光电显示用高均匀超净面玻璃基板关键技术与设备开发及产业化

附件.“光电显示用高均匀超净面玻璃基板关键技术与设备开发及产业化”项目公示材料国家科学技术进步奖（2018年度）一、项目基本情况项目名称光电显示用高均匀超净面玻璃基板关键技术与设备开发及产业化主要完成人李青、刘文泰、孙诗兵、斯沿阳、王丽红、周波、郑权、李震、胡恒广、王俊明主要完成单位东旭集团有限公司、北京工业大学、芜湖东旭光电装备技术有限公司、武汉理工大学、芜湖东旭光电科技有限公司、郑州旭飞光电科技有限公司、石家庄旭新光电科技有限公司提名者河北省提名意见二、项目简介（限1200字）该项目属于新一代信息技术的平板显示领域，涉及TFT-LCD（薄膜晶体管液晶显示）用玻璃基板关键技术、核心设备及产业化应用。面板是以两片玻璃基板为载体，在其表面进行TFT（薄膜晶体管）制程和CF（彩膜）加工，制成TFT-LCD，被用于电视机、显示器、平板电脑、手机等信息终端产品制造。目前，TFT-LCD已经成为平板显示主流产品，玻璃基板占显示面板总成本的20%左右，是面板成本最高的部件，因此成为平板显示关键性基础材料。在我国TFT-LCD产业初期阶段（2005-2010年），几乎所有材料全部依赖进口，严重阻碍了我国显示产业的转型与发展。玻璃基板制造因技术复杂、难度高、投资大，代表当今玻璃最高制造水平，其生产技术和产品被美日公司高度垄断。玻璃基板必须满足面板制造工艺和终端产品显示质量要求，既要满足高应变点、低膨胀系数、低密度、高化学稳定性等严苛的理化性能要求，又要满足光学级内在质量和超纯净无瑕疵外观质量要求。为了突破玻璃基板制造关键技术，实现国产化，打破垄断，该项目自主立项。经历10余年产学研合作，进行协同开发，解决了玻璃基板中的微小气泡消除和细小条纹均化、消除表面划痕和微米级颗粒污染、克服热收缩和翘曲变形等影响TFT制程和面板显示效果的技术难题，形成了如下创新成果：1）发明了结构独特的“五仓型”铂金通道设备，在国内率先实现玻璃液精密处理技术，生产的玻璃基板内在质量（光学级均匀性）达到国际高端产品质量；2）开发了“水吸差动法”边角精密研磨加工技术，实现了玻璃基板的超纯净无损加工；3）发明了理化性能与工艺性能兼优的玻璃基板化学组成及配方，全面满足TFT制程要求及高端显示器件应用；4）开发了专用的制造执行系统，在国内外率先实现了玻璃基板生产流程的全要素信息采集，智能分析与决策，数字化工艺改进和品质管控。该项目工作取得授权发明专利38项，获省级科学技术进步一等奖2项、中国专利金奖1项，软件著作权6项，牵头制定国家标准5项。经第三方检测与专家评价，该项目成果总体技术达到国际先进水平。截至2017年6月，该项目成果已推广应用至3家企业17条生产线，近三年形成新增销售额约136.3亿元、新增利润约34.9亿元，为下游产业节约近2000亿元成本。该项目推动我国玻璃基板产业从无到有、从弱到强，成为全球第三个掌握玻璃基板核心技术的国家，改变了全球玻璃基板和显示产业的格局。现在我国平板显示已占全球产量30%，成为具有竞争实力的全球第一生产大国，玻璃基板为我国光电显示产业的高速发展和产业安全起到重要支撑作用。三、客观评价一、验收意见（1）“十二五”国家科技支撑计划 “触摸屏特种玻璃、液晶玻璃基板生产技术应用开发”课题方向二：“G8.5代液晶玻璃基板技术研发”验收专家组意见2017年3月26日，中国建筑材料联合会组织专家对“十二五”国家科技支撑计划课题“触摸屏特种玻璃、液晶玻璃基板生产技术应用开发（2013BAE03B02）”课题进行了验收，对方向二：“G8.5代液晶玻璃基板技术研发”形成如下意见：“研发了环保轻质型TFT-LCD玻璃基础配方、碎玻璃破碎设备、窑炉自平衡锁紧机构、铂金通道环境系统等内容，完成了G8.5代液晶玻璃基板生产线全套图纸设计，基本达到任务书要求，专家组建议课题通过验收”。（2）国家智能制造装备发展专项“TFT-LCD玻璃基板数字化车间建设项目”验收意见2015年5月28日，受国家发改委委托，河北省发改委、河北省财政厅和河北省工信厅组织相关技术及经济专家组成验收组， 对石家庄东旭光电装备技术有限公司、石家庄旭新光电科技有限公司共同承担的“TFT-LCD玻璃基板数字化车间建设项目”进行了验收。验收意见认为：“产品厚度为0.5mm，玻璃边缘直线度0.05mm，玻璃直角度1/1000，玻璃表面粗糙度=Rmax100，设备综合利用率由78%提升到89%以上。”“各项性能指标已达到批复文件的要求”， 验收组同意通过验收。 二、鉴定意见（1）“无碱高铝硼硅酸盐玻璃铂金通道关键技术与设备开发及推广应用”成果评价2017年4月22日，中国光学光电子行业协会液晶分会组织欧阳钟灿院士为组长的专家组，对东旭集团有限公司“无碱高铝硼硅酸盐玻璃铂金通道关键技术与设备开发及推广应用”项目成果进行了评价，形成的评价意见为：“该项目成果总体技术达到国际先进水平，打破了国外技术封锁和产品垄断，改变了国际玻璃基板市场格局，保障了我国平板显示产业安全发展，提升了显示产业核心竞争力。” （2）“TFT-LCD玻璃基板节能型生产成套装备”成果鉴定（冀科成转鉴字2015第1-011号）2015年5月9日，河北省科技成果转化服务中心组织，对东旭集团有限公司承担的河北省重大技术创新项目“TFT-LCD玻璃基板节能型生产成套装备”（项目编号：12213905Z）进行了鉴定，形成鉴定意见如下：“该项目拥有核心自主知识产权，打破了国外技术垄断，填补了我国TFT-LCD玻璃基板节能型生产成套装备的空白，整体技术达到了国际先进水平，经济、社会效益显著，应用前景广阔。鉴定委员会同意通过鉴定。”（3）“G5代TFT-LCD玻璃基板自动生产线”鉴定（冀科鉴字2008第9-657号）2008年12月31日，河北省科技厅组织同行专家对“G5代TFT-LCD玻璃基板自动生产线”整体技术进行了成果鉴定，鉴定结论如下：“该项目的研究开发是成功的，各项性能指标均达到工艺要求，其核心技术具有自主知识产权，打破了国外技术垄断，填补了我国TFT-LCD液晶玻璃基板生产线的空白，整体技术达到国际先进水平。经济效益和社会效益显著，推广应用前景广阔。”三、用户评价意见2015年2月18日，合肥京东方光电科技有限公司参加芜湖东旭光电科技有限公司的顾客满意程度测评调查。顾客满意程度测评调查显示合肥京东方光电科技有限公司对芜湖东旭光电科技有限公司提供的玻璃基板产品质量及持续稳定性感到满意，表示芜湖东旭光电科技有限公司能够及时提供满足质量要求的产品。四、科技奖励轻质高应变点液晶玻璃基板装备技术获2015年度河北省科学技术进步奖一等奖。专利ZL201010130700.4铂金通道中玻璃液的处理方法获2015年中国专利金奖。无碱高铝硼硅酸盐玻璃铂金通道关键技术与设备开发及推广应用获2017年度河北省科学技术进步奖一等奖。四、推广应用情况应用该项目技术成果，郑州旭飞光电科技有限公司建成了我国首条具有自主知识产权的G5液晶玻璃基板生产线，取得了光电显示用玻璃基板关键技术和核心设备的重大突破，并成功通过用户认证，实现批量销售；芜湖东旭光电科技有限公司建成了我国首条具有自主知识产权的G6液晶玻璃基板生产线。成果应用单位陆续建成了17条光电显示用玻璃基板生产线，所生产的玻璃基板销往京东方科技集团、昆山龙腾光电以及我国台湾地区的群创光电等主流显示面板生产企业。同时，该项目部分成果还用于福州东旭光电科技有限公司、江苏东旭亿泰智能装备有限公司等企业。在该项目成果影响下，国内市场玻璃基板价格由2008年的超过800元/m2降至目前的100元/ m2左右，降低显示产业成本约2000亿元。应用情况如下表1所示。表1 应用单位列表序号描述应用单位1应用成套玻璃基板技术芜湖东旭光电装备技术有限公司2应用玻璃基板成套技术与设备郑州旭飞光电科技有限公司3应用玻璃基板成套技术与设备石家庄旭新光电科技有限公司4应用玻璃基板成套技术与设备芜湖东旭光电科技有限公司5应用玻璃基板产品合肥京东方光电科技有限公司6应用玻璃基板产品昆山龙腾光电有限公司7应用玻璃基板产品上海中航光电子有限公司8应用玻璃基板产品群创光电股份有限公司9应用玻璃基板产品上海仪电显示材料有限公司10应用玻璃基板产品东旭（昆山）显示材料有限公司11应用玻璃基板精密检查技术江苏东旭亿泰智能装备有限公司12应用玻璃基板制造执行系统及数字化车间技术石家庄东旭光电装备技术有限公司13应用玻璃基板制造执行系统、数字化车间及缺陷检查技术福州东旭光电科技有限公司14应用玻璃基板加工技术与装备东旭（营口）光电显示有限公司15应用玻璃基板装备技术武汉天马微电子有限公司16应用玻璃基板装备技术北京京东方光电科技有限公司五、主要知识产权证明目录（不超过10件）知识产权类别知识产权具体名称国家（地区）授权号授权日期证书编号权利人发明人发明专利有效状态发明专利铂金通道中玻璃液的处理方法中国ZL201010130700.42012-07-04995048东旭集团有限公司李兆廷、王保平、斯沿阳、刘文泰有效发明专利TFT-LCD玻璃基板自动加工生产线中国ZL200810054509.92012-05-23949855东旭集团有限公司李兆廷、李青、齐彦民、温若壮、孙勤修有效发明专利用于TFT-LCD的环保型无碱铝硼硅酸盐玻璃中国ZL201010515817.42012-07-251011706北京工业大学田英良、张磊、孙诗兵有效软件著作权平板显示器基板玻璃制造执行系统（MES）V3.2中国2017SR3730272017-07-141958311福州东旭光电科技有限公司；东旭集团有限公司李青、周波、胡恒广有效发明专利铂金通道中实现熔融态玻璃黏度精确控制的方法中国ZL200910074317.92011-11-30872526东旭集团有限公司宋金虎、斯沿阳、刘文泰、李兆廷有效发明专利一种快速调整铂金通道热通量、提高电源效率方法中国ZL200910075843.72012-01-04890119东旭集团有限公司宋金虎、郑权、刘文泰、李兆廷有效软件著作权东旭铂金通道智能集成控制系统V7.6中国2017SR1278012017-4-201713085东旭集团有限公司李青、王丽红、郑权有效发明专利一种适用于高世代液晶玻璃基板的包装设备中国ZL201410167578.62017-06-092510114东旭集团有限公司崔海舰、周波、王丽红有效发明专利消除TFT-LCD玻璃基板切割裂片粉尘的方法及装置中国ZL201310272929.52017-03-292430702郑州旭飞光电科技有限公司王俊明、周爱峰、穆美强、孙大德、张慧欣、付冬伟有效发明专利碱土铝硅酸盐玻璃基板的组成中国ZL201310378658.12016-09-142239332东旭集团有限公司张广涛、闫冬成、李赫然、刘泽文、沈玉国、李俊锋、刘文泰有效六、主要完成人情况表姓 名李 青排 名1技术职称正高级工程师工作单位东旭集团有限公司完成单位东旭集团有限公司对本项目技术创造性贡献：该项目技术总负责人。创新点2、4的主要贡献者。负责研发技术路线的拟定、工程建设和生产总体方案及重大技术问题解决，最终技术方案的决策、实施，组织项目整体实施，负责产业化总体目标的制定。设计了玻璃基板精密加工生产线，提出了多条产线数据共享的云计算方案，在建成数字化车间中起主导作用。获得授权发明专利2项，发表论文7篇，牵头制定国家标准5项。曾获国家科技奖励情况：1、2015年河北省科技进步一等奖（第一完成人）；2、2015年四川省科技进步一等奖（第一完成人）；3、2017年河北省科技进步一等奖（第一完成人）；六、主要完成人情况表姓 名刘文泰排 名2技术职称工程师工作单位东旭集团有限公司完成单位东旭集团有限公司对本项目技术创造性贡献：项目总技术负责人。创新点1、3的主要贡献者。负责项目的总体实施，组织制定了铂金通道研发技术路线，进行了铂金通道中各项工艺、设计参数与玻璃液处理效果之作用规律的研究，组织了铂金通道集成控制系统、微环境系统、玻璃粘度控制技术的研发工作，发明了具有“五仓型”的铂金通道结构；参与了玻璃基板化学组成的研发及优化工作，主持了“碱土铝硅酸盐玻璃基板的组成”的开发。获得授权发明专利18项、参与制定国家标准1项。曾获国家科技奖励情况：1、2015年河北省科技进步一等奖（第三完成人）2、2015年中国专利金奖3、2017年河北省科技进步一等奖（第二完成人）六、主要完成人情况表姓 名孙诗兵排 名3技术职称教授工作单位北京工业大学完成单位北京工业大学对本项目技术创造性贡献：该项目核心成员，是创新点3的主要贡献者。主要负责玻璃结构设计和配方开发。通过调控SrO/CaO比和RO/Al2O3比，有效控制玻璃膨胀系数和特征粘度点温度关系；控制原料来源和粒度分布对熔化质量的影响，为实现自主知识产权专利配方奠定基础，兼顾协调了电子玻璃基板理化性能与熔化条件，形成最佳玻璃配方。获得授权发明专利1项。曾获国家科技奖励情况：1、“高强抗划伤平板电子显示产品保护盖板玻璃”获中国发明协会全国发明展览会“金奖”。2、中国建材联合会暨中国硅酸盐学会、华夏建设科学技术奖励委员会等科技进步三等奖各1项。3、产学研促进会创新成果奖1项。六、主要完成人情况表姓 名斯沿阳排 名4技术职称高级工程师工作单位东旭集团有限公司完成单位东旭集团有限公司对本项目技术创造性贡献：铂金通道总体结构研发及设计负责人。创新点1的主要贡献者。发明了“五仓型”铂金通道结构，探究获得了影响玻璃液质量的因素与规律，创新开发玻璃液处理工艺，获得优选技术参数，提出了“下倾式”冷却仓与“后置式”均化仓方案，为攻克玻璃液处理技术做出了重要贡献。获得授权发明专利2项。曾获国家科技奖励情况：1、2015年河北省科技进步一等奖（第八完成人）2、2015年中国专利金奖3、2017年河北省科技进步一等奖（第三完成人）六、主要完成人情况表姓 名王丽红排 名5技术职称高级工程师工作单位东旭集团有限公司完成单位东旭集团有限公司对本项目技术创造性贡献：创新点1、2的主要贡献者，系统研究了铂金通道结构。通过实验探索了温度与澄清效果作用规律；通过数学模拟探索了温度场分布、澄清效果作用规律及玻璃液流动规律，为结构设计提供支撑。深入研究分析了颗粒产生的原因，开发了成套低污染玻璃加工设备；研发了气浮型传送装置，提高了传送平稳度，降低了平板玻璃的生产成本；开发了双光束光源照明装置，实现了玻璃基板内部缺陷高效检查。获得授权发明专利13项，发表论文15篇，参与制定国家标准2项。曾获国家科技奖励情况：1、2015年河北省科技进步一等奖（第4完成人）2、2017年河北省科技进步一等奖（第7完成人）六、主要完成人情况表姓 名周波排 名6技术职称高级工程师工作单位东旭集团有限公司完成单位东旭集团有限公司对本项目技术创造性贡献：创新点2、4的主要贡献者，发明了间隔纸与玻璃基板一次码垛包装工艺技术，实现了低污染包装；开发了表面颗粒位置统计分析系统软件，采用软件可有效预测颗粒产生原因，指导工艺对策；创建了基于云计算的基板玻璃缺陷神经网络分类模型，实现了具有自学习能力的玻璃基板内部缺陷智能识别与分类；提出了边缘计算与云计算结合的企业级信息共享模型，开发了制造执行系统，建成了数字化车间。获得授权发明专利1项，发表论文16篇。曾获国家科技奖励情况：1、2015年河北省科技进步一等奖（第5完成人）2、2017年河北省科技进步一等奖（第6完成人）六、主要完成人情况表姓 名郑权排 名7技术职称工程师工作单位东旭集团有限公司完成单位东旭集团有限公司对本项目技术创造性贡献：创新点1、4主要贡献者，针对反馈数据采集延时长以及“温-粘-流”作用规律非线性的难题，开发了智能集成控制系统，获得了加热器功率的控制参数，实现了玻璃液流量的智能精细控制，对玻璃基板厚度偏差控制提供了有利保障；开发了制造执行系统，建成了数字化车间。获得授权发明专利2项，发表论文4篇。曾获国家科技奖励情况：1、2017年河北省科技进步一等奖（第4完成人）六、主要完成人情况表姓 名李震排 名8技术职称高级工程师工作单位芜湖东旭光电科技有限公司完成单位芜湖东旭光电科技有限公司对本项目技术创造性贡献：创新点1的主要贡献者,具体负责铂金通道结构的工艺开发，制定了铂金通道结构的工艺路线，探索了玻璃液澄清均化的温度制度，组织了进行工艺参数优化，协调了微泡吸收与强制均化在玻璃液处理上的平衡问题；针对铂金通道的智能集成控制技术问题，组织制定工艺流量稳定控制系统方案，确定控制工艺要素；结合料方组分，对玻璃液熔化窑炉工艺提出技术要求。获得发明专利6项，发表论文1篇，参与国家标准制定1项。曾获国家科技奖励情况：六、主要完成人情况表姓 名胡恒广排 名9技术职称高级工程师工作单位东旭集团有限公司完成单位东旭集团有限公司对本项目技术创造性贡献：创新点4的主要参与者，具体负责该项目产品制造执行系统的研究与开发，组织开发了质量缺陷图像处理的逻辑模型，制定信息采集的技术路径与控制要素，平衡优化了颗粒检查的数学计算和统计问题，建立了企业级缺陷信息采集，特征提取的数据库模型，为系统解决模拟仿真，控制品质缺陷方面，制定研发设计方案。发表论文2篇。曾获国家科技奖励情况：六、主要完成人情况表姓 名王俊明排 名10技术职称高级工程师工作单位郑州旭飞光电科技有限公司完成单位郑州旭飞光电科技有限公司对本项目技术创造性贡献：创新点2的主要贡献者，制定了超净无损加工工艺解决方案，针对玻璃基板后加工的精密裁切、边角研磨中的工艺控制问题，组织制定了系统解决方案，发明了低发尘的玻璃基板切割裂片方法及装置；对超净加工在清洗检查，包装传送的材料选型，工艺参数设定进行了方案审核，根据切割、研磨缺陷的识别与控制要求，建立了后加工统一反馈调整体系。获得发明专利2项，发表论文8篇。曾获国家科技奖励情况：七、主要完成单位情况表单位名称东旭集团有限公司排 名1对本项目科技创新和推广应用情况的贡献：东旭集团有限公司是该项目的组织牵头单位和第一完成单位。2005年，集团敏锐的发现了玻璃基板广阔的应用市场及良好的发展前景，自主立项，持续推进。坚持自主创新，研发了光电显示用高均匀超净面玻璃基板关键技术与设备，并不断的推进产业化，成功实现规模化应用。该项目实施过程中，主要负责铂金通道技术与设备开发，超净面玻璃基板精密加工技术开发，玻璃基板制造执行系统及数字化车间技术开发，玻璃基板化学组成研发工作，同时并积极推进产业化工作，陆续建成17条玻璃基板生产线。为突破专利壁垒、技术封锁、产业垄断做出了重大贡献。在该项目实施的过程中，北京工业大学、芜湖东旭光电装备技术有限公司、武汉理工大学、芜湖东旭光电科技有限公司、郑州旭飞光电科技有限公司、石家庄旭新光电科技有限公司6家单位陆续加入研发团队。东旭集团积极组织，协调各方工作，为该项目研发的成功实施做出了重要贡献。七、主要完成单位情况表单位名称北京工业大学排 名2对本项目科技创新和推广应用情况的贡献：北京工业大学创建于1960年，是一所以工为主，理、经、管、文、法、艺术相结合的多科性市属“211”建设重点大学。自2005年02月01日与东旭集团有限公司进行技术研发合作，联合研发制造薄膜晶体管液晶显示（TFT-LCD）产品的玻璃基板。围绕TFT-LCD玻璃基板的技术难点和工艺瓶颈展开相关研发和应用工作，该单位参与完成相关突破性创新研发工作，成果贡献是轻质高应变点TFT-LCD玻璃基板化学组成设计与配方开发，其中包括1）利用玻璃成份性质和加和理论，优化设计玻璃化学组成；2）基于玻璃成份的网络结构特性，协调玻璃结构致密性与相关性能；3）调控SrO/CaO比和RO/Al2O3比，控制玻璃膨胀系数和特征粘度点温度；4）控制原料来源和粒度分布形成最佳玻璃配方，促进玻璃熔化质量提升。七、主要完成单位情况表单位名称芜湖东旭光电装备技术有限公司排 名3对本项目科技创新和推广应用情况的贡献：芜湖东旭光电装备技术有限公司是该项目的第3完成单位。于2012年1月1日加入“光电显示用高均匀超净面玻璃基板关键技术与设备”项目进行共同设计研发。该项目实施过程中，主要负责铂金通道装备的开发，超净面玻璃基板精密加工中缺陷检测、研磨装备的开发，玻璃基板制造执行系统及数字化车间技术开发，并建成适于玻璃基板制造的数字化车间，实现基板品质的智能管控与企业级的信息共享。七、主要完成单位情况表单位名称武汉理工大学排 名4对本项目科技创新和推广应用情况的贡献：武汉理工大学主要贡献为玻璃基板组成和料方设计基础研究。系统研究含稀土氧化物的铝硅酸盐玻璃体系组成与性能关系，分析其对TFT基板应用的适应性，探明了混合碱金属氧化物对膨胀系数、特征温度高温电阻的影响规律，揭示了硅砂熔化特性，相关研究为料方、玻璃熔制和供料道设计提供了依据。七、主要完成单位情况表单位名称芜湖东旭光电科技有限公司排 名5对本项目科技创新和推广应用情况的贡献：芜湖东旭光电科技有限公司成立于2011年，位于芜湖市经济技术开发区东区，是以研发、制造、销售平板显示玻璃基板和提供相关技术服务的高新技术企业。2012年，应用东旭集团有限公司、北京工业大学等单位开发的“光电显示用玻璃基板成套技术与装备”技术成果，规划了相关生产线实施方案，组织制定了工艺系统、动力系统的技术评定标准，建成了G6玻璃基板生产线。2013年7月19日，首片产品顺利下线，标志着成套玻璃基板生产技术与装备全面应用。组织生产线工艺优化与品质提升，在原材料成分控制、铂金通道智能控制、澄清均化工艺等方面进行工艺攻关，提升了产线良率；在超净无损加工方面，优化了生产设备布局，提高了控制节拍；在洁净控制技术方面，研究了“水吸差动法”新型边角研磨系统，针对颗粒控制和在线检测问题，建立了工厂级内控标准；开发了专用检查系统，实现了对玻璃基板外形尺寸的自动化检测。玻璃基板产品供给合肥京东方显示技术有限公司、昆山国显光电有限公司以及我国台湾地区的群创光电等光电显示企业，在技术标准化方面，参与制定了GB/T 32645-2016平板显示器基板玻璃边缘条件规范等5项国家标准，为产品上下游的统一质量管控，做出了突出贡献。七、主要完成单位情况表单位名称郑州旭飞光电科技有限公司排 名6对本项目科技创新和推广应用情况的贡献：郑州旭飞光电科技有限公司位于郑州经济技术开发区，主要从事G5液晶玻璃基板制造与销售。2010年8月开始，应用东旭集团有限公司等单位联合研发的液晶玻璃基板生产技术，进行了工艺优化和技术提升，建成了4条TFT玻璃基板生产线，针对玻璃基板生产工艺中的配料成分控制问题，建立了内控标准；根据料方切换需要，研究了标准化的实施方案，统一了理化性能检测系列产品标准与测试方法；根据熔化效率提升、电助熔加热、玻璃液澄清均化等过程，建立了工艺调控反馈数据计算模型，系统解决了诸多重大工艺问题；针对洁净间的粉尘污染问题，优化了设备裁切工艺，采用了玻璃颗粒整板分析，跟踪法控制产尘源头；建立了缺陷数据库，制定了缺陷识别判断、特征提取等内控标准。生产的G5液晶玻璃基板产品销往京东方、昆山龙腾、上海中航等面板制造企业，是首次通过用户认证的国内玻璃基板企业，是国内首家大规模G5玻璃基板生产企业，国内同类产品市占率第一。参与制订了GB/T 32647-2016平板显示器基板玻璃规范、GB/T 32639-2016平板显示器基板玻璃术语等5项国家标准。七、主要完成单位情况表单位名称石家庄旭新光电科技有限公司排 名7对本项目科技创新和推广应用情况的贡献：石家庄旭新光电科技有限公司，成立于2009年9月，从事液晶玻璃基板的研发与生产，是国家级高新技术企业、软件企业、知识产权优势企业。2011年，公司应用东旭集团研发集成的玻璃基板制造工艺技术，通过优化料方、工艺提升、制定工艺布局优化方案，建成3条液晶玻璃基板生产线，实现了环保料方的国内首次成功使用，降低了缺陷影响因素的干扰；在铂金通道调整、流量均衡控制方面建立了工艺参数系统分析模型，解决了铂金微环境中的不良因素干扰难题；在玻璃基板后加工超净面控制中，采用了精密振动式刀轮切割和边角水吸研磨系统，优化了清洗工艺，提高了抑尘效率；在智能控制方面，建立了缺陷数据库与图像分割系统，统一了识别系统的参数标准，建成了玻璃基板数字化车间，提升了液晶玻璃基板的产品控制水平。参与制订了GB/T 32644-2016平板显示器基板化学耐久性的实验方法、GB/T 32646-2016平板显示器基板玻璃包装规范等5项国家标准。八、完成人合作关系说明“光电显示用高均匀超净面玻璃基板关键技术与设备开发及产业化”项目涉及7家单位、10位主要完成人。东旭集团有限公司是项目的主要完成单位，芜湖东旭光电装备技术有限公司、芜湖东旭光电科技有限公司、郑州旭飞光电科技有限公司、石家庄旭新光电科技有限公司四家公司是基于该项目成果推广转化，由东旭集团有限公司设立的控股公司。北京工业大学和武汉理工大学承担了该项目的理论和研发基础工作。李青、刘文泰、斯沿阳、王丽红、周波、郑权就职于东旭集团有限公司，孙诗兵就职于北京工业大学，李震就职于芜湖东旭光电科技有限公司；王俊明就职于郑州旭飞光电科技有限公司。该项目实施期间：第1完成人李青与第3完成人孙诗兵，共同签署了产业合作协议；第1完成人李青与第5完成人王丽红，合著了铂金通道温度控制工艺的数值模拟，合作制定了GB/T 32647-2016平板显示器基板玻璃规范国家标准；第1完成人李青与第5完成人王丽红、第6完成人周波，合著了平板显示基板玻璃中的固态缺陷；第1完成人李青与第5完成人王丽红、第6完成人周波、第7完成人郑权、第9完成人胡恒广，合作完成了2014年智能制造装备发展专项TFT-LCD玻璃基板数字化车间建设项目；第1完成人李青与第5完成人王丽红、第7完成人郑权，合作完成了东旭铂金通道智能集成控制系统V7.6；第1完成人李青与第6完成人周波，合著了超薄玻璃基板表面颗粒检查的方法研究，基于云计算的基板玻璃缺陷神经网络分类模型研究；第1完成人李青与第6完成人周波、第9完成人胡恒广，合作完成了平板显示器基板玻璃制造执行系统（MES）V3.2；第1完成人李青与第8完成人李震，合作制定了GB/T 32645-2016平板显示器基板玻璃边缘条件规范国家标准；第2完成人刘文泰与第3完成人孙诗兵，合著了SrO/(SrO+CaO)比对无碱铝硼硅酸盐玻璃高温电阻特性影响研究；第2完成人刘文泰与第4完成人斯沿阳，合作发明了铂金通道中玻璃液的处理方法，铂金通道中实现熔融态玻璃黏度精确控制的方法；第2完成人刘文泰与第5完成人王丽红、第7完成人郑权，合作完成了典型高性能特种玻璃关键技术研发与示范项目-G8.5液晶玻璃基板生产技术应用开发；第2完成人刘文泰与第7完成人郑权，合作发明了一种快速调整铂金通道热通量、提高电源效率方法；第5完成人王丽红与第6完成人周波，合作发明了一种适用于高世代液晶玻璃基板的包装设备；第5完成人王丽红与第7完成人郑权，合作完成了G8.5TFT-LCD玻璃基板精密智能制造数字化车间建设项目；第5完成人王丽红与第9完成人胡恒广，合作开发了与线性光检查装置配套使用的玻璃基板夹持装置；第6完成人周波与第10完成人王俊明，合作开发了提高玻璃基板切割精度的装置。完成人合作关系情况汇总表序号合作方式合作者/项目排名合作时间合作成果证明材料备注1产业合作李青/1；孙诗兵/32005.02.01玻璃基板化学组成及料方合作协议技术开发合同北京技术市场管理办公室备案2论文合著李青/1；王丽红/52005.02.01铂金通道温度控制工艺的数值模拟3共同参与制定标准李青/1；王丽红/52005.02.01平板显示器基板玻璃规范（国家标准GB/T 32647-2016）4论文合著李青/1；王丽红/5；周波/62007.10.01平板显示基板玻璃中的固态缺陷5共同立项李青/1；王丽红/5；周波/6；郑权/7；胡恒广/92007.10.012014年智能制造装备发展专项-TFT-LCD玻璃基板数字化车间建设项目6共同知识产权李青/1；王丽红/5；郑权/72005.02.01东旭铂金通道智能集成控制系统V7.67论文合著李青/1；周波/62007.10.01超薄玻璃基板表面颗粒检查的方法研究8论文合著李青/1；周波/62007.10.01基于云计算的基板玻璃缺陷神经网络分类模型研究9共同知识产权李青/1；周波/6；胡恒广/92007.10.01平板显示器基板玻璃制造执行系统（MES）V3.210共同参与制定标准李青/1；李震/8；2009.09.01平板显示器基板玻璃边缘条件规范（国家标准GB/T 32645-2016）11论文合著刘文泰/2；孙诗兵/32006.03.01SrO/(SrO+CaO)比对无碱铝硼硅酸盐玻璃高温电阻特性影响研究12共同知识产权刘文泰/2；斯沿阳/42006.08.01铂金通道中玻璃液的处理方法13共同知识产权刘文泰/2；斯沿阳42006.08.01铂金通道中实现熔融态玻璃黏度精确控制的方法14共同立项刘文泰/2；王丽红/5；郑权/72006.03.01典型高性能特种玻璃关键技术研发与示范项目-G8.5液晶玻璃基板生产技术应用开发15共同知识产权刘文泰/2；郑权/72006.03.01一种快速调整铂金通道热通量、提高电源效率方法16共同知识产权王丽红/5；周波/62007.10.01一种适用于高世代液晶玻璃基板的包装设备17共同立项王丽红/5；郑权/72010.03.01G8.5TFT-LCD玻璃基板精密智能制造数字化车间建设项目18共同知识产权王丽红/5；胡恒广/92007.09.01与线性光检查装置配套使用的玻璃基板夹持装置实用新型19共同知识产权周波/6；王俊明/102009.06.01提高玻璃基板切割精度的装置实用新型