激光干涉测长技术

1、第六章 激光干涉测长技术,自从1802年杨氏（Thomas Young）首先用实验方法研究光的干涉现象以来，对光干涉的本质及其应用研究已延续近200年的历史。激光的出现和计算机技术，微电子技术的发展给光干涉技术注入了新的活力，并已成为现代光学中一个重要的分支。激光干涉测量技术不仅被广泛用于对物体长度、角度、形状、位移等几何量的测量，还可利用其测量原理对物理量（如形变、速度、振动等）及光学系统特性（。

2、 自从1802年杨氏Thomas Young首先用实验方法研究光的干涉现象以来，对光干涉的本质及其应用研究已延续近200年的历史。激光的出现和计算机技术，微电子技术的发展给光干涉技术注入了新的活力，并已成为现代光学中一个重要的分支。激光干涉。