晶圆厂机台二次配系统简介ppt课件

Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介晶圆厂机台二次配电系统简介晶圆厂机台二次配电系统简介(制作人制作人:朱红军朱红军)目录目录一一.晶圆厂机台图片欣赏晶圆厂机台图片欣赏二二.晶圆厂机台一般分区规划晶圆厂机台一般分区规划三三.晶圆厂机台一般编号命名规则晶圆厂机台一般编号命名规则四四.晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置五五.晶圆厂机台二次配电涉及的相关设备及对应设备的特性晶圆厂机台二次配电涉及的相关设备及对应设备的特性六六.晶圆厂机台二次配电工作范围及常用架构图晶圆厂机台二次配电工作范围及常用架构图七七.晶圆厂机台二次配电一般规则晶圆厂机台二次配电一般规则八八.晶圆厂机台二次配电所用之电盘位置规划晶圆厂机台二次配电所用之电盘位置规划九九.晶圆厂机台二次配电时相关准备工作及注意事项晶圆厂机台二次配电时相关准备工作及注意事项十十.晶圆厂对应机台送电操作流程晶圆厂对应机台送电操作流程十一十一.晶圆厂送电相关注意事项晶圆厂送电相关注意事项十二十二.晶圆厂机台电力系统日常维护保养晶圆厂机台电力系统日常维护保养十三十三.问题与讨论问题与讨论晶圆厂机台二次配电系统简介(制作人:朱红军)Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介一一晶圆厂机台图片欣赏晶圆厂机台图片欣赏1.etch-蚀刻区(简称E);一晶圆厂机台图片欣赏Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介一一晶圆厂机台图片欣赏晶圆厂机台图片欣赏2.clean&cmp水槽区(简称C&C);备注备注:C&C是cleanandcmp,一般会叫该部门为水槽其实,C&C不只是水槽,它包括:backsidewetcmp.wet只是一部分,但是也是主要部分一晶圆厂机台图片欣赏备注:C&C是cleanandcmConfidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介一一晶圆厂机台图片欣赏晶圆厂机台图片欣赏3.diffusion-扩散区或者称炉管区(简称D);一晶圆厂机台图片欣赏Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介一一晶圆厂机台图片欣赏晶圆厂机台图片欣赏4.thinfilm-薄膜区(简称T);一晶圆厂机台图片欣赏Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介一一晶圆厂机台图片欣赏晶圆厂机台图片欣赏5.其他实验、量测机台及自动存储仓库STK.一晶圆厂机台图片欣赏Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介二二晶圆厂机台一般分区规划晶圆厂机台一般分区规划 1.说明:制程段机台共分6个区,分别为EC&CPDC&CTB区区A区区E-蚀蚀刻刻区区C&C-水槽水槽区区P-黄黄光光区区D-扩扩散散区区C&C-水槽水槽区区T-薄薄膜膜区区二晶圆厂机台一般分区规划B区A区E-蚀刻区C&C-水槽区PConfidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介三晶圆厂机台一般编号命名规则三晶圆厂机台一般编号命名规则(TOOL ID)1234567EA02-211.目的:用来辨识机台所处的区域及位置2.规则:七位字母和数字编码(内容说明如下)1-表示机台所属部门(P:photo-黄光区,E:etch-蚀刻区,T:thinfilm-薄膜区,D:diffusion-扩散区,C:C&C-洗净区洗净区)2-表示FAB区域(AorB)34-表示表示工作Bay(0116)5-表示连接符(-)6 7-表示序列号(0199)三晶圆厂机台一般编号命名规则(TOOLID)123456Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介1234567EA02-213.范例如下:三晶圆厂机台编号命名规则三晶圆厂机台编号命名规则(TOOL ID)1234567EA02-213.范例如下:三晶圆厂机台Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介FAB A EQ ID中的中的Serial No 以每条以每条BAY机台排列的机台排列的逆逆时时针方向增加针方向增加(From01-99)3.范例如下:三晶圆厂机台编号命名规则三晶圆厂机台编号命名规则(TOOL ID)FABAEQID中的SerialNo以每条BAY机Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介FAB B EQ ID中的中的Serial No 以每条以每条BAY机台排列的机台排列的顺顺时时针方向增加针方向增加(From01-99)3.范例如下:三晶圆厂机台编号命名规则三晶圆厂机台编号命名规则(TOOL ID)FABBEQID中的SerialNo以每条BAY机Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介1.机台内置开关(无电盘);四晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置四晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置备注备注:除了除了E-蚀刻区和蚀刻区和T-薄膜区部分机台自带电盘外薄膜区部分机台自带电盘外,全区全区机台机台基本上为内置开关基本上为内置开关,位位 置大多分布于置大多分布于FAB层层(3F)配电配电接点接点配电配电接点接点配电配电接点接点1.机台内置开关(无电盘);四晶圆厂机台二次配电所对应设备Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介四晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置四晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置2.机台自带电盘(AC BOX);备注备注:自带电盘的机台自带电盘的机台,大致分布在大致分布在E-蚀刻区和蚀刻区和T-薄膜区薄膜区,位置基本分布在位置基本分布在SUB-FAB 层层(1F和和2F).配电配电接点接点配电配电接点接点配电配电接点接点配电配电接点接点四晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置2.机台自带电盘(Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介四晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置四晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置3.附属抽气马达(PUMP);备注备注:机台附属之机台附属之PUMP,大致分布在大致分布在E-蚀刻区、蚀刻区、D-扩散区和扩散区和T-薄膜区薄膜区,位置基本分布位置基本分布在在SUB-FAB层层(1F和和2F,且且1F居多居多).配电配电接点接点配电配电接点接点四晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置3.附属抽气马达(Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介四晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置四晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置4.附属气体处理器(SCRUBBER);备注备注:机台附属之机台附属之SCRUBBER,大致分布在大致分布在E-蚀刻区、蚀刻区、D-扩散区和扩散区和T-薄膜区薄膜区,位置基位置基本分布在本分布在SUB-FAB层层(1F和和2F).配电配电接点接点配电配电接点接点四晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置备注:机台附属之SConfidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介四晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置四晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置5.附属二氧化碳自动灭火器(CO2盘柜);备注备注:机台附属之机台附属之CO2盘柜,大致分布在大致分布在C-水槽区水槽区,位置布置于位置布置于FAB层层(3F).配电配电接点接点配电配电接点接点四晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置5.附属二氧化碳自Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介四晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置四晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置6.附属加热控制器等.备注备注:机台附属之机台附属之加热控制器加热控制器,大致分布在大致分布在C-水槽区水槽区,位置布置于位置布置于FAB层层(3F)和和SUB-FAB(2F).配电配电接点接点配电配电接点接点四晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置备注:机台附属之加Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介五晶圆厂机台二次配电涉及的相关设备及对应设五晶圆厂机台二次配电涉及的相关设备及对应设备的特性备的特性1.母线槽及插接箱(插接箱有自锁和安装方便之功能,其盖板在插接箱已经送电后将无法打开);插接箱插接箱母线槽母线槽插接箱内部插接箱内部五晶圆厂机台二次配电涉及的相关设备及对应设备的特性1Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介五晶圆厂机台二次配电涉及的相关设备及对应设五晶圆厂机台二次配电涉及的相关设备及对应设备的特性备的特性2.插接式电盘(内设母线槽便于安装插接式开关);插接式电盘插接式电盘盘内布置盘内布置五晶圆厂机台二次配电涉及的相关设备及对应设备的特性2Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介五晶圆厂机台二次配电涉及的相关设备及对应设五晶圆厂机台二次配电涉及的相关设备及对应设备的特性备的特性3.插接式断路器(方便安装和拆卸);插接式断插接式断路器路器五晶圆厂机台二次配电涉及的相关设备及对应设备的特性Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介五晶圆厂机台二次配电涉及的相关设备及对应设五晶圆厂机台二次配电涉及的相关设备及对应设备的特性备的特性4.电缆及桥架.电缆电缆桥架桥架五晶圆厂机台二次配电涉及的相关设备及对应设备的特性Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介六晶圆厂机台二次配电工作范围及常用架构图六晶圆厂机台二次配电工作范围及常用架构图插接箱(PLUGIN)电盘(I-LINEPanel)机台电源接点设备机台电源接点设备Equipment红色尖头内部为机红色尖头内部为机台台二次配二次配电工作范电工作范围围现场开关箱或内置开关母线(BUSWAY)1.机台二次配电工作范围六晶圆厂机台二次配电工作范围及常用架构图插接箱(PLUGConfidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介六晶圆厂机台二次配电工作范围及常用架构图六晶圆厂机台二次配电工作范围及常用架构图母线槽母线槽(BUSWAY)母线槽系统母线槽系统(BUSWAY)经插经插接式电盘接式电盘(I LINE PANEL)将将电源于不停电状态下分别接电源于不停电状态下分别接至各个设备至各个设备母线槽系统母线槽系统(BUSWAY)经插经插接箱接箱(PLUG-UNIT)将电源于将电源于不停电状态下引接至各个设不停电状态下引接至各个设备备母线槽母线槽(BUSWAY)授授电端电端:额定电流额定电流2000A变电室变电室备注备注:一般规定负载需求电流在一般规定负载需求电流在100A以下以下(包包括括100A)的机台配电的机台配电,来源于电盘来源于电盘;负载需求电负载需求电流在流在100A以上以上(不包括不包括100A)的机台配电的机台配电,直直接来源于插接箱接来源于插接箱.2.机台二次配电常用架构图六晶圆厂机台二次配电工作范围及常用架构图母线槽(BUSWAConfidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介七晶圆厂机台二次配电一般规则七晶圆厂机台二次配电一般规则1.晶圆厂机台二次配电系统分类(1).一般市电(NORMAL)配电系统需求机台如下：.一般机台所用的主电源(如E-蚀刻区主电;C-水槽区主电;P-黄光区主电;D-扩散区或炉管区主电).实验机台所用的电源(如E-蚀刻区;C-水槽区;P-黄光区;D-扩散区或炉管区;T-薄膜区)(2).不间断电源(UPS)配电系统需求机台如下：.一般机台所用的控制电源(如E-蚀刻区控制电;C-水槽区控制电及CO2控制柜电;P-黄光区控制电;D-扩散区或炉管区控制电;T-薄膜区控制电).特殊机台所用的主电及控制电源(如T-薄膜区主电及控制电)备注备注:一般对于生产机台来说一般对于生产机台来说,E电电(应急电应急电)只当只当N电电(一般市电一般市电)使用使用.七晶圆厂机台二次配电一般规则1.晶圆厂机台二次配电系统分类Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介七晶圆厂机台二次配电一般规则七晶圆厂机台二次配电一般规则2.晶圆厂机台二次配电电压类型因各国的电压标准不同,导致机台二次配电压有所不同:渝德19.05K生产线中90%机台二次配电的电压为120/208V,10%的机台因来源不同导致需求为220/380V.以下为各国电压标准:美 洲 地 区 国 名 电 压频 率美国12060夏威夷12060智利22050加拿大12060墨西哥12760亚 洲 地 区 国 名 电 压频 率韩国110/22060日本10050香港20050中国22050菲律宾22060泰国22050新加坡23050印度23050(1)(2)七晶圆厂机台二次配电一般规则2.晶圆厂机台二次配电电压类型Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介七晶圆厂机台二次配电一般规则七晶圆厂机台二次配电一般规则(3)欧 洲 地 区 国 名 电 压频 率英国24050法国127/22050意大利127/22050西班牙127/22050希腊22050瑞典22050奧地利22050德国22050荷兰22050挪威、瑞典22050俄国127/22050非 洲 地 区 国 名 电 压频 率中非22050摩洛哥11550南非22050埃及22050刚果22050肯亚24050尚比亚23050奈及利亚23050(4)七晶圆厂机台二次配电一般规则(3)欧洲地区国Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介八晶圆厂机台二次配电所用之电盘位置规划八晶圆厂机台二次配电所用之电盘位置规划1.电盘位置规划:从节省材料考虑,可以布置于SUB-FAB每个区(A区和B区)中心线上,根据情况在ECPDT区域各自布置2至4个电盘(包含N电和U电);从美观、操作和管理方便以及不易同其他设备冲突考虑,尽量布置于SUB-FAB的两侧回风道内,区域内各自布置2至4个电盘(包含N电和U电).B区区A区区B区中心线区中心线A区中心线区中心线A区回风道区回风道B区回风道区回风道八晶圆厂机台二次配电所用之电盘位置规划1.电盘位置规划:BConfidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介九晶圆厂机台二次配电时相关准备工作及注意事项九晶圆厂机台二次配电时相关准备工作及注意事项1.机台配电时,相关准备工作A.在得到业主通知后,进行现场会勘:准备好会签单,记录机台配电需求,并要求业主签字确认;同其他厂商(如气体包-Gas/基础包-Foundation/排气包-EX/制程冷却水包-PCW/真空包-PV/化学包-CHEMICAL/纯水包-DI/废水包-Drain等)协商好各自的施作空间和位置并各自在确认好的位置处做好标识.B.设计施工图:根据会勘状况进行施工图绘制,施工图绘制好后,通过送审业主得到确认后,开始现场备料施作.九晶圆厂机台二次配电时相关准备工作及注意事项1.机台配电时Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介九晶圆厂机台二次配电时相关准备工作及注意事项九晶圆厂机台二次配电时相关准备工作及注意事项2.配电相关注意事项A.禁止触碰与本工程无关的机台部位:在配电施作时,根据施工图纸进行施作,不可随意触碰与本工程无关的机台部位,以免造成不必要的纠纷.B.机台配电电缆施作路径:从SUB-FAB(2F)层的电盘或者插接箱,通过桥架或者电线管,再经高架地板配线至机台.九晶圆厂机台二次配电时相关准备工作及注意事项2.配电相关注Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介NNNYNNNYYYYYN十晶圆厂对应机台送电操作流程十晶圆厂对应机台送电操作流程插节箱送电检查插节箱送电检查插节式电盘插节式电盘(I LINE PANEL)送电检查送电检查机台送电检查机台送电检查机台送电检查机台送电检查机台送电检查机台送电检查机台送电检查机台送电检查机台送电检查机台送电检查机台送电检查机台送电检查YNNNYNNNYYYYYN十晶圆厂对应机台送电操作流程插节Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介十一晶圆厂送电相关注意事项十一晶圆厂送电相关注意事项1.1.机台送电前机台送电前(1).确保设备开关为断开位置(2).确保现场衔接位置的所有螺丝固定 牢固(3).回路的绝缘量测完好2.2.送电中送电中(1).送电时,电盘和机台侧至少分别配2 个操作人员(2).送电时,要确保机台操作门面关闭(3).非相关人员要求远离送电机台(4).送电开关要求重复开断至少两次十一晶圆厂送电相关注意事项1.机台送电前Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介十一晶圆厂送电相关注意事项十一晶圆厂送电相关注意事项3.3.送电完成送电完成(1).用万用表测量电压是否符合用点需 求(2).用相序表测量,相序是否正确(3).记录下送电机台相关测量参数(4).在机台处贴上送电标示(标示所用的 纸张要求为无尘纸)十一晶圆厂送电相关注意事项3.送电完成Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介十二晶圆厂机台电力系统日常维护保养十二晶圆厂机台电力系统日常维护保养1.二次配电力系统日常维护保养的内容主要是：对相关设备进行清扫、吹尘、擦拭，检查插节式电盘(ILINEPANEL)、插接箱、盘内断路器等固定是否牢固，安全装置是否正常，盘体多功能表运行参数是否正常，机台运行是否正常，附属设备是否正常等，消除不正常的现象。2.设备日常维护保养要求做到：(1)、所有设备外观整洁。(2)、所有设备的工作正常。十二晶圆厂机台电力系统日常维护保养1.二次配电力系统Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介十二晶圆厂机台电力系统日常维护保养十二晶圆厂机台电力系统日常维护保养(3)、所有设备的运行状态正常，各指示仪表显示信号正 常。(4)、所有设备的调节操作手柄、按钮灵活可靠。(5)、所有设备的安全保护装置功能正常。(6)、设备周围整洁，无乱堆放杂物.十二晶圆厂机台电力系统日常维护保养(3)、所有设备的运行Confidential,unpublished property of L&K.Do not duplicate or distribute L&K Engineering Co.,Ltd.2008晶圆厂机台二次配电系统简介十三十三.问题与讨论问题与讨论!十三.问题与讨论!