阻抗的前置放大器，其作用为：放大器，其作用为：1 1、把它的高输出阻抗变换为低输出阻抗；把它的高输出阻抗变换为低输出阻抗；2 2、放大传感器输出的微弱信号。放大传感器输出的微弱信号。压电传感器的输出可以是电压信号，也可以是电荷压电传感器的输出可以是电压信号，也可以是电荷信号，因此前置放大器也有两种形式：信号，因此前置放大器也有两种形式：1 1、电压放大器电压放大器；2 2、电荷放大器电荷放大器。二、压电式传感器的测量电路二、压电式传感器的测量电路 压电传感器本身的内阻抗很高，而输出能量较小，因此它的1、电压放大器电压放大器（阻抗变换器）（阻抗变换器）下图下图(a)、(b)是电压放大器电路原理图及其等效电路是电压放大器电路原理图及其等效电路。在在图图(b)中中，电电阻阻R=RaRi/(Ra+Ri)，电电容容C=Ca+Cc+Ci，而而ua=q/Ca，若若压压电电元元件件受受正正弦弦力力F=Fmsint的的作作用用，则其电压为：则其电压为：1、电压放大器（阻抗变换器）在图(b)中，电阻 式中：式中：U Um m-压电元件输出电压幅值压电元件输出电压幅值U Um m=dF=dFm m/C/Ca a；d d-压电系数。压电系数。由此可得放大器输入端电压由此可得放大器输入端电压U Ui i，其复数形式为：，其复数形式为：的幅值为的幅值为 式中：Um-压电元件输出电压幅值Um=dFm/Ca 输入电压和作用力之间相位差为输入电压和作用力之间相位差为:在在理理想想情情况况下下，传传感感器器的的R Ra a电电阻阻值值与与前前置置放放大大器器输输入入电电阻阻R Ri i都都为为无无限限大大，即即(C Ca a+C Cc c+C Ci i)R Ri i11，可可知知，理理想情况下输入电压幅值想情况下输入电压幅值U Uimim为：为：上上式式表表明明前前置置放放大大器器输输入入电电压压U Uimim与与频频率率无无关关。一一般般认认为为/0 033时时。就就可可以以认认为为U Uimim与与无无关关。0 0表表示示测测量电路时间常数之倒数。量电路时间常数之倒数。输入电压和作用力之间相位差为:在理想情况下 当当R R(C(Ca a+C+Cc c+C+Ci i)1)1 时时，放放大大器器输输入入电电压压U Uimim如如上上式式所所示示。式式中中CcCc为为连连接接电电缆缆电电容容，当当电电缆缆长长度度改改变变时时，CcCc也也将将改改变变，因因而而U Uimim也也随随之之变变化化。因因此此，压压电电传传感感器器与与前前置置放放大大器器之之间间连连接接电电缆缆不不能能随随意意更更换换，否否则则将将引引入测量误差。入测量误差。这表明压电传感器有很好的这表明压电传感器有很好的高频响应高频响应，但是，当作，但是，当作用于压电元件力为静态力（用于压电元件力为静态力（=0=0）时，则前置放大器的）时，则前置放大器的输入电压等于零，因为电荷会通过放大器输入电阻和传输入电压等于零，因为电荷会通过放大器输入电阻和传感器本身漏电阻漏掉，所以感器本身漏电阻漏掉，所以压电传感器不能用于静态力压电传感器不能用于静态力测量。测量。当R(Ca+Cc+Ci)1 时，放大器输入电压2 2、电荷放大器电荷放大器 电荷放大器常作为压电传感器的输入电路，由一个电荷放大器常作为压电传感器的输入电路，由一个反馈电容反馈电容C Cf f和和高增益运算放大器高增益运算放大器构成，当略去构成，当略去R Ra a和和R Ri i并并联电阻后，电荷放大器可用下图所示等效电路：联电阻后，电荷放大器可用下图所示等效电路：2、电荷放大器 由由运运算算放放大大器器基基本本特特性性，可可求求出出电电荷荷放放大大器器的的输输出出电压：电压：图图中中A A为为运运算算放放大大器器增增益益。由由于于运运算算放放大大器器输输入入阻阻抗极高抗极高,放大器输入端几乎没有分流放大器输入端几乎没有分流,其输出电压其输出电压UoUo为：为：式中：式中：U Uo o-放大器输出电压；放大器输出电压；U UC Cf f-反馈电容两端电压。反馈电容两端电压。由运算放大器基本特性，可求出电荷放大器的输出电压：通通常常A=10A=104 410106 6，因因此此若若满满足足(1+A)Cf Ca+c+Ci时时，上式可表示为：上式可表示为：由上式可见，电荷放大器的输出电压由上式可见，电荷放大器的输出电压U Uo o与电缆电容与电缆电容C Cc c无关，且与无关，且与q q成正比，这是电荷放大器的最大特点。成正比，这是电荷放大器的最大特点。四通道电荷放大器外形四通道电荷放大器外形灵灵 敏敏 度：度：0.10.11000mV/pC1000mV/pC；频率范围：频率范围：0.30.3100KHz100KHz；噪声噪声(最大增益最大增益)：折合至输：折合至输 入端小于入端小于5V5V；准准 确确 度：度：1%1%；最大输出：最大输出：10V/10mA10V/10mA；电电源：源：220V/50Hz220V/50Hz；控制方式：计算机或手动。控制方式：计算机或手动。通常A=104106，因此若满足(1+A)Cf 其他电荷放大器外形其他电荷放大器外形其他电荷放大器外形1、玻璃打碎报警装置、玻璃打碎报警装置 将高分子压电测振薄膜粘贴在将高分子压电测振薄膜粘贴在玻璃上，可以感受到玻璃破碎时会玻璃上，可以感受到玻璃破碎时会发出的振动，并将电压信号传送给发出的振动，并将电压信号传送给集中报警系统。集中报警系统。粘粘贴贴位位置置第三节第三节 压电传感器的应用压电传感器的应用一、高分子压电材料的应用一、高分子压电材料的应用质质量量块块 将将厚厚约约0.2mm左左右右的的PVDF薄薄膜膜裁裁制制成成10 20mm大大小小。在在它它的的正正反反两两面面各各喷喷涂涂透透明明的的二二氧氧化化锡锡导导电电电电极极，再再用用超超声声波波焊焊接接上上两两根根柔柔软的电极引线。并用保护膜覆盖。软的电极引线。并用保护膜覆盖。使用时，用瞬干胶将其粘贴在玻璃上。当玻璃遭暴力打碎的使用时，用瞬干胶将其粘贴在玻璃上。当玻璃遭暴力打碎的瞬间，压电薄膜感受到剧烈振动，表面产生电荷瞬间，压电薄膜感受到剧烈振动，表面产生电荷Q，在两个输出，在两个输出引脚之间产生窄脉冲报警信号。引脚之间产生窄脉冲报警信号。1、玻璃打碎报警装置粘贴位置第三节 压电传感器的应用一、高压电传感器只能应用于动态测量压电传感器只能应用于动态测量 由于外力作用在压电元件上产生的电荷只有在无泄漏的情况由于外力作用在压电元件上产生的电荷只有在无泄漏的情况下才能保存，即需要测量回路具有无限大的输入阻抗，这实际上下才能保存，即需要测量回路具有无限大的输入阻抗，这实际上是不可能的。因此，压电式传感器是不可能的。因此，压电式传感器不能用于静态测量不能用于静态测量。压电元件。压电元件在交变力的作用下，电荷可以不断补充，可以供给测量回路以一在交变力的作用下，电荷可以不断补充，可以供给测量回路以一定的电流，故只适用于动态测量（一般必须高于定的电流，故只适用于动态测量（一般必须高于100Hz100Hz，但在，但在50kHz50kHz以上时，灵敏度下降）。以上时，灵敏度下降）。2 2、压电式周界报警系统、压电式周界报警系统(用于重要位置出入口、周界安全防护用于重要位置出入口、周界安全防护)将长的压电电缆埋在泥土的浅表层，将长的压电电缆埋在泥土的浅表层，可起分布式地下麦克风或听音器的作用，可起分布式地下麦克风或听音器的作用，可在几十米范围内探测人的步行可在几十米范围内探测人的步行,对轮对轮式或履带式车辆也可以通过信号处理系式或履带式车辆也可以通过信号处理系统分辨出来。右图为测量系统的输出波统分辨出来。右图为测量系统的输出波形。形。压电传感器只能应用于动态测量 由于外力作用在压电元件上3 3、交通监测、交通监测 将高分子压电电缆埋在公路上，可以获取车型分类信息（包将高分子压电电缆埋在公路上，可以获取车型分类信息（包括轴数、轴距、轮距、单双轮胎）、车速监测、收费站地磅、闯括轴数、轴距、轮距、单双轮胎）、车速监测、收费站地磅、闯红灯拍照、停车区域监控、交通数据信息采集（道路监控）及机红灯拍照、停车区域监控、交通数据信息采集（道路监控）及机场滑行道等。场滑行道等。高分子压电电缆的应用演示高分子压电电缆的应用演示 将两根高分子将两根高分子压电电缆相距若干压电电缆相距若干米，平行埋设于柏米，平行埋设于柏油公路的路面下约油公路的路面下约5cm5cm，可以用来测量，可以用来测量车速车速及汽车的及汽车的载重载重量量，并根据存储在，并根据存储在计算机内部的档案计算机内部的档案数据，判定汽车的数据，判定汽车的车型车型。3、交通监测 将高分子压电电缆埋在公路上，可以获取车型二、压电陶瓷传感器的应用二、压电陶瓷传感器的应用并联：产生电荷量：并联：产生电荷量：Q=2 串联：产生电荷量：串联：产生电荷量：Q=1 等效电容：等效电容：C=2 等效电容：等效电容：C=1/2 等效电压：等效电压：U=1 等效电压：等效电压：U=2压电片的并联、串联接法压电片的并联、串联接法 压电陶瓷多制成片状，称为压电片。压电片通常是压电陶瓷多制成片状，称为压电片。压电片通常是两片两片(或两片以上或两片以上)粘结在一起，一般常用的是并联接法，粘结在一起，一般常用的是并联接法，其总面积是单片的两倍，极板上的总电荷其总面积是单片的两倍，极板上的总电荷Q 并为单片电并为单片电荷荷Q 的两倍。的两倍。二、压电陶瓷传感器的应用并联：产生电荷量：Q=2 压电式动态力传感器在车床中用于动态切削力的测量压电式动态力传感器在车床中用于动态切削力的测量压电式动态力传感器在体育动态测量中的应用压电式动态力传感器在体育动态测量中的应用压电式步态分析跑台压电式步态分析跑台压电式纵跳压电式纵跳训练分析装置训练分析装置压电压电传感传感器测器测量双量双腿跳腿跳的动的动态力态力 压电式动态力传感器在车床中用于动态切第四节第四节 振动测量及频谱分析振动测量及频谱分析一、振动的基本概念一、振动的基本概念 振动可分为机械振动、土木结构振动、运输工具振动、武器振动可分为机械振动、土木结构振动、运输工具振动、武器及爆炸引起的冲击振动等。及爆炸引起的冲击振动等。从振动的频率范围来分，有从振动的频率范围来分，有高频振动高频振动、低频振动低频振动和和超低频振超低频振动动等。等。从振动信号的统计特征来看，可将振动分为从振动信号的统计特征来看，可将振动分为周期周期振动、振动、非周非周期期振动以及振动以及随机随机振动等。振动等。大地震大地震地震波形地震波形第四节 振动测量及频谱分析一、振动的基本概念 振动可二、测振传感器分类二、测振传感器分类 测振用的传感器又称测振用的传感器又称拾振器拾振器，它有，它有接触式接触式和和非接触非接触式式之分。之分。接触式接触式中有磁电式、电感式、压电式等；中有磁电式、电感式、压电式等；非接触式非接触式中有电涡流式、电容式、霍尔式、光电式等。中有电涡流式、电容式、霍尔式、光电式等。三、压电式振动加速度传感器的结构及外形三、压电式振动加速度传感器的结构及外形横向振动横向振动测振器测振器纵向振动纵向振动测振器测振器二、测振传感器分类 测振用的传感器又称拾振器，它有接触技术指标技术指标灵敏度：灵敏度：500mV/g 500mV/g 量程：量程：10g10g频率范围：频率范围：4-4000Hz4-4000Hz安装谐振点：安装谐振点：15kHz15kHz分辨力：分辨力：0.00004g 0.00004g 重量：重量：40g40g安装螺纹：安装螺纹：5mm 5mm 线性：线性：1%1%四、压电振动加速度传感器的性能指标四、压电振动加速度传感器的性能指标内装内装ICIC式压电加速度传感器式压电加速度传感器技术指标四、压电振动加速度传感器的性能指标内装IC式压电加速a)a)双头螺丝固定双头螺丝固定 b)b)磁铁吸附磁铁吸附 c)c)胶水粘结胶水粘结 d)d)手持探针式手持探针式1-1-压电式加速度传感器压电式加速度传感器 2-2-双头螺栓双头螺栓 3-3-磁钢磁钢 4-4-粘接剂粘接剂 5-5-顶针顶针五、压电加速度传感器的安装及使用五、压电加速度传感器的安装及使用六、压电振动加速度传感器在汽车中的应用六、压电振动加速度传感器在汽车中的应用 加速度传感器可以用于判断汽车的碰撞，从而使安加速度传感器可以用于判断汽车的碰撞，从而使安全气囊迅速充气，从而挽救生命；还可安装在气缸的侧全气囊迅速充气，从而挽救生命；还可安装在气缸的侧壁上，尽量使点火时刻接近爆震区而不发生爆震，但又壁上，尽量使点火时刻接近爆震区而不发生爆震，但又能使发动机输出尽可能大的扭矩。能使发动机输出尽可能大的扭矩。a)双头螺丝固定 b)磁铁吸附 c)胶水粘爆震波形爆震波形 汽车发动机中的气缸点火时刻必须十分精汽车发动机中的气缸点火时刻必须十分精确。如果恰当地将点火时间提前一些，即有一确。如果恰当地将点火时间提前一些，即有一个提前角，就可个提前角，就可使汽缸中汽油与空气的混合气使汽缸中汽油与空气的混合气体得到充分燃烧，使扭矩增大，排污减少。体得到充分燃烧，使扭矩增大，排污减少。但但提前角太大时，混合气体产生自燃，就会产生提前角太大时，混合气体产生自燃，就会产生冲击波，发出尖锐的金属敲击声，称为冲击波，发出尖锐的金属敲击声，称为爆震爆震。可能使火花塞、活塞环熔化损坏，使缸盖、连可能使火花塞、活塞环熔化损坏，使缸盖、连杆、曲轴等部件过载、变形，可用压电传感器杆、曲轴等部件过载、变形，可用压电传感器检测并控制之。检测并控制之。爆震测量爆震测量爆震波形 汽车发动机中的气缸点火时刻必须十分精确。如果七、振动的频谱分析及仪器七、振动的频谱分析及仪器测量时域图形用的是示波器，测量频域图形用频谱仪。测量时域图形用的是示波器，测量频域图形用频谱仪。时域图形时域图形频域图形频域图形(频谱图频谱图)频谱图或频域图：频谱图或频域图：它的横坐标为频率，纵坐标可以是加速度，它的横坐标为频率，纵坐标可以是加速度，也可以是振幅或功率等也可以是振幅或功率等。它反映了在频率范围之内，对应于每一。它反映了在频率范围之内，对应于每一个频率分量的幅值。个频率分量的幅值。频谱仪频谱仪示波器示波器对应于对应于时域波形时域波形(失真正弦波失真正弦波)的的谱线图谱线图七、振动的频谱分析及仪器测量时域图形用的是示波器，测量频域图不同频率的正弦波频谱变化不同频率的正弦波频谱变化振动时域振动时域/频域图形频域图形不同频率的正弦波频谱变化振动时域/频域图形包含高次谐波的频谱包含高次谐波的频谱振动时域振动时域/频域图形频域图形包含高次谐波的频谱振动时域/频域图形基波与三次谐波的频谱基波与三次谐波的频谱基波与基波与3 3次谐波合成的波形次谐波合成的波形方波可分解成同频基波及方波可分解成同频基波及3 3、5 5、77奇次谐波奇次谐波基波与三次谐波的频谱基波与3次谐波合成的波形方波可分解成同频依靠频谱分析法进行故障诊断依靠频谱分析法进行故障诊断减速箱故障分析减速箱故障分析a a）时域波形）时域波形 b b）频域波形）频域波形爆破振动记录仪爆破振动记录仪依靠频谱分析法进行故障诊断减速箱故障分析a）时域波形 海啸预警系统海啸预警系统 地震是引发海啸的主要地震是引发海啸的主要原因之一。地震中断层移动原因之一。地震中断层移动导致断层间产生空洞，当海导致断层间产生空洞，当海水填充这个空洞时产生巨大水填充这个空洞时产生巨大的海水波动。这种海水波动的海水波动。这种海水波动从深海传至浅海时，海浪陡从深海传至浅海时，海浪陡然升到十几米高，并以每秒然升到十几米高，并以每秒数百米的速度传播。海浪冲数百米的速度传播。海浪冲到岸上后，将造成重大破坏。到岸上后，将造成重大破坏。海啸预警系统通过海底海啸预警系统通过海底的振动压力传感器记录海浪的振动压力传感器记录海浪变化的数据，并传送到信息变化的数据，并传送到信息浮标，由信息浮标发送到气浮标，由信息浮标发送到气象卫星，再从气象卫星传送象卫星，再从气象卫星传送到卫星地面站。到卫星地面站。气象接收气象接收及发射天及发射天线线振动压振动压力传感力传感器器浮浮标标深海深海地沟地沟海啸预警系统 地震是引发海啸的主要原因之一。地震中断层本章作业第第2 2、第、第3 3、第、第5 5题题本章作业第2、第3、第5题