激光显微共焦拉曼光谱系统附件一

激光显微共焦拉曼光谱系统 附件一一货物需求：显微共焦拉曼光谱仪系统一套。二详细技术参数：系统的主要技术指标：1) 250mm焦长，系统总通光效率大于30%。2）波长范围：200nm1050nm。3）光谱扫描范围： 325nm 激发Raman(200-4000cm-1)，532nm 激发158000 cm-1，632.8nm 激发100-6000 cm-1，785nm 激发15-3200cm-1,1064nm激发100-3200 cm-1。4）光谱分辨率：可见全谱段等于或小于1cm-1, 紫外(325nm)段3cm-1，红外（1064nm）段3cm-1。5）光谱重复性（测量多少次50次）：0.15cm-1。6）空间分辨率：横向 0.5微米 ，光轴方向 2微米。 7）灵敏度：硅三阶峰信噪比好于 15: 1,并可见四阶峰；(指光谱仪无低波数附件时的灵敏度)。8）低波数：小于或等于15cm-1(785nm激发)，15cm-1(532nm激发)；9) CCD探测器：应使用紫外和近红外同时增强深耗散层型CCD探测器，优质芯片，半导体制冷到-70C,为确保图像质量，避免边缘畸变，芯片尺寸应 138.5mm，像元尺寸22 mm。10）第二探测器组件（InGaAs探测器）：0.9 um1.65 um，包含软件包，液氮或半导体制冷。11）光源及控制系统：632.8nm，17毫瓦；785nm, 275毫瓦；514.5nm，40毫瓦,325nm激光器30毫瓦。12）可导入脉冲激光光源（405nm）进行瞬态测量，信号光可引入TCSPC，提供TCSPC探测器接口，（需考虑放滤光片位置）。包含附件：1.直接二维拉曼成像功能（532/785 nm激发）。2.大面积快速扫描拉曼成像功能。3.三维拉曼成像功能。3.冷热台及控制器（-195 oC to +600 oC）4.冷热台及控制器（室温 to +1500 oC）5.催化反应拉曼原位池（室温 to +1000 oC）6.TCSPC系统7.自动xyz三维平台。8.拉曼偏振测量附件。系统的详细技术规格：一、 显微镜：研究级正置徕卡显微镜。1、原配物镜：5、20、50和100物镜，15和40紫外物镜.2、配置50x长焦物镜（WD8.1 mm）和100x长焦物镜（WD3.4mm）3、彩色摄像头，4、XY 手动样品台5、显微镜摄像机可观察紫外激光光斑含反、透射照明系统（含聚光透镜）二、光谱仪要满足低波数、高灵敏度、高分辨率要求，尽量同时满足低波数、高灵敏度、高分辨率要求，详见以下指标：1、 拉曼频移范围：325nm 激发200-4000cm-1，532nm 激发158000 cm-1，632.8nm 激发100-6000 cm-1，785nm 激发15-3200cm-1,1064nm激发100-3200 cm-1。2、 焦长250mm，通光效率30%3、 高灵敏度：硅三阶峰的信噪比好于15:1，并能观察到四阶峰，要求灵敏度尽量高。检测条件：使用单晶硅片，波长532nm，到样品上功率10mW，狭缝宽度（或针孔）小于50微米，光栅大于等于600g/mm，曝光时间100 秒，累加次数3 次，binning等于1。显微镜头为X100倍。4、 光谱重复率： 0.2cm-15、 光谱分辨率：可见全谱段=1cm-1, 紫外(325nm)全谱段3cm-1,红外（1064 nm）全谱段3 cm-1 要求光谱分辨率尽量高。6、 光谱分辨率和灵敏度的综合性能：在满足1cm-1分辨率时的灵敏度需尽量高，在50%，在300nm 处30%（见响应文件的响应曲线）5、 暗噪声0.005 电子/秒/像元6、 读出噪声7 电子/像元四、共焦技术1、具备共焦性能。 2、空间分辨率横向（光斑直径）小于0.5 m，纵向小于2m，共焦深度连续可调。五、计算机奔腾以上机型，Windows 操作系统。Windows 下光谱专业软件包 - 包括仪器控制，数据采集、计算和处理及曲线拟合等各项功能。软件具有加、减、乘、除、荧光扣除等功能。数据库包括：谱库搜索软件，矿物数据库，高分子数据库。六、激发波长1、325nm激发波长1.1、325nm激光器，30mw, kimmon产，相关波长30cm, TEMoo模，要求线宽窄，频率稳定性好；带电源及该激光器运行所需配件。1.2 两台325nm激光器。2、532nm激发波长2.1、532nm激光器，50mw, TEMoo模，要求线宽窄，频率稳定性好；带电源及该激光器运行所需配件。3、632nm激发波长。3.1、632nm激光器，17mw, TEMoo模，要求线宽窄，频率稳定性好；带电源及控制。带电源及该激光器运行所需配件。4、785nm激发波长4.1、785nm激光器，250mw, TEMoo模，单纵模，要求线宽窄，频率稳定性好；带电源及控制。带电源及该激光器运行所需配件。5、1064nm激发波长5.1、1064nm激光器，200mw, TEMoo模，单纵模，要求线宽窄，频率稳定性好；带电源及控制。带电源及该激光器运行所需配件。七、外购附件1、液氦低温样品台，4K至室温，振动幅度3-5 nm，带微位移平台；2、20x常规焦距暗场镜头，NA：0.50，WD：1.27mm50x常规焦距暗场镜头，NA：0.80，WD：0.37mm100x常规焦距暗场镜头，NA：0.90，WD： 0.29mm50x长焦距暗场镜头，NA：0.50，WD：8.1mm100x长焦距暗场镜头，NA：0.75，WD：3.7mm3、TCSPC系统4、532nm和785nm波长均配拉曼偏振测量附件5、4GHz高速示波器，4通道6、超连续白光激光光源，总功率4W，脉冲重复频率40 MHz，单波长功率2mW，400nm2200nm，含声光调制光栅；7、脉冲激光光源，532 nm/266 nm，脉宽10 ns；8、连续激光光源，808 nm、473 nm、403 nm；7、锁相放大器及斩波器；8、 高精度电流源表（双通道，2台）；八、与扫描电镜耦合部件特殊设计的SEM/Raman接口允许扫描电镜成像和拉曼光谱采集在SEM样品仓内同时进行，首次实现在SEM上原位测试样品化学结构信息。在不进行拉曼采集时，拉曼元件可收回，完全不影响SEM任何功能。双波长SEM-Raman接口装置内置的计算机控制的显微摄像头集成计算机控制的照明光源，允许同时观察样品白光照明情况和激光光斑。采用单模光纤的共焦拉曼探头，用于532 /785nm激发，集成130/100波数瑞利滤光片，5米长光纤。常规拉曼测试模式与联用测试模式的快速切换机构，计算机自动控制。拉曼测试点精确重复定位装置，保证拉曼测试点与电子束扫描及x荧光分析样品点精确重复。为实现联用需升级的部件:拉曼信号收集光纤光路（双波长），含固定于滤光片转台上的光学元件。激光传递光路自动切换装置，完成常规测试和联用测试模式的激光传递切换。光谱仪内自动控制切换的反射镜单模光纤光路切换装置及激光安全锁（双波长）。谱仪系统固定于光学平台上的固定装置3、工作条件： 1)、电源电压 220V 2)、环境温度 15283)、相对湿度 60%4、售后服务: 厂家负责免费安排安装、调试、培训和验收，并承担由此发生的一切费用,并提交经买方签字认可的安装调试报告。设备出现故障时，厂家保证在接到用户通知后24小时内响应，如有必要48小时内派出维修人员到达现场进行服务5、交货时间:收到信用证后3个月内.6、质量保证: 设备保修期自最终验收协议签署生效之日起三年，在保修期内，任何由制造商选材和制造不当引起的质量问题，厂家负责免费维修, 免费保修期后，厂家提供终身维修，并保证零配件的供应，提供软件终生免费升级。7、技术文件：提供全套书面和光盘的技术资料，包括操作说明书，维护说明书，质量认证等。扫描电镜部分1工作条件:1.1电源: 220V/50Hz1.2运行环境温度: 15-25C1.3 运行环境：相对湿度280mm3.2.3 分析工作距离 10 mm3.3检测器：3.3.1高真空模式二次电子检测器；*3.3.2 低真空模式二次电子检测器及环境真空下的气体二次电子检测器3.3.2 背散射电子检测器3.3.3 样品室红外CCD相机3.4数字图像记录系统3.4.1图像处理：最大6144x 4096像素3.4.2图像显示：单幅图像显示或4帧图像同时显示*3.4.3图像记录: TIFF, BMP或JPEG; 自动记录数字电影(.avi)功能3.4.4 几何量实时测量3.5控制和数据处理系统3.5.1 基于以太网架构的数据传输系统3.5.2 Intel双核控制和操作计算机系统3.5.3 Windows 7操作系统3.5.4 显示器：24英寸LCD显示器3.6真空系统3.6.1涡轮分子泵250l/sec和两个离子泵3.6.2前级机械泵3.6.3透镜内压差真空系统, 低真空模式下抽气区域不少于3个*3.6.4 样品室真空度：高真空模式下优于610-4Pa低真空模式下10Pa130Pa环境真空模式下10Pa4000Pa3.7标准应用软件3.7.1 样品图像导航3.7.2 鼠标拖曳式放大及对中功能3.7.3 直方图和在线测量3.7.4 数字动画记录原子力显微镜/近场光学显微镜部分原子力显微镜/扫描探针近场光学显微镜一台。主要技术要求：本系统由主机、反射光路、透射光路、辅助光学观测系统、控制测量软件等部分组成，能与拉曼光谱仪联用，实现AFM-SNOM-Raman功能。要求该系统能完全兼容325nm785nm激光器的光路，实现AFM-SNOM-Raman联用功能；能实现325nm1064nm近场光学显微镜的照明和收集模式功能。制造商应保证所提供的设备具有先进的设计和工艺。（一）具体技术要求：*1. AFM成像功能需包括：接触式AFM/ 侧向力模式/ 振动模式(半接触 +非接触模式AFM)/ 相位成像模式/ 力调制模式 (粘弹性)/ 磁力显微镜/ 静电力显微镜/ 表面电势/ 横向力LFM/ 导电原子力CFM/ 频率调制/ 粘附力成像/ AFM 力刻蚀/ AFM 电场刻蚀/ 扫描电容成像/ 扫描开尔文探针显微镜/ 扩展电阻成像/ 扫描隧道显微镜/ 扫描隧道谱。以上功能均能够与拉曼光谱仪联用，同时获得样品的AFM成像和拉曼成像（即一次扫描能够同时获取AFM信号和Raman信号）。*2. SNOM成像功能需包括： 开孔悬臂透射照明模式，开孔悬臂透射收集模式，开孔悬臂梁反射照明模式，开孔悬臂梁反射收集模式，光纤探针反射照明模式，光纤探针反射收集模式，光纤探针透射照明模式，光纤探针透射收集模式。样品台xy调节范围5mm，定位精度2 m。*3. 样品扫描模式扫描范围90m90m9m，无需更换扫描器；更换针尖和样品不需要拆下或打断扫描头的校准。更换完针尖，针尖由电脑控制自动校准，回归到原来位置，误差 5m；三维全量程闭环控制扫描器，XY非线性度0.05，Z方向噪声水平0.03nm，XY方向噪声水平0.02nm。高分辨率扫描器：XYZ 1m1m1m。4. SPM扫描平台：闭环扫描器，非线性0.05%；XY共振频率7 kHz；Z共振频率15 kHz；样品尺寸405015 mm；扫描速度40 Hz。5. SPM扫描头：顶部侧面同时光学接入；全自动激光和发光二极管校准；红外激光xx nm；系统噪音0.03 nm。*6. AFM悬臂梁光学工作模式：同时具备AFM悬臂梁顶部照明模式，AFM悬臂梁底部照明模式，AFM悬臂梁反射收集模式和透射收集模式；同时整套光路可与边照射模式（激发和收集）兼容；完整顶部照明光路两套，一套采用紫外增强物镜及通光光路（325 nm600 nm），物镜数值孔径0.4-0.5，采用670 nm激光定位；另外一套采用可见增强物镜及通光光路（400 nm800 nm），物镜放大倍数100，数值孔径0.7，采用830 nm激光定位；完整底部光路一套，可进行照明和信号收集，底部光路与拉曼光谱仪光路兼容（即可采用拉曼谱仪激光进行激发，信号可沿原光路返回拉曼谱仪进行收集）；同时整套光路可与边照射模式（激发和收集）兼容；在AFM悬臂梁工作模式下，保证进行AFM成像的同时可进行拉曼光谱的采集和成像。*7. SNOM悬臂梁工作模式：同时具备开孔悬臂透射照明模式，开孔悬臂透射收集模式，开孔悬臂梁反射照明模式，开孔悬臂梁反射收集模式；完整顶部照明光路两套，一套采用紫外增强物镜及通光光路（325 nm600 nm），物镜数值孔径0.4-0.5，采用670 nm激光定位；另外一套采用可见增强物镜及通光光路（400 nm800 nm），物镜放大倍数100，数值孔径0.7，采用830 nm激光定位；具有激光扫描模块，可在顶部照明工作模式下将激光光斑定位于悬臂梁的小孔中，并可通过视频可见；完整底部光路一套，可进行照明和信号收集，底部光路与拉曼光谱仪光路兼容（即可采用拉曼谱仪激光进行激发，信号可沿原光路返回拉曼谱仪进行收集）；同时整套光路可与边照射模式（激发和收集）兼容；在SNOM悬臂梁工作模式下，保证进行SNOM成像的同时可进行AFM成像及拉曼光谱的采集和成像。*8. 红外波段SNOM悬臂梁工作模式：具备红外波段优化通光、照明和收集光路（1000 nm1600 nm）；同时具备顶部照明（收集）和底部照明（收集）光路；顶部照明光路采用红外增强物镜及通光光路，100红外物镜，数值孔径0.5，采用670 nm激光定位；同时整套光路可与边照射模式（激发和收集）兼容；在SNOM悬臂梁工作模式下，保证进行SNOM成像的同时可进行AFM成像及拉曼光谱的采集和成像。*9. 边照射模式：35度入射。可进行针尖增强拉曼散射实验。*10. SNOM光纤工作模式：具备样品扫描和光纤扫描模式；光纤探针扫描模式扫描范围90m90m9m，三维全量程闭环控制扫描器，XY非线性度0.15，Z方向噪声水平0.04nm，XY方向噪声水平0.2nm；最大样品尺寸：直径40mm，厚度15mm，最大样品质量100g；具备光纤探针反射照明模式，光纤探针反射收集模式，光纤探针透射照明模式和光纤探针透射收集模式；激光耦合装置，V型槽耦合，XYZ三维可调，定位精度1 m，采用40物镜；透射光路采用40物镜耦合，工作距离0.4 mm；具备近红外SNOM透射收集模式，工作范围900 nm1660 nm，配备低温冷却近红外光电倍增管；配备紫外可见PMT光纤探针反射工作模式采用特殊物镜进行耦合，物镜数值孔径0.45，工作距离30 mm，提供有效耦合模块；*11. CCD及成像系统：彩色CCD，配备视频显微镜，采用LED白光照明，视场范围（采用100物镜）80 m80 m。12. SPM控制器：模块化全数字扩展控制器，输入电压：90-240 V，工作频率50 Hz/60 Hz。13. 数字/模拟信号输入/输出接口，便于集成外置设备，包括PLL和DFM模式。14. 噪音水平：电容传感器开启时，200 Hz频带宽度状态下，在XY方向噪音水平为0.1 nm；电容传感器关闭时，100 Hz频带宽度状态下，在XY方向噪音水平为0.02 nm；1000 Hz频带宽度状态下，Z电容传感器噪音水平0.04 nm。15. 高分辨率光学显微镜，XY方向定位寻找样品测量位置。16 纳米操纵：可实现在纳米和分子级别的纳米操纵和刻蚀，可通过输入位图和矢量图自动控制。（二）附件及零配件随整套设备配套提供计算机、显示器、系统软件操作系统等。控制测量软件：能够高精度地同步完成所有系统部件的控制和测量动作；能够读取信号、采集数据、实时处理数据、数据后期处理等。控制系统及软件能够兼容AFM反馈模式扫描，要求该系统的扫描控制部件具有闭环扫描控制功能，多次重复扫描时漂移5nm；全部功能控制软件终身免费升级。并与拉曼光谱仪控制软件互相通讯。提供常规AFM探针200枚，鼻型光学AFM探针50枚，各波段（305450 nm、450600 nm、600770 nm、780970 nm、9801600 nm）光纤SNOM探针各10枚，50nm孔径的SNOM悬臂10枚，100nm孔径的SNOM悬臂10枚，鼻型导电AFM探针50枚。提供详细的设备安装指南、操作指南、用户培训手册。供应商长期提供耗材的购置优惠，根据用户需求设计制作各种规格、尺寸的探针。提供常规NTEGRA工具包、SNOM工具包和STM工具包，（三）技术服务条款1) 货到后3周内完成现场安装和调试，并且负责免费现场培训3名操作人员，安装调试和培训时间不少于10天。在硬件支持的前提下，免费提供软件升级。2) 整机保修期3年，保修期内出现问题，应在接到用户通知后2个工作日内到现场。保修期后仅收取零配件成本价。3) 在保修期外软硬件出现的问题，接到用户通知后24小时内给予答复，2个工作日内给与解决方案并到达用户现场解决问题。重大问题或其它无法立刻解决的问题应在一周内解决或提出明确的解决方案，如因卖方原因不能及时修复，保修期将相应顺延。设备供应商提供终身维修。交货日期： 签订合同后18周内交货。纳米操作手臂部分1) 探针台Stage尺寸：230mm（L）X130mm（W）X40mm（H ） 2) 探针台Stage运动：X，Y，Z三轴直角坐标 3) 探针台Stage行程：20mm*20mm*5mm（X，Y，Z） 4) X，Y，Z粗调分辨率：10nm 5) 探针台Stage精调范围：1um（X,Y,Z） 6) X，Y，Z精调分辨率以及步长：1nm 7) 探针台机械手臂数量：4个8) 探针台Stage控制：操纵杆，按键和旋钮 9) 电测试探头：4个10) 样品台旋转角度30度，可配合探针针头的运动。11) 探头受力为2N12) 功能：移动、转移、排列、两端接触以及测试所有电气测试，静态测试，动态和频闪实验（电阻，EBIC，OBIC等等。）13) 探头包括电学测试探头，通过密封式法兰与外界链接14) 可安装于各类FIB以及SEM中15) 外围电源220V，可根据客户需求选用不同线缆。16) 在控制器上有通信窗口，可进行数字式动作软件控制。TouchDown软件可方便的实现重复操作，保证实验重复性以及和其他系统电脑的联用。17) 保修期三年附件清单： 1）机械操纵手臂4个 2）探针台 3）电学探头4个 4）控制器以及软件 5）配套线缆以及光纤馈通