电子功能材料与元器件：8-2 压阻式压力传感器的结构与制备

资源描述

LOGO8-2 8-2 压阻式压力传感器的结构与制备压阻式压力传感器的结构与制备第八章压力传感器LOGO主要内容8-2-1 压阻式压力传感器的基本结构8-2-2 硅压力膜片的应力分布8-2-3 压力传感器的制作LOGO8-2-1 压阻式压力传感器的基本结构LOGO8-2-2 硅压力膜片的应力分布LOGO8-2-2 硅压力膜片的应力分布在圆心和边缘在圆心和边缘部位的应力最大，部位的应力最大，把扩散电阻条配把扩散电阻条配置在应力最大的置在应力最大的位置，以获得最位置，以获得最大的灵敏度。大的灵敏度。LOGO8-2-3 压力传感器的制作LOGO8-2-3 压力传感器的制作1.衬底材料的选择LOGO8-2-3 压力传感器的制作2.晶面和晶向的选择3.表面掺杂浓度与温度特性RR T（8-15）LOGO8-2-3 压力传感器的制作p1pe（8-15）LOGO8-2-3 压力传感器的制作TTLOGO知识点1.压阻式压力传感器典型结构和设计传感器时要重点考虑的问题。

展开阅读全文

电子功能材料与元器件：8-2 压阻式压力传感器的结构与制备

最新文档