常用气体激光器课件

二氧化碳激光器二氧化碳激光器 属分子气体激光器属分子气体激光器一、工作原理一、工作原理 CO2分子有三种不同的运动形式：1 1.对称振动对称振动(b b)2 2.形变振动形变振动(c c)3 3.非对称振动非对称振动(d d)1 1、CO2分子运动分子运动方向相反方向相反1.CO1.CO2 2气体是气体是工作物质工作物质，辅助气体有，辅助气体有N N2 2、HeHe、XeXe和和H H2 2等；等；2.N2.N2 2在气体中起在气体中起能量转移能量转移作用。作用。N2N2分子受电子碰撞的分子受电子碰撞的概率很概率很大大，放电中使大量，放电中使大量N2N2处于处于亚稳态亚稳态。通过近。通过近共振碰撞共振碰撞把内能转把内能转移给移给CO2CO2分子，分子，实现粒子数反分布实现粒子数反分布 ；3.He3.He对对COCO2 2分子有分子有冷却作用冷却作用，也可加速下能级粒子数，也可加速下能级粒子数抽空抽空；4.Xe4.Xe的的电电离离电电位位低低，激激光光器器内内的的气气体体易易电电离离，使使COCO2 2分分子子能能量量转转换换效效率率提提高高10101515。同同时时在在维维持持放放电电电电流流相相同同的的情情况况下，加入下，加入XeXe后可使后可使放电电压下降放电电压下降20203030。5.H5.H2 2或或(H(H2 2O O蒸汽蒸汽)可促使低能粒子可促使低能粒子抽空抽空，H H2 2O O蒸汽有利于蒸汽有利于COCO2 2分分 子的还原，可子的还原，可延长寿命延长寿命。2 2、工作物质工作物质 N2N2分子受到电子碰撞分子受到电子碰撞后被激发并和后被激发并和CO2CO2分子分子发发生碰撞生碰撞，N2N2分子把获得分子把获得的的能量传递能量传递给给CO2CO2分子，分子，使大量的使大量的CO2CO2分子被激发分子被激发到到 001001能级时，能级能级时，能级001001和能级和能级 100100之间形成之间形成粒子粒子数的反分布。数的反分布。3 3、CO2分子激发机理分子激发机理 HeHe原子质量小，运原子质量小，运动速度快，频繁地碰撞动速度快，频繁地碰撞CO2CO2分子，分子，高效地抽运高效地抽运010010能级上的能级上的CO2CO2分子，分子，大大提高了粒子数反转大大提高了粒子数反转程度。程度。100100能级和能级和020020能级的能级的分子迅速跃迁到亚稳态分子迅速跃迁到亚稳态010010能级上。因此必须把跃迁能级上。因此必须把跃迁到到010010能级上的能级上的CO2CO2分子分子立立即抽空即抽空，否则不利于粒子，否则不利于粒子数的反转。数的反转。二、基本结构二、基本结构 纵向电激励水冷内腔式封离型纵向电激励水冷内腔式封离型 CO2CO2激光器的典型结构激光器的典型结构 所谓封离型是指所谓封离型是指工作工作气体被密封气体被密封在放在放电管内电管内(由放电管、由放电管、水冷管和储气管三层水冷管和储气管三层结构组成结构组成 )。它的优点是结构它的优点是结构简单、紧凑。但它的简单、紧凑。但它的单位放电长度可输出单位放电长度可输出的的功率功率比其他结构的比其他结构的（如流动型和气动型）（如流动型和气动型）COCO2 2激光器要激光器要低低。折叠式折叠式CO2CO2激光器（水冷套未画出）激光器（水冷套未画出）横向循环流动横向循环流动CO2CO2激光器激光器纵向流动纵向流动CO2CO2激光器激光器三三 、输出特性、输出特性1 1、能量转换效率高、能量转换效率高 ：202025%(25%(氦氖激光器的能量转换氦氖激光器的能量转换效率仅为千分之几效率仅为千分之几)；2 2、常用的、常用的COCO2 2激光器输出波长为激光器输出波长为10.6 10.6 ，属于中红外区，属于中红外区，对人眼损害小；对人眼损害小；3 3、连续输出功率可达万瓦级，常用电激励、连续输出功率可达万瓦级，常用电激励 ；4 4、温度效应温度效应 转换效率最高也不会超过转换效率最高也不会超过4040，这就是说，这就是说有有6060以上的能量转换为气体的热能，气体温度的升高，将以上的能量转换为气体的热能，气体温度的升高，将引起引起CO2CO2分子的分解，降低放电管内的分子的分解，降低放电管内的CO2CO2分子浓度。使激光分子浓度。使激光器的输出功率下降，因此，器的输出功率下降，因此，冷却问题冷却问题是是CO2CO2激光器正常运转的激光器正常运转的重要技术问题。重要技术问题。原子或分子因某种原因失去电子或获得电子的原子或分子因某种原因失去电子或获得电子的过程称为过程称为电离电离。若原子失去电子，称为正离子，。若原子失去电子，称为正离子，反之则称为负离子。反之则称为负离子。利用离子的能级跃迁所获得的激光器件称为利用离子的能级跃迁所获得的激光器件称为离子激光器离子激光器。氖、。氖、氩、氪、氙、镉蒸气、硒蒸气氩、氪、氙、镉蒸气、硒蒸气等均能作离子激光器的工作物质。它们的激光输等均能作离子激光器的工作物质。它们的激光输出功率比原子气体激光器要高，达几十瓦，可连出功率比原子气体激光器要高，达几十瓦，可连续或脉冲输出。续或脉冲输出。氩离子激光器氩离子激光器一、工作原理一、工作原理 激发过程一般分激发过程一般分两步两步：气体放电后，放电管中的气体放电后，放电管中的高速电子与中性氩离子碰高速电子与中性氩离子碰撞，从氩离子中打出一个撞，从氩离子中打出一个电子，使之电离，电子，使之电离，形成处形成处在基态上的氩离子在基态上的氩离子；该基；该基态态ArAr+再与高速电子碰撞，再与高速电子碰撞，被激发到高能态被激发到高能态，当激光，当激光上下能级间产生粒子数反上下能级间产生粒子数反转时，即可产生氩离子激转时，即可产生氩离子激光。光。因此，氩离子激光器因此，氩离子激光器的激活粒子是的激活粒子是ArAr+。采取两次电子碰撞采取两次电子碰撞将氩原子激发到将氩原子激发到 3p3p4 44P4P态要比直接碰撞、一次态要比直接碰撞、一次将氩原子激发到将氩原子激发到3p3p4 44P4P态态的电子能量要小，后者的电子能量要小，后者只能在低气压放电中才只能在低气压放电中才有如此大的能量有如此大的能量（35.5eV35.5eV）。）。由于由于3p3p4 44P 4P 和和3p3p4 44S4S能级上有许多不能级上有许多不同的电子态，所以氩同的电子态，所以氩离子激光输出由丰富离子激光输出由丰富的谱线。最强的谱线的谱线。最强的谱线波长是波长是488.0nm488.0nm、514.5nm514.5nm。二、基本结构二、基本结构 氩离子激光器包括：氩离子激光器包括：放电管、电极、回气管、谐振腔、轴向磁场等。放电管、电极、回气管、谐振腔、轴向磁场等。氩离子激光器分段石墨放电管 国产的氩离子激光管 三、输出特点三、输出特点 1 1、是一种、是一种惰性气体离子激光器惰性气体离子激光器 ，在离子激光器中输出效率，在离子激光器中输出效率最高；最高；2 2、其输出波长较多，主要有、其输出波长较多，主要有 514.5nm514.5nm和和488.0nm488.0nm两个蓝绿色两个蓝绿色 的谱线，是的谱线，是可见光区域中最强可见光区域中最强的激光器。的激光器。；3 3、一般连续输出几瓦到十几瓦，甚至上百瓦。、一般连续输出几瓦到十几瓦，甚至上百瓦。4 4、输出波长易输出波长易 被血红蛋白吸收，所以氩离子激光器对生物被血红蛋白吸收，所以氩离子激光器对生物止血效果最好止血效果最好。在临床上主要用于外科手术，用它作在临床上主要用于外科手术，用它作“光刀光刀”，尤其是上、下消化道出血时，氩离子激光器可以利用光，尤其是上、下消化道出血时，氩离子激光器可以利用光纤导人内镜进行止血等非手术治疗。目前它广泛用于眼科凝纤导人内镜进行止血等非手术治疗。目前它广泛用于眼科凝固、皮肤科、内科等综合治疗领域。固、皮肤科、内科等综合治疗领域。表表 氩离子激光的可见光光谱线氩离子激光的可见光光谱线激光跃迁能级 波长(nm)或率（W）4P2S01/24S2P1/2 457.9 0.35 4P2D03/24S2P3/2 472.7 0.30 4P2P03/24S2P1/2 476.5 0.75 4P2D05/24S2P3/2 488.0 1.50 4P2D03/24S2P1/2 496.5 0.70 4P4D05/24S2P3/2 514.5 2.00 4P4D03/24S2P3/2 528.7 0.34准分子激光器准分子激光器一、工作物质一、工作物质 “准分子准分子”：不是稳定分子。它是：不是稳定分子。它是混合气体混合气体受到外来受到外来能量激发所引起的一系列物理和化学的反应中能量激发所引起的一系列物理和化学的反应中曾经形成曾经形成但但转转瞬即逝瞬即逝的分子，其寿命仅为的分子，其寿命仅为几十毫秒几十毫秒。这类激光器的工作物质是受激的气体原子这类激光器的工作物质是受激的气体原子(如如ArAr、KrKr、XeXe，用，用RgRg表示表示)和卤元素和卤元素(例如例如F F、ClCl，用，用X X表示表示)结合而成的结合而成的准分子，准分子，如氟化氩如氟化氩(ArFArF)、氯化氪、氯化氪(KrClKrCl)、氟化氙、氟化氙(XeFXeF)等等;二、工作原理二、工作原理 通常情况下，基态的稀有气体原子化学性质稳定，因此呈通常情况下，基态的稀有气体原子化学性质稳定，因此呈两种气体两种气体混合状态（混合状态（Rg+XRg+X）。但当它们受到激发时，如。但当它们受到激发时，如电子电子束的轰击或高压激励束的轰击或高压激励等，稀有气体原子就可能从基态跃迁到激等，稀有气体原子就可能从基态跃迁到激发态，甚至被电离，这时很容易和发态，甚至被电离，这时很容易和另一个原子另一个原子形成一个形成一个寿命极寿命极短的分子（短的分子（RgXRgX），这种处于激发态的分子称受激二聚物，简，这种处于激发态的分子称受激二聚物，简称称准分子准分子。RgXRgX基态分子寿命极短，为基态分子寿命极短，为1010-13-13s s量级，它沿着自己的势能量级，它沿着自己的势能曲线想核间距增大的方向移动，曲线想核间距增大的方向移动，直至最终直至最终离解成独立的原子离解成独立的原子Rg+XRg+X。激发态。激发态RgXRgX*能级寿命为能级寿命为1010-8-8s s量级，比基态稳定，因此量级，比基态稳定，因此很很容易形成粒子数反转容易形成粒子数反转。三、基本结构三、基本结构准分子激光器的结构准分子激光器的结构 1功率特性：功率特性：准分子基态的电子迅速排空造成激光准分子基态的电子迅速排空造成激光下能级总下能级总是空的是空的，这样有利于离子数反转的形成，即使，这样有利于离子数反转的形成，即使在超短脉冲下运转，从而可以获得在超短脉冲下运转，从而可以获得较高的输出较高的输出功率（功率（1010瓦量级）瓦量级）。2.输出波长输出波长:从真空紫外到可见光区域从真空紫外到可见光区域 。3脉冲特性：脉冲特性：由于基态寿命短，即使是超短脉冲情况下，由于基态寿命短，即使是超短脉冲情况下，基态也可被认为是空的，因此准分子激光对基态也可被认为是空的，因此准分子激光对产生巨脉冲产生巨脉冲特别有利。特别有利。4.4.能够精确聚焦和控制，其切能够精确聚焦和控制，其切削精度非常高，每个光脉冲切削深削精度非常高，每个光脉冲切削深度为度为0.20.2微米，能够在人的头发丝微米，能够在人的头发丝上刻出各种花样来。上刻出各种花样来。近视眼由于眼球的前后径近视眼由于眼球的前后径太长，眼角膜前表面太凸，外太长，眼角膜前表面太凸，外界光线不能准确会聚在眼底所界光线不能准确会聚在眼底所致。致。准分子激光矫正近视是用准分子激光矫正近视是用电脑精确控制的准分子激光，电脑精确控制的准分子激光，根据近视度数和有无散光在根据近视度数和有无散光在瞳瞳孔区孔区的角膜基质层进行刻蚀，的角膜基质层进行刻蚀，使眼角膜前表面稍稍变平。从使眼角膜前表面稍稍变平。从而使外界光线能够准确地在眼而使外界光线能够准确地在眼底视网膜上会聚成像，达到矫底视网膜上会聚成像，达到矫正近视的目的。正近视的目的。准分子激光治疗近视眼的原理准分子激光治疗近视眼的原理 什么是什么是LASIKLASIK手术手术?LASIKLASIK手术即准分子激光原位角膜磨镶术（手术即准分子激光原位角膜磨镶术（Laser in Situ Laser in Situ KeratomileusisKeratomileusis）：医生用角膜刀掀开一个角膜瓣，在瓣下角膜医生用角膜刀掀开一个角膜瓣，在瓣下角膜基质层上用准分子激光根据近视、远视、散光度数进行精确切削。基质层上用准分子激光根据近视、远视、散光度数进行精确切削。患者术前检查的数据卡输入计算机，由计算机控制切削的范围和患者术前检查的数据卡输入计算机，由计算机控制切削的范围和深度，削出一个光滑的曲面，相当于在角膜上切削出一个眼镜片，深度，削出一个光滑的曲面，相当于在角膜上切削出一个眼镜片，使视力变得清晰。使视力变得清晰。它采用自动微型角膜板层节削仅进行手术，在角膜表面切削一直它采用自动微型角膜板层节削仅进行手术，在角膜表面切削一直径径8 8毫米，厚毫米，厚0.160.16毫米的带蒂板层角膜瓣，翻转角膜瓣后，应用毫米的带蒂板层角膜瓣，翻转角膜瓣后，应用准分子激光电脑控制多步分区角膜基质内切削，最后将角膜瓣复准分子激光电脑控制多步分区角膜基质内切削，最后将角膜瓣复位。位。制做角膜瓣制做角膜瓣 准分子激光切削准分子激光切削 角膜瓣复位角膜瓣复位 LASIK手术示意图手术示意图 角膜微切器切割角膜角膜微切器切割角膜 角膜瓣形成并翻转角膜瓣形成并翻转 角膜中间基质切削区准备角膜中间基质切削区准备 准分子激光切削角膜基质准分子激光切削角膜基质 角膜瓣复位角膜瓣复位 准分子激光角膜原位磨镶术完成准分子激光角膜原位磨镶术完成 智慧型大小光斑技术智慧型大小光斑技术:根据不同的个人数据，根据不同的个人数据，系统系统自动调整光斑大小自动调整光斑大小：光斑直径可在光斑直径可在0.65-0.65-6.5mm6.5mm范围内变化。可范围内变化。可使复杂的角膜切削变得使复杂的角膜切削变得极为轻松。极为轻松。三维主动眼球跟踪技术三维主动眼球跟踪技术:除对眼球在除对眼球在XYXY轴运动进行追踪轴运动进行追踪外，还可以追踪眼球在外，还可以追踪眼球在Z Z轴的立体轴的立体位移，可随眼球运动自动将激光调位移，可随眼球运动自动将激光调整到切削点，极大的加强了手术的整到切削点，极大的加强了手术的安全性和精确性。安全性和精确性。高精度200Hz飞点扫描、193nm氟化氩（ArF)准分子激光和最优光传输系统的完美结合形成光斑直径0.8mm优化高斯光束 染料激光器染料激光器染料激光器染料激光器 固体或其它激光所输出的波长已几乎覆盖了真空紫外至固体或其它激光所输出的波长已几乎覆盖了真空紫外至红外波段，还出现了红外波段，还出现了X X射线波激光器。但是，一般激光器输射线波激光器。但是，一般激光器输出的波长都是出的波长都是固定单一固定单一的，至多也只是有的，至多也只是有几个波长几个波长，这在应，这在应用上有一定的局限性。为此人们研究了用上有一定的局限性。为此人们研究了可调谐激光可调谐激光。染料激光器是染料激光器是液体激光器液体激光器的一种，以染料为工作物质，的一种，以染料为工作物质，如若丹明如若丹明6G6G等，溶剂有乙醇、苯类、水及其他物质。染料的等，溶剂有乙醇、苯类、水及其他物质。染料的能量转换效率很高，可达数百毫瓦。染料激光器的最大特点能量转换效率很高，可达数百毫瓦。染料激光器的最大特点是其输出波长是其输出波长在一定范围内连续可调在一定范围内连续可调，所以称为可调谐激光，所以称为可调谐激光器。医学上常用的可调谐染料激光器有：器。医学上常用的可调谐染料激光器有：N N2 2激光泵浦可调谐激光泵浦可调谐染料激光器和染料激光器和NdNd：YAGYAG激光泵浦可调谐染料激光器等。激光泵浦可调谐染料激光器等。工作原理工作原理染料分子能级图染料分子能级图 S0S0是基态，是基态，S1S1、S2S2是激发态。是激发态。S0S0、S1S1、S2S2本身是由许多密集的本身是由许多密集的振动转动能级组成的。振动转动能级组成的。在在原子光谱原子光谱里，不同电子态之里，不同电子态之间的跃迁产生间的跃迁产生一条锐的谱线一条锐的谱线；在；在分子光谱分子光谱里，不同电子态（例如里，不同电子态（例如S1S1与与 S0S0）之间的跃迁将产生由一）之间的跃迁将产生由一簇密集的谱线组成的簇密集的谱线组成的谱带谱带。染料。染料分子的这种能级结构是染料激光分子的这种能级结构是染料激光器的输出波长在一定范围内可调器的输出波长在一定范围内可调的根本原因。的根本原因。一、染料分子能级一、染料分子能级染料分子能级图染料分子能级图 吸收了外来光子后，分子吸收了外来光子后，分子就从基态能级跃迁到就从基态能级跃迁到S1S1态的较态的较高的振动转动能上（图中高的振动转动能上（图中AbAb）。由于频繁的热交换，）。由于频繁的热交换，大多数被激发的分子无辐射地大多数被激发的分子无辐射地衰变到衰变到S1S1态的最低的振动转动态的最低的振动转动能级上（图中能级上（图中bBbB）。这样，）。这样，在在B B与基态与基态S0S0的较高的振动转动的较高的振动转动能级（图中能级（图中a a）之间就实现了）之间就实现了粒粒子数反转子数反转。当反转达到阈值时，。当反转达到阈值时，就可以产生激光。就可以产生激光。可见染料激光形成过程，经可见染料激光形成过程，经历了历了两次无辐射跃迁两次无辐射跃迁。二、染料分子的光辐射过程二、染料分子的光辐射过程三、染料分子的三重态三、染料分子的三重态三、染料分子的三重态三、染料分子的三重态“陷阱陷阱陷阱陷阱”能级图中的能级图中的T1T1和和T2T2是是三重态三重态。由于三重态由于三重态T1T1较单态较单态S1S1低，所以处低，所以处在在S1S1中的分子很容易无辐射地跃迁中的分子很容易无辐射地跃迁到到T1T1上，又因为上，又因为T1T1与与S0S0之间不产生之间不产生辐射跃迁，而且辐射跃迁，而且T1T1的寿命较长，约的寿命较长，约为为1010-4-41010-3-3s s，所以，所以T1T1态对于激发态对于激发分子来说，相当于一个分子来说，相当于一个“陷阱陷阱”。当当T1T1态上积累了足够的分子后，态上积累了足够的分子后，T1T2T1T2的吸收将很快使激光器的增的吸收将很快使激光器的增益下降，以致益下降，以致激光淬灭激光淬灭。通常采用。通常采用的方法是在染料中加入三重态的方法是在染料中加入三重态淬灭淬灭剂剂，缩短，缩短TlTl的寿命。的寿命。直管闪光灯泵浦的染料激光器示意图直管闪光灯泵浦的染料激光器示意图 一般由激光工作物质、激励光源、聚光系统和谐振腔一般由激光工作物质、激励光源、聚光系统和谐振腔及波长选择装置组成及波长选择装置组成 输出特性输出特性1 1输出激光波长输出激光波长可调谐可调谐 某些染料激光波长的可调宽度达某些染料激光波长的可调宽度达上百纳米，所以称为可调谐激光器。上百纳米，所以称为可调谐激光器。2 2由于染料分子能级的准连续宽带结构，其荧光谱范围也由于染料分子能级的准连续宽带结构，其荧光谱范围也是准连续宽带，这既使得染料激光器在是准连续宽带，这既使得染料激光器在大范围内可调谐，大范围内可调谐，目目前由染料激光器产生的前由染料激光器产生的超短脉冲宽度超短脉冲宽度可压缩至飞秒（可压缩至飞秒（1010-15-15秒）秒）量。量。3 3染料激光器的染料激光器的输出功率大输出功率大，达数百毫瓦，可与固体激光，达数百毫瓦，可与固体激光器比拟，并且价格便宜。器比拟，并且价格便宜。4 4染料分子是一种染料分子是一种四能级级系统四能级级系统，由于，由于S0S0的较高振动能级的较高振动能级在室温时粒子数几乎为在室温时粒子数几乎为0 0，所以很容易实现粒子数反转，使，所以很容易实现粒子数反转，使得染料分子激光器的得染料分子激光器的阈值很低阈值很低。一、光栅调谐一、光栅调谐 图示为一种光栅图示为一种光栅反射镜调谐腔。光束与谐振腔轴成一反射镜调谐腔。光束与谐振腔轴成一个小角度个小角度（33）。谐振腔由）。谐振腔由反射光栅反射光栅G G与一个镀有介与一个镀有介质膜的质膜的反射镜反射镜M M组成。光栅组成。光栅G G具有具有扩束和色散扩束和色散作用，转动光栅作用，转动光栅就可以改变输出激光的就可以改变输出激光的频率频率。腔内插入一个法布里腔内插入一个法布里珀罗标准具，摆动标准具可以进珀罗标准具，摆动标准具可以进一步选择输出激光的频率。不插入标准具时，输出激光的线一步选择输出激光的频率。不插入标准具时，输出激光的线宽为宽为0.05nm0.05nm，插入标准具后，可获得线宽约为，插入标准具后，可获得线宽约为0.001nm0.001nm的单的单模激光。模激光。输出特性输出特性 二、棱镜调谐二、棱镜调谐 图示为一种折叠式纵向泵浦染料激光器原理图，图示为一种折叠式纵向泵浦染料激光器原理图，腔内放置的腔内放置的棱镜是一种色散元件棱镜是一种色散元件。由于棱镜的色散。由于棱镜的色散作用，一束来自作用，一束来自M3M3、M2M2的不同波长的光，将有不同的不同波长的光，将有不同的折射方向。当旋转平面反射镜的折射方向。当旋转平面反射镜M1M1使其与某一波长使其与某一波长的光的光垂直垂直时，该波长光便能返回谐振腔，形成振荡。时，该波长光便能返回谐振腔，形成振荡。因此，旋转因此，旋转M1M1便可实现调谐作用。便可实现调谐作用。Tunable Lasers Dye Lasers很多有机染料可以被用作激光介质。其中最常见的是若丹明6G（Rhodamine 6G），溶于甲醇或者乙二醇。跃迁上下能级由于和溶剂的相互作用而分裂为连续的能带。分子被激发到上能带后迅速无辐射弛豫到上能带的最低能级，并由此向基态各能级跃迁，产生荧光辐射。辐射荧光曲线不随激发光源的改变而改变。如果将充有染料溶液的小室放置于激光腔内，并提供足够的泵浦能 量，则可以放出激光。如果使用宽带激光反射镜，受激辐射在荧光发射曲线顶点的周围几十个附近发生。可以把反射镜用光栅代替。激发辐射带宽降低到0.5。通过转动光栅，可以让激光在整个荧光发射带范围内调节。泵浦可以用闪光灯来实现，得到的激光脉宽1ms，峰值功率大概几kW，重复频率1Hz。也可以用固定波长激光器，例如氮分子激光器，准分子激光器，铜蒸气激光器或倍频后的Nd:YAG激光器。几种典型装置通过使用各种染料，脉冲染料激光器工作范围可以从320到1000nm。对准分子激光泵浦的染料激光器，能量转换效率可以到1020%。而对于倍频后的Nd:YAG激光器，则可以达到40%。染料激光器脉冲运转较容易，而连续运转比较困难。主要问题是三重态布居数的增加造成的吸收损耗会使激光无法起振。脉冲泵浦时，可以在三重态集聚足够的粒子数之前产生激光。要想达到连续泵浦，则必须去掉三重态分子。可以在溶液中加入某种三重态猝灭剂，可以有效地使三重态分子无辐射跃迁到基态。连续的染料激光器往往使用氩离子或者氪离子激光器泵浦。目前可以覆盖的光谱范围为375950nm。使用染料射流来让染料高速通过激活区。Tunable Solid-State Lasers某些固体激光器的增益曲线范围较宽，因此可以在某个范围内调谐。例如钕玻璃激光器可以在1.01.1mm范围调谐。钛宝石（Ti:Al2O3）激光器可调谐范围为660到1100nm。不使用激光泵浦的可调谐固体激光器引起人们广泛的兴趣。倍频以及受激拉曼散射等可以用来进一步扩展调谐波长。Tunable CO2 Lasers二氧化碳激光器是最有效地气体激光器，功率转换率达到20%。工作波长位于10mm附近，很多工作用的是固定波长的二氧化碳激光器。因为与加入的N2分子的碰撞，(001)模式充分布居。由放电使得氮分子布居于第一振动能级。由此形成与低能级(100),(020)之间的粒子数反转。激光发射可能在子转动能级间发生，并形成位于10.210.8mm和9.29.7mm的几个光谱带。其中最强的谱线为10.59mm。可以使用光栅来选择其一为输出波长。如果使用同位素分子13CO2，则可以增加可选的波长。二氧化碳激光器也可以工作于高气压（1个大气压到10个大气压）。在较高气压下，谱线加宽，不同的振转谱线溶和在一起，从而可以在该波段范围内连续调谐激光。工业上使用的二氧化碳激光器输出功率最高可以达到几十千瓦的量级。光纤激光器光纤激光器 光纤激光器是以光纤激光器是以掺杂光纤掺杂光纤本身为本身为工作物质，工作物质，而该光纤本身而该光纤本身又起到又起到导波作用导波作用的固体激光器。由的固体激光器。由工作物质、谐振腔、泵浦源工作物质、谐振腔、泵浦源三个基本部分组成。三个基本部分组成。优点：优点：1.1.散热性能好、转换效率高、激光阈值低；散热性能好、转换效率高、激光阈值低；2.2.谐振腔可以是直接镀在端面的腔镜、或光纤耦合谐振腔可以是直接镀在端面的腔镜、或光纤耦合器、光纤圈等。器、光纤圈等。3.3.可获得宽带的可调谐激光输出，并调节激光输出。可获得宽带的可调谐激光输出，并调节激光输出。4.4.光纤激光器的某些波长适用于光纤通信的低损耗光纤激光器的某些波长适用于光纤通信的低损耗窗口。窗口。1 掺杂光纤掺杂光纤2 光纤激光器的谐振腔光纤激光器的谐振腔3 掺稀土元素的光纤激光器掺稀土元素的光纤激光器4 超荧光光纤激光器超荧光光纤激光器(SFS)1 掺杂光纤掺杂光纤一、掺杂元素一、掺杂元素掺稀土元素掺稀土元素镧系镧系Xe6S2，外层都为为外层都为为5S25P66S2镧系元素电子结构的镧系元素电子结构的差别只在差别只在4f壳层的电子占壳层的电子占有数有数。1、掺杂浓度、掺杂浓度 最佳在最佳在100ppm量级。量级。太低：太低：掺杂离子的总有效数小于入射光子数，掺杂离子的总有效数小于入射光子数，激发态可能被耗尽。激发态可能被耗尽。太高：太高：稀土离子之间出现非辐射的浓度抑制，稀土离子之间出现非辐射的浓度抑制，跃迁产生激光的能级上有效粒子数减少；导致跃迁产生激光的能级上有效粒子数减少；导致玻璃基质产生结晶效应，不利于产生激光。玻璃基质产生结晶效应，不利于产生激光。2、掺杂光纤的基质、掺杂光纤的基质（1）石英玻璃）石英玻璃 石石英英玻玻璃璃对对稀稀土土元元素素离离子子的的光光谱谱能能级级的的影影响响：产产生斯塔克分裂，使得能级加宽，光谱变宽。生斯塔克分裂，使得能级加宽，光谱变宽。（2）重金属氟化物玻璃）重金属氟化物玻璃优点：优点：通光窗口宽，在通光窗口宽，在300-8000 nm范围透过率很高。范围透过率很高。易于成纤。易于成纤。易于激活，因为氟化物玻璃是稀土元素的理想宿主。易于激活，因为氟化物玻璃是稀土元素的理想宿主。二、石英光纤中掺稀土元素离子的光谱特性二、石英光纤中掺稀土元素离子的光谱特性1、Er 3+、Nd 3+的电子能级的电子能级4I13/24I 15/2Er 3+Nd 3+能级分裂能级分裂4F 5/24F 3/24F 5/22、掺稀土光纤的光谱特性、掺稀土光纤的光谱特性掺钕光纤：掺钕光纤：使用使用800nm、900nm、530nm波波长的泵浦光源，将在长的泵浦光源，将在900nm、1060nm、1350nm波长处得到波长处得到激光。激光。掺铒光纤：掺铒光纤：使用使用800nm、900nm、1480nm、530nm波长的泵浦光源，将在波长的泵浦光源，将在900nm、1060nm、1536nm波长波长处得到激光。处得到激光。掺铒光纤存在最佳光纤长掺铒光纤存在最佳光纤长度（约度（约10m）。）。Er3+Nd3+3、掺杂光纤的激光特性、掺杂光纤的激光特性 掺掺铒铒的的三三能能级级系系统统：基基态态E1、亚亚稳稳态态 E2、高高能能级级E3。从从E3 E1，泵浦几率为泵浦几率为WP，跃迁几率为跃迁几率为WP。E3 非非辐辐射射E2，几几率率为为S32；E3 自自发发辐辐射射和和非非自自发发辐射辐射E2、E1，几率为几率为A32、A31、S31。选择工作物质要求：选择工作物质要求：A32、A31和和S31 S32 以及以及S32 WP(3-1)，N2 N1。一般选择一般选择A21较小的工作物质。较小的工作物质。A32一、一、FP腔腔1，结构，结构M1:对泵浦光高透；对激光高反对泵浦光高透；对激光高反M2:对激光高反（低增益系统对激光高反（低增益系统95%；高增益系统；高增益系统 75%）2，光传输特性光传输特性 理论理论波动光学。假设：波动光学。假设：谐振腔内的光纤伸直；谐振腔内的光纤伸直；为阶跃折射率弱波导光纤。为阶跃折射率弱波导光纤。2 光纤激光器的谐振腔光纤激光器的谐振腔 光光在在腔内传输来回一次后的光强为：腔内传输来回一次后的光强为：要保证激光在腔内振荡，要求：要保证激光在腔内振荡，要求：反反射射光光与与入入射射光光发发生生干干涉涉，为为了了在在腔腔内内形形成成稳稳定定振振荡，要求干涉加强。则腔长与波长满足荡，要求干涉加强。则腔长与波长满足(驻波条件驻波条件)：增益系数增益系数平均损耗系数纵模和横模纵模和横模 在在腔腔内内，轴轴向向驻驻波波场场为为腔腔的的本本征征模模式式光光场场。特特点点：与与轴轴线线垂垂直直的的横横截截面面光光场场稳稳定定均均匀匀分分布布；轴轴线线方方向形成驻波，向形成驻波，称为纵模。称为纵模。节数为节数为q，为纵模序数。为纵模序数。与与轴轴线线垂垂直直的的横横截截面面内内光光场场稳稳定定分分布布，称称为为横横模模，用用LPml表表示示，为为线线性性偏偏振振模模。m为为方方位位数数，表表示示垂垂直直光光纤纤的的横横截截面面内内沿沿圆圆周周方方向向方方位位角角 从从0到到2 光光场场的的变变化化数数（节节线线数数）。l为为径径向向模模数数，表表示示纤纤芯芯区区域域光光场的半径方向变化数场的半径方向变化数(节线数节线数)。LP01表表示示基基模模，它它的的角角向向径径向向节节线线数数没没有有变变化化，为圆形光斑。为圆形光斑。二、基于定向耦合器的谐振腔和反射器二、基于定向耦合器的谐振腔和反射器1、光纤环行谐振腔、光纤环行谐振腔 泵泵浦浦光光由由1端端进进入入，经经耦耦合合器器进进入入环环行行腔腔。激激励励的的激激光光与与泵泵光光无无关关。产产生生的的激激光光由由4端端到到3端端。经经耦耦合合器器分分为为2束束：一一束束从从2端端输输出出；另另一一束束由由4端端返返回回并并被谐振放大；如此反复。被谐振放大；如此反复。其中储存了能量其中储存了能量。掺杂光纤掺杂光纤耦耦合合器器：4端端出出射射光光比比1端端入入射射光光停停滞滞后后/2。2、光纤圈反射器、光纤圈反射器 普普通通单单模模光光纤纤制制成成的的耦耦合合器器的的重重要要特特性性：只只要要在在工工作作波波长长下下单单模模运运行行，在在两两个个输输出出端端与与输输入入端端之之间间存存在在固固定相位差定相位差，交叉耦合的光波比输入光波滞后相位，交叉耦合的光波比输入光波滞后相位 /2。光纤圈的功率反射率光纤圈的功率反射率R、透射率透射率T为：为：从从2端的透射功率总和为端的透射功率总和为0：134 2 的的顺时针光的的顺时针光场相位差为场相位差为0，与从，与从1 4 3 2的逆时针光场的相位差为的逆时针光场的相位差为。两光场因为振幅相同、相位相反两光场因为振幅相同、相位相反而抵消，总和为而抵消，总和为0。光从光从1返回返回。SMF3、光纤、光纤圈圈谐振腔谐振腔 光纤圈为光纤圈为非谐振的干涉仪非谐振的干涉仪结构。注意结构。注意分束器的取分束器的取向向。其中没有能量储存其中没有能量储存。透射透射反射反射反射反射透射透射 光光波波既既可可以以通通过过另另一一端端输输出出；又又可可以以再再从从输输入入端反射。端反射。4 4、全光纤激光器、全光纤激光器 两个光纤圈反射器串联起来组成的谐振腔，两个光纤圈反射器串联起来组成的谐振腔，通通过一条掺杂光纤熔锥而成的过一条掺杂光纤熔锥而成的全光纤激光器全光纤激光器。激光器要实现振荡，激光器要实现振荡，要求光纤圈提供正反馈。要求光纤圈提供正反馈。由此得到谐振腔的有效腔长为：由此得到谐振腔的有效腔长为：L1L2L掺杂光纤掺杂光纤三、可调谐光纤激光器三、可调谐光纤激光器 光光纤纤激激光光器器有有较较宽宽的的波波长长调调节节范范围围，比比染染料料激激光光器器的的化学性质更稳定，不需低温运行化学性质更稳定，不需低温运行，潜在应用价值显著。，潜在应用价值显著。1，反射镜，反射镜+光栅形式可调谐输出谐振腔光栅形式可调谐输出谐振腔 使使用用闪闪耀耀光光栅栅，若若对对激激光光中中心心的的闪闪耀耀级级次次为为M级级，闪闪耀耀角为角为，光栅常数为，光栅常数为d，则光栅方程为：则光栅方程为：只只要要转转动动衍衍射射光光栅栅，使使光光束束相相对对于于光光栅栅法法线线的的入入射射角角在在 附附近近变变化化，就就能实现调节波长能实现调节波长。可调谐激光器可调谐激光器 采采用用这这种种结结构构，利利用用氩氩离离子子激激光光器器的的514nm的的光光作作为为泵泵浦浦光光，分分别别激激励励掺掺铒铒光光纤纤及及掺掺钕钕光光纤纤,可可调调谐谐的的波波长长范范围围分分别别为为25nm和和80nm。由由于于分分束束器器与与光光学学元元器器件件带带来来了了腔腔内内损损耗耗，导导致致阈阈值值功功率率提高。提高。14 nm11 nm四、四、(反射镜反射镜+光纤圈反射器形式光纤圈反射器形式)可调谐输出激光器可调谐输出激光器光纤圈的功率反射率为：光纤圈的功率反射率为：激激光光反反射射率率大于大于95%泵泵 浦浦 光光 反反射率为射率为5%通过改变温度来调节光纤圈的反通过改变温度来调节光纤圈的反射率，使掺杂光纤达到激光谐振放大。射率，使掺杂光纤达到激光谐振放大。五、窄带输出的光纤激光器五、窄带输出的光纤激光器 通过光纤光栅的选模作用：通过光纤光栅的选模作用：达到窄带达到窄带输出。输出。B是布拉格波长，是布拉格波长，d是光栅周期，是光栅周期，ne是有效折是有效折射率。射率。激光线宽激光线宽0.06 nm六、光纤六、光纤Fox-Smith谐振腔谐振腔 一般地，一般地，14段及段及13段的谐振频率不同。段的谐振频率不同。复合腔的纵模频率间隔为：复合腔的纵模频率间隔为：选择适当的选择适当的l3、l4以致于在以致于在整个荧光线宽内只有一个整个荧光线宽内只有一个纵模在振荡。则可以纵模在振荡。则可以实现实现单纵模运转单纵模运转。掺稀土元素的光纤激光器掺稀土元素的光纤激光器1.以以 980 nm的的半半导导体体光光源源作作为泵浦源；为泵浦源；2.掺掺Er 3+光光纤纤中中Er 3+的的受受激激辐辐射产生射产生Laser。一、掺一、掺Er 3+光纤激光器的示例光纤激光器的示例1、Er 3+的三能级系统的三能级系统能级分裂能级分裂 由合适长度的掺由合适长度的掺Er 3+光纤、光纤、980nm大功率半导体大功率半导体激光器泵浦源和谐振腔构成。激光器泵浦源和谐振腔构成。世界上第一台掺世界上第一台掺Er 3+光纤激光器由英国南安谱敦光纤激光器由英国南安谱敦大学的大学的L.Reekie教授于教授于1987年实现。年实现。斜率效率斜率效率=输出功率输出功率/吸收功率吸收功率%=3.3%输入镜输入镜输出镜输出镜吸收功率吸收功率 mW二、掺二、掺NdNd3+3+光纤激光器的示例光纤激光器的示例 由合适长度的由合适长度的掺掺Nd 3+光纤、光纤、800nm大功率半导大功率半导体激光器泵浦源和谐振腔体激光器泵浦源和谐振腔构成。构成。世界上第一台掺世界上第一台掺Nd 3+光纤激光器由英国南安谱光纤激光器由英国南安谱敦大学的敦大学的R.J.Mears教授于教授于1985年实现。年实现。GaAs激光二极管的输出功率激光二极管的输出功率 mW 光光纤纤激激光光器器输输出出功功率率/mW泵浦功率与光纤激光器的输出功率泵浦功率与光纤激光器的输出功率优点：优点：1.不不需需要要水水冷冷即即可可工工作；作；2.不不容容易易饱饱和。和。分类：分类：根根据据泵泵浦浦光光与与超超荧荧光光传传播播方方向向的的异异同同，以以及及光光纤纤两两端端是是否否存存在在反反射射分类。分类。5.4 超荧光光纤激光器超荧光光纤激光器(Superfluorescent Fiber source)单程反向单程反向双程前向双程前向单程前向单程前向双程反向双程反向原理：原理：由由于于泵泵浦浦光光的的激激励励，粒粒子子数数反反转转。如如果果亚亚稳稳态态的的粒粒子子自自发发辐辐射射，产产生生光光子子的的传传输输在在光光纤纤接接收收角角内内，就就能能够够在在光光纤纤内内传传输输，诱诱发发许许多多亚亚稳稳态态的的粒粒子子受受激激辐射跃迁，并产生完全相同的光子而放大。辐射跃迁，并产生完全相同的光子而放大。如如果果光光纤纤的的增增益益足足够够，就就称称之之为为放放大大的的自自发发辐辐射（射（Amplified Spontaneous Emitting,ASE）。特点：与普通光纤激光器相比，特点：与普通光纤激光器相比，没有谐振腔没有谐振腔。SFS的原理、特点的原理、特点双程前向及双程后向掺铒光纤激光器双程前向及双程后向掺铒光纤激光器Fig.2 输出功率与掺输出功率与掺铒光纤长度的关系铒光纤长度的关系超过最佳长度超过最佳长度将被再吸收将被再吸收Fig.3 不同长度光纤的不同长度光纤的泵浦功率与波长的关系泵浦功率与波长的关系光纤端镜的反射率与光谱宽度的关系光纤端镜的反射率与光谱宽度的关系DPF:因因为为1535nm处处的的ASE信信号号比比1550nm处处的的ASE信信号号增长快，所以小的反射率也有大的带宽增长快，所以小的反射率也有大的带宽DPB:反反射射率率达达到到50%时时，1535nm处处的的ASE信信号号饱饱和和，而而1550nm处的处的ASE信号继续增强，所以带宽增加。信号继续增强，所以带宽增加。半导体激光器半导体激光器价带：价带：是价电子能级分裂出来的价电子能带，是价电子能级分裂出来的价电子能带，当晶体处于绝对零度和无外界激发时，价电子当晶体处于绝对零度和无外界激发时，价电子完全被共价健束缚住，是不导电的。完全被共价健束缚住，是不导电的。导带：导带：导带是自由电子能带，在没有自由电子导带是自由电子能带，在没有自由电子的情况下，这个能级是空着的。当有自由电子的情况下，这个能级是空着的。当有自由电子时，它们在外电场作用下就能参与导电时，它们在外电场作用下就能参与导电。禁带（带隙）：禁带（带隙）：在价带和导带之间存在一段空在价带和导带之间存在一段空隙，称为禁带或带隙。隙，称为禁带或带隙。（1 1）半导体的禁带很窄，满带中的电子较易进入导带。导）半导体的禁带很窄，满带中的电子较易进入导带。导带中的电子在外场作用下运动而参与导电。带中的电子在外场作用下运动而参与导电。（3 3）金属）金属导体没有禁带，可显示很强的导电性。导体没有禁带，可显示很强的导电性。（2）绝缘体的禁带很宽，满带中的电子很难进入导带，）绝缘体的禁带很宽，满带中的电子很难进入导带，导电性很差。导电性很差。外外 场场 满带满带导带导带满带满带导带导带满带满带导带导带（1 1）半导体）半导体禁带禁带禁带禁带外外 场场（2 2）绝缘体绝缘体（3 3）金属）金属半导体中的能带半导体中的能带本征半导体本征半导体本征半导体本征半导体：完全纯净、结构完整没有杂质的半导体。完全纯净、结构完整没有杂质的半导体。掺杂半导体：掺杂半导体：掺杂半导体：掺杂半导体：在在本本征征半半导导体体中中掺掺入入微微量量杂杂质质可可使使半半导导体体性性质质发发生生显显著变化，称为掺杂半导体。著变化，称为掺杂半导体。N N N N型型型型半半半半导导导导体体体体：若若掺掺入入的的杂杂质质提提供供电电子子给给导导带带，称称为为N N 型型杂杂质质或或施施主主杂杂质质，如如掺掺入入锡锡和和碲碲。掺掺入入N N型型杂杂质质的的材材料料称称为为N N型型半半导体导体。P P P P型型型型半半半半导导导导体体体体：若若掺掺入入的的杂杂质质提提供供空空穴穴给给价价带带，称称为为受受主主杂杂质质或或P P 型型杂杂质质，如如掺掺入入锗锗。掺掺入入P P 型型杂杂质质的的材材料料称称为为P P 型型半半导体。导体。（1 1）本征半导体）本征半导体纯净的半导体，如硅、锗等。纯净的半导体，如硅、锗等。半半导导体体禁禁带带宽宽度度窄窄、在在外外场场的的作作用用下下,导导带带中中的的电电子子、满满带带中中的的空空穴穴都都可可参参与与导导电电。（本征导电性。见下图）（本征导电性。见下图）外外 场场满带导带半导体的分类半导体的分类（2 2）杂质半导体）杂质半导体 当当四四价价的的元元素素中中 掺掺入入少少量量五五价价元元素素时时形形成成n n 型型半半导导体体。如如：硅硅中中掺掺入入杂杂质质磷磷后后，磷磷原原子子在在硅硅中中形形成成局局部部能能级级位位于于导导带底附近（称为施主能级）。带底附近（称为施主能级）。一一般般温温度度下下，杂杂质质的的价价电电子子很很容容易易 被被激激发发跃跃迁迁至至导导带带，成成为为导导电电电电子子，使使导导带带中中的的电电子子浓浓度度大大大大增增加加。n n 型型半半导导体体以电子导电为主。以电子导电为主。*n 型半导体型半导体外场外场满带导带施主能级n 型半导体型半导体*P 型半导体型半导体 四四价价的的元元素素中中掺掺入入 少少量量三三价价元元素素时时形形成成 P P 型型半半导导体体，如如：在在硅硅中中掺掺入入三三价价的的杂杂质质硼硼，杂杂质质原原子子的的局局部部能能级级位位于于价价带顶附近（称为受主能级）。带顶附近（称为受主能级）。一一般般温温度度下下，满满带带中中的的电电子子很很容容易易被被激激发发跃跃迁迁至至杂杂质质能能级级上上，满满带带中中留留下下的的空空穴穴也也将将因因此此而而大大大大增增加加，而而成成为为多多数数载载流流子子。P P 型半导体以空穴导电为主。型半导体以空穴导电为主。外场外场满带导带受主能级P 型半导体型半导体附：几个附：几个3、4、5价的元素价的元素P-N结：结：正向连接正向连接时，时，P中的空穴和中的空穴和N中的电子都易于通过中的电子都易于通过P-N 结，结，形成形成P N的正向宏观电流。的正向宏观电流。（2）作用：作用：PN结结具具有有单单向向导导电电作作用用,是是制制造造整整流流器器和和集集成成电电路的基本结构。路的基本结构。结果：交界处出现正、负电偶层，阻挡继续扩散达到结果：交界处出现正、负电偶层，阻挡继续扩散达到平衡，形成平衡，形成P-N结。结。P型材料中的空穴将向型材料中的空穴将向N型材料扩散；型材料扩散；N型材型材料中的电子将向料中的电子将向P型材料扩散。型材料扩散。正向连接正向连接反向连接反向连接反向连接反向连接时，时，P中的空穴和中的空穴和N中的电子都难以通过中的电子都难以通过P-N 结。故结。故 P-N结具有单向导电的性能。结具有单向导电的性能。（1）形成：形成：P与与N密切接触密切接触PNPN结的能带图结的能带图(EF)PP型区N型区(EF)N(EF)P(EF)NqVD=(EF)N-(EF)PPNPN结的特性结的特性 PNPN结结的的特特性性：当当P P型型半半导导体体和和N N型型半半导导体体结结合合后后，在在它它们们之之间间就就出出现现了了电电子子和和空空穴穴的的浓浓度度差差别别，电电子子和和空空穴穴都都要要从从浓浓度度高高的的地地方方向向浓浓度度底底的的地地方方扩扩散散，扩扩散散的的结结果果破破坏坏了了原原来来P P区区和和N N区区的的电电中中性性，P P区区失失去去空空穴穴留留下下带带负负电电的的杂杂质质离离子子，N N区区失失去去电电子子留留下下带带正正电电的的杂杂质质离离子子，由由于于物物质质结结构构的的原原因因，它它们们不不能能任任意意移移动动，形形成成一一个个很很薄薄的的空空间间电电荷荷区区，称称为为PNPN结结。其其电电场场的的方方向向由由N N指指向向P P，称称为为内内电电场场。该该电电场场的的方方向向与与多多数数载载流流子子（P P区区的的空空穴穴和和N N区区的的电电子子）扩扩散散的的方方向向相相反反，因因而而它它对对多多数数载载流流子子的的扩扩散散有有阻挡作用，称为势垒。阻挡作用，称为势垒。半导体器件的发光机理半导体器件的发光机理 如如果果在在PNPN结结上上加加正正向向电电压压，外外电电场场与与内内电电场场的的方方向向相相反反，扩扩散散与与漂漂移移运运动动的的平平衡衡被被破破坏坏。外外电电场场驱驱使使P P区区的的空空穴穴进进入入空空间间电电荷荷区区抵抵消消一一部部分分负负空空间间电电荷荷，同同时时N N区区的的自自由由电电子子进进入入空空间间电电荷荷区区抵抵消消一一部部分分正正空空间间电电荷荷，于于是是空空间间电电荷荷区区变变窄窄，内内电电场场被被削削弱弱，多多数数载载流流子子的的扩扩散散运运动动增增强强，形形成成较较大大的的扩扩散散电电流流（由由P P区区流流向向N N区区的的正正向向电电流流）。在在一一定定范范围围内内，外外电电场场愈愈强强，正正向向电电流流愈愈大大，这这时时PNPN结结呈呈现现的的电电阻阻很很低低，即即PNPN结处于导通状态。结处于导通状态。半导体器件的发光机理半导体器件的发光机理 当当外外加加电电场场正正端端接接P区区负负端端接接N区区与与内内电电场场方方向向相相反反时时，电电子子被被迫迫从从N区区向向P区区方方向向集集结结，当当足足够够数数量量的的电电子子能能级级上上升升到到导导带带能能级级，它它们们的的电电子子能能级就超过了势垒能级，电子流过级就超过了势垒能级，电子流过P-N结进入结进入P 区。区。此此时时价价带带中中有有许许多多空空穴穴存存在在而而导导带带中中有有许许多多电电子子存存在在，这这种种状状态态称称为为粒子数反转。粒子数反转。来来自自导导带带的的电电子子失失去去它它的的一一些些能能量量并并下下降降到到价价带带时时，它它们们和和空空穴穴复复合合并产生出光子。这种过程称为复合。并产生出光子。这种过程称为复合。在在理理想想情情况况下下，能能量量完完全全以以光光子子的的形形式式释释放放出出来来。如如果果这这一一过过程程自自发发地地发发生生，则则所所发发生生出出的的光光子子能能量量近近似似地地等等于于带带隙隙的的能能量量Eg，所所产产生生的的光光子子在在许许多多随随机机的的方方向向上上进进行行。另另一一方方面面，若若在在复复合合区区有有足足够够密密度度的的光光子子存存在在，则则自自发发发发射射(或或复复合合)及及受受激激复复合合两两者者都都会会发发生生，所所产产生生的的受受激激光光子子的的行行进进方方向向和和原原始始光光子子相相同同。为为了了使使发发光光半半导导体体(LED)和和二二极极管管激激光光器器(LD)能能分分别正常工作，自发发射和受激发射都是必要的。别正常工作，自发发射和受激发射都是必要的。半导体器件的发光机理半导体器件的发光机理 直直接接复复合合中中一一个个光光子子产产生生一一个个电电子子和和一一个个空空穴穴，它它们们碰碰撞撞后后又又放放出出一一个个光光子子；间间接接复复合合中中载载流流子子被被trap T捕捕捉捉到到，在在trap site中发生复合，并放出热。中发生复合，并放出热。半导体激光器（半导体激光器（LDLD）世世界界上上第第一一只只半半导导体体激激光光器器是是1962年年问问世世的的，经经过过几几十十年年来来的的研研究究，半半导导体体激激光光器器得得到到了了惊惊人人的的发发展展，它它的的波波长长从从红红外外、红红光光到到蓝蓝绿绿光光，被被盖盖范范围围逐逐渐渐扩扩大大，各各项项性性能能参参数数也也有有了了很很大大的的提提高高；其其制制作作技技术术经经历历了了由由扩扩散散法法到到液液相相外外延延法法(LPE)，气气相相外外延延法法(VPE)，分分子子束束外外延延法法(MBE)，MOCVD方方法法(金金属属有有机机化化合合物物汽汽相相淀淀积积)，化化学学束束外外延延(CBE)以以及及它它们们的的各各种种结结合合型型等等多多种种工工艺艺；其其激激射射闭闭值值电电流流由由几几百百mA降降到到几几十十mA，直直到到亚亚mA，其其寿寿命命由