中文版-洁净室介绍课件

,Clean room,介绍,2007.,2.8,Clean room 介绍2007.2.8,Contents,2.,洁净室适用行业,1.,洁净室的定义,3.,洁净室结构,4.,洁净工程相关流程,Contents2.洁净室适用行业1.洁净室的定义3.,控制环境中的,温度，湿度，气流，洁净度及正压,的密闭空间。,防止渗透,:,防止,灰尘,和微生物渗透到室内,防止产尘,:,防止室内产生,灰尘,或微生物,防止堆积,:,防止室内积,灰尘,或微生物,迅速去除,:,迅速去除室内,灰尘,和微生物,定义,洁净室四大原则,1.,洁净室的定义,1/35,控制环境中的温度，湿度，气流，洁净度及正压的密闭空间。防止渗,洁净度,Class100,0.1,是什么,?,过去美国,FED-209,洁净度标准以,0.5,粒子数量为基准,0.1,一根头发,(,50100),10,可視最小,子,的大小,1.,洁净室的定义,洁净度,2/35,洁净度 Class100 0.1 是什么?,C/R,适用行业及洁净度,ICR(Industrials Clean Room),Semiconduct,FPD,(LCD/OLED/PDP),PCB,Back-,Light Unit,Elec.,Material,Class:1 100,Class:10 1,000,Class:100 1,000,Class:100 10,000,Class:100 10,000,BCR(Bio Clean Room),Medicine,Good Manufacture,Practice,Good Laboratory,Practice,Bio-Hazard,OP-Room,Class:1,000 10,000,Class:1,000 100,000,Class:1,000 100,000,Class:1,000 100,000,Class:100 10,000,2.,洁净室适用行业,3/35,C/R 适用行业及洁净度ICR(Industrials C,土建,/,内装,主要工程,(,I.C.R,事例,),I.C.R,工程事,-PDP,HVAC,Utility,电 气,B.C.R,工程事,-GMP,环 境,3.,洁净室结构,4/35,土建/内装主要工程(I.C.R 事例)I.C.R 工程事,土建,/,内装工程,Clean Room,Upper Plenum,Under Plenum,Clean,Room,洁净室,Upper,Plenum,上夹层,Under,Plenum,下夹层,System,Ceiling,吊顶系统,Access,Floor,高架地板,System Ceiling,Access Floor,Return,Plenum,回风夹道,Clean,Room,结构,施工顺序,涂装,吊顶系统,Access Floor,安装,FFU,内装,地面环氧,柱子环氧,格构梁环氧,隔断,一次螺栓,二次螺栓,安装盲板,安装基础,有空板,宽孔板,安装过滤器,安装,FFU,3.,洁净室结构,5/35,土建/内装工程 Clean RoomUpper Plen,土建,/,内装工程,System Ceiling,Access Floor,FFU,方式,用个别,FFU,循环洁净室空气,DFU,方式,利用夹层的正压循环空气,System Ceiling,适用方式,有孔板,空气从洁净室地板通过,无孔板,空气无法通过,宽孔板,更衣室地板,钢护板,中低重量的设备搬入时使用,地板类型,特征,有需要的部分刷防静电涂料,防止产尘,防止化学药品污染其表面,容易清扫,在钢板上刷防静电涂料，防止粉尘附着,素材轻便，容易变更,lay-out,改善气流,特征,内装,涂装,3.,洁净室结构,6/35,土建/内装工程System CeilingAccess,HVAC,工程,Clean Room,空调,Concept,FFU,O.A.C,:,正压,/,湿度,/,过滤,D/C,:,温度,(,生产设备散热作用,),F.F.U,:,循环风量,/,过滤,生产设备,O.A.C,EFU,FFU,Class,管理基准,Dry Coil,FFU,是可以自由安装在吊顶上的规格化的系统，适用于高洁净度的产线。,将室内设备发生的热量用盘管内冷水来冷却、热交换并维持室内温度，多用于高洁净度、高热量设备较多的洁净室。,3.,洁净室结构,7/35,HVAC 工程Clean Room 空调 ConceptFF,HVAC,工程,Air Shower,Blower Filter Unit,进入洁净间之前用高速洁净空气喷淋掉附着在衣物表面的粉尘或微生物,Unit,内有小型,blower,，有与风管连接型和自循环型。,(CLASS 1,000,以下,),Pass Box,安装在洁净室墙体上，控制材料或产品进出时发生的污染。,Clean Unit,安装高效过滤器和风机的袋型设备，一般常用在室内安装空间小且中等洁净度的产线。,3.,洁净室结构,8/35,HVAC 工程Air ShowerBlower Filter,动力工程,一次配,System +Main Piping&Duct +Sub-main Tapping Valve(Damper),Sub-main Tapping Valve(Damper)+,与生产设备连接,HOOK-UP,(,二次配,),工程分类,C/R,P-Gas,CDA,供应系统,P-Gas,供应系统,PCW,供应系统,HV,供应系统,PV,供应系统,C/R,工业用水槽,M/U Pump,I.W,Tank,Filter,Pump,工业用水供应系统,排气系统,化学品供应系统,C/R,Chemical,C/R,C/R,C/R,Heat,ACID,Toxic,Organic,General,Solv.,C/R,3.,洁净室结构,9/35,动力工程 一次配System +Main Piping,电气工程,接地设备的结构（例）,TR.,中性点,电气,生产设备,(,个别,),生产设备,(,共用,),避雷,通信,GV 200.,GV 200.,GV 200.,GV 200.,GV 100.,GV,(2),(2),(2),(10),(5),地面,S/S,S/S,S/S,S/S,S/S,S/S,C/R,C/R,M/R,M/R,LM-PNL,P-PNL,FFU-PNL,UPS,G-PNL,S/S,C/R,C/R,M/R,M/R,LM-PNL,P,FFU,UPS,G,S/S,S/S,S/S,C/R,配电柜分布,Concept,Case-1,Case-2,3.,洁净室结构,10/35,电气工程接地设备的结构（例）TR.中性点电气生产设备(个别),环境工程,废水处理站,FAB,.,Cleanroom,生产设备,工业用水,Scrubber,VOC,处理设备,DI,设备,再利用系统,废水中转站,有机废水的处理,无机废水的处理,废水酸化,后端设备,PIPE RACK,C/R,管道,P/R,管道,中断废水处理设施,去除异味,DI,前端处理,自来水厂,Reclaim Sys.,工业用水的处理,3.,洁净室结构,11/35,环境工程废水处理站FAB.Cleanroom工业用水Scru,STK,1.FFU,效率性分布,2.,防止交叉污染的设计,3.A/F,开孔率的计算,5.,气流模拟,6.Test,及认证,4,.,检讨局部洁净度,3.,洁净室结构,气流工程,12/35,STK1.FFU 效率性分布2.防止交叉污染的设计3.,Turn-over,结 构,洁净室,内部工程,洁净设备,Filter/FFU,钢筋混凝土,结构工程,防火措施,Beam Cover,Sub Structure,Supply Piping,Duct Sleeve,基础工程,钢筋混凝土,(B2F),基础结构工程,架 设,涂 装,4.,洁净工程相关流程,13/35,Turn-over结 构洁净室洁净设备Filter/FFU,Turn-over,结 构,洁净室,内部工程,Clean,Equipment,Filter/FFU,钢筋混凝土,结构工程,防火措施,Beam Cover,Sub Structure,Supply Piping,Duct Sleeve,基础工程,结构工程,(,4F),结构工程,(C/R Girder),架 设,涂 装,4,.,洁净工程相关流程,14/35,Turn-over结 构洁净室CleanFilter/FF,Turn-over,结 构,洁净室,内部工程,Clean,Equipment,Filter/FFU,钢筋混凝土,结构工程,防火措施,Beam Cover,Sub Structure,Supply Piping,Duct Sleeve,基础工程,消防系统,Beam Cover,架 设,涂 装,4,.,洁净工程相关流程,15/35,Turn-over结 构洁净室CleanFilter/FF,Turn-over,结 构,洁净室,内部工程,Clean,Equipment,Filter/FFU,钢筋混凝土,结构工程,防火措施,Beam Cover,Sub Structure,Supply Piping,Duct Sleeve,基础工程,Sub Structure(PC),架 设,涂 装,4,.,洁净工程相关流程,16/35,Turn-over结 构洁净室CleanFilter/FF,Turn-over,结 构,架 设,涂 装,洁净室,内部工程,Clean,Equipment,Filter/FFU,环氧涂料,架设,-,墙体,-,换气,-,照明,-,控制室,-,更衣室,环氧,4,.,洁净工程相关流程,17/35,Turn-over结 构架 设洁净室CleanFilte,Turn-over,结 构,架 设,涂 装,洁净室,内部工程,Clean,Equipment,Filter/FFU,System Ceiling,Access Floor,墙板,Duct,工程,Cable Tray,Bus Duct,LM Panel,Utility Pipe&Duct,照明,System Ceiling,System Ceiling,4,.,洁净工程相关流程,18/35,Turn-over结 构架 设洁净室CleanFilte,Turn-over,结 构,架 设,涂 装,洁净室,内部工程,Clean,Equipment,Filter/FFU,System Ceiling,Access Floor,墙板,Duct,工程,Cable Tray,Bus Duct,LM Panel,Utility Pipe&Duct,照明,防振机台,Access Floor,4,.,洁净工程相关流程,19/35,Turn-over结 构架 设洁净室CleanFilte,Turn-over,结 构,架 设,涂 装,洁净室,内部工程,Clean,Equipment,Filter/FFU,System Ceiling,Access Floor,墙板,Duct,工程,Cable Tray,Bus Duct,LM Panel,Utility Pipe&Duct,照明,Clean Panel,Clean Panel,4,.,洁净工程相关流程,20/35,Turn-over结 构架 设洁净室CleanFilte,Turn-over,结 构,架 设,涂 装,洁净室,内部工程,Clean,Equipment,Filter/FFU,System Ceiling,Access Floor,墙板,Duct,工程,Cable Tray,Bus Duct,LM Panel,Utility Pipe&Duct,照明,Bus Duct,LM Panel,4,.,洁净工程相关流程,21/35,Turn-over结 构架 设洁净室CleanFilte,Turn-over,结 构,架 设,涂 装,洁净室,内部工程,Clean,Equipment,Filter/FFU,System Ceilin