磁控溅射原理PPT课件

溅射镀膜溅射镀膜 第三章一一 气体放电现象描述气体放电现象描述 气体放电是溅射过程的基础,所以首先讨论一下气体的气体放电是溅射过程的基础,所以首先讨论一下气体的放电过程.放电过程.是在真空度为是在真空度为1010 1pa1pa的稀薄气体中,

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1、溅射镀膜溅射镀膜 第三章一一 气体放电现象描述气体放电现象描述 气体放电是溅射过程的基础,所以首先讨论一下气体的气体放电是溅射过程的基础,所以首先讨论一下气体的放电过程.放电过程.是在真空度为是在真空度为1010 1pa1pa的稀薄气体中。

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