精密超精密及特种加工技术

精 密 超 精 密 加 工 技 术 内 涵 及 特点 第 五 章 精 密 超 精 密 及 特 种 加 工 技 术 超 精 密 加 工 特 点o 超 精 密 加 工 时 ， 对 刀 具 的 刃 磨 、 砂 轮 修 整 和 机 床 调 整均 有 很 高 要 求 。o 超 精 密 加 工 是 一 门 综 合 性 高 技 术 ， 凡 是 影 响 加 工 精 度和 表 面 质 量 的 因 素 都 要 考 虑 。o 超 精 密 加 工 一 般 采 用 计 算 机 控 制 、 在 线 控 制 、 自 适 应控 制 、 误 差 检 测 和 补 偿 等 自 动 化 技 术 来 保 证 加 工 精 度和 表 面 质 量 。o 超 精 密 加 工 不 仅 有 传 统 的 切 削 和 磨 削 加 工 ,只 有 综 合应 用 各 种 加 工 方 法 ， 才 能 得 到 很 高 的 加 工 精 度 和 表 面质 量 。第 五 章 精 密 超 精 密 及 特 种 加 工 技 术 超 精 密 加 工 应 用超 精 密 加 工 的 分 类超 精 密 切 削超 精 密 磨 削超 精 密 研 磨 和 抛 光超 精 密 加 工 是 尖 端 技 术 产 品 发 展 不 可 缺 少 的 关 键 加 工手 段 ， 不 管 是 军 事 工 业 还 是 民 用 工 业 ， 都 需 要 这 种 先进 的 加 工 技 术 。 第 五 章 精 密 超 精 密 及 特 种 加 工 技 术 超 精 密 加 工 关 键 技 术 超 精 密 加 工 的 关 键 技 术 包 括 ： 超 精 密 加 工 机 理 、 超精 密 加 工 工 具 技 术 、 超 精 密 加 工 机 床 制 造 技 术 、 在 线 检测 与 误 差 补 偿 技 术 等 。1 超 精 密 加 工 工 具 技 术2 超 精 密 加 工 机 床超 精 密 加 工 机 床 是 实 现 超 精 密 加 工 的 首 要 条 件 ， 目 前超 精 密 加 工 机 床 一 般 是 采 用 高 精 度 空 气 静 压 轴 承 支 撑主 轴 系 统 ， 空 气 静 压 导 轨 支 撑 进 给 系 统 的 结 构 模 式 。 第 五 章 精 密 超 精 密 及 特 种 加 工 技 术 超 精 密 加 工 关 键 技 术3 在 线 检 测 与 误 差 补 偿4 超 精 密 加 工 的 工 作 环 境超 精 密 加 工 必 须 在 超 稳 定 的 环 境 下 进 行 。 超 稳 定环 境 主 要 是 指 恒 温 、 超 净 和 防 振 三 个 方 面 。第 五 章 精 密 超 精 密 及 特 种 加 工 技 术 第 五 章 精 密 超 精 密 及 特 种 加 工 技 术 光 学 自 由 曲 面 制 造 技 术 的 理 论 和 方 法 光 学 自由 曲 面 零 件 高 精 度 机 械 测 量 与 光 学 测 量 新 原 理 ，新 方 法 ； 大 镜 面 测 量 方 法 ， 工 件 的 高 精 度 定 位 、自 由 曲 面 的 轮 廓 误 差 评 定 、 海 量 数 据 处 理 新 的 数学 工 具 和 新 的 算 法 ； 自 由 曲 面 光 学 表 面 成 形 、 修形 和 抛 光 新 原 理 和 新 方 法 ； 光 学 自 由 曲 面 超 精 密机 床 关 键 技 术 与 方 法 。关 键 技 术 1 第 五 章 精 密 超 精 密 及 特 种 加 工 技 术 微 /纳 加 工 表 面 /亚 表 面 完 整 性 的 评 价 与 控 制 纳米 级 加 工 过 程 的 理 论 及 表 层 形 成 机 理 ， 微 /纳 表 面及 表 层 完 整 性 评 价 理 论 、 指 标 体 系 及 其 控 制 方 法 ； 表面 完 整 性 的 控 制 的 工 程 新 方 法 ； 不 同 光 学 材 料 与 加 工参 数 对 亚 表 面 特 征 的 影 响 与 控 制 的 方 法 ； 原 子 级 表 面平 坦 化 加 工 新 原 理 及 方 法 ； 超 光 滑 表 面 加 工 新 技 术 和实 验 方 法 。关 键 技 术 2 第 五 章 精 密 超 精 密 及 特 种 加 工 技 术 超 精 密 加 工 装 备 与 新 型 工 具 的 关 键 基 础 理 论 与 方 法 超 精 密 机 床 高 静 刚 度 和 动 刚 度 的 特 殊 部 件 与 整 体 结 构 ，超 精 密 尺 度 量 级 的 模 块 化 设 计 、 构 建 技 术 与 实 验 理 论和 方 法 ； 多 轴 超 精 密 机 床 轴 系 与 驱 动 技 术 ； 超 精 密 快速 定 位 和 轨 迹 跟 踪 控 制 技 术 ； 超 精 密 加 工 的 在 位 检 测 、误 差 分 离 、 建 模 与 补 偿 理 论 与 方 法 ； 超 精 密 磨 削 与 研抛 用 新 型 磨 具 、 固 结 磨 料 机 械 化 学 抛 光 垫 等 工 具 的 科学 设 计 方 法 与 性 能 优 化 。关 键 技 术 3 l 特 种 加 工 概 述l 电 火 花 加 工l 电 火 花 线 切 割 加 工l 电 解 加 工l 超 声 波 加 工l 磨 料 喷 射 加 工l 激 光 加 工l 电 子 束 加 工l 超 声 波 加 工第 五 章 精 密 超 精 密 及 特 种 加 工 技 术 第 五 章 精 密 超 精 密 及 特 种 加 工 技 术 微 细 电 加 工 深 入 探 讨 微 细 电 加 工 方 法 的 加 工 体 系 ，探 索 材 料 去 除 与 增 长 相 结 合 的 可 逆 微 细 电 加 工 技 术 ，并 针 对 特 种 材 料 、 复 杂 形 面 零 件 的 微 细 电 加 工 进 行 研究 ， 形 成 系 统 化 的 微 细 电 加 工 技 术 体 系 。 基 于 新 原 理 新 方 法 的 特 种 加 工 新 工 艺 充 分 发 挥 特种 加 工 能 量 形 式 的 多 样 性 ， 利 用 新 的 能 量 形 式 或 最 新技 术 ， 发 明 新 的 电 加 工 方 法 和 新 工 艺 ； 关 注 新 材 料 的发 展 ， 特 别 是 难 加 工 材 料 的 发 展 需 求 ， 研 究 出 针 对 其加 工 需 要 的 新 原 理 和 新 方 法 ； 实 现 特 种 加 工 的 不 断 技术 创 新 。 第 五 章 精 密 超 精 密 及 特 种 加 工 技 术 与 生 物 、 纳 米 技 术 的 交 叉 性 课 题 利 用 电 加 工 自 身的 优 势 ， 特 别 是 可 以 方 便 控 制 加 工 能 量 ， 形 成 纳 米加 工 能 力 ， 实 现 对 生 物 技 术 的 制 造 需 求 。 同 这 两 个 学科 的 交 叉 有 可 能 产 生 出 新 的 研 究 课 题 。 系 统 性 系 列 化 的 加 工 机 理 深 入 研 究 采 用 新 的 理 论 、测 量 手 段 、 计 算 与 仿 真 方 法 ， 对 加 工 的 基 本 现 象与 基 本 原 理 进 行 深 入 系 统 的 研 究 ， 在 加 工 机 理 的 认 知方 面 取 得 新 的 突 破 ， 带 动 特 种 加 工 技 术 研 究 在 新 的 理论 指 导 下 产 生 重 大 飞 跃 。 第 五 章 精 密 超 精 密 及 特 种 加 工 技 术 激 光 三 维 微 纳 制 造 技 术 重 点 针 对 下 一 代 计 算 机 芯片 、 生 物 芯 片 、 微 机 电 系 统 的 制 造 ， 结 合 超 短 脉 冲 、超 短 波 长 激 光 技 术 的 发 展 ， 研 究 激 光 三 维 微 纳 制 造 新工 艺 、 新 方 法 和 新 技 术 。 等 离 子 体 弧 特 性 及 其 控 制 技 术 研 究 等 离 子 体 弧 诊断 技 术 及 获 取 优 质 弧 柱 的 关 键 技 术 ， 深 化 对 等 离 子 体弧 稳 定 性 、 能 量 分 布 等 共 性 指 标 的 控 制 机 理 的 认 识 ；研 制 可 控 性 好 、 弧 柱 更 稳 定 的 加 工 装 备 ， 在 微 弧 加 工装 备 和 大 功 率 加 工 装 备 研 究 方 面 取 得 突 破 。 本 章 结 束 ， 谢 谢 配 合 ！